ES2288110B1 - Procedimiento de actuacion de un dispositivo electrooptico reflector miniaturizado y dispositivo correspondiente. - Google Patents
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Abstract
Procedimiento de actuación de un dispositivo electroóptico reflector miniaturizado y dispositivo correspondiente. Procedimiento de actuación de un dispositivo MEMS electroóptico reflector que comprende un elemento conductor (7), que es una pieza suelta, mecánicamente independiente, y puede efectuar un desplazamiento a través de un espacio intermedio (5) del dispositivo en función de unos voltajes presentes en unas placas de condensador (15), y una superficie reflectora (19), que refleja un haz de luz incidente y es solidaria al elemento conductor (7), donde el procedimiento comprende la aplicación de unos voltajes a las placas (15) tales que la proyección según un eje central que pasa por el centro de masas del elemento conductor (7) de las placas (15) sometidas a un primer voltaje tiene asimetría central respecto de la proyección de las placas (15) sometidas a un segundo voltaje. Ello provoca que el elemento conductor (7) cambie de orientación.
Description
Procedimiento de actuación de un dispositivo
electroóptico reflector miniaturizado y dispositivo
correspondiente.
La invención se refiere a un procedimiento de
actuación de un dispositivo electroóptico miniaturizado,
específicamente de un dispositivo electroóptico reflector digital
miniaturizado. Estos dispositivos pertenecen a la familia de los
dispositivos usualmente denominados MEMS (micro
electro-mechanical systems - sistemas
microelectromecánicos), en particular de los dispositivos
denominados Digital Micromirror Devices (dispositivos de
microespejo digitales, DMD®). La invención también se refiere a
dispositivos electroópticos miniaturizados aptos para efectuar el
nuevo procedimiento
Son conocidos los dispositivos electroópticos
reflectores digitales miniaturizados como, por ejemplo, los
descritos en el documento "A MEMS-Based Projection
Display", de Peter F. Van KESSEL, et al, Proceedings of
the IEEE, Vol. 86, No. 8, Agosto 1998. Estos dispositivos
comprenden una superficie reflectora capaz de adoptar dos
posiciones en el espacio que forman un ángulo no nulo. De esta
manera, un rayo incidente sobre la superficie reflectora puede ser
desviado en una dirección u otra en función de la posición de la
superficie reflectora. La superficie reflectora está montada sobre
una capa de material que está en voladizo y que, al ser sometida a
unos campos electroestáticos, es capaz de doblarse en una u otra
dirección. Sin embargo estos dispositivos tienen una serie de
inconvenientes, como es la necesidad de una tensión de activación
elevada (usualmente superior a los 50 V). Otros inconvenientes son,
por ejemplo:
- unos tamaños relativamente grandes (por
ejemplo, de 16 x 16 micras),
- un consumo elevado de potencia,
- una resolución limitada (como consecuencia del
tamaño relativamente grande),
- problemas de tensiones mecánicas residuales en
el material que forma el voladizo, lo que puede provocar que la
orientación real adquirida por la superficie receptora no coincida
con la orientación deseada.
Por otro lado son conocidos los dispositivos
electroópticos digitales miniaturizados que comprenden:
- una primera zona enfrentada a una segunda
zona,
- una primera placa de condensador dispuesta en
la primera zona,
- una segunda placa de condensador y una tercera
placa de condensador dispuestas en la segunda zona y enfrentadas a
la primera placa de condensador,
- un espacio intermedio dispuesto entre la
primera zona y la segunda zona,
- un elemento conductor dispuesto en el espacio
intermedio, donde el elemento conductor es mecánicamente
independiente de ambas zonas y siendo apto para efectuar un
desplazamiento a través del espacio intermedio, desde un primer
extremo, donde el elemento conductor está próximo a la primera
zona, hasta un segundo extremo, donde el elemento conductor está
próximo a la segunda zona, y viceversa, en función de unos voltajes
presentes en las primera, segunda y tercera placas de
condensador,
- una superficie reflectora, apta para reflejar
un haz de luz incidente, solidaria al elemento conductor.
Efectivamente, estos dispositivos están
descritos en la solicitud PCT WO 2004/046807, del mismo
solicitante, publicada el 3 de Junio de 2004. En particular en pág.
19 lín. 7 - pág. 22 lín. 24, pág. 23 lín. 12 - 28, y pág. 24 lín. 21
- 31 se describen diversas geometrías de este tipo de dispositivos y
en pág. 4 lín. 6 - pág. 5 lín. 13, pág. 5 lín. 29 - pág. 6 lín. 8,
pág. 6 lín. 28 - pág. 8 lín. 7, y pág. 18 lín. 4 - pág. 19 lín. 2
se describe su modo de funcionamiento.
Sin embargo, en la solicitud PCT WO 2004/046807
únicamente se describe la posibilidad de que estos dispositivos
interrumpan o desvíen un haz de luz mediante un movimiento de
traslación, y el haz de luz es de dimensiones pequeñas respecto del
dispositivo. La orientación espacial del elemento conductor al pasar
del primer extremo al segundo extremo no varía.
La invención tiene por objeto superar estos
inconvenientes. Esta finalidad se consigue mediante un
procedimiento de actuación de un dispositivo electroóptico del tipo
indicado anteriormente caracterizado porque comprende una etapa de
conexión de por lo menos una de las placas de condensador a un
primer voltaje y de por lo menos otra de las placas de condensador
a un segundo voltaje, donde el segundo voltaje es mayor que el
primer voltaje, donde todas y cada una de las placas de condensador
están sometidas a un voltaje determinado de manera que ninguna de
ellas queda en un estado de alta impedancia, de manera que la
proyección según el eje central de las placas de condensador
sometidas al primer voltaje tiene asimetría central respecto de la
proyección según el eje central de las placas de condensador
sometidas al segundo voltaje.
Efectivamente este procedimiento permite crear
un momento de fuerzas sobre el elemento conductor que lo hace girar
según un eje perpendicular al eje central. Por lo tanto el elemento
conductor no efectúa una traslación pura al desplazarse a través
del espacio intermedio sino que realiza un movimiento combinado de
traslación más rotación o incluso una rotación pura. Como
consecuencia de ello la superficie reflectora, que es solidaria con
el elemento conductor, cambia de orientación en el espacio. De esta
manera se puede conseguir un funcionamiento equivalente al descrito
en el documento "A MEMS-Based Projection
Display", citado anteriormente, pero sin los inconvenientes que
presenta el dispositivo descrito en dicho documento. Además, el
elemento conductor no está en contacto eléctrico con su entorno
durante su desplazamiento.
Esta solución tiene además la ventaja de que
permite combinar la posibilidad de cambiar la orientación en el
espacio de la superficie reflectora, tal como se ha comentado
anteriormente, con la posibilidad de que la superficie reflectora
realice una traslación pura, a base de actuar sobre el elemento
conductor de una forma convencional, tal como se describe en la
solicitud PCT WO 2004/046807, en pág. 5 lín. 29 - pág. 6 lín. 8.
La invención tiene asimismo por objeto un
procedimiento de actuación de un dispositivo electroóptico reflector
miniaturizado, donde el dispositivo es igual al descrito
anteriormente, pero adicionalmente tiene una pluralidad de placas de
condensador distribuidas con simetría de rotación según el eje
central en la primera zona y una pluralidad de placas de
condensador distribuidas con simetría de rotación según el eje
central en la segunda zona, caracterizado porque comprende una etapa
de conexión de por lo menos una de las placas de condensador a un
primer voltaje y de por lo menos otra de las placas de condensador
a un segundo voltaje, donde el segundo voltaje es mayor que el
primer voltaje, de manera que la proyección según el eje central de
las placas de condensador sometidas al primer voltaje tiene
asimetría central respecto de la proyección según el eje central de
las placas de condensador sometidas al segundo voltaje.
Efectivamente esta disposición de las placas de condensador permite
orientar la superficie reflectora en muchas direcciones, haciéndola
girar según diversos ejes perpendiculares al eje central. Al indicar
que tiene una pluralidad de placas de condensador se debe entender
que tiene tres (la primera, segunda y tercera placa de condensador)
o más placas. Con tres placas, distribuidas en triángulo, se
podrían obtener seis posiciones en el espacio diferenciadas de la
superficie reflectora, correspondientes al giro según tres ejes
diferentes. Al aumentar el nº de placas se aumenta la cantidad de
ejes de giro.
Ventajosamente cuando el elemento conductor está
próximo a una de las primera zona o segunda zona, el elemento
conductor está en contacto con un circuito externo y se conecta el
elemento conductor a una tensión a través de dicho circuito
externo. Efectivamente, el elemento conductor estará usualmente en
contacto con unos topes que limitan su movimiento por ambos
extremos. Estos topes pueden ser simplemente unos topes mecánicos,
pero pueden ser parte de un circuito externo de manera que se puede
conectar el elemento conductor a una tensión determinada a través
de dichos topes. De esta manera el elemento conductor estará
sometido a una tensión determinada (mientras dure el contacto con
el circuito externo) lo que puede servir para incrementar la fuerza
electrostática aplicada al elemento conductor. De esta manera se
puede facilitar el desenganche del elemento conductor de los topes,
venciendo las fuerzas de enganche que pueden generarse entre el
elemento conductor y los topes u otras superficies de contacto.
La invención tiene también por objeto un
dispositivo electroóptico reflector miniaturizado del tipo indicado
anteriormente caracterizado porque comprende unos medios de control
aptos para realizar un procedimiento de acuerdo con la
invención.
La invención tiene asimismo por objeto un
dispositivo electroóptico reflector miniaturizado del tipo indicado
anteriormente caracterizado porque tiene cuatro placas de
condensador no alineadas en la primera zona y cuatro placas de
condensador no alineadas en la segunda zona, y porque comprende
unos medios de control aptos para realizar un procedimiento de
acuerdo con la invención. Preferentemente tanto en la primera zona
como en la segunda zona las placas de condensador están distribuidas
en forma de cuadrado y los medios de control son aptos para aplicar
el primer voltaje y el segundo voltaje sobre unas placas de
condensador tales que sus proyecciones según el eje central son
adyacentes.
La invención tiene igualmente por objeto un
dispositivo electroóptico reflector miniaturizado del tipo indicado
anteriormente caracterizado porque comprende una pluralidad de
placas de condensador distribuidas con simetría de rotación según el
eje central en la primera zona y una pluralidad de placas de
condensador distribuidas con simetría de rotación según el eje
central en la segunda zona, y porque comprende unos medios de
control aptos para realizar un procedimiento de acuerdo con la
invención.
Otras ventajas y características de la invención
se aprecian a partir de la siguiente descripción, en la que, sin
ningún carácter limitativo, se relatan unos modos preferentes de
realización de la invención, haciendo mención de los dibujos que se
acompañan. Las figuras muestran:
Fig. 1, un esquema simplificado de un
dispositivo electroóptico de acuerdo con el estado de la
técnica.
Fig. 2, un esquema simplificado de un
dispositivo electroóptico reflector de acuerdo con la
invención.
Fig. 3, una vista en perspectiva, explosionada
de un dispositivo electroóptico reflector de acuerdo con la
invención.
Fig. 4, una vista en perspectiva del dispositivo
electroóptico reflector de la Fig. 3,
Figs. 5 y 6, una vista frontal del dispositivo
electroóptico reflector de la Fig. 3 mostrando dos orientaciones
diferentes,
Figs. 7A y 7B, un esquema de un procedimiento de
actuación empleando cuatro placas de condensador.
Figs. 8A y 8B, un esquema de un procedimiento de
actuación empleando tres placas de condensador.
Figs. 9A y 9B, un esquema de un procedimiento de
actuación empleando seis placas de condensador.
Figs. 10A y 10B, un esquema de un procedimiento
de actuación empleando seis placas de condensador y una tensión
intermedia.
Figs. 11A y 11B, un esquema de un procedimiento
de actuación empleando ocho placas de condensador.
Figs. 12A y 12B, un esquema de un procedimiento
de actuación empleando ocho placas de condensador y una tensión
intermedia.
Figs. 13A, 13B, 13C, 14A, 14B y 14C un esquema
de un procedimiento de actuación empleando 4 + 4 placas de
condensador no alineadas.
Figs. 15A, 15B y 15C, un esquema de un
procedimiento de actuación empleando 4 + 4 placas de condensador no
alineadas y una tensión intermedia.
Figs. 16A, 16B y 16C, un esquema de un
procedimiento alternativo de actuación empleando 4 + 4 placas de
condensador no alineadas.
Fig. 17, un esquema de dos posibles
orientaciones empleando 4 + 4 placas de condensador no
alineadas.
Fig. 18, un esquema de múltiples posibles
orientaciones empleando una pluralidad de placas de condensador no
alineadas.
Figs. 19A y 19B, un esquema de un procedimiento
de actuación empleando la pluralidad de placas de la Fig.18.
Figs. 20 y 21, dos esquemas simplificados de
unos elementos conductores con proyecciones,
Figs. 22 y 23, dos esquemas simplificados
mostrando la equivalencia entre unas proyecciones dispuestas en el
elemento conductor o dispuestas en la primera y/o segunda zona,
Fig. 24, un esquema simplificado de otra forma
de realización de un dispositivo electroóptico reflector de acuerdo
con la invención.
En la figura 1 se muestra un esquema
simplificado de un dispositivo electroóptico, tal como se describe
en la solicitud PCT WO 2004/046807. El dispositivo electroóptico
tiene una primera zona 9 enfrentada a una segunda zona 11 (a la
izquierda y a la derecha del dibujo, respectivamente) con una
primera placa de condensador 1 dispuesta en la primera zona 9, una
segunda placa de condensador 2 y una tercera placa de condensador 3
en la segunda zona 11, enfrentadas a dicha primera placa de
condensador 1 y donde cada una de dichas segunda y tercera placas de
condensador 2, 3 son menores o iguales que la primera placa de
condensador 1 pero ambas conjuntamente son mayores que la primera
placa de condensador 1. Entre ambas zonas 9, 11 hay un espacio
intermedio 5 a lo largo del cual se puede mover un elemento
conductor 7. Un circuito de control CC gobierna las placas de
condensador. Tal como ya se especifica en la solicitud PCT WO
2004/046807, en pág. 4 lín. 6 - 21 y pág. 16 lín. 7 - 11, el
elemento conductor 7 es mecánicamente independiente de la primera
zona 9 y de la segunda zona 11, es decir, es mecánicamente
independiente de toda la estructura fija del dispositivo. Dicho de
otro modo, el elemento conductor 7 es una pieza suelta apta para
moverse libremente por el espacio intermedio 5. El elemento
conductor 7 no tiene ninguna unión física con su
entorno.
entorno.
En la primera zona 9 y en la segunda zona 11 hay
unos topes 13 que limitan el movimiento del elemento conductor 7 y
que definen un primer extremo y un segundo extremo.
En las figuras 2 a 4 se muestra un dispositivo
electroóptico reflector de acuerdo con la invención. En general se
puede observar la existencia de ocho placas de condensador 15 (se
ha empleado la referencia 15 para designar cualquier placa de
condensador, con independencia de que sea la primera, la segunda, la
tercera o cualquier otra placa de condensador adicional) y de unos
topes 13 (concretamente la figura 2 se ha dibujado sin topes). Como
ya se describe en la solicitud PCT WO 2004/046807, en pág. 6 lín.
28 - pág. 7 lín. 5 y pág. 18 lín. 4 - 18, la cantidad mínima
necesaria de placas de condensador para poder realizar un movimiento
en dos direcciones es de tres. Sin embargo, usualmente, los
dispositivos tienen más placas de condensador así como una
pluralidad de topes.
Usualmente es ventajoso que el elemento
conductor 7 no entre en contacto con las placas de condensador 15,
si bien en algunos casos puede ser admisible que entre en contacto
con alguna de ellas, tal como se describe en la solicitud PCT WO
2004/046807, en pág. 23 lín. 12 - 28.
El elemento conductor 7 tiene un cuerpo
principal 17 que es substancialmente una lámina plana y que soporta
una estructura en forma de mesa con una pata (o estructura de
soporte) central. La tabla de la mesa tiene una superficie
reflectora 19 sobre la que incidirá el haz de luz, y la pata
central se extiende a través de un orificio dispuesto entre las
placas de condensador 15 de la parte superior del dispositivo.
Usualmente el elemento conductor 7 tendrá un cuerpo principal 17
que, como se ha dicho anteriormente, será substancialmente un
elemento laminar y la superficie reflectora 19 será paralela al
cuerpo principal 17 del elemento conductor 7, ya que estas
geometrías son las que se obtienen de una forma más sencilla
mediante los procedimientos habituales de fabricación de MEMS.
En las figuras 5 y 6 se muestra como la
superficie reflectora 19 puede orientarse en dos posiciones
diferentes.
En las figuras 7A y 7B se muestra
esquemáticamente el concepto básico del procedimiento de actuación
de acuerdo con la invención. Tanto en estas figuras como en las
restantes figuras que describen el procedimiento se muestra
únicamente las placas de condensador 15 y el cuerpo principal 17
del elemento conductor 7. En las figuras se ha mostrado,
adicionalmente, el voltaje aplicado a las placas de condensador 15.
Cuando la placa de condensador muestra unas líneas horizontales en
trazos discontinuos representa que está conectada a un voltaje
"bajo" (preferentemente 0 V). Cuando la placa de condensador
15 muestra unas líneas horizontales continuas y unas líneas
verticales (formando un enladrillado) representa que está conectada
a un voltaje "alto" (V_{0}, que preferentemente será la
tensión de alimentación del circuito, pero en general cualquier
voltaje superior al voltaje "bajo"). Cuando la placa de
condensador 15 muestra unas líneas horizontales continuas representa
que está conectada a un voltaje intermedio entre los dos anteriores
(preferentemente V_{0}/2). En cualquier caso debe tenerse en
cuenta que es posible invertir la polaridad de las placas de
condensador 15 obteniéndose el mismo resultado. Adicionalmente, en
las figuras 7A, 7B, 8A, 8B, 9A, 9B, 10A, 10B, 11A, 11B, 12A y 12B,
se muestra el elemento conductor 7 y las placas de condensador 15 de
perfil. Se puede suponer que las placas de condensador 15 son, en
estos casos, substancialmente cuadradas. Concretamente en las
figuras 7A y 7B se observa como la placa de condensador 15
conectada a un voltaje alto es asimétrica respecto del eje central
(que sería una recta vertical que pasaría por el medio de la
figura). Por lo tanto se crea un par de fuerzas que hace girar al
elemento conductor 7 tal como se ha representado esquemáticamente
en las figuras. Como se verá a continuación, en los demás ejemplos
tiene lugar el mismo fenómeno.
En las figuras 8A y 8B se ve un caso
simplificado del caso anterior. Como puede verse en las figuras 7A
y 7B las dos placas de condensador 15 superiores están siempre al
mismo voltaje. Por lo tanto se pueden unir físicamente de manera que
formen una única placa de condensador 15. Es el caso mostrado en
las figuras 8A y 8B, en el que el dispositivo tiene el mínimo
imprescindible de placas de condensador 15: tres placas.
En general, preferentemente se conecta por lo
menos una placa de condensador 15 adicional a un voltaje intermedio
entre el primer voltaje y el segundo voltaje. Ello permite hacer
que el dispositivo sea más estable frente a influencias externas. De
hecho, en el caso de que el dispositivo tenga cuatro o más placas
de condensador 15 en cada zona, puede ser interesante conectar
alguna de las placas 15 a un segundo voltaje intermedio, diferente
del anterior. De esta manera se puede ajustar con más precisión el
momento de fuerzas aplicado al elemento conductor 7.
En una forma ventajosa de realización, el
dispositivo tiene tres placas de condensador 15 alineadas en la
primera zona 9 y tres placas de condensador 15 alineadas en la
segunda zona 11, y se conecta la placa de condensador 15 central de
cada una de las zonas a un mismo voltaje. Esta alternativa está
reflejada en las figuras 9A y 9B. En este caso es particularmente
ventajoso que se conecte una de las placas de condensador 15
laterales de cada una de las zonas a un voltaje intermedio, tal
como se muestra en las figuras 10A y 10B.
En otra forma preferente de realización, el
dispositivo tiene cuatro placas de condensador 15 alineadas en la
primera zona 9 y cuatro placas de condensador 15 alineadas en la
segunda zona 11, y se conectan tres placas de condensador 15 de la
primera zona 9 y tres placas de condensador 15 de la segunda zona 11
a un mismo voltaje, tal como se muestra en las figuras 11A y 11B.
En este caso vuelve a ser ventajoso que se conecten dos placas de
condensador 15 de la primera zona 9 y dos placas de condensador 15
de la segunda zona 11 a un voltaje intermedio a fin de hacer el
conjunto más estable frente a influencias externas, tal como se
muestra en las figuras 12A y 12B.
Otra forma ventajosa de realización de la
invención se obtiene cuando el dispositivo tiene cuatro placas de
condensador 15 no alineadas en la primera zona 9 y cuatro placas de
condensador 15 no alineadas en la segunda zona 11, y se conectan
tres placas de condensador 15 de la primera zona 9 y tres placas de
condensador 15 de la segunda zona 11 a un mismo voltaje, tal como
se muestra en las figuras 13A, 13B, 13C, 14A, 14B y 14C. En la
figura 13A se muestra una vista en planta de las placas de
condensador 15 de la zona inferior (por ejemplo, la primera zona 9),
en la figura 13B se muestra una vista en planta de las placas de
condensador 15 de la zona superior (que, siguiendo el mismo
ejemplo, sería la segunda zona 11) y en la figura 13C se muestra
una vista de perfil, con una ligera perspectiva para que se
aprecien las cuatro placas de condensador 15 de cada zona. De hecho,
las figuras 13A y 13B son equivalentes a las citadas proyecciones
según el eje central sobre un plano perpendicular al eje central.
En este caso se emplea el hecho de que el dispositivo, realmente,
es tridimensional y que las placas de condensador 15 no tienen
porqué estar alineadas, sino que pueden estar distribuidas a lo
largo de una superficie bidimensional (usualmente a lo largo de un
plano). También en este caso es ventajoso que se conecten dos
placas de condensador 15 de la primera zona 9 y dos placas de
condensador 15 de la segunda zona 11 a un voltaje intermedio, tal
como se muestra en las figuras 15A, 15B y 15C. Existen otras
alternativas de actuación, como puede ser la mostrada en las
figuras 16A, 16B y 16C, en las que las placas de condensador 15
conectadas a la tensión alta y a la tensión baja no están
adyacentes, pero es ventajoso que, cuando las placas de condensador
15 están distribuidas en forma de cuadrado tanto en la primera zona
9 como en la segunda zona 11, las placas de condensador 15
conectadas a la tensión alta y a la tensión baja estén adyacentes
(o, dicho de una forma más correcta, que sus respectivas
proyecciones según el eje central sobre un plano perpendicular al
eje central sean adyacentes).
La figura 17 se muestra como, mediante un
dispositivo que tiene cuatro placas de condensador 15 no alineadas
y dispuestas en forma de cuadrado en cada una de las zonas, se
pueden conseguir dos pares de orientaciones del elemento conductor
7 según se haga girar al elemento conductor 7 según uno de los dos
ejes indicados en la figura. Para ello se emplearía uno de los
procedimientos mostrados en las figuras 13A, 13B, 13C, 14A, 14B,
14C y/o 15A, 15B, 15C, tal como están representadas o bien giradas
90º. Sin embargo también se podría emplear el procedimiento
mostrado en las figuras 16A, 16B, 16C, en cuyo caso tendríamos unos
ejes de giro inclinados 45º respecto de los mostrados en la figura
17.
En el caso de disponer de un dispositivo que
tiene una pluralidad de placas de condensador 15 distribuidas con
simetría de rotación según el eje central en ambas zonas, entonces
el procedimiento de actuación se caracteriza preferentemente porque
se conecta por lo menos una placa de condensador 15 adicional a un
voltaje intermedio entre el primer voltaje y el segundo voltaje.
Preferentemente todas y cada una de las placas 15 está sometida a
un voltaje determinado de manera que ninguna de ellas queda en un
estado de alta impedancia.
El hecho de conseguir que ninguna de las placas
de condensador 15 quede en un estado de alta impedancia es una
solución ventajosa que es aplicable para cualquiera de las
diferentes alternativas de la presente invención. Efectivamente, en
general es posible controlar el desplazamiento del elemento
conductor 7 de diversas maneras, combinando placas de condensador
15 conectadas a un voltaje bajo, placas de condensador 15
conectadas a un voltaje alto y, en determinados casos, placas de
condensador 15 dejadas en un estado de alta impedancia. Sin embargo,
se ha observado que, en la práctica, conseguir un estado de alta
impedancia realmente eficaz no es sencillo. De hecho se ha
observado que para poder garantizar que una placa de condensador 15
esté en un estado de alta impedancia realmente eficaz es necesario
el empleo de por lo menos un relé adicional. Este relé adicional
consume espacio por lo que es, a priori, indeseable. Por lo
tanto es ventajoso emplear aquellas formas de control del elemento
conductor 7 que no requieran de la presencia de una placa de
condensador 15 en estado de alta impedancia. Sin embargo, en
general, los dispositivos de acuerdo con la invención tienen una
pluralidad de placas de condensador 15. En determinados casos no
todas ellas participan en el control del elemento conductor 7. La
presente invención especifica que solamente aquéllas placas de
condensador 15 que participan en el control del elemento conductor
7 en un momento dado deben estar conectadas a un voltaje determinado
(es decir no deben estar en un estado de alta impedancia), sin
embargo no hay ninguna exigencia por lo que respecta a aquéllas
placas de condensador 15 que, en un momento dado, no participan en
el control del elemento conductor 7. Por otro lado, se debe tener
en cuenta que el problema derivado del hecho de tener una placa de
condensador 15 en estado de alta impedancia es que, con períodos de
tiempo largos, puede alcanzar algún voltaje determinado por
condiciones del entorno a priori desconocidas. Para evitar
este inconveniente puede resultar recomendable garantizar que
ninguna de las placas de condensador 15 presentes en el dispositivo
estén en ningún momento en un estado de alta impedancia.
Otra forma de conseguir orientar en dos
posiciones diferentes en el espacio la superficie reflectora es
mediante un dispositivo electroóptico reflector miniaturizado según
tal como el descrito anteriormente en el que
- la segunda placa de condensador 2 es menor o
igual que la primera placa de condensador 1,
- la tercera placa de condensador 3 es menor o
igual que la primera placa de condensador 1, y donde dichas segunda
y tercera placas de condensador 2, 3 son, juntas, mayores que la
primera placa de condensador 1,
- el elemento conductor presenta una primera
superficie encarada hacia la primera zona 9 y una segunda
superficie encarada hacia la segunda zona 11, el elemento conductor
7 siendo apto para efectuar un desplazamiento a través del espacio
intermedio 5, desde un primer extremo, donde el elemento conductor
7 está en contacto con la primera zona 9, hasta un segundo extremo,
donde el elemento conductor 7 está en contacto con la segunda zona
11, y viceversa, en función de unos voltajes presentes en las
primera, segunda y tercera placas de condensador 1,
2, 3,
2, 3,
y donde
a - cuando el elemento conductor 7 está en el
primer extremo tiene por lo menos tres primeros puntos de apoyo no
alineados en la primera superficie que están en contacto con tres
primeros puntos de apoyo correspondientes en la primera zona 9, y
cuando el elemento conductor 7 está en el segundo extremo tiene por
lo menos tres segundos puntos de apoyo no alineados en la segunda
superficie que están en contacto con tres segundos puntos de apoyo
correspondientes en la segunda zona 11, y
b - cuando el elemento conductor 7 está en el
primer extremo, la distancia entre por lo menos uno de los segundos
puntos de apoyo de la segunda superficie a su correspondiente punto
de apoyo de la segunda zona 11 es diferente a la distancia de los
restantes segundos puntos de apoyo de la segunda superficie a sus
correspondientes puntos de apoyo de la segunda zona 11, de manera
que la superficie reflectora 19 cambia de orientación en el espacio
cuando el elemento conductor 7 efectúa dicho desplazamiento entre
el primer extremo y el segundo extremo.
Efectivamente el dispositivo de acuerdo con la
invención permite posicionar la superficie reflectora con dos
orientaciones en el espacio que forman un cierto ángulo sin
necesidad de deformar elásticamente ningún material. Ello permite
reducir los voltajes de activación y los consumos de potencia,
permite reducir el tamaño de cada uno de los dos dispositivos (con
la consiguiente mejora de resolución) y se evitan los problemas
derivados de las tensiones mecánicas residuales en el material en
voladizo.
Usualmente los dispositivos MEMS tienen una
estructura laminar acusada, inherente a su procedimiento de
fabricación. En este sentido el elemento conductor suele ser una
lámina plana y las placas de condensador y demás elementos del
entorno suelen ser también unas superficies planas y paralelas al
elemento conductor. Sin embargo no es necesario que esto sea así.
Por ello en los apartados a y b anteriores se han detallado, de una
forma general, lo que son los requisitos básicos necesarios para la
presente invención:
- El elemento conductor, tenga la forma que
tenga, se desplazará siempre desde un primer extremo hasta un
segundo extremo y viceversa. Para definir con mayor exactitud las
dos posiciones denominadas como primer extremo y segundo extremo se
han tenido en cuenta las siguientes consideraciones. Cuando el
elemento conductor esté en el primer extremo, estará en contacto
con unos determinados puntos de la primera zona que limitan el
espacio intermedio y, por lo tanto, que limitan el desplazamiento
que puede realizar el elemento conductor. Como mínimo, el conductor
estará en contacto con la primera zona en tres puntos no alineados
(que definen un plano) si bien en la práctica podrá estar en
contacto en más puntos y, además, estos puntos no serán puntos en
el sentido geométrico sino que serán superficies más o menos
grandes. Los puntos de contacto serán los puntos de unión entre la
primera superficie del elemento conductor y la primera zona. Por lo
tanto, estos puntos de contacto definen unos primeros puntos de
apoyo en la primera superficie del elemento conductor y unos
primeros puntos de apoyo en la primera zona. Cuando el elemento
conductor se desplace hacia el segundo extremo, los primeros puntos
de apoyo de la primera superficie y los primeros puntos de apoyo de
la primera zona se separarán entre ellos definiendo una distancia
entre cada pareja de puntos de apoyo. De una forma análoga se
pueden definir unos segundos puntos de apoyo en la segunda
superficie del elemento conductor y unos segundos puntos de apoyo
en la segunda zona.
- Si, al encontrarse el elemento conductor en el
primer extremo (es decir con los primeros puntos de apoyo de la
primera superficie y los de la primera zona en contacto entre si),
las distancias entre cada pareja de segundos puntos de apoyo son
iguales entre sí, ello quiere decir que cuando el elemento conductor
se desplace del primer extremo al segundo extremo realizará una
traslación pura y, por tanto, ello tiene como consecuencia que
cuando el elemento conductor esté en el segundo extremo las
distancias entre cada pareja de primeros puntos de apoyo son también
iguales entre sí. En este caso el desplazamiento del elemento
conductor será siempre una traslación pura y no se producirá un
cambio de orientación en la superficie reflectora. Por ello, la
invención se caracteriza porque al encontrarse el elemento
conductor en el primer extremo, la distancia entre por lo menos una
pareja de segundos puntos de apoyo es diferente a las demás. Ello
trae como consecuencia que para que las parejas de segundos puntos
de apoyo estén en contacto entre sí es necesario que el elemento
conductor realice un movimiento de rotación (que puede ser rotación
pura o una combinación de rotación más traslación). Esta rotación
es la que permite cambiar la orientación de la superficie
reflectora.
La presente invención tiene también por objeto
la combinación de esta posible solución (y las variantes del mismo
que se describen a continuación) con las alternativas anteriormente
indicadas.
Preferentemente el elemento conductor comprende
una primera proyección dispuesta en una de las primera y segunda
superficies, donde la primera proyección comprende uno de los
primeros o segundos puntos de apoyo de las primera o segunda
superficies. Efectivamente, como ya se ha dicho anteriormente
usualmente estos dispositivos tienen una estructura
substancialmente laminar, es decir, obtenida mediante la deposición
de capas superpuestas y substancialmente paralelas entre sí. En
este caso, añadiendo una primera proyección en una de las
superficies del elemento conductor se obtiene ya el efecto deseado.
En este caso se puede conseguir que, por ejemplo, la superficie
reflectora sea paralela a la estructura general de capas del
dispositivo cuando esté en uno de los dos extremos y que forme un
determinado ángulo con la estructura general de capas del
dispositivo cuando esté en el extremo opuesto.
Alternativamente, el elemento conductor
comprende una primera proyección dispuesta en la primera
superficie, donde la primera proyección comprende uno de los
primeros puntos de apoyo de la primera superficie, y una segunda
proyección dispuesta en la segunda superficie, donde la segunda
proyección comprende uno de los segundos puntos de apoyo de la
segunda superficie. En este caso se puede conseguir que, por
ejemplo, la superficie reflectora forme un determinado ángulo con
la estructura general de capas del dispositivo cuando está en uno de
los dos extremos y que forme otro ángulo determinado con la
estructura general de capas y dispositivo cuando esté en el extremo
opuesto.
Asimismo es posible que por lo menos una de las
primera zona y segunda zona comprendan una proyección que, a su
vez, comprenda uno de los primeros o segundos puntos de apoyo de
las primera o segunda superficies. Efectivamente se puede conseguir
que una de las distancias anteriormente indicadas sea diferente de
las demás a base de añadir proyecciones en el elemento conductor
pero también se puede conseguir a base de añadir proyecciones en la
primera zona y/o en la segunda zona. Ello tiene la ventaja de que
el elemento conductor puede tener una distribución de masas
simétrica.
Asimismo debe tenerse en cuenta que las
proyecciones deben interpretarse de una forma amplia. Así, una zona
del dispositivo que tenga una geometría asimétrica debe entenderse
como que tiene unas proyecciones en el sentido de la invención, si
esta geometría asimétrica provoca que alguna de las distancias
anteriormente indicadas sea diferente de las demás
En las figuras 20 a 24 se muestran unos ejemplos
de estas alternativas.
Una forma de conseguir estas diferentes
orientaciones es, tal como ya se ha dicho anteriormente, a base de
añadir unas proyecciones 21 en el elemento conductor 7. Ello se ha
mostrado esquemáticamente en las figuras 20 y 21, en las que se
muestra únicamente el cuerpo principal 17 de un elemento conductor
7, por ejemplo de un elemento conductor 7 como el de las figuras 2
a 4. En el caso que el elemento conductor 7 tenga únicamente una
proyección 21, por ejemplo en su superficie superior, entonces la
superficie reflectora 19 sería paralela a la base del dispositivo
cuando el elemento conductor 7 está en su posición inferior (visto
de acuerdo a las figuras) y la superficie reflectora 19 formaría un
ángulo no nulo con la base del dispositivo cuando el elemento
conductor 7 está en su posición superior (suponiendo que los topes
13 dispuestos en la zona superior fuesen coplanarios según un plano
horizontal). Si el elemento conductor 7 tiene dos proyecciones 21,
una en cada una de sus superficies superior e inferior, entonces la
superficie reflectora 19 formaría un ángulo no nulo con la base del
dispositivo tanto si está en el extremo superior como si está en el
extremo inferior.
En la figura 22 se observa que se puede
conseguir un resultado similar al de la figura 21 con una
disposición diferente de las proyecciones 21, mientras que en la
figura 23 se observa que se puede conseguir un resultado similar al
de la figura 22 a base de incluir las proyecciones 21 en la primera
zona 9 y en la segunda zona 11 del dispositivo en vez de incluirlas
en el elemento conductor 7 móvil. Lógicamente es posible tener una
combinación de ambas alternativas.
Finalmente en la figura 24 se muestra otra
alternativa, en la que se consigue que la superficie reflectora 19
adopte dos orientaciones diferentes gracias a que la zona superior
del dispositivo es asimétrica. En la figura 24 se ha mostrado
nuevamente el elemento conductor 7 sin la estructura de mesa con la
superficie reflectora 19 para simplificar el dibujo.
En general, debe tenerse en cuenta que la
geometría específica del elemento conductor 7 mostrado en las
figuras 2 a 4, con la estructura de mesa que incluye la superficie
reflectora 19, es un ejemplo concreto de forma de realización. En
general, el elemento conductor 7 y la superficie reflectora 19
pueden tener otras geometrías, en particular la superficie
reflectora 19 puede estar incluida directamente en el cuerpo
principal 17 del elemento conductor 7.
Asimismo en general, debe tenerse en cuenta que
estos dispositivos tienen geometrías tridimensionales y que, por lo
tanto, la disposición de las proyecciones 21 (y, en general, de los
puntos de contacto) puede ser una disposición tridimensional más o
menos compleja. Los ejemplos mostrados en las figuras son
simplemente unos ejemplos con geometrías simplificadas.
Claims (21)
1. Procedimiento de actuación de un dispositivo
electroóptico reflector miniaturizado, dicho dispositivo
comprendiendo:
- una primera zona (9) enfrentada a una segunda
zona (11),
- una primera placa de condensador (1) dispuesta
en dicha primera zona (9),
- una segunda placa de condensador (2) y una
tercera placa de condensador (3) dispuestas en dicha segunda zona
(11) y enfrentadas a dicha primera placa de condensador (1),
- un espacio intermedio (5) dispuesto entre
dicha primera zona (9) y dicha segunda zona (11),
- un elemento conductor (7) dispuesto en dicho
espacio intermedio (5), dicho elemento conductor (7) siendo
mecánicamente independiente de dichas primera zona (9) y segunda
zona (11) y siendo apto para efectuar un desplazamiento a través de
dicho espacio intermedio (5), desde un primer extremo, donde dicho
elemento conductor está próximo a dicha primera zona (9), hasta un
segundo extremo, donde dicho elemento conductor está próximo a
dicha segunda zona (11), y viceversa, en función de unos voltajes
presentes en dichas primera, segunda y tercera placas de
condensador (1, 2, 3),
- una superficie reflectora, apta para reflejar
un haz de luz incidente, solidaria a dicho elemento conductor
- un eje central que se extiende desde dicha
primera zona (9) hasta dicha segunda zona (11) y pasa por el centro
de masas de dicho elemento conductor, donde dichas primera, segunda
y tercera placa de condensador (1, 2, 3) son aptas para ser
proyectadas según dicho eje central sobre un plano perpendicular a
dicho eje central
caracterizado porque
- comprende una etapa de conexión de por lo
menos una de dichas placas de condensador (15) a un primer voltaje
y de por lo menos otra de dichas placas de condensador (15) a un
segundo voltaje, donde dicho segundo voltaje es mayor que dicho
primer voltaje, donde todas y cada una de dichas placas de
condensador (15) están sometidas a un voltaje determinado de manera
que ninguna de ellas queda en un estado de alta impedancia,
de manera que dicha proyección según dicho eje
central de las placas de condensador (15) sometidas a dicho primer
voltaje tiene asimetría central respecto de dicha proyección según
dicho eje central de las placas de condensador (15) sometidas a
dicho segundo voltaje.
2. Procedimiento según la reivindicación 1,
caracterizado porque se conecta por lo menos una placa de
condensador (15) adicional a un voltaje intermedio entre dicho
primer voltaje y dicho segundo voltaje.
3. Procedimiento según la reivindicación 1,
donde dicho dispositivo tiene tres placas de condensador (15)
alineadas en dicha primera zona (9) y tres placas de condensador
(15) alineadas en dicha segunda zona (11), caracterizado
porque se conecta la placa de condensador (15) central de cada una
de dichas zonas a un mismo voltaje.
4. Procedimiento según la reivindicación 3,
caracterizado porque se conecta una de las placas de
condensador (15) laterales de cada una de dichas zonas a dicho
voltaje intermedio.
5. Procedimiento según la reivindicación 1,
donde dicho dispositivo tiene cuatro placas de condensador (15)
alineadas en dicha primera zona (9) y cuatro placas de condensador
(15) alineadas en dicha segunda zona (11), caracterizado
porque se conectan tres placas de condensador (15) de dicha primera
zona (9) y tres placas de condensador (15) de dicha segunda zona
(11) a un mismo voltaje.
6. Procedimiento según la reivindicación 1,
donde dicho dispositivo tiene cuatro placas de condensador (15)
alineadas en dicha primera zona (9) y cuatro placas de condensador
(15) alineadas en dicha segunda zona (11), caracterizado
porque se conectan dos placas de condensador (15) de dicha primera
zona (9) y dos placas de condensador (15) de dicha segunda zona
(11) a dicho voltaje intermedio.
7. Procedimiento según la reivindicación 1,
donde dicho dispositivo tiene cuatro placas de condensador (15) no
alineadas en dicha primera zona (9) y cuatro placas de condensador
(15) no alineadas en dicha segunda zona (11), caracterizado
porque se conectan tres placas de condensador (15) de dicha primera
zona (9) y tres placas de condensador (15) de dicha segunda zona
(11) a un mismo voltaje.
8. Procedimiento según la reivindicación 1,
donde dicho dispositivo tiene cuatro placas de condensador (15) no
alineadas en dicha primera zona (9) y cuatro placas de condensador
(15) no alineadas en dicha segunda zona (11), caracterizado
porque se conectan dos placas de condensador (15) de dicha primera
zona (9) y dos placas de condensador (15) de dicha segunda zona
(11) a dicho voltaje intermedio.
9. Procedimiento según una de las
reivindicaciones 7 u 8, donde tanto en dicha primera zona como en
dicha segunda zona (11) dichas placas de condensador (15) están
distribuidas en forma de cuadrado tanto en dicha primera zona como
en dicha segunda zona (11), caracterizado porque dicho
primer voltaje y dicho segundo voltaje son aplicados sobre unas
placas de condensador (15) tales que sus proyecciones según dicho
eje central son adyacentes.
10. Procedimiento de actuación de un dispositivo
electroóptico reflector miniaturizado, dicho dispositivo
comprendiendo:
- una primera zona (9) enfrentada a una segunda
zona (11),
- una primera placa de condensador (1) dispuesta
en dicha primera zona (9),
- una segunda placa de condensador (2) y una
tercera placa de condensador (3) dispuestas en dicha segunda zona
(11) y enfrentadas a dicha primera placa de condensador (1),
- un espacio intermedio (55) dispuesto entre
dicha primera zona (9) y dicha segunda zona (11),
- un elemento conductor (7) dispuesto en dicho
espacio intermedio (5), dicho elemento conductor (7) siendo
mecánicamente independiente de dichas primera zona (9) y segunda
zona (11) y siendo apto para efectuar un desplazamiento a través de
dicho espacio intermedio (5), desde un primer extremo, donde dicho
elemento conductor (7) está próximo a dicha primera zona (9), hasta
un segundo extremo, donde dicho elemento conductor (7) está próximo
a dicha segunda zona (11), y viceversa, en función de unos voltajes
presentes en dichas primera, segunda y tercera placas de
condensador (1, 2, 3),
- una superficie reflectora, apta para reflejar
un haz de luz incidente, solidaria a dicho elemento conductor
(7)
- un eje central que se extiende desde dicha
primera zona (9) hasta dicha segunda zona (11) y pasa por el centro
de masas de dicho elemento conductor (7), donde dichas primera,
segunda y tercera placa de condensador (1, 2, 3) son aptas para ser
proyectadas según dicho eje central sobre un plano perpendicular a
dicho eje central,
donde dicho dispositivo tiene una pluralidad de
placas de condensador (15) distribuidas con simetría de rotación
según dicho eje central en dicha primera zona (9) y una pluralidad
de placas de condensador (15) distribuidas con simetría de rotación
según dicho eje central en dicha segunda zona (11),
caracterizado porque comprende una etapa
de conexión de por lo menos una de dichas placas de condensador
(15) a un primer voltaje y de por lo menos otra de dichas placas de
condensador (15) a un segundo voltaje, donde dicho segundo voltaje
es mayor que dicho primer voltaje, de manera que dicha proyección
según dicho eje central de las placas de condensador (15) sometidas
a dicho primer voltaje tiene asimetría central respecto de dicha
proyección según dicho eje central de las placas de condensador
(15) sometidas a dicho segundo voltaje.
11. Procedimiento según la reivindicación 10,
caracterizado porque se conecta por lo menos una placa de
condensador (15) adicional a un voltaje intermedio entre dicho
primer voltaje y dicho segundo voltaje.
12. Procedimiento según una de las
reivindicaciones 10 u 11, caracterizado porque todas y cada
una de dichas placas está sometida a un voltaje determinado de
manera que ninguna de ellas queda en un estado de alta
impedancia.
13. Procedimiento de actuación según cualquiera
de las reivindicaciones 1 a 12, caracterizado porque cuando
dicho elemento conductor (7) está próximo a una de dichas primera
zona (9) o segunda zona (11), dicho elemento conductor está en
contacto con un circuito externo y porque se conecta dicho elemento
conductor (7) a una tensión a través de dicho circuito externo.
14.- Dispositivo electroóptico reflector
miniaturizado que comprende
- una primera zona (9) enfrentada a una segunda
zona (11),
- una primera placa de condensador (1) dispuesta
en dicha primera zona (9),
- una segunda placa de condensador (2) y una
tercera placa de condensador (3) dispuestas en dicha segunda zona
(11) y enfrentadas a dicha primera placa de condensador (1),
- un espacio intermedio (5) dispuesto entre
dicha primera zona (9) y dicha segunda zona (11),
- un elemento conductor (7) dispuesto en dicho
espacio intermedio (5), dicho elemento conductor (7) siendo
mecánicamente independiente de dichas primera zona (9) y segunda
zona (11) y siendo apto para efectuar un desplazamiento a través de
dicho espacio intermedio (5), desde un primer extremo, donde dicho
elemento conductor (7) está próximo a dicha primera zona (9), hasta
un segundo extremo, donde dicho elemento conductor (7) está próximo
a dicha segunda zona (11), y viceversa, en función de unos voltajes
presentes en dichas primera, segunda y tercera placas de
condensador (1, 2, 3),
- una superficie reflectora, apta para reflejar
un haz de luz incidente, solidaria a dicho elemento conductor
(7)
- un eje central que se extiende desde dicha
primera zona (9) hasta dicha segunda zona (11) y pasa por el centro
de masas de dicho elemento conductor (7), donde dichas primera,
segunda y tercera placa de condensador (1, 2, 3) son aptas para ser
proyectadas según dicho eje central sobre un plano perpendicular a
dicho eje central
caracterizado porque
comprende unos medios de control aptos para
realizar un procedimiento según cualquiera de las reivindicaciones
1 a 6 ó 13.
15. Dispositivo electroóptico reflector
miniaturizado que comprende
- una primera zona (9) enfrentada a una segunda
zona (11),
- una primera placa de condensador (1) dispuesta
en dicha primera zona (9),
- una segunda placa de condensador (2) y una
tercera placa de condensador (3) dispuestas en dicha segunda zona
(11) y enfrentadas a dicha primera placa de condensador (1),
- un espacio intermedio (5) dispuesto entre
dicha primera zona (9) y dicha segunda zona (11),
- un elemento conductor (7) dispuesto en dicho
espacio intermedio (5), dicho elemento conductor (7) siendo
mecánicamente independiente de dichas primera zona (9) y segunda
zona (11) y siendo apto para efectuar un desplazamiento a través de
dicho espacio intermedio (5), desde un primer extremo, donde dicho
elemento conductor (7) está próximo a dicha primera zona (9), hasta
un segundo extremo, donde dicho elemento conductor (7) está próximo
a dicha segunda zona (11), y viceversa, en función de unos voltajes
presentes en dichas primera, segunda y tercera placas de
condensador (1, 2, 3),
- una superficie reflectora, apta para reflejar
un haz de luz incidente, solidaria a dicho elemento conductor
(7)
- un eje central que se extiende desde dicha
primera zona (9) hasta dicha segunda zona (11) y pasa por el centro
de masas de dicho elemento conductor (7), donde dichas primera,
segunda y tercera placa de condensador (1, 2, 3) son aptas para ser
proyectadas según dicho eje central sobre un plano perpendicular a
dicho eje central
caracterizado porque tiene cuatro placas
de condensador (15) no alineadas en dicha primera zona (9) y cuatro
placas de condensador (15) no alineadas en dicha segunda zona (11),
y porque
comprende unos medios de control aptos para
realizar un procedimiento según una de las reivindicaciones 7, 8 ó
13.
16. Dispositivo según la reivindicación 14,
caracterizado porque tanto en dicha primera zona como en
dicha segunda zona (11) dichas placas de condensador (15) están
distribuidas en forma de cuadrado, y porque dichos medios de control
son aptos para aplicar dicho primer voltaje y dicho segundo voltaje
sobre unas placas de condensador (15) tales que sus proyecciones
según dicho eje central son adyacentes.
17. Dispositivo electroóptico reflector
miniaturizado que comprende
- una primera zona (9) enfrentada a una segunda
zona (11),
- una primera placa de condensador (1) dispuesta
en dicha primera zona (9),
- una segunda placa de condensador (2) y una
tercera placa de condensador (3) dispuestas en dicha segunda zona
(11) y enfrentadas a dicha primera placa de condensador (1),
- un espacio intermedio (5) dispuesto entre
dicha primera zona (9) y dicha segunda zona (11),
- un elemento conductor (7) dispuesto en dicho
espacio intermedio (5), dicho elemento conductor (7) siendo
mecánicamente independiente de dichas primera zona (9) y segunda
zona (11) y siendo apto para efectuar un desplazamiento a través de
dicho espacio intermedio (5), desde un primer extremo, donde dicho
elemento conductor (7) está próximo a dicha primera zona (9), hasta
un segundo extremo, donde dicho elemento conductor (7) está próximo
a dicha segunda zona (11), y viceversa, en función de unos voltajes
presentes en dichas primera, segunda y tercera placas de
condensador (1, 2, 3),
- una superficie reflectora, apta para reflejar
un haz de luz incidente, solidaria a dicho elemento conductor
(7)
\newpage
- un eje central que se extiende desde dicha
primera zona (9) hasta dicha segunda zona (11) y pasa por el centro
de masas de dicho elemento conductor (7), donde dichas primera,
segunda y tercera placa de condensador (1, 2, 3) son aptas para ser
proyectadas según dicho eje central sobre un plano perpendicular a
dicho eje central
caracterizado porque comprende una
pluralidad de placas de condensador (15) distribuidas con simetría
de rotación según dicho eje central en dicha primera zona (9) y una
pluralidad de placas de condensador (15) distribuidas con simetría
de rotación según dicho eje central en dicha segunda zona (11),
y porque comprende unos medios de control aptos
para realizar un procedimiento según cualquiera de las
reivindicaciones 10 a 13.
18. Dispositivo electroóptico reflector
miniaturizado según cualquiera de las reivindicaciones 14 a 17,
caracterizado porque
- dicha segunda placa de condensador (2) es
menor o igual que dicha primera placa de condensador (1),
- dicha tercera placa de condensador (3) es
menor o igual que dicha primera placa de condensador (1), y donde
dichas segunda y tercera placas de condensador (2, 3) son, juntas,
mayores que dicha primera placa de condensador (1),
- dicho elemento conductor (7) presenta una
primera superficie encarada hacia dicha primera zona (9) y una
segunda superficie encarada hacia dicha segunda zona (11), dicho
elemento conductor (7) siendo apto para efectuar un desplazamiento
a través de dicho espacio intermedio (5), desde un primer extremo,
donde dicho elemento conductor (7) está en contacto con dicha
primera zona (9), hasta un segundo extremo, donde dicho elemento
conductor (7) está en contacto con dicha segunda zona (11), y
viceversa, en función de unos voltajes presentes en dichas primera,
segunda y tercera placas de condensador (1, 2, 3), y porque
- cuando dicho elemento conductor (7) está en
dicho primer extremo tiene por lo menos tres primeros puntos de
apoyo no alineados en dicha primera superficie que están en
contacto con tres primeros puntos de apoyo correspondientes en la
primera zona (9), y cuando dicho elemento conductor (7) está en
dicho segundo extremo tiene por lo menos tres segundos puntos de
apoyo no alineados en la segunda superficie que están en contacto
con tres segundos puntos de apoyo correspondientes en la segunda
zona (11), y
- cuando dicho elemento conductor (7) está en
dicho primer extremo, la distancia entre por lo menos uno de dichos
segundos puntos de apoyo de dicha segunda superficie a su
correspondiente punto de apoyo de dicha segunda zona (11) es
diferente a la distancia de los restantes segundos puntos de apoyo
de dicha segunda superficie a sus correspondientes puntos de apoyo
de dicha segunda zona (11), de manera que dicha superficie
reflectora (19) cambia de orientación en el espacio cuando dicho
elemento conductor (7) efectúa dicho desplazamiento entre dicho
primer extremo y dicho segundo extremo.
19. Dispositivo según la reivindicación 18,
caracterizado porque dicho elemento conductor (7) comprende
una primera proyección (21) dispuesta en una de dichas primera y
segunda superficies, donde dicha primera proyección (21) comprende
uno de dichos primeros o segundos puntos de apoyo de dichas primera
o segunda superficies.
20. Dispositivo según la reivindicación 19,
caracterizado porque dicho elemento conductor (7) comprende
una primera proyección (21) dispuesta en dicha primera superficie,
donde dicha primera proyección (21) comprende uno de dichos primeros
puntos de apoyo de dicha primera superficie, y una segunda
proyección (21) dispuesta en dicha segunda superficie, donde dicha
segunda proyección (21) comprende uno de dichos segundos puntos de
apoyo de dicha segunda superficie.
21. Dispositivo según cualquiera de las
reivindicaciones 18 a 20, caracterizado porque por lo menos
una de dichas primera zona (9) y segunda zona (11) comprende una
proyección (21) que comprende uno de dichos primeros o segundos
puntos de apoyo de dichas primera o segunda superficie.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ES200600625A ES2288110B1 (es) | 2006-03-13 | 2006-03-13 | Procedimiento de actuacion de un dispositivo electrooptico reflector miniaturizado y dispositivo correspondiente. |
| PCT/ES2007/000121 WO2007104811A1 (es) | 2006-03-10 | 2007-03-08 | Dispositivo electroóptico reflector y procedimientos de actuación correspondientes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ES200600625A ES2288110B1 (es) | 2006-03-13 | 2006-03-13 | Procedimiento de actuacion de un dispositivo electrooptico reflector miniaturizado y dispositivo correspondiente. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ES2288110A1 ES2288110A1 (es) | 2007-12-16 |
| ES2288110B1 true ES2288110B1 (es) | 2008-10-16 |
Family
ID=38787108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| ES200600625A Withdrawn - After Issue ES2288110B1 (es) | 2006-03-10 | 2006-03-13 | Procedimiento de actuacion de un dispositivo electrooptico reflector miniaturizado y dispositivo correspondiente. |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| ES (1) | ES2288110B1 (es) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6943950B2 (en) * | 2000-08-07 | 2005-09-13 | Texas Instruments Incorporated | Two-dimensional blazed MEMS grating |
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| US6891657B2 (en) * | 2003-05-20 | 2005-05-10 | Texas Instruments Incorporated | Damped control of a micromechanical device |
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2006
- 2006-03-13 ES ES200600625A patent/ES2288110B1/es not_active Withdrawn - After Issue
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ES2288110A1 (es) | 2007-12-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EC2A | Search report published |
Date of ref document: 20071216 Kind code of ref document: A1 |
|
| FG2A | Definitive protection |
Ref document number: 2288110B1 Country of ref document: ES |
|
| FA2A | Application withdrawn |
Effective date: 20090427 |