ES2281294B1 - Dispositivo electrooptico reflector digital miniaturizado. - Google Patents
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Abstract
Dispositivo electroóptico reflector digital miniaturizado. Dispositivo MEMS electroóptico reflector digital que comprende un elemento conductor (7), donde el elemento conductor (7) es una pieza suelta, mecánicamente independiente de su entorno y es apto para efectuar un desplazamiento a través de un espacio intermedio (5) del dispositivo en función de unos voltajes presentes en unas placas de condensador (1, 2, 3), y una superficie reflectora (19), apta para reflejar un haz de luz incidente y solidaria al elemento conductor (7), donde el elemento conductor (7) se mueve en el espacio intermedio (5) hasta apoyarse en unos puntos de apoyo dispuestos de tal manera que obligan al elemento conductor (7) a cambiar de orientación.
Description
Dispositivo electroóptico reflector digital
miniaturizado.
La invención se refiere a un dispositivo
electroóptico miniaturizado, específicamente a un dispositivo
electroóptico reflector digital miniaturizado. Estos dispositivos
pertenecen a la familia de los dispositivos usualmente denominados
MEMS (micro electro-mechanical systems - sistemas
microelectromecánicos), en particular de los dispositivos
denominados Digital Micromirror Devices (dispositivos de microespejo
digitales, DMD®).
Son conocidos los dispositivos electroópticos
reflectores digitales miniaturizados como, por ejemplo, los
descritos en el documento "A MEMS-Based Projection
Display", de Peter F. Van KESSEL, et al, Proceedings of
the IEEE, Vol. 86, No. 8, Agosto 1998. Estos dispositivos
comprenden una superficie reflectora capaz de adoptar dos
posiciones en el espacio que forman un ángulo no nulo. De esta
manera, un rayo incidente sobre la superficie reflectora puede ser
desviado en una dirección u otra en función de la posición de la
superficie reflectora. La superficie reflectora está montada sobre
una capa de material que está en voladizo y que, al ser sometida a
unos campos electroestáticos, es capaz de doblarse en una u otra
dirección. Sin embargo estos dispositivos tienen una serie de
inconvenientes, como es la necesidad de una tensión de activación
elevada (usualmente superior a los 50 V). Otros inconvenientes son,
por ejemplo:
- unos tamaños relativamente grandes (por
ejemplo, de 16 x 16 micras),
- un consumo elevado de potencia,
- una resolución limitada (como consecuencia del
tamaño relativamente grande),
- problemas de tensiones mecánicas residuales en
el material que forma el voladizo, lo que puede provocar que la
orientación real adquirida por la superficie receptora no coincida
con la orientación deseada.
Por otro lado son conocidos los dispositivos
electroópticos digitales miniaturizados que comprenden:
- una primera zona enfrentada a una segunda
zona,
- una primera placa de condensador dispuesta en
la primera zona,
- una segunda placa de condensador dispuesta en
la segunda zona y enfrentada a la primera placa de condensador,
donde la segunda placa de condensador es menor o igual que la
primera placa de condensador,
- una tercera placa de condensador dispuesta en
la segunda zona, donde la tercera placa de condensador es menor o
igual que la primera placa de condensador, y donde las segunda y
tercera placas de condensador son, juntas, mayores que la primera
placa de condensador,
- un espacio intermedio dispuesto entre la
primera zona y la segunda zona,
- un elemento conductor dispuesto en el espacio
intermedio, este elemento conductor presentando una primera
superficie encarada hacia la primera zona y una segunda superficie
encarada hacia la segunda zona, donde el elemento conductor es
mecánicamente independiente de ambas zonas y siendo apto para
efectuar un desplazamiento a través del espacio intermedio, desde
un primer extremo, donde el elemento conductor está en contacto con
la primera zona, hasta un segundo extremo, donde el elemento
conductor está en contacto con la segunda zona, y viceversa, en
función de unos voltajes presentes en las primera, segunda y tercera
placas de condensador,
- una superficie reflectora, apta para reflejar
un haz de luz incidente, solidaria al elemento conductor.
Efectivamente, estos dispositivos están
descritos en la solicitud PCT WO 2004/046807, del mismo
solicitante, publicada el 3 de Junio de 2004. En particular en pág.
19 M. 7 - pág. 22 lín. 24, pág. 23 lín. 12 - 28, y pág. 24 lín. 21 -
31 se describen diversas geometrías de este tipo de dispositivos y
en pág. 4 lín. 6 - pág. 5 lín. 13, pág. 5 lín. 29 - pág. 6 lín. 8,
pág. 6 lín. 28 - pág. 8 lín. 7, y pág. 18 lín. 4 - pág. 19 lín. 2
se describe su modo de funcionamiento.
Sin embargo, en la solicitud PCT WO 2004/
046807 únicamente se describe la posibilidad de que estos dispositivos interrumpan o desvíen un haz de luz mediante un movimiento de traslación, y el haz de luz es de dimensiones pequeñas respecto del dispositivo. La orientación espacial del elemento conductor al pasar del primer extremo al segundo extremo no varía.
046807 únicamente se describe la posibilidad de que estos dispositivos interrumpan o desvíen un haz de luz mediante un movimiento de traslación, y el haz de luz es de dimensiones pequeñas respecto del dispositivo. La orientación espacial del elemento conductor al pasar del primer extremo al segundo extremo no varía.
La invención tiene por objeto superar estos
inconvenientes. Esta finalidad se consigue mediante un dispositivo
electroóptico reflector miniaturizado del tipo indicado al
principio caracterizado porque:
a - cuando el elemento conductor está en el
primer extremo, o sea, en contacto con la primera zona, tiene por
lo menos tres primeros puntos de apoyo no alineados en la primera
superficie que están en contacto con tres primeros puntos de apoyo
correspondientes en la primera zona, y cuando el elemento conductor
está en el segundo extremo, o sea, en contacto con la segunda zona,
tiene por lo menos tres segundos puntos de apoyo no alineados en la
segunda superficie que están en contacto con tres segundos puntos
de apoyo correspondientes en la segunda zona, y
b - cuando el elemento conductor está en el
primer extremo, la distancia entre por lo menos uno de los segundos
puntos de apoyo de la segunda superficie a su correspondiente punto
de apoyo de la segunda zona es diferente a la distancia de los
restantes segundos puntos de apoyo de la segunda superficie a sus
correspondientes puntos de apoyo de la segunda zona, de manera que
la superficie reflectora cambia de orientación en el espacio cuando
el elemento conductor efectúa el desplazamiento entre el primer
extremo y el segundo extremo.
Efectivamente el dispositivo de acuerdo con la
invención permite posicionar la superficie reflectora con dos
orientaciones en el espacio que forman un cierto ángulo sin
necesidad de deformar elásticamente ningún material. Además, el
elemento conductor no está en contacto eléctrico con su entorno
durante su desplazamiento. Ello permite reducir los voltajes de
activación y los consumos de potencia, permite reducir el tamaño de
cada uno de los dos dispositivos (con la consiguiente mejora de
resolución) y se evitan los problemas derivados de las tensiones
mecánicas residuales en el material en voladizo.
Usualmente los dispositivos MEMS tienen una
estructura laminar acusada, inherente a su procedimiento de
fabricación. En este sentido el elemento conductor suele ser una
lámina plana y las placas de condensador y demás elementos del
entorno suelen ser también unas superficies planas y paralelas al
elemento conductor. Sin embargo no es necesario que esto sea así.
Por ello en los apartados a y b anteriores se han detallado, de una
forma general, lo que son los requisitos básicos necesarios para la
presente invención:
- El elemento conductor, tenga la forma que
tenga, se desplazará siempre desde un primer extremo hasta un
segundo extremo y viceversa. Para definir con mayor exactitud las
dos posiciones denominadas como primer extremo y segundo extremo se
han tenido en cuenta las siguientes consideraciones. Cuando el
elemento conductor esté en el primer extremo, estará en contacto con
unos determinados puntos de la primera zona que limitan el espacio
intermedio y, por lo tanto, que limitan el desplazamiento que puede
realizar el elemento conductor. Como mínimo, el conductor estará en
contacto con la primera zona en tres puntos no alineados (que
definen un plano) si bien en la práctica podrá estar en contacto en
más puntos y, además, estos puntos no serán puntos en el sentido
geométrico sino que serán superficies más o menos grandes. Los
puntos de contacto serán los puntos de unión entre la primera
superficie del elemento conductor y la primera zona. Por lo tanto,
estos puntos de contacto definen unos primeros puntos de apoyo en la
primera superficie del elemento conductor y unos primeros puntos de
apoyo en la primera zona. Cuando el elemento conductor se desplace
hacia el segundo extremo, los primeros puntos de apoyo de la
primera superficie y los primeros puntos de apoyo de la primer zona
se separarán entre ellos definiendo una distancia entre cada pareja
de puntos de apoyo. De una forma análoga se pueden definir unos
segundos puntos de apoyo en la segunda superficie del elemento
conductor y unos segundos puntos de apoyo en la segunda zona.
- Si, al encontrarse el elemento conductor en el
primer extremo (es decir con los primeros puntos de apoyo de la
primera superficie y los de la primera zona en contacto entre si),
las distancias entre cada pareja de segundos puntos de apoyo son
iguales entre sí, ello quiere decir que cuando el elemento conductor
se desplace del primer extremo al segundo extremo realizará una
traslación pura y, por tanto, ello tiene como consecuencia que
cuando el elemento conductor esté en el segundo extremo las
distancias entre cada pareja de primeros puntos de apoyo son también
iguales entre sí. En este caso el desplazamiento del elemento
conductor será siempre una traslación pura y no se producirá un
cambio de orientación en la superficie reflectora. Por ello, la
invención se caracteriza porque al encontrarse el elemento
conductor en el primer extremo, la distancia entre por lo menos una
pareja de segundos puntos de apoyo es diferente a las demás. Ello
trae como consecuencia que para que las parejas de segundos puntos
de apoyo estén en contacto entre sí es necesario que el elemento
conductor realice un movimiento de rotación (que puede ser rotación
pura o una combinación de rotación más traslación). Esta rotación
es la que permite cambiar la orientación de la superficie
reflectora.
Preferentemente el elemento conductor comprende
una primera proyección dispuesta en una de las primera y segunda
superficies, donde la primera proyección comprende uno de los
primeros o segundos puntos de apoyo de las primera o segunda
superficies. Efectivamente, como ya se ha dicho anteriormente
usualmente estos dispositivos tienen una estructura
substancialmente laminar, es decir, obtenida mediante la deposición
de capas superpuestas y substancialmente paralelas entre sí. En
este caso, añadiendo una primera proyección en una de las
superficies del elemento conductor se obtiene ya el efecto deseado.
En este caso se puede conseguir que, por ejemplo, la superficie
reflectora sea paralela a la estructura general de capas del
dispositivo cuando esté en uno de los dos extremos y que forme un
determinado ángulo con la estructura general de capas del
dispositivo cuando esté en el extremo opuesto.
Alternativamente, el elemento conductor
comprende una primera proyección dispuesta en la primera
superficie, donde la primera proyección comprende uno de los
primeros puntos de apoyo de la primera superficie, y una segunda
proyección dispuesta en la segunda superficie, donde la segunda
proyección comprende uno de los segundos puntos de apoyo de la
segunda superficie. En este caso se puede conseguir que, por
ejemplo, la superficie reflectora forme un determinado ángulo con
la estructura general de capas del dispositivo cuando está en uno de
los dos extremos y que forme otro ángulo determinado con la
estructura general de capas y dispositivo cuando esté en el extremo
opuesto.
Asimismo es posible que por lo menos una de las
primera zona y segunda zona comprendan una proyección que, a su
vez, comprenda uno de los primeros o segundos puntos de apoyo de
las primera o segunda superficies. Efectivamente se puede conseguir
que una de las distancias anteriormente indicadas sea diferente de
las demás a base de añadir proyecciones en el elemento conductor
pero también se puede conseguir a base de añadir proyecciones en la
primera zona y/o en la segunda zona. Ello tiene la ventaja de que
el elemento conductor puede tener una distribución de masas
simétrica.
Asimismo debe tenerse en cuenta que las
proyecciones deben interpretarse de una forma amplia. Así, una zona
del dispositivo que tenga una geometría asimétrica debe entenderse
como que tiene unas proyecciones en el sentido de la invención, si
esta geometría asimétrica provoca que alguna de las distancias
anteriormente indicadas sea diferente de las
demás.
demás.
Otras ventajas y características de la invención
se aprecian a partir de la siguiente descripción, en la que, sin
ningún carácter limitativo, se relatan unos modos preferentes de
realización de la invención, haciendo mención de los dibujos que se
acompañan. Las figuras muestran:
Fig. 1, un esquema simplificado de un
dispositivo electroóptico de acuerdo con el estado de la
técnica.
Fig. 2, un esquema simplificado de un
dispositivo electroóptico reflector de acuerdo con la
invención.
Fig. 3, una vista en perspectiva, explosionada
de un dispositivo electroóptico reflector de acuerdo con la
invención.
Fig. 4, una vista en perspectiva del dispositivo
electroóptico reflector de la Fig. 3,
Figs. 5 y 6, una vista frontal del dispositivo
electroóptico reflector de la Fig. 3 mostrando dos orientaciones
diferentes,
Figs. 7 y 8, dos esquemas simplificados de unos
elementos conductores con proyecciones,
Figs. 9 y 10, dos esquemas simplificados
mostrando la equivalencia entre unas proyecciones dispuestas en el
elemento conductor o dispuestas en la primera y/o segunda zona,
Fig. 11, un esquema simplificado de otra forma
de realización de un dispositivo electroóptico reflector de acuerdo
con la invención.
En la figura 1 se muestra un esquema
simplificado de un dispositivo electroóptico, tal como se describe
en la solicitud PCT WO 2004/046807. El dispositivo electroóptico
tiene una primera zona 9 enfrentada a una segunda zona 11 (a la
izquierda y a la derecha del dibujo, respectivamente) con una
primera placa de condensador 1 dispuesta en la primera zona 9, una
segunda placa de condensador 2 y una tercera placa de condensador 3
en la segunda zona 11, enfrentadas a dicha primera placa de
condensador 1 y donde cada una de dichas segunda y tercera placas de
condensador 2, 3 son menores o iguales que la primera placa de
condensador 1 pero ambas conjuntamente son mayores que la primera
placa de condensador 1. Entre ambas zonas 9, 11 hay un espacio
intermedio 5 a lo largo del cual se puede mover un elemento
conductor 7. Un circuito de control CC gobierna las placas de
condensador. Tal como ya se especifica en la solicitud PCT WO
2004/046807, en pág. 4 lín. 6 - 21 y pág. 16 lín. 7 - 11, el
elemento conductor 7 es mecánicamente independiente de la primera
zona 9 y de la segunda zona 11, es decir, es mecánicamente
independiente de toda la estructura fija del dispositivo. Dicho de
otro modo, el elemento conductor 7 es una pieza suelta apta para
moverse libremente por el espacio intermedio 5. El elemento
conductor 7 no tiene ninguna unión física con su entorno.
En la primera zona 9 y en la segunda zona 11 hay
unos topes 13 que limitan el movimiento del elemento conductor 7 y
que definen un primer extremo y un segundo extremo.
En las figuras 2 a 4 se muestra un dispositivo
electroóptico reflector de acuerdo con la invención. En particular
estas vistas no presentan proyecciones (que se definirán más
adelante) para mayor simplificación de las mismas. En general se
puede observar la existencia de ocho placas de condensador 15 (se
ha empleado la referencia 15 para designar cualquier placa de
condensador, con independencia de que sea la primera, la segunda,
la tercera o cualquier otra placa de condensador adicional) y de
unos topes 13 (concretamente la figura 2 se ha dibujado sin topes).
Como ya se describe en la solicitud PCT WO 2004/046807, en pág. 6
lín. 28 - pág. 7 lín. 5 y pág. 18 lín. 4 - 18, la cantidad mínima
necesaria de placas de condensador para poder realizar un
movimiento en dos direcciones es de tres, con los requisitos
geométricos indicados anteriormente. Sin embargo, usualmente, los
dispositivos tienen más placas de condensador así como una
pluralidad de topes.
Usualmente es ventajoso que el elemento
conductor 7 no entre en contacto con las placas de condensador 15,
si bien en algunos casos puede ser admisible que entre en contacto
con alguna de ellas, tal como se describe en la solicitud PCT WO
2004/046807, en pág. 23 lín. 12 - 28.
El elemento conductor 7 tiene un cuerpo
principal 17 que es substancialmente una lámina plana y que soporta
una estructura en forma de mesa con una pata (o estructura de
soporte) central. La tabla de la mesa tiene una superficie
reflectora 19 sobre la que incidirá el haz de luz, y la pata
central se extiende a través de un orificio dispuesto entre las
placas de condensador 15 de la parte superior del dispositivo.
Usualmente el elemento conductor 7 tendrá un cuerpo principal 17
que, como se ha dicho anteriormente, será substancialmente un
elemento laminar y la superficie reflectora 19 será paralela al
cuerpo principal 17 del elemento conductor 7, ya que estas
geometrías son las que se obtienen de una forma más sencilla
mediante los procedimientos habituales de fabricación de MEMS.
En las figuras 5 y 6 se muestra como la
superficie reflectora 19 puede orientarse en dos posiciones
diferentes.
Una forma de conseguir estas diferentes
orientaciones es, tal como ya se ha dicho anteriormente, a base de
añadir unas proyecciones 21 en el elemento conductor 7. Ello se ha
mostrado esquemáticamente en las figuras 7 y 8, en las que se
muestra únicamente el cuerpo principal 17 de un elemento conductor
7, por ejemplo de un elemento conductor 7 como el de las figuras 2
a 4. En el caso que el elemento conductor 7 tenga únicamente una
proyección 21, por ejemplo en su superficie superior, entonces la
superficie reflectora 19 sería paralela a la base del dispositivo
cuando el elemento conductor 7 está en su posición inferior (visto
de acuerdo a las figuras) y la superficie reflectora 19 formaría un
ángulo no nulo con la base del dispositivo cuando el elemento
conductor 7 está en su posición superior (suponiendo que los topes
13 dispuestos en la zona superior fuesen coplanarios según un plano
horizontal). Si el elemento conductor 7 tiene dos proyecciones 21,
una en cada una de sus superficies superior e inferior, entonces la
superficie reflectora 19 formaría un ángulo no nulo con la base del
dispositivo tanto si está en el extremo superior como si está en el
extremo inferior.
En la figura 9 se observa que se puede conseguir
un resultado similar al de la figura 8 con una disposición diferente
de las proyecciones 21, mientras que en la figura 10 se observa que
se puede conseguir un resultado similar al de la figura 9 a base de
incluir las proyecciones 21 en la primera zona 9 y en la segunda
zona 11 del dispositivo en vez de incluirlas en el elemento
conductor 7 móvil. Lógicamente es posible tener una combinación de
ambas alternativas.
Finalmente en la figura 11 se muestra otra
alternativa, en la que se consigue que la superficie reflectora 19
adopte dos orientaciones diferentes gracias a que la zona superior
del dispositivo es asimétrica. En la figura 11 se ha mostrado
nuevamente el elemento conductor 7 sin la estructura de mesa con la
superficie reflectora 19 para simplificar el dibujo.
En general, debe tenerse en cuenta que la
geometría específica del elemento conductor 7 mostrado en las
figuras 2 a 4, con la estructura de mesa que incluye la superficie
reflectora 19, es un ejemplo concreto de forma de realización. En
general, el elemento conductor 7 y la superficie reflectora 19
pueden tener otras geometrías, en particular la superficie
reflectora 19 puede estar incluida directamente en el cuerpo
principal 17 del elemento conductor 7.
Asimismo en general, debe tenerse en cuenta que
estos dispositivos tienen geometrías tridimensionales y que, por lo
tanto, la disposición de las proyecciones 21 (y, en general, de los
puntos de contacto) puede ser una disposición tridimensional más o
menos compleja. Los ejemplos mostrados en las figuras son
simplemente unos ejemplos con geometrías simplificadas.
Claims (4)
1. Dispositivo electroóptico reflector digital
miniaturizado que comprende:
- una primera zona (9) enfrentada a una segunda
zona (11),
- una primera placa de condensador (1) dispuesta
en dicha primera zona (9),
- una segunda placa de condensador (2) dispuesta
en dicha segunda zona (11) y enfrentada a dicha primera placa de
condensador (1), donde dicha segunda placa de condensador (2) es
menor o igual que dicha primera placa de condensador (1),
- una tercera placa de condensador (3) dispuesta
en dicha segunda zona (11), donde dicha tercera placa de
condensador (3) es menor o igual que dicha primera placa de
condensador (1), y donde dichas segunda y tercera placas de
condensador (2, 3) son, juntas, mayores que dicha primera placa de
condensador (1),
- un espacio intermedio (5) dispuesto entre
dicha primera zona (9) y dicha segunda zona (11),
- un elemento conductor (7) dispuesto en dicho
espacio intermedio (5), dicho elemento conductor presentando una
primera superficie encarada hacia dicha primera zona (9) y una
segunda superficie encarada hacia dicha segunda zona (11), dicho
elemento conductor (7) siendo mecánicamente independiente de dichas
primera zona (9) y segunda zona (11) y siendo apto para efectuar un
desplazamiento a través de dicho espacio intermedio (5), desde un
primer extremo, donde dicho elemento conductor (7) está en contacto
con dicha primera zona (9), hasta un segundo extremo, donde dicho
elemento conductor (7) está en contacto con dicha segunda zona (11),
y viceversa, en función de unos voltajes presentes en dichas
primera, segunda y tercera placas de condensador (1, 2, 3),
- una superficie reflectora (19), apta para
reflejar un haz de luz incidente, solidaria a dicho elemento
conductor (7)
caracterizado porque
- cuando dicho elemento conductor (7) está en
dicho primer extremo tiene por lo menos tres primeros puntos de
apoyo no alineados en dicha primera superficie que están en
contacto con tres primeros puntos de apoyo correspondientes en la
primera zona (9), y cuando dicho elemento conductor (7) está en
dicho segundo extremo tiene por lo menos tres segundos puntos de
apoyo no alineados en la segunda superficie que están en contacto
con tres segundos puntos de apoyo correspondientes en la segunda
zona (11), y
- cuando dicho elemento conductor (7) está en
dicho primer extremo, la distancia entre por lo menos uno de dichos
segundos puntos de apoyo de dicha segunda superficie a su
correspondiente punto de apoyo de dicha segunda zona (11) es
diferente a la distancia de los restantes segundos puntos de apoyo
de dicha segunda superficie a sus correspondientes puntos de apoyo
de dicha segunda zona (11), de manera que dicha superficie
reflectora (19) cambia de orientación en el espacio cuando dicho
elemento conductor (7) efectúa dicho desplazamiento entre dicho
primer extremo y dicho segundo extremo.
2. Dispositivo según la reivindicación 1,
caracterizado porque dicho elemento conductor (7) comprende
una primera proyección (21) dispuesta en una de dichas primera y
segunda superficies, donde dicha primera proyección (21) comprende
uno de dichos primeros o segundos puntos de apoyo de dichas primera
o segunda superficies.
3. Dispositivo según la reivindicación 1,
caracterizado porque dicho elemento conductor (7) comprende
una primera proyección (21) dispuesta en dicha primera superficie,
donde dicha primera proyección (21) comprende uno de dichos primeros
puntos de apoyo de dicha primera superficie, y una segunda
proyección (21) dispuesta en dicha segunda superficie, donde dicha
segunda proyección (21) comprende uno de dichos segundos puntos de
apoyo de dicha segunda superficie.
4. Dispositivo según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 3, caracterizado porque por lo menos
una de dichas primera zona (9) y segunda zona (11) comprende una
proyección (21) que comprende uno de dichos primeros o segundos
puntos de apoyo de dichas primera o segunda superficie.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ES200600607A ES2281294B1 (es) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | Dispositivo electrooptico reflector digital miniaturizado. |
| PCT/ES2007/000121 WO2007104811A1 (es) | 2006-03-10 | 2007-03-08 | Dispositivo electroóptico reflector y procedimientos de actuación correspondientes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ES200600607A ES2281294B1 (es) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | Dispositivo electrooptico reflector digital miniaturizado. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ES2281294A1 ES2281294A1 (es) | 2007-09-16 |
| ES2281294B1 true ES2281294B1 (es) | 2008-09-16 |
Family
ID=38458341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| ES200600607A Withdrawn - After Issue ES2281294B1 (es) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | Dispositivo electrooptico reflector digital miniaturizado. |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| ES (1) | ES2281294B1 (es) |
Family Cites Families (4)
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|---|---|---|---|---|
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| EP1564584B1 (en) * | 2002-11-19 | 2006-03-29 | Baolab Microsystems S.L. | Miniature electro-optic device and corresponding uses thereof |
| US6891657B2 (en) * | 2003-05-20 | 2005-05-10 | Texas Instruments Incorporated | Damped control of a micromechanical device |
-
2006
- 2006-03-10 ES ES200600607A patent/ES2281294B1/es not_active Withdrawn - After Issue
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ES2281294A1 (es) | 2007-09-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EC2A | Search report published |
Date of ref document: 20070916 Kind code of ref document: A1 |
|
| FG2A | Definitive protection |
Ref document number: 2281294B1 Country of ref document: ES |
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| FA2A | Application withdrawn |
Effective date: 20090413 |