JP6690400B2 - 電気光学装置および電子機器 - Google Patents

Description

本発明は、光源光をミラーにより変調する電子機器および電気光学装置に関するものである。

ミラーを備えた電子機器として、光源部から出射された光源光をＤＭＤ（デジタル・ミラー・デバイス）と呼ばれる電気光学装置によって変調した後、変調光を投射光学系によって拡大投射する表示装置が提案されている。かかる電子機器において、電気光学装置は、基板と、基板の一方面側に基板と離間して設けられた複数の光変調用のミラーとを有しており、複数のミラーと基板との各間には、ミラーと平面視で重なる領域に、ミラーを揺動可能に支持するねじれヒンジ、アドレス電極、およびバイアス電極が設けられている。従って、バイアス電極からねじれヒンジを介してミラーにバイアス電圧を印加した状態でアドレス電極にアドレス電圧を印加すると、ミラーとアドレス電極との間に作用する静電力によって、ミラーの姿勢を、光源光を投射光学系に向かうオン方向に反射するオン姿勢と、光源光をオン方向と異なるオフ方向に反射するオフ姿勢とに切り換えることができ、光源光を変調することができる（特許文献１参照）。ここで、ミラーと重なる領域には、基板に支持されたビーム部が設けられており、ビーム部の端部にはスプリングチップが設けられている。従って、ミラーが揺動した際、ミラーは、自身と平面視で重なる位置に設けられたビーム部のスプリングチップに当接することによって、揺動範囲が規制されている。

米国特許ＵＳ２０１５／００７０７４９ Ａ１

ミラーの揺動範囲を大きくするには、スプリングチップをミラーが配置された単位ミラー部の端部に設けることが好ましいが、ミラーと平面視で重なる領域には、ビーム電極に加えて、ねじれヒンジやアドレス電極等が設けられている。このため、ビーム部やスプリングチップに対してはレイアウト面での制約が大きい。このため、特許文献１に記載の構成のように、ミラーが、自身と平面視で重なる位置に設けられたビーム部のスプリングチップに当接する構成の場合、スプリングチップを適正な位置に設けることができない等の問題点がある。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、ミラーの揺動範囲を規制するスプリングチップ等のレイアウト上の自由度を高めることのできる電気光学装置、および電子機器を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の一態様は、基板から離間して設けられた光変調用のミラーと、前記ミラーと前記基板との間で前記ミラーを軸線周りに揺動可能に支持するねじれヒンジと、を有する電気光学装置であって、前記ミラーと前記基板との間において前記ミラーと平面視で重ならない位置に、前記ミラーおよび前記基板から離間した状態に前記基板に支持されたビーム部を備え、前記ビーム部からは、前記ミラーと平面視で重なる位置に向けて、前記ミラーの揺動範囲を規制するスプリングチップが突出していることを特徴とする。

本発明では、ミラーと平面視で重ならない領域に設けたビーム部からミラーと平面視で重なる位置までスプリングチップを突出させてミラーの揺動範囲を規制する。このため、ミラーと平面視で重なる領域に設けたビーム部に設けたスプリングチップとミラーとを当接させる構造と比べて、スプリングチップ等のレイアウト上の自由度を高めることができる。それ故、ミラーの揺動範囲を拡大できる等の利点がある。

本発明において、前記ミラーと前記基板との間には、前記ミラーと平面視で重なる位置に前記ミラーとの間に作用する静電力によって前記ミラーを揺動させるアドレス電極と、前記ねじれヒンジを介して前記ミラーにバイアス電圧を印加するバイアス電極と、が設けられている態様を採用することができる。

本発明において、前記ねじれヒンジと前記ビーム部とは同一の層により構成されている態様を採用することができる。

本発明において、前記アドレス電極は、前記基板に設けられた基板側アドレス電極と、前記基板側アドレス電極と前記ミラーとの間に設けられた高架アドレス電極と、を備えている態様を採用することができる。かかる態様によれば、ミラーとアドレス電極との間に作用する静電力を増大させることができる。この場合でも、本形態では、スプリングチップのレイアウト上の自由度を高めることができるので、高架アドレス電極を適正な位置に広い範囲にわたって設けることをスプリングチップが妨げにくい。

本発明において、前記ビーム部と前記高架アドレス電極とは同一の層により構成されており、前記スプリングチップの前記軸線からの距離は、前記高架アドレス電極において前記軸線から最も離間する部分と前記軸線との距離より長い態様を採用することができる。かかる態様によれば、ビーム部と高架アドレス電極とを同一の層により構成した場合でも、ミラーは、揺動した際に、高架アドレス電極と干渉することなく、スプリングチップと当接することになる。

本発明において、前記高架アドレス電極は、前記基板側アドレス電極と前記ミラーとの間に設けられた下段側高架アドレス電極と、前記下段側高架アドレス電極と前記ミラーとの間に設けられた上段側高架アドレス電極と、を備えている態様を採用することができる。かかる態様によれば、ミラーとアドレス電極との間に作用する静電力を増大させることができる。この場合でも、本形態では、スプリングチップのレイアウト上の自由度を高めることができるので、高架アドレス電極を適正な位置に広い範囲にわたって設けることをスプリングチップが妨げにくい。

本発明において、第１方向および前記第１方向と交差する第２方向に配置された複数の単位ミラー部の各々に、前記ミラー、前記ねじれヒンジおよび前記ビーム部が設けられ、前記複数の単位ミラー部の各々には、前記ミラーと平面視で重ならない位置に、隣り合う単位ミラー部の前記ビーム部が存在し、前記複数の単位ミラー部の各々において、前記ミラーと平面視で重なる位置に向けては、前記第１方向の一方側で隣り合う単位ミラー部に設けられた前記ビーム部、前記第１方向の他方側で隣り合う単位ミラー部に設けられた前記ビーム部、前記第２方向の一方側で隣り合う単位ミラー部の前記ビーム部、および前記第２方向の他方側で隣り合う単位ミラー部の前記ビーム部のいずれかから前記スプリングチップが突出している態様を採用することができる。かかる態様によれば、１つのミラーに対して、平面視で重なるビーム部、および平面視で重ならないビーム部（隣り合う単位ミラー部のビーム部）が存在するので、平面視で重ならないビーム部に設けたスプリングチップによってミラーの揺動範囲を規制することができる。

本発明において、前記軸線は、平面視で前記ミラーの前記第１方向の一方側かつ前記第２方向の他方側に位置する第１角部と、前記ミラーの前記第１方向の他方側かつ前記第２方向の一方側に位置する第２角部と、を通っている態様を採用することができる。

本発明において、前記ビーム部は、前記ミラーの前記第１方向の一方側の端部に沿って前記第２方向に延在する第１ビーム部と、前記ミラーの前記第２方向の他方側の端部に沿って前記第１方向に延在する第２ビーム部と、前記ミラーの前記第１方向の他方側の端部に沿って前記第２方向に延在する第３ビーム部と、および前記ミラーの前記第２方向の一方側の端部に沿って前記第１方向に延在する第４ビーム部と、を備えている態様を採用することができる。かかる態様によれば、単位ミラー部の適正な位置からスプリングチップを突出させることができる。

本発明において、前記第１ビーム部、前記第２ビーム部、前記第３ビーム部、および前記第４ビーム部は各々、延在方向で離間する少なくとも２か所で支持ポストによって前記基板に支持され、前記スプリングチップは、前記第１ビーム部、前記第２ビーム部、前記第３ビーム部、および前記第４ビーム部の前記支持ポストの間の部分または前記支持ポストによって支持されている部分から突出している態様を採用することができる。かかる態様によれば、ミラーとスプリングチップとが当接した際、ビーム部が変形することを抑制することができる。

本発明において、前記第１ビーム部と前記第２ビーム部とは、前記第１角部と平面視で重なる第１屈曲部で連結し、前記第３ビーム部と前記第４ビーム部とは、前記第２角部と平面視で重なる第２屈曲部で連結しており、前記第１ビーム部、前記第２ビーム部、前記第１屈曲部、前記第３ビーム部、前記第４ビーム部および前記第２屈曲部は各々、支持ポストによって前記基板に支持され、前記スプリングチップは、前記第１ビーム部の支持ポストと前記第１屈曲部の支持ポストとの間、前記第２ビーム部の支持ポストと前記第１屈曲部の支持ポストとの間、前記第３ビーム部の支持ポストと前記第２屈曲部の支持ポストとの間、および前記第４ビーム部の支持ポストと前記第２屈曲部の支持ポストの間の部分、または前記支持ポストによって支持されている部分から突出している態様を採用することができる。かかる態様によれば、ミラーとスプリングチップとが当接した際、ビーム部が変形することを抑制することができる。

本発明において、前記複数の単位ミラー部の各々において、前記ミラーと平面視で重なる位置に向けては、前記第１方向の一方側で隣り合う単位ミラー部の前記第３ビーム部および前記第２方向の一方側で隣り合う単位ミラー部の前記第２ビーム部の各々から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記軸線周りの一方方向への揺動範囲を規制する第１スプリングチップが突出し、前記第１方向の他方側で隣り合う単位ミラー部の前記第１ビーム部および前記第２方向の他方側で隣り合う単位ミラー部の前記第４ビーム部の各々から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記軸線周りの他方方向への揺動範囲を規制する第２スプリングチップが突出している態様を採用することができる。

本発明において、前記複数の単位ミラー部の各々において、前記ミラーと平面視で重なる位置に向けては、前記第１方向の一方側で隣り合う単位ミラー部の前記第２屈曲部および前記第２方向の一方側で隣り合う単位ミラー部の前記第１屈曲部の各々から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記軸線周りの一方方向への揺動範囲を規制する第１スプリングチップが突出し、前記第１方向の他方側で隣り合う単位ミラー部の前記第１屈曲部および前記第２方向の他方側で隣り合う単位ミラー部の前記第２屈曲部の各々から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記軸線周りの他方方向への揺動範囲を規制する第２スプリングチップが突出している態様を採用することができる。

本発明において、前記複数の単位ミラー部の各々において、前記ミラーと平面視で重なる位置に向けては、前記第１方向の一方側で隣り合う単位ミラー部の前記第２屈曲部と前記第２方向の一方側で隣り合う単位ミラー部の前記第１屈曲部とを連結する第１連結部から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記軸線周りの一方方向への揺動範囲を規制する第１スプリングチップが突出し、前記第１方向の他方側で隣り合う単位ミラー部の前記第１屈曲部と前記第２方向の他方側で隣り合う単位ミラー部の前記第２屈曲部とを連結する第２連結部から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記軸線周りの他方方向への揺動範囲を規制する第２スプリングチップが突出している態様を採用することができる。

本発明において、前記第１連結部の幅および前記第２連結部の幅は、前記ねじれヒンジの幅より狭い態様を採用することができる。

本発明において、前記ミラーの前記第１方向の一方側かつ前記第２方向の一方側に位置する第３角部、および前記ミラーの前記第１方向の他方側かつ前記第２方向の他方側に位置する第４角部は、Ｒ形状に面取りされている態様を採用することができる。かかる態様によれば、ミラーの尖った部分がスプリングチップと当接するという事態が発生しないので、ミラーの角部やスプリングチップの変形を抑制することができる。

本発明において、前記軸線は、平面視で前記ミラーと重なって前記第１方向に延在する第１軸線と、平面視で前記ミラーと重なって前記第２方向に延在する第２軸線とが設定されている態様を採用することができる。

本発明において、前記ビーム部は、前記ミラーの前記第１方向の一方側の端部に沿って前記第２方向に延在する第１ビーム部と、前記ミラーの前記第２方向の一方側の端部に沿って前記第１方向に延在する第２ビーム部と、を備えている。かかる態様によれば、単位ミラー部の適正な位置から複数のスプリングチップを突出させることができる。

本発明において、前記第１ビーム部および前記第２ビーム部は各々、延在方向で離間する少なくとも２か所で支持ポストによって前記基板に支持され、前記スプリングチップは、前記第１ビーム部および前記第２ビーム部の２つの前記支持ポストの間または前記支持ポストによって支持されている部分から突出している態様を採用することができる。かかる態様によれば、ミラーとスプリングチップとが当接した際、ビーム部が変形することを抑制することができる。

本発明において、前記複数の単位ミラー部の各々において、前記ミラーと平面視で重なる位置に向けては、前記２方向の他方側で隣り合う単位ミラー部の前記第２ビーム部から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記第１軸線周りの一方方向への揺動範囲を規制する第１スプリングチップが突出し、前記第１方向の他方側で隣り合う単位ミラー部の前記第１ビーム部から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記第２軸線周りの一方方向への揺動範囲を規制する第２スプリングチップが突出している態様を採用することができる。

本発明を適用した電気光学装置は各種電子機器に用いることができる。電子機器を投射型表示装置として構成する場合、前記ミラーに光源光を照射する光源部と、電気光学装置から出射された変調光を投射する投射光学系と、が設けられる。

本発明を適用した電子機器（投射型表示装置）の説明図である。 図１に示す電気光学装置の基本構成の一例を模式的に示す説明図である。 本発明の実施の形態１に係る電気光学装置の平面構成を模式的に示す説明図である。 本発明の実施の形態１に係る電気光学装置のビーム部等の説明図である。 図２に示す電気光学装置のミラー周辺の断面を模式的に示す説明図である。 本発明の実施の形態２に係る電気光学装置の高架アドレス電極等の説明図である。 本発明の実施の形態４に係る電気光学装置のスプリングチップ等の説明図である。 本発明の実施の形態５に係る電気光学装置のスプリングチップ等の説明図である。 本発明の実施の形態５に係る電気光学装置のミラーの説明図である。 本発明の実施の形態７に係る電気光学装置の一部を拡大して示す斜視図である。 図１０に示す駆動素子等の平面図である。 図１０に示す電気光学装置においてミラーを駆動したときの説明図である。

図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。また、図面に示しているミラー等の数は、図面上で認識可能な程度の大きさとなるように設定しているが、この図面に示した数よりも多くのミラー等を設けてもよい。

［実施の形態１］
（電子機器１０００の全体構成）
図１は、本発明を適用した電子機器１０００（投射型表示装置）の説明図であり、図１には、電気光学装置１００に設けられた複数のミラー５０の１つのみを示してある。図１では、ミラー５０の定常姿勢を二点鎖線で示し、オン姿勢を実線で示し、オフ姿勢を点線で示してある。

図１に示す電子機器１０００は、光源部１１０と、光源部１１０から照射された光源光を画像情報に応じて変調する電気光学装置１００とを有している。また、電子機器１０００は、電気光学装置１００で変調された変調光を投射画像として壁面やスクリーン等の被投射物２００に投射する投射光学系１２０を有しており、投射型表示装置として構成されている。光源部１１０は、赤色光、緑色光および青色光を順次、出射し、電気光学装置１００は、赤色光、緑色光および青色光を順次、光変調して投射光学系１２０に出射する。従って、カラー画像を表示することができる。

光源部１１０には、例えば、光源から出射された白色光を、カラーフィルター（図示せず）を介して電気光学装置１００に出射する構成を採用することができる。また、光源部１１０には、赤色光を出射する発光素子、緑色光を出射する発光素子、および青色光を出射する発光素子を順次、点灯させて、赤色光、緑色光および青色光を順次、出射する構成を採用してもよい。いずれの場合も、電気光学装置１００は、光源部１１０が赤色光、緑色光および青色光が出射するタイミングに同期して、入射した光を変調する。

（電気光学装置１００の基本構成）
図２は、図１に示す電気光学装置１００の基本構成の一例を模式的に示す説明図であり、図２には、その一部を分解した様子も示してある。図３は、本発明の実施の形態１に係る電気光学装置１００の平面構成を模式的に示す説明図である。図４は、本発明の実施の形態１に係る電気光学装置１００のビーム部３６、３７等の説明図であり、ミラー５０を四角形の輪郭線のみで表したときの平面図である。図５は、図２に示す電気光学装置１００のミラー５０周辺の断面を模式的に示す説明図であり、図５には、ミラー５０が軸線Ｌ周りの一方側ＣＣＷに傾いたオン姿勢、およびミラー５０が軸線Ｌ周りの他方側ＣＷに傾いたオフ姿勢を示してある。

図２、図３、図４および図５に示すように、電気光学装置１００は、基板１の一方面１ｓに光変調用の複数のミラー５０が設けられたチップ２を備えており、チップ２において、ミラー５０は基板１の一方面１ｓから離間している。ここで、１つのミラー５０が配置されている部分が単位ミラー部５であり、本形態において、単位ミラー部５は、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙにマトリクス状に配置されている。

基板１は、例えば、シリコン基板である。ミラー５０は、アルミニウム等の反射金属膜からなる。ミラー５０の厚さは１μｍ以下、例えば、０．３μｍである。ミラー５０は、例えば、１辺の長さが１０〜３０μｍの平面サイズを有するマイクロミラーである。ミラー５０は、例えば、８００×６００から１１９２０×１０８０の配列をもって配置されており、１つのミラー５０（単位ミラー部５）が投射画像の１画素に対応する。

図５に示すように、電気光学装置１００において、チップ２は、基板１の一方面１ｓに形成された基板側バイアス電極１１および基板側アドレス電極１２、１３（アドレス電極）等を含む１階部分１００ａと、高架アドレス電極３２、３３（アドレス電極）およびねじれヒンジ３５を含む２階部分１００ｂと、ミラー５０を含む３階部分１００ｃとを備えている。１階部分１００ａでは、基板１にアドレス回路１４が形成されている。アドレス回路１４は、各ミラー５０の動作を選択的に制御するためのメモリセルや、ワード線、ビット線の配線１５等を備えており、ＣＭＯＳ回路１６を備えたＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）に類似した回路構成を有している。

２階部分１００ｂには、高架アドレス電極３２、３３、ヒンジ３５、およびミラーポスト５１が設けられている。高架アドレス電極３２、３３は、電極ポスト３２１、３３１を介して基板側アドレス電極１２、１３に導通し、電極ポスト３２１、３３１および基板側アドレス電極１２、１３を介して基板１に支持されている。ヒンジ３５の両端からはビーム部３６、３７が延在している。ビーム部３６、３７は、支持ポスト３９を介して基板側バイアス電極１１に導通し、支持ポスト３９および基板側バイアス電極１１を介して基板１によって支持されている。ミラー５０は、ミラーポスト５１を介してヒンジ３５に導通しているとともに、ヒンジ３５によって支持されている。従って、ミラー５０は、ミラーポスト５１、ヒンジ３５、ビーム部３６、３７、支持ポスト３９を介して基板側バイアス電極１１に導通しており、基板側バイアス電極１１からバイアス電圧が印加される。高架アドレス電極３２、３３、ヒンジ３５、およびビーム部３６、３７は、所定形状のパターニングした同一の層からなる。

ビーム部３６、３７の端部には、ミラー５０が傾いたときに当接してミラー５０の揺動範囲を規制するスプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４が形成されている。従って、ミラー５０と高架アドレス電極３２、３３との接触を防止することができる。本形態においては、後述するように、スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４は自身が属する単位ミラー部５と隣り合う単位ミラー部５のミラー５０の揺動範囲を規制する。

このようにして、複数の単位ミラー部５の各々において、ミラー５０と基板１との間には、ミラー５０と平面視で重なる領域に、基板側バイアス電極１１、基板側アドレス電極１２、１３、高架アドレス電極３２、３３、ヒンジ３５、およびビーム部３６、３７が設けられている。

（駆動素子３０の構成）
高架アドレス電極３２、３３は、ヒンジ３５を挟む両側でミラー５０との間に静電力を発生させてミラー５０を傾くように駆動する駆動素子３０を構成している。また、基板側アドレス電極１２、１３も、ミラー５０との間に静電力を発生させてミラー５０を傾くように駆動するように構成される場合があり、この場合、駆動素子３０は、高架アドレス電極３２、３３、および基板側アドレス電極１２、１３によって構成されることになる。ヒンジ３５は、高架アドレス電極３２、３３に駆動電圧が印加されて、図５に示すように、ミラー５０が高架アドレス電極３２あるいは高架アドレス電極３３に引き寄せられるように傾いた際にねじれるねじれヒンジであり、高架アドレス電極３２、３３に対する駆動電圧の印加が停止してミラー５０に対する吸引力が消失した際、ミラー５０が基板１に平行な定常姿勢に戻す力を発揮する。

（揺動動作等の説明）
ヒンジ３５は、ミラー５０の第１方向Ｘの一方側Ｘ１かつ第２方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第１角部５０ａと、ミラー５０の第１方向Ｘの他方側Ｘ２かつ第２方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第２角部５０ｂと結ぶ線と平面視で重なっている。従って、ミラー５０が揺動する際の回転中心軸線（軸線Ｌ）は、平面視でミラー５０の第１角部５０ａと第２角部５０ｂとを通っている。

従って、複数の単位ミラー部５の各々において、駆動素子３０によって、ミラー５０が、軸線Ｌ周りの一方方向ＣＣＷに揺動して一方の高架アドレス電極３２の側に傾いたオン姿勢になると、ミラー５０は、光源部１１０から出射された光源光Ｌ０を、投射光学系１２０に向かうオン方向Ｌｏｎに反射する。

これに対して、ミラー５０が軸線Ｌ周りの他方方向ＣＷに揺動して他方側の高架アドレス電極３３の側に傾いたオフ姿勢になると、ミラー５０は、光源部１１０から出射された光源光Ｌ０を、オン方向Ｌｏｎと異なるオフ方向Ｌｏｆｆに反射する。従って、オフ姿勢のミラー５０は、光源光Ｌ０を投射光学系１２０に反射しない。本形態において、オフ方向Ｌｏｆｆには光吸収装置１４０が設けられている。

ここで、投射光学系１２０は、定常姿勢（図１に二点鎖線で示す姿勢）のミラー５０に対して垂直な方向に配置されており、ミラー５０から投射光学系１２０に向かう側がオン方向Ｌｏｎである。光源部１１０は、オン方向Ｌｏｎ（ミラー５０に垂直な方向）に対して、−θｅ°の角度で傾いた斜め方向から光源光Ｌ０をミラー５０に照射する。従って、駆動素子３０がミラー５０を定常姿勢から−θａ°傾いたオン姿勢（図１に実線で示す姿勢）に切り換えると、ミラー５０は、光源光Ｌ０を投射光学系１２０に向かうオン方向Ｌｏｎに反射する。ここで、角度θａ、θｅは、以下の関係にある。
θｅ＝２×θａ
θａ°は、例えば１２°であり、この場合、θｅ°は２４°である。

また、光吸収装置１４０は、オン方向Ｌｏｎに対して、＋（２×θｅ）°の角度方向（オフ方向Ｌｏｆｆ）に配置されている。従って、駆動素子３０がミラー５０を基本姿勢から＋θａ°傾いたオフ姿勢（図１に点線で示す姿勢）に切り換えると、ミラー５０は、光源光Ｌ０を光吸収装置１４０に向かうオフ方向Ｌｏｆｆに反射する。

それ故、複数の単位ミラー部５の各々において、ミラー５０の姿勢を制御すれば、光源光Ｌ０を変調し、変調光Ｌ１を投射光学系１２０から画像光として被投射物２００に投射することができる。

（スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４の構成）
図４等を参照して、スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４の構成を説明する。以下の説明では、必要に応じて、複数の単位ミラー部５のうちの１つを第１単位ミラー部５ａとし、第１単位ミラー部５ａに第１方向Ｘの一方側Ｘ１で隣り合う単位ミラー部５を第２単位ミラー部５ｂとし、第１単位ミラー部５ａに第１方向Ｘの他方側Ｘ２で隣り合う単位ミラー部５を第３単位ミラー部５ｃとする。また、第１単位ミラー部５ａに第２方向Ｙの一方側Ｙ１で隣り合う単位ミラー部５を第４単位ミラー部５ｄとし、第１単位ミラー部５ａに第２方向Ｙの他方側Ｙ２で隣り合う単位ミラー部５を第５単位ミラー部５ｅとする。また、複数の第１単位ミラー部５の各々には、ミラー５０と平面視で重ならない位置に、隣り合う単位ミラー部５のビーム部３６、３７が存在する。

図４に示すように、本形態では、ミラー５０の軸線Ｌ周りの揺動範囲を規制するにあたって、ミラー５０と平面視で重ならない位置でミラー５０および基板１から離間した状態に基板１に支持されたビーム部３６、３７からは、スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４がミラー５０と平面視で重なる位置に向けて突出している。

かかる構成を実現するにあたって、本形態においては、複数の単位ミラー部５の各々において、ビーム部３６、３７を各々、ミラー５０の端部に沿うように延在させてある。具体的には、ビーム部３６は、ミラー５０の第１方向Ｘの一方側Ｘ１の端部に沿って第２方向Ｙに延在する第１ビーム部３６１と、ミラー５０の第２方向Ｙの他方側Ｙ２の端部に沿って第１方向Ｘに延在する第２ビーム部３６２とを備えている。ビーム部３７は、ミラー５０の第１方向Ｘの他方側Ｘ２の端部に沿って第２方向Ｙに延在する第３ビーム部３７１と、ミラー５０の第２方向Ｙの一方側Ｙ１の端部に沿って第１方向Ｘに延在する第４ビーム部３７２とを備えている。また、複数の単位ミラー部５の各々において、第１ビーム部３６１と第２ビーム部３６２とは、ミラー５０の第１角部５０ａと平面視で重なる第１屈曲部３６０で連結し、第３ビーム部３７１と第４ビーム部３７２とは、ミラー５０の第２角部５０ｂと平面視で重なる第２屈曲部３７０で連結している。

また、第１ビーム部３６１の先端部、第２ビーム部３６２の先端部、第１屈曲部３６０（第１ビーム部３６１の基端部および第２ビーム部３６２の基端部）、第３ビーム部３７１の先端部、第４ビーム部３７２の先端部、および第２屈曲部３７０（第３ビーム部３７１の基端部および第４ビーム部３７２の基端部）は各々、支持ポスト３９によって基板１に支持されている。従って、第１ビーム部３６１、第２ビーム部３６２、第３ビーム部３７１、および第４ビーム部３７２は各々、両端が支持ポスト３９によって基板１に支持されている。

このように構成した複数の単位ミラー部５の各々において、第３ビーム部３７１の先端部からは、第１方向Ｘの他方側Ｘ２で隣り合う単位ミラー部５のミラー５０と平面視で重なる位置までスプリングチップ３４１が突出し、第２ビーム部３６２の先端部からは、第２方向Ｙの他方側Ｙ２で隣り合う単位ミラー部５のミラー５０と平面視で重なる位置までスプリングチップ３４２が突出している。また、複数の単位ミラー部５の各々において、第１ビーム部３６１の先端部からは、第１方向Ｘの一方側Ｘ１で隣り合う単位ミラー部５のミラー５０と平面視で重なる位置までスプリングチップ３４３が突出し、第４ビーム部３７２の先端部からは、第２方向Ｙの一方側Ｙ１で隣り合う単位ミラー部５のミラー５０と平面視で重なる位置までスプリングチップ３４４が突出している。

このため、複数の単位ミラー部５の各々においては、ミラー５０と平面視で重なる位置に向けて、第１方向Ｘの一方側Ｘ１で隣り合う単位ミラー部５、第１方向Ｘの他方側Ｘ２で隣り合う単位ミラー部５、第２方向Ｙの一方側Ｙ１で隣り合う単位ミラー部５、および第２方向Ｙの他方側Ｙ２で隣り合う単位ミラー部５のビーム部３６、３７のいずれかからスプリングチップが突出している。本形態では、複数の単位ミラー部５の各々においては、ミラー５０と平面視で重なる位置に向けて、第１方向Ｘの一方側Ｘ１で隣り合う単位ミラー部５のビーム部３６、第１方向Ｘの他方側Ｘ２で隣り合う単位ミラー部５のビーム部３７、第２方向Ｙの一方側Ｙ１で隣り合う単位ミラー部５のビーム部３６、および第２方向Ｙの他方側Ｙ２で隣り合う単位ミラー部５のビーム部３７の各々からスプリングチップ３４１、３４３、３４２、３４４が突出している。

すなわち、第１単位ミラー部５ａのミラー５０と平面視で重なる位置までは、第２単位ミラー部５ｂの第３ビーム部３７１の先端部からスプリングチップ３４１が突出し、第４単位ミラー部５ｄの第２ビーム部３６２の先端部からスプリングチップ３４２が突出している、また、第１単位ミラー部５ａのミラー５０と重なる位置までは、第３単位ミラー部５ｃの第１ビーム部３６１の先端部からスプリングチップ３４３が突出し、第５単位ミラー部５ｅの第４ビーム部３７２の先端部からスプリングチップ３４４が突出している。

従って、スプリングチップ３４１、３４２は、ミラー５０が軸線Ｌ周りの一方方向に揺動した際にミラー５０に当接してミラー５０の一方方向の揺動範囲を規制する第１スプリングチップとして機能する。また、スプリングチップ３４３、３４４は、ミラー５０が軸線Ｌ周りの他方方向に揺動した際にミラー５０に当接してミラー５０の他方方向の揺動範囲を規制する第２スプリングチップとして機能する。

ここで、スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４は各々、ビーム部３６、３７において、支持ポスト３９によって支持されている部分から突出している。また、複数の単位ミラー部５の各々において、ミラー５０が揺動した際に当接するスプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４の軸線Ｌからの距離ｄａは、高架アドレス電極３２、３３において軸線Ｌから最も離間する部分と軸線Ｌとの距離ｄｂより長い。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の電気光学装置１００においては、ミラー５０と平面視で重ならない領域に設けたビーム部３６、３７からミラー５０と平面視で重なる位置までスプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４を突出させて、ミラー５０の揺動範囲を規制する。このため、ミラー５０と平面視で重なる領域に設けたビーム部のスプリングチップとミラー５０とを当接させる構造と比べて、スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４等のレイアウト上の自由度を高めることができる。それ故、ミラー５０の揺動範囲を拡大できる等の利点がある。

また、基板１に設けられた基板側アドレス電極１２、１３とミラー５０との間に、高架アドレス電極３２、３３が設けられているため、ミラー５０と高架アドレス電極３２、３３との間に大きな静電力を得ることができる。また、高架アドレス電極３２、３３とビーム部３６、３７とが同一の層によって構成されているが、スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４のレイアウト上の自由度が高いので、高架アドレス電極３２、３３を適正な位置に広い範囲にわたって設ける場合でも、スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４が妨げにならない。また、高架アドレス電極３２、３３を広い範囲に設けた場合でも、ミラー５０が揺動した際に当接するスプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４の軸線Ｌからの距離ｄａは、高架アドレス電極３２、３３において軸線Ｌから最も離間する部分と軸線Ｌとの距離ｄｂより長い。それ故、ビーム部３６、３７と高架アドレス電極３２、３３とを同一の層により構成した場合でも、ミラー５０の揺動範囲を適正に規制することができる。

また、複数の単位ミラー部５の各々に、ミラー５０の４つの端部に沿って延在する第１ビーム部３６１、第２ビーム部３６２、第３ビーム部３７１、および第４ビーム部３７２が設けられている。このため、単位ミラー部５の適正な位置から隣り合う単位ミラー部５に向けて複数のスプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４を突出させることができる。

また、スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４は各々、ビーム部３６、３７において、支持ポスト３９によって支持されている部分から突出している。従って、ミラー５０とスプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４とが当接した際、ビーム部３６、３７が変形することを抑制することができる。

［実施の形態２］
図６は、本発明の実施の形態２に係る電気光学装置１００の高架アドレス電極３２、３３等の説明図であり、ミラー５０を四角形の輪郭線のみで表したときの平面図である。なお、本形態および後述する実施の形態の基本的な構成は、実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

実施の形態１において、高架アドレス電極３２、３３の平面形状が略長方形であったが、本形態においては、図６に示すように、高架アドレス電極３２、３３は、軸線Ｌから離間する側に位置する辺をミラー５０の端部と重なる位置まで延長した形状になっている。このため、実施の形態１と比較して、高架アドレス電極３２、３３の面積が広い。従って、ミラー５０と高架アドレス電極３２、３３との間に作用する静電力を増大させることができる。また、本形態でも、実施の形態１と同様、ビーム部３６、３７と高架アドレス電極３２、３３とを同一の層により構成されているが、ミラー５０が揺動した際に当接するスプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４の軸線Ｌからの距離ｄａは、高架アドレス電極３２、３３において軸線Ｌから最も離間する部分と軸線Ｌとの距離ｄｂより長い。従って、ミラーはミラー５０の揺動範囲を適正に規制することができる。

［実施の形態３］
実施の形態１では、スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４が第１ビーム部３６１の先端部、第４ビーム部３７２の先端部、第３ビーム部３７１の先端部、および第２ビーム部３６２の先端部から突出していた。但し、スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４が第１ビーム部３６１、第４ビーム部３７２、第３ビーム部３７１、および第２ビーム部３６２の延在方向の途中位置から突出させてもよい。この場合、スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４は各々、ビーム部３６、３７において、２つの支持ポスト３９の間から突出していることになる。従って、ミラー５０とスプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４とが当接した際、ビーム部３６、３７が変形することを抑制することができる。

［実施の形態４］
図７は、本発明の実施の形態４に係る電気光学装置１００のスプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４等の説明図であり、ミラー５０を四角形の輪郭線のみで表したときの平面図である。

図７に示すように、本形態では、スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４が各々、第３ビーム部３７１の基端部（第２屈曲部３７０）、第２ビーム部３６２の基端部（第１屈曲部分３６０）、第１ビーム部３６１の基端部（第１屈曲部分３６０）、および第３ビーム部３７１の基端部（第２屈曲部３７０）から突出している。従って、スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４は各々、ビーム部３６、３７において、２つの支持ポスト３９が設けられた個所から突出している。それ故、ミラー５０とスプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４とが当接した際、ビーム部３６、３７が変形することを抑制することができる。また、実施の形態１等と比べて、スプリングチップ３４１、３４２、３４３、３４４が軸線Ｌから離間した位置に設けられているため、ミラー５０の揺動範囲が実施の形態１よりも広い。

また、実施の形態１においては、高架アドレス電極３２、３３が１段だけであったが、本形態では、高架アドレス電極３２、３３とミラー５０との間に略四角形の高架アドレス電極３２５、３３５が設けられている。高架アドレス電極３２、３３と高架アドレス電極３２５、３３５とは各々、電極ポスト３２６、３３６を介して導通している。従って、ミラー５０と高架アドレス電極（高架アドレス電極３２、３３、および高架アドレス電極３２５、３３５）との間に作用する静電力を増大させることができる。この場合、高架アドレス電極３２、３３は下段側高架アドレス電極であり、高架アドレス電極３２５、３３５は上段側高架アドレス電極である。また、高架アドレス電極３２、３３（下段側高架アドレス電極）は、高架アドレス電極３２５、３３５（上段側高架アドレス電極）より、軸線Ｌから離間する方向に張り出している。本形態において、ビーム部３６、３７は、下段側の高架アドレス電極３２、３３と同一の層により構成されている。

［実施の形態５］
図８は、本発明の実施の形態５に係る電気光学装置１００のスプリングチップ３４６、３４７等の説明図であり、ミラー５０を四角形の輪郭線のみで表したときの平面図である。

本形態では、図８に示すように、軸線Ｌに沿う方向に配置された単位ミラー部５では、ビーム部３６とビーム部３７とが連結部３６５を介して繋がっており、連結部３６５からスプリングチップ３４６およびスプリングチップ３４７が互いに逆方向に突出している。従って、ビーム部３６およびビーム部３７からは、連結部３６５を介してスプリングチップ３４６およびスプリングチップ３４７が互いに逆方向に突出している。ここで、スプリングチップ３４６は、連結部３６５から第１方向Ｘの他方側Ｘ２かつ第２方向Ｙの他方側Ｙ２に向けて突出し、スプリングチップ３４７は、連結部３６５から第１方向Ｘの一方側Ｘ１かつ第２方向Ｙの一方側Ｙ１に向けて突出している。

より具体的には、複数の単位ミラー部５の各々において、ミラー５０と平面視で重なる位置に向けて、第１方向Ｘの一方側Ｘ１で隣り合う単位ミラー部５の第２屈曲部３７０と第２方向Ｙの一方側Ｙ１で隣り合う単位ミラー部５の第１屈曲部３６０とを連結する連結部３６５（第１連結部３６６）からスプリングチップ３４６が突出している。かかるスプリングチップ３４６は、ミラー５０の第１方向Ｘの一方側Ｘ１かつ第２方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３角部５０ｃと当接してミラー５０の軸線Ｌ周りの一方方向への揺動範囲を規制する第１スプリングチップである。

また、複数の単位ミラー部５の各々において、ミラー５０と平面視で重なる位置に向けて、第１方向Ｘの他方側Ｘ２で隣り合う単位ミラー部５の第１屈曲部３６０と第２方向Ｙの他方側Ｙ２で隣り合う単位ミラー部５の第２屈曲部３７０とを連結する連結部３６５（第２連結部３６７）からスプリングチップ３４７が突出している。かかるスプリングチップ３４７は、ミラー５０の第１方向Ｘの他方側Ｘ２かつ第２方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４角部５０ｄと当接してミラー５０の軸線Ｌ周りの他方方向への揺動範囲を規制する第２スプリングチップである。

ここで、連結部３６５の幅（第１連結部３６６の幅および第２連結部３６７）の幅は、ヒンジ３５の幅より狭い。但し、第１連結部３６６および第２連結部３６７は２つの支持ポスト３９の間から突出しているため、ミラー５０とスプリングチップ３４６およびスプリングチップ３４７とが当接した際、ビーム部３６、３７の連結部３６５（第１連結部３６６、および第２連結部３６７）が変形することを抑制することができる。

［実施の形態６］
図９は、本発明の実施の形態５に係る電気光学装置１００のミラー５０の説明図であり、ミラー５０を四角形の輪郭のみで表してある。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

実施の形態５では、ミラー５０の第３角部５０ｃおよび第４角部５０ｄが９０°の角度で尖っていたが、図９に示すように、本形態において、ミラー５０の第３角部５０ｃおよび第４角部５０ｄはＲ形状に面取りされている。このため、ミラー５０の角部（第３角部５０ｃおよび第４角部５０ｄ）や、スプリングチップ（スプリングチップ３４６およびスプリングチップ３４７）が変形することを抑制することができる。なお、本形態では、ミラー５０の第１角部５０ａおよび第２角部５０ｂも、第３角部５０ｃおよび第４角部５０ｄと同様、Ｒ形状に面取りされている。

［実施の形態７］
図１０は、本発明の実施の形態７に係る電気光学装置１００の一部を拡大して示す斜視図であり、定常姿勢の状態を示している。図１１は、図１０に示す駆動素子３０等の平面図である。図１２は、図１０に示す電気光学装置１００においてミラー５０を駆動したときの説明図であり、ミラー５０が第１軸線Ｌａ周りの一方側ＣＣＷａに傾いたオン姿勢、およびミラー５０が第２軸線Ｌｂ周りの一方側ＣＷｂに傾いたオフ姿勢を示してある。なお、図１０および図１２では、ミラー５０を二点鎖線で示してある。

実施の形態１〜６に係る電気光学装置１００では、ミラー５０を１つの軸線Ｌ周りに揺動させたが、本形態では、図１０、図１１および図１１を参照して以下に説明するように、ミラー５０は、平面視でミラー５０と重なって第１方向Ｘに延在する第１軸線Ｌａと、平面視でミラー５０と重なって第２方向Ｙに延在する第２軸線Ｌｂとが設定されている。本形態では、ミラー５０は、第１軸線Ｌａ周りの一方側ＣＣＷａに揺動してオン姿勢となり、第２軸線Ｌｂの一方側ＣＷｂに揺動してオフ姿勢となる。

図１０に示すように、電気光学装置１００は、基板１の一方面１ｓに形成された基板側バイアス電極１１および基板側アドレス電極１２、１３等を含む１階部分１００ａと、高架アドレス電極３２、３３、ヒンジ３５、第１ビーム部３６８．第２ビーム部３７８を含む２階部分１００ｂと、ミラー５０を含む３階部分１００ｃとを備えている。高架アドレス電極３２、３３は、ヒンジ３５の両側で電極ポスト３２１、３３１を介して基板側アドレス電極１２、１３に導通している。

第１ビーム部３６８は、ミラー５０の第１方向Ｘの一方側Ｘ１の端部に沿って第２方向Ｙに延在し、第２ビーム部３７８は、ミラー５０の第２方向Ｙの一方側Ｙ１の端部に沿って第１方向Ｘに延在している。また、第１ビーム部３６８および第２ビーム部３７８は、第１方向Ｘの一方側Ｘ１および第２方向Ｙの一方側Ｙ１で屈曲部分３８によって繋がっている。第１ビーム部３６８、第２ビーム部３７８および屈曲部分３８は、延在方向で離間する位置に設けられた支持ポスト３９を介して基板側バイアス電極１１に支持されている。屈曲部分３８からは第１方向Ｘの他方側Ｘ２および第２方向Ｙの他方側Ｙ２に向けてヒンジ３５が突出し、ヒンジ３５の先端部に対してミラーポスト５１を介してミラー５０が支持されている。

高架アドレス電極３２は、ヒンジ３５の先端部に対して第２方向Ｙの他方側に位置し、高架アドレス電極３３は、ヒンジ３５の先端部に対して第１方向Ｘの他方側に位置する。高架アドレス電極３２、３３は、ミラー５０との間に静電力を発生させてミラー５０を傾くように駆動する駆動素子３０を構成している。

このように構成した電気光学装置１００において、ミラー５０、高架アドレス電極３２および高架アドレス電極３３の電位を制御し、高架アドレス電極３２、３３とミラー５０との間に静電力を発生させれば、ヒンジ３５が捩れ、図１２に示すように、ミラー５０が第１軸線Ｌａ周りの一方方向ＣＣＷａに傾いたオン姿勢と、ミラー５０が第２軸線Ｌｂ周りの一方方向ＣＷｂに傾いたオフ姿勢とを実現することができる。また、ミラー５０は、オン姿勢のとき、光源光Ｌ０を投射光学系１２０に向かうオン方向Ｌｏｎに反射する。これに対して、ミラー５０は、オフ姿勢のとき、光源光Ｌ０を光吸収装置１４０に向かうオフ方向Ｌｏｆｆに反射する。

本形態でも、実施の形態１等と同様、ミラー５０の第１軸線Ｌａおよび第２軸線Ｌｂ周りの揺動範囲を規制するにあたって、ミラー５０と平面視で重ならない位置に設けられた第１ビーム部３６８および第２ビーム部３７８からは、２つのスプリングチップ３４９、３４８が各々、ミラー５０と平面視で重なる位置に向けて突出している。

より具体的には、第２ビーム部３７８からは２本のスプリングチップ３４８が第２方向Ｙの一方側Ｙ１に突出し、２本のスプリングチップ３４８はいずれも、第２方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する単位ミラー部５のミラー５０と平面視で重なっている。また、第１ビーム部３６８からは２本のスプリングチップ３４９が第１方向Ｘの一方側Ｘ１に突出し、２本のスプリングチップ３４９はいずれも、第１方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する単位ミラー部５のミラー５０と平面視で重なっている。従って、複数の単位ミラー部５の各々において、第１単位ミラー部５ａのミラー５０と平面視で重なる位置に向けては、第２方向Ｙの他方側Ｙ２で隣り合う第５単位ミラー部５ｅの第２ビーム部３７８からスプリングチップ３４８が突出し、第１方向Ｘの他方側Ｘ２で隣り合う第３単位ミラー部５ｃの第１ビーム部３６８からスプリングチップ３４９が突出している。ここで、スプリングチップ３４８は、ミラー５０の第１軸線Ｌａ周りの一方方向ＣＣＷａへの揺動範囲を規制する第１スプリングチップであり、スプリングチップ３４９は、ミラー５０の第２軸線Ｌｂ周りの一方方向ＣＷｂへの揺動範囲を規制する第２スプリングチップである。

本形態において、２本のスプリングチップ３４８は各々、第２ビーム部３７の先端部および延在方向の途中位置において支持ポスト３９が設けられている個所から突出し、２本のスプリングチップ３４９は各々、第１ビーム部３６の先端部および延在方向の途中位置において支持ポスト３９が設けられている個所から突出している。

このように構成した場合も、スプリングチップ３４８，３４９等のレイアウト上の自由度を高めることができる等、実施の形態１等と同様な効果を奏する。

１…基板、２…チップ、５…単位ミラー部、５ａ…第１単位ミラー部、５ｂ…第２単位ミラー部、５ｃ…第３単位ミラー部、５ｄ…第４単位ミラー部、５ｅ…第５単位ミラー部、１１…基板側バイアス電極、１２、１３…基板側アドレス電極、３０…駆動素子、３２、３３、３２５、３３５…高架アドレス電極、３５…ヒンジ、３６、３７…ビーム部、３８…屈曲部分、３９…支持ポスト、５０…ミラー、５０ａ…第１角部、５０ｂ…第２角部、５０ｃ…第３角部、５０ｄ…第４角部、５１…ミラーポスト、１００…電気光学装置、１１０…光源部、１２０…投射光学系、３２１、３３１…電極ポスト、３４１、３４２…スプリングチップ（第１スプリングチップ）、３４３、３４４…スプリングチップ（第２スプリングチップ）、３４６…スプリングチップ（第１スプリングチップ）、３４７…スプリングチップ（第２スプリングチップ）、３４８…スプリングチップ（第１スプリングチップ）、３４９…スプリングチップ（第２スプリングチップ）、３６０…第１屈曲部、３６１…第１ビーム部、３６２…第２ビーム部、３６５…連結部、３６６…第１連結部、３６７…第２連結部、３６８…第１ビーム部、３７０…第２屈曲部、３７１…第３ビーム部、３７２…第４ビーム部、３７８…第２ビーム部、１０００…電子機器、Ｌ…軸線、Ｘ…第１方向、Ｙ…第２方向、Ｌａ…第１軸線、Ｌｂ…第２軸線。

Claims (19)

1. 基板から離間して設けられた光変調用のミラーと、前記ミラーと前記基板との間で前記ミラーを軸線周り揺動可能に支持するねじれヒンジと、を有する電気光学装置であって、
   前記ミラーと前記基板との間において、前記ミラーに隣り合って配置されたミラーと平面視で重ならない位置に、前記ミラーおよび前記基板から離間した状態で前記基板に支持されたビーム部を備え、
   前記ねじれヒンジは前記ビーム部より延在し、
   前記ビーム部からは、前記隣り合って配置されたミラーと平面視で重なる位置まで、前記隣り合って配置されたミラーの揺動範囲を規制するスプリングチップが突出していることを特徴とする電気光学装置。
2. 請求項１に記載の電気光学装置において、
   前記ミラーと前記基板との間には、前記ミラーと平面視で重なる位置に前記ミラーとの間に作用する静電力によって前記ミラーを揺動させるアドレス電極と、前記ねじれヒンジを介して前記ミラーにバイアス電圧を印加するバイアス電極と、が設けられていることを特徴とする電気光学装置。
3. 請求項２に記載の電気光学装置において、
   前記ねじれヒンジと前記ビーム部とは同一の層により構成されていることを特徴とする電気光学装置。
4. 請求項２または３に記載の電気光学装置において、
   前記アドレス電極は、前記基板に設けられた基板側アドレス電極と、前記基板側アドレス電極と前記ミラーとの間に設けられた高架アドレス電極と、を備えていることを特徴とする電気光学装置。
5. 請求項４に記載の電気光学装置において、
   前記高架アドレス電極は、前記基板側アドレス電極と前記ミラーとの間に設けられた下段側高架アドレス電極と、前記下段側高架アドレス電極と前記ミラーとの間に設けられた上段側高架アドレス電極と、を備えていることを特徴とする電気光学装置。
6. 請求項１乃至５の何れか一項に記載の電気光学装置において、
   第１方向および前記第１方向と交差する第２方向に複数の前記ミラーが設けられ、
   前記複数のミラーの各々と前記基板との間には、前記複数のミラーに対応するビーム部が存在し、
   前記複数のミラーの各々において、前記第１方向の一方側で隣り合うミラーに対応して設けられたビーム部、前記第１方向の他方側で隣り合うミラーに対応して設けられたビーム部、前記第２方向の一方側で隣り合うミラーに対応して設けられたビーム部、および前記第２方向の他方側で隣り合うミラーに対応して設けられたビーム部のいずれかから前記ミラーに隣接して配置されたミラーと平面視で重なる位置まで、前記隣接して配置されたミラーの揺動範囲を規制するスプリングチップが突出していることを特徴とする電気光学装置。
7. 請求項６に記載の電気光学装置において、
   前記軸線は、平面視で前記ミラーの前記第１方向の一方側かつ前記第２方向の他方側に位置する第１角部と、前記ミラーの前記第１方向の他方側かつ前記第２方向の一方側に位置する第２角部と、を通っていることを特徴とする電気光学装置。
8. 請求項７に記載の電気光学装置において、
   前記ビーム部は、前記ミラーの前記第１方向の一方側の端部に沿って前記第２方向に延在する第１ビーム部と、前記ミラーの前記第２方向の他方側の端部に沿って前記第１方向に延在する第２ビーム部と、前記ミラーの前記第１方向の他方側の端部に沿って前記第２方向に延在する第３ビーム部と、および前記ミラーの前記第２方向の一方側の端部に沿って前記第１方向に延在する第４ビーム部と、を備えていることを特徴とする電気光学装置。
9. 請求項８に記載の電気光学装置において、
   前記第１ビーム部、前記第２ビーム部、前記第３ビーム部、および前記第４ビーム部は各々、延在方向で離間する少なくとも２か所で支持ポストによって前記基板に支持され、
   前記スプリングチップは、前記第１ビーム部、前記第２ビーム部、前記第３ビーム部、および前記第４ビーム部の前記支持ポストの間の部分または前記支持ポストによって支持されている部分から突出していることを特徴とする電気光学装置。
10. 請求項８に記載の電気光学装置において、
    前記第１ビーム部と前記第２ビーム部とは、前記第１角部と平面視で重なる第１屈曲部で連結し、前記第３ビーム部と前記第４ビーム部とは、前記第２角部と平面視で重なる第２屈曲部で連結しており、
    前記第１ビーム部、前記第２ビーム部、前記第１屈曲部、前記第３ビーム部、前記第４ビーム部および前記第２屈曲部は各々、支持ポストによって前記基板に支持され、
    前記スプリングチップは、前記第１ビーム部の支持ポストと前記第１屈曲部の支持ポストとの間、前記第２ビーム部の支持ポストと前記第１屈曲部の支持ポストとの間、前記第３ビーム部の支持ポストと前記第２屈曲部の支持ポストとの間、および前記第４ビーム部の支持ポストと前記第２屈曲部の支持ポストの間の部分、または前記支持ポストによって支持されている部分から突出していることを特徴とする電気光学装置。
11. 請求項９または１０に記載の電気光学装置において、
    前記第１方向の一方側で隣り合うミラーに対応する第３ビーム部、および前記第２方向の一方側で隣り合うミラーに対応する第２ビーム部の各々から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記軸線周りの一方方向への揺動範囲を規制する第１スプリングチップが前記ミラーと平面視で重なる位置まで突出し、前記第１方向の他方側で隣り合うミラーに対応する第１ビーム部、および前記第２方向の他方側で隣り合うミラーに対応する第４ビーム部の各々から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記軸線周りの他方方向への揺動範囲を規制する第２スプリングチップが前記ミラーと平面視で重なる位置まで突出していることを特徴とする電気光学装置。
12. 請求項１０に記載の電気光学装置において、
    前記第１方向の一方側で隣り合うミラーに対応する第２屈曲部、および前記第２方向の一方側で隣り合うミラーに対応する第１屈曲部の各々から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記軸線周りの一方方向への揺動範囲を規制する第１スプリングチップが前記ミラーと平面視で重なる位置まで突出し、前記第１方向の他方側で隣り合うミラーに対応した第１屈曲部、および前記第２方向の他方側で隣り合うミラーに対応した第２屈曲部の各々から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記軸線周りの他方方向への揺動範囲を規制する第２スプリングチップが前記ミラーと平面視で重なる位置まで突出していることを特徴とする電気光学装置。
13. 請求項１０に記載の電気光学装置において、
    前記第１方向の一方側で隣り合うミラーに対応した第２屈曲部と前記第２方向の一方側で隣り合うミラーに対応した第１屈曲部とを連結する第１連結部から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記軸線周りの一方方向への揺動範囲を規制する第１スプリングチップが前記ミラーと平面視で重なる位置まで突出し、前記第１方向の他方側で隣り合うミラーに対応した第１屈曲部と前記第２方向の他方側で隣り合うミラーに対応した第２屈曲部とを連結する第２連結部から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記軸線周りの他方方向への揺動範囲を規制する第２スプリングチップが前記ミラーと平面視で重なる位置まで突出していることを特徴とする電気光学装置。
14. 請求項１３に記載の電気光学装置において、
    前記第１連結部の幅および前記第２連結部の幅は、前記ねじれヒンジの幅より狭いことを特徴とする電気光学装置。
15. 請求項６に記載の電気光学装置において、
    前記軸線は、平面視で前記ミラーと重なって前記第１方向に延在する第１軸線と、平面視で前記ミラーと重なって前記第２方向に延在する第２軸線とが設定されていることを特徴とする電気光学装置。
16. 請求項１５に記載の電気光学装置において、
    前記ビーム部は、前記ミラーの前記第１方向の一方側の端部に沿って前記第２方向に延在する第１ビーム部と、前記ミラーの前記第２方向の一方側の端部に沿って前記第１方向に延在する第２ビーム部と、を備えていることを特徴とする電気光学装置。
17. 請求項１６に記載の電気光学装置において、
    前記第１ビーム部および前記第２ビーム部は各々、延在方向で離間する少なくとも２か所で支持ポストによって前記基板に支持され、
    前記スプリングチップは、前記第１ビーム部および前記第２ビーム部の２つの前記支持ポストの間または前記支持ポストによって支持されている部分から突出していることを特徴とする電気光学装置。
18. 請求項１６または１７に記載の電気光学装置において、
    前記２方向の他方側で隣り合うミラーに対応した前記第２ビーム部から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記第１軸線周りの一方方向への揺動範囲を規制する第１スプリングチップが前記ミラーと平面視で重なる位置まで突出し、前記第１方向の他方側で隣り合うミラーに対応した前記第１ビーム部から前記スプリングチップとして前記ミラーの前記第２軸線周りの一方方向への揺動範囲を規制する第２スプリングチップが前記ミラーと平面視で重なる位置まで突出していることを特徴とする電気光学装置。
19. 請求項１乃至１８の何れか一項に記載の電気光学装置を備えた電子機器であって、
    前記ミラーに光源光を照射する光源部と、
    前記電気光学装置から出射された変調光を投射する投射光学系と、
    を有することを特徴とする電子機器。