RU2005119166A - Миниатюрное реле и соответствующие варианты его использования - Google Patents
Миниатюрное реле и соответствующие варианты его использования Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005119166A RU2005119166A RU2005119166/28A RU2005119166A RU2005119166A RU 2005119166 A RU2005119166 A RU 2005119166A RU 2005119166/28 A RU2005119166/28 A RU 2005119166/28A RU 2005119166 A RU2005119166 A RU 2005119166A RU 2005119166 A RU2005119166 A RU 2005119166A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- relay according
- conductive element
- zone
- capacitor plate
- contact point
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/5755—Structural details or topology the devices having a single sensing mass
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5726—Signal processing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/093—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by photoelectric pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/13—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position
- G01P15/131—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position with electrostatic counterbalancing means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
- H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H36/00—Switches actuated by change of magnetic field or of electric field, e.g. by change of relative position of magnet and switch, by shielding
- H01H2036/0093—Micromechanical switches actuated by a change of the magnetic field
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H37/00—Thermally-actuated switches
- H01H2037/008—Micromechanical switches operated thermally
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H35/00—Switches operated by change of a physical condition
- H01H35/02—Switches operated by change of position, inclination or orientation of the switch itself in relation to gravitational field
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H35/00—Switches operated by change of a physical condition
- H01H35/14—Switches operated by change of acceleration, e.g. by shock or vibration, inertia switch
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H35/00—Switches operated by change of a physical condition
- H01H35/24—Switches operated by change of fluid pressure, by fluid pressure waves, or by change of fluid flow
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H36/00—Switches actuated by change of magnetic field or of electric field, e.g. by change of relative position of magnet and switch, by shielding
Claims (33)
1. Миниатюрное реле, отличающееся тем, что содержит первую конденсаторную пластину (3), вторую конденсаторную пластину (9), обращенную к указанной первой конденсаторной пластине (3), причем вторая пластина меньше первой пластины или имеет такой же размер, промежуточное пространство (25), проводящий элемент (7), расположенный в указанном промежуточном пространстве (25), причем проводящий элемент (7) является независимой частью, способной осуществлять свободное перемещение через промежуточное пространство (25) и способной осуществлять свободное перемещение через промежуточное пространство (25) от первого конца промежуточного пространства (25), образующего первую зону, до второго конца промежуточного пространства (25), образующего вторую зону, и наоборот, причем движение зависит от напряжений, существующих в первой и второй конденсаторных пластинах, при этом первая конденсаторная пластина расположена в первой зоне, и вторая конденсаторная пластина расположена во второй зоне, третью конденсаторную пластину (11), расположенную во второй зоне и имеющую меньший размер, чем первая конденсаторная пластина (3), или равный ему, при этом вторая и третья конденсаторные пластины совместно имеют больший размер, чем первая конденсаторная пластина (3), первую точку (15) контакта электрической цепи, вторую точку (17) контакта указанной электрической цепи, которые образуют первые стопоры (13), при этом проводящий элемент (7) может входить в контакт с первыми стопорами (13), и предназначен для замыкания электрической цепи, когда он входит в контакт с первыми стопорами (13), при этом замыкание внешней электрической цепи гарантировано, даже если проводящий элемент остается под напряжением, в принципе неизвестным, которое может быть вызвано замкнутой внешней цепью.
2. Реле по п.1, отличающееся тем, что первая точка (15) контакта размещена между второй зоной и проводящим элементом (7).
3. Реле по любому из пп.1 или 2, отличающееся тем, что вторая точка (17) контакта также размещена во второй зоне.
4. Реле по п.1, отличающееся тем, что дополнительно содержит четвертую конденсаторную пластину (5), расположенную в первой зоне, причем первая конденсаторная пластина (3) и вторая конденсаторная пластина (9) имеют одинаковый размер, и третья конденсаторная пластина (11) и четвертая конденсаторная пластина (5) имеют одинаковый размер.
5. Реле по п.4, отличающееся тем, что первая, вторая, третья и четвертая конденсаторные пластины имеют одинаковый размер.
6. Реле по п.4, отличающееся тем, что дополнительно содержит пятую конденсаторную пластину (35), расположенную в первой зоне, и шестую конденсаторную пластину (37), расположенную во второй зоне, причем пятая конденсаторная пластина (35) и шестая конденсаторная пластина (37) имеют одинаковый размер.
7. Реле по п.6, отличающееся тем, что содержит шесть конденсаторных пластин, расположенных в первой зоне, и шесть конденсаторных пластин, расположенных во второй зоне.
8. Реле по п.1, отличающееся тем, что содержит второй стопор, расположенный между первой зоной и проводящим элементом (7).
9. Реле по п.1, отличающееся тем, что содержит третью точку (21) контакта, находящуюся между первой зоной и проводящим элементом (7), причем третья точка (21) контакта образует второй стопор таким образом, что проводящий элемент (7) замыкает вторую электрическую цепь, когда он входит в контакт со второй точкой (17) контакта и третьей точкой (21) контакта.
10. Реле по п.9, отличающееся тем, что проводящий элемент (7) содержит полую цилиндрическую часть (31), которая образует ось и внутри которой расположена вторая точка (17) контакта, и плоскую часть (33), которая отступает от одной стороны в радиальном направлении полой цилиндрической части (31) и которая имеет протяженность в направлении оси, причем плоская часть (33) имеет высоту, измеренную в направлении указанной оси, которая меньше высоты цилиндрической части (33), измеренной в направлении оси.
11. Реле по п.9, отличающееся тем, что проводящий элемент (7) содержит полую часть в форме параллелепипеда, которая образует ось и внутри которой расположена вторая точка (17) контакта, и плоскую часть (33), которая отступает от одной стороны в радиальном направлении полой части (31) в форме параллелепипеда и имеет протяженность в направлении указанной оси, причем плоская часть (33) имеет высоту, измеренную в направлении оси, которая меньше высоты части в форме параллелепипеда, измеренной в направлении оси.
12. Реле по п.1, отличающееся тем, что содержит третью точку (21) контакта и четвертую точку (23) контакта, находящиеся между первой зоной и проводящим элементом (7), причем третья точка (21) контакта и четвертая точка (23) контакта образуют вторые стопоры (19) таким образом, что проводящий элемент (7) замыкает вторую электрическую цепь, когда он входит в контакт с третьей точкой (21) контакта и четвертой точкой (23) контакта.
13. Реле по п.1, отличающееся тем, что каждый из узлов конденсаторных пластин, расположенных в каждой из первой и второй зон, имеет центральную симметрию относительно центра симметрии, который совмещен с центром масс проводящего элемента (7).
14. Реле по п.1, отличающееся тем, что узел конденсаторных пластин, расположенный в каждой из первой и второй зон, имеет центральную симметрию для генерирования момента сил относительно центра масс проводящего элемента (7).
15. Реле по п.12, отличающееся тем, что между первой зоной и второй зоной проходят две боковые стенки (29), между которыми и проводящим элементом (7) имеется зазор, который достаточно мал для предотвращения одновременного вхождения в контакт проводящего элемента (7) с точкой контакта группы, сформированной первой и второй точками (15, 17) контакта, и с точкой контакта группы, сформированной третьей и четвертой точками (21, 23) контакта.
16. Реле по п.1, отличающееся тем, что проводящий элемент (7) имеет закругленные внешние поверхности.
17. Реле по п.16, отличающееся тем, что проводящий элемент (7) имеет цилиндрическую форму.
18. Реле по п.16, отличающееся тем, что проводящий элемент (7) имеет сферическую форму.
19. Реле по п.1, отличающееся тем, что проводящий элемент (7) имеет верхнюю поверхность и нижнюю поверхность, причем верхняя и нижняя поверхности перпендикулярны направлению движения проводящего элемента (7), и по меньшей мере одну боковую поверхность, которая имеет небольшие выступы.
20. Реле по п.1, отличающееся тем, что проводящий элемент (7) полый.
21. Реле по п.1, отличающееся тем, что первая пластина (3) конденсатора имеет площадь поверхности, которая равна площади поверхности второй пластины (9) конденсатора или в два раза превышает ее.
22. Реле по п.1, отличающееся тем, что одна из пластин (3, 5, 9, 11, 35, 37) конденсатора одновременно является одной из указанных точек (15, 17, 21, 23) контакта.
23. Использование миниатюрного реле по любому из пп.1-22 в качестве акселерометра.
24. Использование миниатюрного реле по любому из пп.1-22 в качестве акселерометра в пневмоподушках безопасности.
25. Использование миниатюрного реле по любому из пп.1-22 в качестве наклономера.
26. Использование миниатюрного реле по любому из пп.1-22 в качестве датчика кориолисовых сил.
27. Использование миниатюрного реле по любому из пп.1-22 в качестве датчика давления.
28. Использование миниатюрного реле по любому из пп.1-22 в качестве микрофона.
29. Использование миниатюрного реле по любому из пп.1-22 в качестве датчика расхода.
30. Использование миниатюрного реле по любому из пп.1-22 в качестве датчика температуры.
31. Использование миниатюрного реле по любому из пп.1-22 в качестве вариантов применения в области акустики.
32. Использование миниатюрного реле по любому из пп.1-22 в качестве газового датчика.
33. Использование миниатюрного реле по любому из пп.1-22 в качестве датчика магнитного поля.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ES200202792 | 2002-11-19 | ||
| ESP200202792 | 2002-11-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2005119166A true RU2005119166A (ru) | 2006-01-20 |
| RU2325722C2 RU2325722C2 (ru) | 2008-05-27 |
Family
ID=32695801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005119166/09A RU2325722C2 (ru) | 2002-11-19 | 2003-11-18 | Миниатюрное реле и соответствующие варианты его использования |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US7876182B2 (ru) |
| EP (2) | EP1564584B1 (ru) |
| JP (2) | JP4372689B2 (ru) |
| KR (2) | KR20050085065A (ru) |
| CN (2) | CN100375921C (ru) |
| AT (2) | ATE322033T1 (ru) |
| AU (2) | AU2003279414A1 (ru) |
| BR (1) | BR0316409A (ru) |
| CA (2) | CA2506710A1 (ru) |
| DE (2) | DE60320832D1 (ru) |
| ES (3) | ES2258735T3 (ru) |
| RU (1) | RU2325722C2 (ru) |
| WO (2) | WO2004046807A1 (ru) |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6882256B1 (en) * | 2003-06-20 | 2005-04-19 | Northrop Grumman Corporation | Anchorless electrostatically activated micro electromechanical system switch |
| JP2007538483A (ja) * | 2004-05-19 | 2007-12-27 | バオラブ マイクロシステムズ エス エル | レギュレータ回路及びその使用法 |
| KR100599115B1 (ko) | 2004-07-20 | 2006-07-12 | 삼성전자주식회사 | 진동형 멤스 스위치 및 그 제조방법 |
| JP4601528B2 (ja) * | 2005-09-15 | 2010-12-22 | ドングク ユニバーシティ インダストリー−アカデミック コオペレーション ファウンデーション | プルアップ型接触パッドを利用したマイクロマシーニングスイッチの製造法 |
| ES2259570B1 (es) * | 2005-11-25 | 2007-10-01 | Baolab Microsystems S.L. | Dispositivo para la conexion de dos puntos de un circuito electrico. |
| ES2288111B1 (es) * | 2006-03-14 | 2008-10-16 | Baolab Microsystems S.L. | Conjunto electrooptico reflector miniaturizado para el procesado de una señal luminosa y procedimiento correspondiente. |
| WO2007104811A1 (es) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Baolab Microsystems S.L. | Dispositivo electroóptico reflector y procedimientos de actuación correspondientes |
| ES2281294B1 (es) * | 2006-03-10 | 2008-09-16 | Baolab Microsystems S.L. | Dispositivo electrooptico reflector digital miniaturizado. |
| ES2288110B1 (es) * | 2006-03-13 | 2008-10-16 | Baolab Microsystems, S.L. | Procedimiento de actuacion de un dispositivo electrooptico reflector miniaturizado y dispositivo correspondiente. |
| US8144125B2 (en) | 2006-03-30 | 2012-03-27 | Cypress Semiconductor Corporation | Apparatus and method for reducing average scan rate to detect a conductive object on a sensing device |
| US8111243B2 (en) | 2006-03-30 | 2012-02-07 | Cypress Semiconductor Corporation | Apparatus and method for recognizing a tap gesture on a touch sensing device |
| US8040142B1 (en) | 2006-03-31 | 2011-10-18 | Cypress Semiconductor Corporation | Touch detection techniques for capacitive touch sense systems |
| US8059015B2 (en) | 2006-05-25 | 2011-11-15 | Cypress Semiconductor Corporation | Capacitance sensing matrix for keyboard architecture |
| US8040321B2 (en) | 2006-07-10 | 2011-10-18 | Cypress Semiconductor Corporation | Touch-sensor with shared capacitive sensors |
| US8547114B2 (en) | 2006-11-14 | 2013-10-01 | Cypress Semiconductor Corporation | Capacitance to code converter with sigma-delta modulator |
| FR2911129A1 (fr) * | 2007-01-08 | 2008-07-11 | Microcomposants De Haute Secur | Micro-relais de type mems et procede de fabrication associe |
| US8058937B2 (en) | 2007-01-30 | 2011-11-15 | Cypress Semiconductor Corporation | Setting a discharge rate and a charge rate of a relaxation oscillator circuit |
| US8144126B2 (en) | 2007-05-07 | 2012-03-27 | Cypress Semiconductor Corporation | Reducing sleep current in a capacitance sensing system |
| US9500686B1 (en) | 2007-06-29 | 2016-11-22 | Cypress Semiconductor Corporation | Capacitance measurement system and methods |
| US8258986B2 (en) | 2007-07-03 | 2012-09-04 | Cypress Semiconductor Corporation | Capacitive-matrix keyboard with multiple touch detection |
| US8570053B1 (en) | 2007-07-03 | 2013-10-29 | Cypress Semiconductor Corporation | Capacitive field sensor with sigma-delta modulator |
| US8525798B2 (en) | 2008-01-28 | 2013-09-03 | Cypress Semiconductor Corporation | Touch sensing |
| US8319505B1 (en) | 2008-10-24 | 2012-11-27 | Cypress Semiconductor Corporation | Methods and circuits for measuring mutual and self capacitance |
| US8358142B2 (en) | 2008-02-27 | 2013-01-22 | Cypress Semiconductor Corporation | Methods and circuits for measuring mutual and self capacitance |
| US9104273B1 (en) | 2008-02-29 | 2015-08-11 | Cypress Semiconductor Corporation | Multi-touch sensing method |
| US8321174B1 (en) | 2008-09-26 | 2012-11-27 | Cypress Semiconductor Corporation | System and method to measure capacitance of capacitive sensor array |
| ES2342872B1 (es) * | 2009-05-20 | 2011-05-30 | Baolab Microsystems S.L. | Chip que comprende un mems dispuesto en un circuito integrado y procedimiento de fabricacion correspondiente. |
| TW201234527A (en) | 2010-11-19 | 2012-08-16 | Baolab Microsystems Sl | Methods and systems for fabrication of MEMS CMOS devices |
| JP5950336B2 (ja) * | 2012-03-22 | 2016-07-13 | 矢崎総業株式会社 | 電子部品モジュール |
| US11780725B2 (en) | 2020-01-08 | 2023-10-10 | Nanusens SL | MEMS device built using the BEOL metal layers of a solid state semiconductor process |
| CN113782356B (zh) * | 2021-07-23 | 2023-06-16 | 宁波金宸科技有限公司 | 一种基于液压传动的继电器 |
| CN115355836B (zh) * | 2022-08-18 | 2023-12-19 | 西安铁路信号有限责任公司 | 一种继电器绝对间隙的测量方法 |
Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2218502A (en) * | 1936-11-25 | 1940-10-22 | Illinois Testing Laboratories | Temperature controller |
| CA1307842C (en) * | 1988-12-28 | 1992-09-22 | Adrian William Alden | Dual polarization microstrip array antenna |
| WO1997015092A1 (en) * | 1995-10-13 | 1997-04-24 | Peter Nielsen | Method and system for communicating electromagnetic signals |
| GB2326284A (en) * | 1997-06-11 | 1998-12-16 | Siemens Plessey Electronic | Wide bandwidth antenna arrays |
| US6751442B1 (en) * | 1997-09-17 | 2004-06-15 | Aerosat Corp. | Low-height, low-cost, high-gain antenna and system for mobile platforms |
| DE19912669A1 (de) * | 1999-03-20 | 2000-09-21 | Abb Research Ltd | Substratparallel arbeitendes Mikrorelais |
| US6428173B1 (en) * | 1999-05-03 | 2002-08-06 | Jds Uniphase, Inc. | Moveable microelectromechanical mirror structures and associated methods |
| US6143997A (en) * | 1999-06-04 | 2000-11-07 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Low actuation voltage microelectromechanical device and method of manufacture |
| JP2001076605A (ja) * | 1999-07-01 | 2001-03-23 | Advantest Corp | 集積型マイクロスイッチおよびその製造方法 |
| US6218911B1 (en) * | 1999-07-13 | 2001-04-17 | Trw Inc. | Planar airbridge RF terminal MEMS switch |
| IL147475A0 (en) * | 1999-07-20 | 2002-08-14 | Memlink Ltd | Microelectromechanincal device with moving element |
| US6229640B1 (en) * | 1999-08-11 | 2001-05-08 | Adc Telecommunications, Inc. | Microelectromechanical optical switch and method of manufacture thereof |
| US6307452B1 (en) * | 1999-09-16 | 2001-10-23 | Motorola, Inc. | Folded spring based micro electromechanical (MEM) RF switch |
| CA2323189A1 (en) | 1999-10-15 | 2001-04-15 | Cristian A. Bolle | Dual motion electrostatic actuator design for mems micro-relay |
| EP1093143A1 (en) * | 1999-10-15 | 2001-04-18 | Lucent Technologies Inc. | Flip-chip bonded micro-relay on integrated circuit chip |
| US6667724B2 (en) * | 2001-02-26 | 2003-12-23 | Time Domain Corporation | Impulse radar antenna array and method |
| JP3651404B2 (ja) * | 2001-03-27 | 2005-05-25 | オムロン株式会社 | 静電マイクロリレー、並びに、該静電マイクロリレーを利用した無線装置及び計測装置 |
| US6917268B2 (en) * | 2001-12-31 | 2005-07-12 | International Business Machines Corporation | Lateral microelectromechanical system switch |
| US6621135B1 (en) * | 2002-09-24 | 2003-09-16 | Maxim Integrated Products, Inc. | Microrelays and microrelay fabrication and operating methods |
| JP4066928B2 (ja) * | 2002-12-12 | 2008-03-26 | 株式会社村田製作所 | Ｒｆｍｅｍｓスイッチ |
| US6882256B1 (en) * | 2003-06-20 | 2005-04-19 | Northrop Grumman Corporation | Anchorless electrostatically activated micro electromechanical system switch |
| US20070236307A1 (en) * | 2006-04-10 | 2007-10-11 | Lianjun Liu | Methods and apparatus for a packaged MEMS switch |
| US7141989B1 (en) * | 2006-04-10 | 2006-11-28 | Freescale Semiconductor, Inc. | Methods and apparatus for a MEMS varactor |
-
2003
- 2003-11-18 EP EP03772361A patent/EP1564584B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-11-18 KR KR1020057009110A patent/KR20050085065A/ko not_active Application Discontinuation
- 2003-11-18 AU AU2003279414A patent/AU2003279414A1/en not_active Abandoned
- 2003-11-18 DE DE60320832T patent/DE60320832D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-11-18 CA CA002506710A patent/CA2506710A1/en not_active Abandoned
- 2003-11-18 AT AT03772361T patent/ATE322033T1/de not_active IP Right Cessation
- 2003-11-18 RU RU2005119166/09A patent/RU2325722C2/ru active
- 2003-11-18 JP JP2004552744A patent/JP4372689B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-18 WO PCT/ES2003/000584 patent/WO2004046807A1/es active IP Right Grant
- 2003-11-18 ES ES03772361T patent/ES2258735T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2003-11-18 DE DE60304355T patent/DE60304355T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-11-18 CN CNB2003801071714A patent/CN100375921C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-18 BR BR0316409-8A patent/BR0316409A/pt not_active IP Right Cessation
- 2003-11-18 CA CA002506775A patent/CA2506775A1/en not_active Abandoned
- 2003-11-18 US US10/534,736 patent/US7876182B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-18 AT AT03772360T patent/ATE394344T1/de not_active IP Right Cessation
- 2003-11-18 ES ES03772360T patent/ES2305527T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2003-11-18 CN CNB2003801071729A patent/CN100410165C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-18 KR KR1020057009106A patent/KR20050083929A/ko not_active Application Discontinuation
- 2003-11-18 AU AU2003279415A patent/AU2003279415A1/en not_active Abandoned
- 2003-11-18 JP JP2004552743A patent/JP4351634B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-18 US US10/534,745 patent/US7446300B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-18 WO PCT/ES2003/000583 patent/WO2004046019A1/es active IP Right Grant
- 2003-11-18 EP EP03772360A patent/EP1564182B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-05-18 ES ES200401275A patent/ES2239549B1/es not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2005119166A (ru) | Миниатюрное реле и соответствующие варианты его использования | |
| JP2006506785A5 (ru) | ||
| Liu et al. | Investigation of a MEMS piezoelectric energy harvester system with a frequency-widened-bandwidth mechanism introduced by mechanical stoppers | |
| WO2015129442A1 (ja) | 振動発電素子 | |
| Nemirovsky et al. | A methodology and model for the pull-in parameters of electrostatic actuators | |
| US10580605B2 (en) | Very low power microelectromechanical devices for the internet of everything | |
| US7944332B2 (en) | Self-locking micro electro mechanical device | |
| Liu et al. | An in-plane approximated nonlinear MEMS electromagnetic energy harvester | |
| US20090140443A1 (en) | Microstructure with Enlarged Mass and Electrode Area for Kinetic to Electrical Energy Conversion | |
| JP2006210843A (ja) | 可変キャパシタ及びその製造方法 | |
| Song et al. | An electrostatically actuated stacked-electrode MEMS relay with a levering and torsional spring for power applications | |
| US7782026B2 (en) | Regulator circuit and corresponding uses | |
| Pawinanto et al. | Fabrication and testing of electromagnetic mems microactuator utilizing pcb based planar micro-coil | |
| Khan et al. | Arc-shaped cantilever beam RF MEMS switch for low actuation voltage | |
| JP2004181552A (ja) | マイクロマシンキャパシタ | |
| Yang et al. | Modeling, fabrication and demonstration of an electrostatic actuator with a coplanar pre-charged electrode | |
| Rocha et al. | Pull-in dynamics: analysis and modeling of the transitional regime | |
| Shmulevich et al. | On the notion of a mechanical battery | |
| Kumar et al. | Pull-in voltage study of various structured cantilever and fixed-fixed beam models using COMSOL multiphysics | |
| JP7268696B2 (ja) | 物理量センサ装置 | |
| Chouhan et al. | Actuation voltage analysis using FEM of RF MEMS switch design for low power consumption application | |
| Jeong | UV-LIGA micro-fabrication of inertia type electrostatic transducers and their application | |
| Mian et al. | Experimental analysis of out-of-plane Lorentz force actuated magnetic field sensor | |
| Medina et al. | Sub g Threshold Acceleration Sensor Incorporating Latched Bistable Beam | |
| Li et al. | Nonlinear feedback control to enhance stable performance of micromachined electrostatic parallel plate actuators |