JP2006352771A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4993080B2 (ja) * 2007-01-22 2012-08-08 セイコーエプソン株式会社 音叉型圧電振動片
JP4553157B2 (ja) 2007-11-20 2010-09-29 エプソントヨコム株式会社 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動子
JP4709884B2 (ja) * 2008-09-29 2011-06-29 日本電波工業株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP4934125B2 (ja) 2008-12-02 2012-05-16 日本電波工業株式会社 圧電フレームおよび圧電デバイス
JP4864962B2 (ja) 2008-12-17 2012-02-01 日本電波工業株式会社 圧電デバイス
JP5573532B2 (ja) * 2009-10-29 2014-08-20 株式会社大真空 圧電振動子
JP5789914B2 (ja) * 2010-02-05 2015-10-07 セイコーエプソン株式会社 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス
JP5633319B2 (ja) 2010-03-17 2014-12-03 セイコーエプソン株式会社 振動片、センサー素子、センサーおよび電子機器
JP5499852B2 (ja) 2010-04-08 2014-05-21 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子
JP5617392B2 (ja) 2010-07-09 2014-11-05 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子及び発振器
JP5659585B2 (ja) * 2010-07-09 2015-01-28 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器及び電子機器
JP5500736B2 (ja) * 2011-11-09 2014-05-21 日本電波工業株式会社 圧電デバイス
KR101532115B1 (ko) * 2011-12-01 2015-06-29 삼성전기주식회사 압전 진동자 및 그 제조 방법
JP2014085232A (ja) * 2012-10-24 2014-05-12 Seiko Epson Corp 物理量検出デバイス、物理量検出器、電子機器、及び移動体
JP6340774B2 (ja) * 2013-11-16 2018-06-13 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP5884849B2 (ja) * 2014-03-20 2016-03-15 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、ジャイロセンサーおよび電子機器
JP6450551B2 (ja) * 2014-09-30 2019-01-09 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片及び圧電振動子
JP6584257B2 (ja) * 2015-09-18 2019-10-02 京セラ株式会社 音叉型水晶振動素子

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56737A (en) * 1979-06-15 1981-01-07 Seiko Epson Corp Tuning fork type crystal oscillator
JPS5694813A (en) * 1979-12-27 1981-07-31 Seiko Instr & Electronics Ltd Tuning fork type piezoelectric oscillator
JPS57185717A (en) * 1981-05-12 1982-11-16 Citizen Watch Co Ltd Tuning fork type quartz oscillator
JP4049017B2 (ja) * 2003-05-16 2008-02-20 セイコーエプソン株式会社 圧電振動子
JP4219737B2 (ja) * 2003-05-30 2009-02-04 リバーエレテック株式会社 圧電振動子
JP4265499B2 (ja) * 2004-05-12 2009-05-20 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP4207873B2 (ja) * 2004-09-24 2009-01-14 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP4301200B2 (ja) * 2004-10-20 2009-07-22 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP4301140B2 (ja) * 2004-10-22 2009-07-22 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電デバイス

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