JP2006349682A - 高圧センサ装置および該高圧センサ装置を製作するための方法 - Google Patents
高圧センサ装置および該高圧センサ装置を製作するための方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006349682A JP2006349682A JP2006164838A JP2006164838A JP2006349682A JP 2006349682 A JP2006349682 A JP 2006349682A JP 2006164838 A JP2006164838 A JP 2006164838A JP 2006164838 A JP2006164838 A JP 2006164838A JP 2006349682 A JP2006349682 A JP 2006349682A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- sensor device
- functional layer
- layer
- electrical circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
- G01L9/0055—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0069—Electrical connection means from the sensor to its support
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
【解決手段】圧力センサ素子1が、圧力の影響を受けて変形可能なダイヤフラム3と、機能層5とを有しており、該機能層5が変形時に電気的な特性を変化させるようになっていて、少なくとも1つの電気的な接続範囲を有しており、これらの電気的な接続範囲に半導体構成素子がはんだ層によって直接に接続されている。
【選択図】図1
Description
Claims (11)
- 圧力センサ素子(1)と、特に半導体構成素子の形の電気的な回路(13,13′)とを備えた高圧センサ装置であって、圧力センサ素子(1)が、圧力の影響を受けて変形可能なダイヤフラム(3)と、機能層(5)とを有しており、該機能層(5)が変形時に電気的な特性を変化させるようになっていて、少なくとも1つの電気的な接続範囲(9,10,11,12)を有している形式のものにおいて、前記電気的な回路(13,13′)が、はんだ層によって電気的な前記接続範囲(9,10,11,12)に直接に接続されていることを特徴とする高圧センサ装置。
- 機能層(5)が、ダイヤフラム(3)に面状に結合されている、請求項1記載の高圧センサ装置。
- 機能層(5)とダイヤフラム(3)との間に絶縁層(4)が設けられている、請求項1または2記載の高圧センサ装置。
- 前記電気的な回路(13,13′)が、はんだ層(20,21)によって機能層(5)の2つの接続範囲(9,10,11,12)に接続されており、前記電気的な回路(13,13′)に前記2つの接続範囲(9,10,11,12)の間で、熱膨張を補償するための少なくとも1つの弾性的な成形エレメント(14,15,16,17)が設けられている、請求項1から3までのいずれか1項記載の高圧センサ装置。
- ダイヤフラム(3)が鋼から成っている、請求項1から4までのいずれか1項記載の高圧センサ装置。
- 機能層(5)がピエゾ抵抗型の材料から成っている、請求項1から5までのいずれか1項記載の高圧センサ装置。
- 機能層(5)がNiCrSi合金から成っている、請求項6記載の高圧センサ装置。
- 前記電気的な回路が、半導体構成素子(13,13′)の形で、該半導体構成素子の、機能層(5)に面した側の下面に、僅か数パーセントのシリコンおよび銅の混加物を有するアルミニウムメタライジング部を有しており、該アルミニウムメタライジング部がニッケル層で覆われている、請求項1から7までのいずれか1項記載の高圧センサ装置。
- 前記電気的な回路(13,13′)は機能層(5)に、はんだ層が設けられていない少なくとも1つの範囲で、有機結合材料(28)によって結合されている、請求項1から8までのいずれか1項記載の高圧センサ装置。
- 前記電気的な回路(13,13′)および圧力センサ素子(1)が、電気的な外部接続部(33,34)を有するハウジングによって取り囲まれており、該ハウジング内に付加的に前記電気的な回路(13,13′)および/または圧力センサ素子(1)の電気的な配線素子が配置されている、請求項1から9までのいずれか1項記載の高圧センサ装置。
- 請求項1から10までのいずれか1項記載の高圧センサ装置を製造するための方法において、前記電気的な回路(13,13′)を機能層(5)の接続範囲(9,10,11,12)に結合し、この場合、まず両構成要素のうちのいずれか一方にはんだを被着させ、次いで両構成要素を接合し、かつはんだ付け法によってはんだ付けすることを特徴とする、高圧センサ装置を製造するための方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005027365A DE102005027365A1 (de) | 2005-06-14 | 2005-06-14 | Hochdrucksensoreinrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006349682A true JP2006349682A (ja) | 2006-12-28 |
Family
ID=37465038
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006164838A Pending JP2006349682A (ja) | 2005-06-14 | 2006-06-14 | 高圧センサ装置および該高圧センサ装置を製作するための方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7802481B2 (ja) |
JP (1) | JP2006349682A (ja) |
DE (1) | DE102005027365A1 (ja) |
FR (1) | FR2887026B1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011069823A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-04-07 | Robert Bosch Gmbh | パッシベーションを用いずにセンサデバイスを製造する方法並びにセンサデバイス |
EP3156776A2 (en) | 2015-09-25 | 2017-04-19 | Nagano Keiki Co., Ltd. | Pressure sensor |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7373827B2 (en) * | 2006-08-07 | 2008-05-20 | Kistler Holding Ag | High-pressure sensor with sealing system |
US7878069B2 (en) * | 2009-05-04 | 2011-02-01 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Torque insensitive header assembly |
US7930944B2 (en) * | 2008-05-14 | 2011-04-26 | Honeywell International Inc. | ASIC compensated pressure sensor with soldered sense die attach |
US8485042B2 (en) * | 2008-08-05 | 2013-07-16 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Method for manufacturing an elastic body of Al2O3 ceramic, measuring membrane for a pressure sensor and pressure sensor with such a membrane |
DE102008041943A1 (de) | 2008-09-10 | 2010-03-11 | Robert Bosch Gmbh | Sensoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung |
DE102012100942A1 (de) * | 2012-01-05 | 2013-07-11 | Trafag Ag | Messzelle, Hochdrucksensor und Herstellverfahren |
JP6212000B2 (ja) * | 2014-07-02 | 2017-10-11 | 株式会社東芝 | 圧力センサ、並びに圧力センサを用いたマイクロフォン、血圧センサ、及びタッチパネル |
DE102015226642A1 (de) * | 2015-12-23 | 2017-06-29 | Robert Bosch Gmbh | Sensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums |
FR3086058B1 (fr) * | 2018-09-18 | 2021-10-22 | Arianegroup Sas | Capteur de pression miniaturise |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0260838U (ja) * | 1988-10-27 | 1990-05-07 | ||
JPH0534550U (ja) * | 1991-10-15 | 1993-05-07 | エヌオーケー株式会社 | 圧力センサ |
JPH07120208A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-12 | Nok Corp | 歪みゲージ |
JPH09126926A (ja) * | 1995-08-28 | 1997-05-16 | Soc Europ Propulsion <Sep> | 検知部材を組込んだ圧力センサー |
JPH10227709A (ja) * | 1997-02-18 | 1998-08-25 | Fujikura Ltd | 圧力センサ装置 |
JP2002082009A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-03-22 | Denso Corp | 圧力センサ |
WO2004068096A1 (ja) * | 2003-01-30 | 2004-08-12 | Fujikura Ltd. | 半導体圧力センサ及びその製造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4236137A (en) * | 1979-03-19 | 1980-11-25 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Semiconductor transducers employing flexure frames |
JPS58180927A (ja) * | 1982-04-16 | 1983-10-22 | Toshiba Corp | 半導体感圧素子の保護装置 |
JPS63165725A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-09 | Aisin Seiki Co Ltd | 圧力センサ−用歪ゲ−ジ |
GB2207804B (en) * | 1987-08-06 | 1990-08-15 | Stc Plc | Pressure sensor and manufacturing process therefor |
US5050034A (en) * | 1990-01-22 | 1991-09-17 | Endress U. Hauser Gmbh U. Co. | Pressure sensor and method of manufacturing same |
US5581038A (en) * | 1994-04-04 | 1996-12-03 | Sentir, Inc. | Pressure measurement apparatus having a reverse mounted transducer and overpressure guard |
US6140144A (en) * | 1996-08-08 | 2000-10-31 | Integrated Sensing Systems, Inc. | Method for packaging microsensors |
DE19928917A1 (de) * | 1999-06-24 | 2000-12-28 | Bosch Gmbh Robert | Drucksensorvorrichtung |
US6236095B1 (en) * | 2000-02-15 | 2001-05-22 | Dresser Equipment Goup, Inc. | Carrier structure for semiconductor transducers |
DE10114862B9 (de) * | 2001-03-26 | 2007-04-26 | First Sensor Technology Gmbh | Drucksensoreinrichtung |
TWI224190B (en) * | 2003-05-28 | 2004-11-21 | Au Optronics Corp | Semiconductor pressure sensor |
DE102004006201B4 (de) * | 2004-02-09 | 2011-12-08 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensor mit Siliziumchip auf einer Stahlmembran |
DE102004010295A1 (de) * | 2004-03-03 | 2005-09-22 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren |
-
2005
- 2005-06-14 DE DE102005027365A patent/DE102005027365A1/de not_active Ceased
-
2006
- 2006-06-12 FR FR0652508A patent/FR2887026B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 2006-06-14 JP JP2006164838A patent/JP2006349682A/ja active Pending
- 2006-06-14 US US11/453,716 patent/US7802481B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0260838U (ja) * | 1988-10-27 | 1990-05-07 | ||
JPH0534550U (ja) * | 1991-10-15 | 1993-05-07 | エヌオーケー株式会社 | 圧力センサ |
JPH07120208A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-12 | Nok Corp | 歪みゲージ |
JPH09126926A (ja) * | 1995-08-28 | 1997-05-16 | Soc Europ Propulsion <Sep> | 検知部材を組込んだ圧力センサー |
JPH10227709A (ja) * | 1997-02-18 | 1998-08-25 | Fujikura Ltd | 圧力センサ装置 |
JP2002082009A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-03-22 | Denso Corp | 圧力センサ |
WO2004068096A1 (ja) * | 2003-01-30 | 2004-08-12 | Fujikura Ltd. | 半導体圧力センサ及びその製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011069823A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-04-07 | Robert Bosch Gmbh | パッシベーションを用いずにセンサデバイスを製造する方法並びにセンサデバイス |
EP3156776A2 (en) | 2015-09-25 | 2017-04-19 | Nagano Keiki Co., Ltd. | Pressure sensor |
US10151656B2 (en) | 2015-09-25 | 2018-12-11 | Nagano Keiki Co., Ltd. | Pressure sensor configured to detect pressure of fluid to be measured that embrittles material |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7802481B2 (en) | 2010-09-28 |
FR2887026A1 (fr) | 2006-12-15 |
FR2887026B1 (fr) | 2017-06-23 |
US20060278002A1 (en) | 2006-12-14 |
DE102005027365A1 (de) | 2006-12-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006349682A (ja) | 高圧センサ装置および該高圧センサ装置を製作するための方法 | |
US7210357B2 (en) | Pressure sensor and manufacturing method of the same | |
US7228745B2 (en) | Pressure sensor | |
US7231830B2 (en) | Pressure sensor with processing circuit covered by sensor chip | |
US8028584B2 (en) | Pressure sensor and method for manufacturing the same | |
CN100588038C (zh) | 半导体装置及其制造方法 | |
EP2388816A1 (en) | Semiconductor sensor device, method of manufacturing semiconductor sensor device, package, method of manufacturing package, module, method of manufacturing module, and electronic device | |
US7480989B2 (en) | Method for manufacturing pressure detector | |
JPWO2007083748A1 (ja) | 圧力センサパッケージ及び電子部品 | |
US9499398B2 (en) | Vertically hybridly integrated assembly having an interposer for stress-decoupling of a MEMS structure, and method for its manufacture | |
JP2014048072A (ja) | 圧力センサモジュール | |
KR101013186B1 (ko) | 압력 센서 장치 및 그 제조 방법 | |
WO2018088141A1 (ja) | 半導体モジュール | |
JP2007165585A (ja) | 電子回路装置 | |
JP5804445B2 (ja) | 半導体圧力センサ | |
JP2001183389A (ja) | マイクロセンサモジュールの実装構造および実装方法 | |
JP4894159B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP3415413B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2005274219A (ja) | 半導体加速度センサ装置並びにその製造方法 | |
JP4466497B2 (ja) | センサモジュール | |
JP2006080350A (ja) | 半導体装置およびその実装構造 | |
JPH11261080A (ja) | 半導体素子及びその実装構造 | |
JP5328492B2 (ja) | 圧力センサモジュール及び圧力センサパッケージ、並びにこれらの製造方法 | |
JP5177910B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2006177860A (ja) | 圧力検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090612 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111027 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120127 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120201 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120327 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121019 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130319 |