JP2006332585A - 研磨パッド及びこれを採用した化学的機械的研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨パッドの表面に同心円状に形成されている第1グルーブパターン400と、該第1グルーブパターン400と重なるように、前記研磨パッドの表面において前記同心円状の中央部から外側に向けて螺旋状に形成されている第2グルーブパターン410と、を備えてなり、前記第1グルーブパターン400及び第2グルーブパターン410と重なるように、前記研磨パッドの表面において前記同心円状の中央部から四方に向けて放射状に延びる第3グルーブパターン420をさらに有する研磨パッド及びこれを採用した化学的機械的研磨装置を提供する。
【選択図】図4
Description
た場合の研磨率を示すものである。また、このようなグルーブパターンの傾度によって研磨率が増加する効果は、図11から分かるように、研磨圧力が大きくなるほどより増大し、かつ、供給されるスラリーの量が増加して供給代謝が円滑になるほど増大する(930)。図11において未説明である符号940,950は、研磨パッドに形成されたグルーブパターンの傾度に従う研磨率を示すものである。また、従来の垂直形態のグルーブパターン(図1b参照)の代わりに、正の傾度を有するグルーブパターン(図5参照)を形成することによって、研磨工程で供給されたスラリー及び研磨工程中に発生した副産物を迅速に除去し、常に新しいスラリーの供給を円滑にすることができる。
Claims (10)
- 半導体基板を化学的機械的研磨するための研磨パッドであって、
研磨パッドの表面に同心円状に形成されている第1グルーブパターンと、
前記第1グルーブパターンと重なるように、前記研磨パッドの表面において前記同心円状の中央部から外側に向けて螺旋状に形成されている第2グルーブパターンと、
を有することを特徴とする研磨パッド。 - 前記第1グルーブパターン及び第2グルーブパターンと重なるように、前記研磨パッドの表面において前記同心円状の中央部から四方に向けて放射状に延びる第3グルーブパターンをさらに有することを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記第1ないし第3グルーブパターンは、研磨パッドの中心軸を基準にして正の傾度を有することを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記正の傾度は、15〜25゜であることを特徴とする請求項3に記載の研磨パッド。
- 前記第1グルーブパターンの深さは、0.014〜0.016インチであることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記第1グルーブパターンの幅は、0.009〜0.011インチであることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 第1グルーブパターンのピッチは、0.05〜0.07インチであることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 第2及び第3グルーブパターンは、第1グルーブパターンの2倍以上の幅と深さで形成されていることを特徴とする請求項1及び2に記載の研磨パッド。
- 回転自在に設けられるプラテンと、
前記プラテン上に置かれる、請求項1乃至8のいずれか1項による研磨パッドと、
前記研磨パッドを含むプラテン上にウエハを押圧して保持する研磨ヘッドと、
前記研磨パッドにスラリーを供給するスラリー供給機構と、
を備える化学的機械的研磨装置。 - 前記研磨パッドの表面に形成されている第2及び第3グルーブパターンの進行方向 は、前記プラテンの回転方向と反対方向であることを特徴とする請求項9に記載の化学的機械的研磨装置。
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