JP2006332230A - ショットキーバリアダイオード及びその製造方法 - Google Patents
ショットキーバリアダイオード及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006332230A JP2006332230A JP2005152167A JP2005152167A JP2006332230A JP 2006332230 A JP2006332230 A JP 2006332230A JP 2005152167 A JP2005152167 A JP 2005152167A JP 2005152167 A JP2005152167 A JP 2005152167A JP 2006332230 A JP2006332230 A JP 2006332230A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- schottky
- epitaxial layer
- barrier diode
- schottky barrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 title claims abstract description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 22
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 8
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 2
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/16—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic Table
- H01L29/1608—Silicon carbide
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/0445—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising crystalline silicon carbide
- H01L21/048—Making electrodes
- H01L21/0495—Schottky electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/43—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/47—Schottky barrier electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66053—Multistep manufacturing processes of devices having a semiconductor body comprising crystalline silicon carbide
- H01L29/6606—Multistep manufacturing processes of devices having a semiconductor body comprising crystalline silicon carbide the devices being controllable only by variation of the electric current supplied or the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched, e.g. two-terminal devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/86—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
- H01L29/861—Diodes
- H01L29/872—Schottky diodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【課題】 ショットキー電極上にコンタクト電極を形成した状態で熱処理をした場合でも、ダイオード特性の悪化を抑制する。
【解決手段】 炭化珪素からなる半導体基板11上にエピタキシャル層12を形成し、そのエピタキシャル層12の表面にショットキー電極14を形成したショットキーバリアダイオードにおいて、前記ショットキー電極14上に貴金属のコンタクト電極15を形成し、そのコンタクト電極15を形成した後、600〜1000℃で熱処理する。
【選択図】 図1
【解決手段】 炭化珪素からなる半導体基板11上にエピタキシャル層12を形成し、そのエピタキシャル層12の表面にショットキー電極14を形成したショットキーバリアダイオードにおいて、前記ショットキー電極14上に貴金属のコンタクト電極15を形成し、そのコンタクト電極15を形成した後、600〜1000℃で熱処理する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、炭化珪素(SiC)を用いたショットキー接合を有する半導体装置であるショットキーバリアダイオード及びその製造方法に関する。
炭化珪素(SiC)は、その最大電界強度が大きいことから、大電力、高耐圧を制御する電力用半導体デバイスへの応用が期待されている。この種、炭化珪素を用いた電力用半導体デバイスの一例として、ショットキーバリアダイオードがある(例えば、特許文献1参照)。このショットキーバリアダイオードは、pn接合ダイオードと異なり、少数キャリアを使用しないことから高速スイッチングが可能となっている。
図5はショットキーバリアダイオードの構造例を示す概略断面図である。ショットキーバリアダイオードは、同図に示すように炭化珪素(SiC)からなる半導体基板1上にエピタキシャル層2を形成し、そのエピタキシャル層2の表面にTiのショットキー電極4を形成すると共に、そのショットキー電極4の上にAlあるいはCuのコンタクト電極5を形成した構造を具備する。なお、半導体基板1の裏面には、Niのオーミック電極3が形成されている。
このショットキーバリアダイオードは、炭化珪素からなる半導体基板1上にエピタキシャル層2を形成し、そのエピタキシャル層2の表面にTiをスパッタリングまたは蒸着することによりショットキー電極4を形成した上で、そのショットキー電極4の上にAlあるいはCuをスパッタリングまたは蒸着することによりコンタクト電極5を形成する。このコンタクト電極5の形成後、例えば600℃より低い温度で熱処理することにより、エピタキシャル層2とショットキー電極4との界面に合金層6を形成し、その界面での安定化を図っている。
特開2000−164528号公報
ところで、前述したショットキーバリアダイオードでは、熱処理によりショットキー電極4とエピタキシャル層2との界面でTiとSiが反応し、合金層6が形成される。このような合金層6を形成することにより、ショットキー電極4とエピタキシャル層2の界面が安定化し、ダイオードに逆方向のサージ電圧が印加されたときに発生する熱に対する耐性を持ち、信頼性の向上を図っている。しかしながら、600℃よりも低温の熱処理では、TiとSiの合金化が十分でなく、ショットキー電極4とエピタキシャル層2の界面での安定化を図ることが困難となり、サージ電圧印加時に発生する熱に対する耐性を持たせることが難しい。
また、Tiでショットキー電極4を形成した場合、他の金属よりも炭化珪素とのショットキー障壁が低いため、オン電圧が小さく、その結果、損失が小さくなることが知られている。しかしながら、ショットキー電極4のみで熱処理をした場合、Tiの酸化が発生し、ショットキー障壁が高くなり、損失が大きくなってしまう。また、600℃以上の高温で熱処理をした場合、逆方向の漏れ電流が大きくなり、ダイオード特性が悪化してしまう。また、このショットキー電極4の上にAlあるいはCuのコンタクト電極5を形成した状態で熱処理をした場合、Tiの酸化などによるショットキー電極4の劣化が起こらず、ショットキー障壁が高くなることなく、低損失化が図れるが、TiとAlあるいはCuが反応してしまい、漏れ電流が大きくなり、前述のショットキー電極4のみの場合と同様、ダイオード特性が悪化するという問題があった。
そこで、本発明は前述の問題点に鑑みて提案されたもので、その目的とするところは、ショットキー電極上にコンタクト電極を形成した状態で熱処理をした場合でも、ダイオード特性の悪化を抑制し得るショットキーバリアダイオード及びその製造方法を提供することにある。
前記目的を達成するための技術的手段として、本発明は、炭化珪素からなる半導体基板上にエピタキシャル層を形成し、そのエピタキシャル層の表面にショットキー電極を形成したショットキーバリアダイオードにおいて、前記ショットキー電極上に貴金属のコンタクト電極を形成したことを特徴とし、また、前記ショットキー電極上に貴金属の中間電極を形成し、その中間電極の上にコンタクト電極を形成したことを特徴とする。
また、本発明は、炭化珪素からなる半導体基板上にエピタキシャル層を形成し、そのエピタキシャル層の表面にショットキー電極を形成するショットキーバリアダイオードの製造方法において、前記ショットキー電極上に貴金属のコンタクト電極を形成した後、600〜1000℃で熱処理することを特徴とし、また、前記ショットキー電極上に貴金属の中間電極を形成し、その中間電極の上にコンタクト電極を形成した後、600〜1000℃で熱処理することを特徴とする。
本発明では、ショットキー電極上に貴金属のコンタクト電極あるいは貴金属の中間電極を形成したことにより、ショットキー電極上にコンタクト電極あるいは中間電極を形成した状態で熱処理をした場合でも、Tiと貴金属が反応することが少なくなるので、漏れ電流が小さくなり、ダイオード特性の悪化を抑制することができる。
その結果、コンタクト電極の形成後、600℃以上の高温で熱処理することが可能となり、ショットキー電極とエピタキシャル層の界面での合金化が十分なものとなり、その界面の安定化を容易に図ることができ、逆方向のサージ電圧印加時に発生する熱に対する耐性を持たせることができる。この熱処理の温度が1000℃よりも大きくなると、ショットキー電極とエピタキシャル層の界面での合金化が進行しすぎ、ダイオード特性を悪化させることになる。
本発明によれば、ショットキー電極上に貴金属のコンタクト電極あるいは貴金属の中間電極を形成したことにより、ショットキー電極上にコンタクト電極あるいは中間電極を形成した状態で熱処理をした場合でも、Tiと貴金属が反応することが少なくなるので、漏れ電流が小さくなり、ダイオード特性の悪化を抑制することができる。
その結果、コンタクト電極の形成後、600〜1000℃で熱処理することにより、ショットキー電極とエピタキシャル層の界面での合金化が十分なものとなり、その界面の安定化を容易に図ることができ、逆方向のサージ電圧印加時に発生する熱に対する耐性を持たせることができる。
このようにダイオード特性の悪化を抑制することができ、逆方向のサージ電圧印加時に発生する熱に対する耐性を持たせることができるので、高温での安定した動作を実現することができ、信頼性の高いショットキーバリアダイオードを提供できる。
図1は本発明の実施形態におけるショットキーバリアダイオードの構造例を示す概略断面図である。この実施形態のショットキーバリアダイオードは、同図に示すように炭化珪素(SiC)からなる半導体基板11上にエピタキシャル層12を形成し、そのエピタキシャル層12の表面にTiのショットキー電極14を形成すると共に、そのショットキー電極14の上に貴金属のコンタクト電極15を形成した構造を具備する。なお、半導体基板11の裏面には、Niのオーミック電極13が形成されている。このコンタクト電極15を形成する貴金属としては、Au、Pt、Ag、Pd、Ir等を使用することが可能である。
このショットキーバリアダイオードは、以下の要領でもって製作される。まず、炭化珪素(SiC)からなるn型半導体基板11上にn型エピタキシャル層12を形成する。このエピタキシャル層12としては、例えば、厚さ10μm程度が好ましい。また、半導体基板11のキャリア濃度は、1×1018cm-3、エピタキシャル層12のキャリア濃度は、5×1015cm-3である。
前述した半導体基板11の裏面には、Niを0.1μm蒸着し、熱処理を施してオーミック電極13を形成する。その後、ショットキー電極形成のための前処理として半導体基板11を洗浄した上で、エピタキシャル層12の表面にTi、Auの順でスパッタリングする。このスパッタリングによる膜厚は、Tiが0.2μm、Auが2.0μmとする。このTi膜およびAu膜の形成後、フォトリソグラフィによりAu膜、Ti膜の順でパターニングすることにより、Tiのショットキー電極14とAuのコンタクト電極15をエピタキシャル層12の上に積層形成する。
このコンタクト電極15の形成後、Arの不活性ガス雰囲気中において、例えば700℃の高温で30分間熱処理する。この熱処理は、600〜1000℃の温度範囲で行うことが望ましい。この熱処理により、エピタキシャル層12とショットキー電極14との界面に合金層16を形成し、その界面での安定化を図っている。その結果、逆方向のサージ電圧印加時に発生する熱に対する耐性を持たせることができる。また、この熱処理時、Tiのショットキー電極14がAuのコンタクト電極15で被覆されているので、Tiの酸化などによるショットキー電極14の劣化が生じることもない。そのため、漏れ電流が増加せず、また、ショットキー障壁が高くなることなく、低損失化が図れる。
ここで、処理温度が600℃より低いと、エピタキシャル層12とショットキー電極14との界面での合金化が十分でなく、その界面の安定化を図ることが困難となり、逆方向のサージ電圧印加時に発生する熱に対する耐性を持たせることが困難となる。また、処理温度が1000℃より高くなると、ショットキー電極14とエピタキシャル層12の界面での合金化が進行しすぎ、ダイオード特性を悪化させることになる。
次に、図2は本発明の他の実施形態におけるショットキーバリアダイオードの構造例を示す概略断面図である。この実施形態のショットキーバリアダイオードは、同図に示すように炭化珪素からなる半導体基板11上に形成されたエピタキシャル層12の表面にTiのショットキー電極14を形成すると共に、そのショットキー電極14の上にAuの中間電極17とAlのコンタクト電極18を形成した構造を具備する。
このショットキーバリアダイオードの製作要領は、前述した図1の実施形態と同様に炭化珪素からなる半導体基板11上にエピタキシャル層12を形成し、そのエピタキシャル層12の表面にTi、Au、Alの順でスパッタリングする。このスパッタリングによる膜厚は、Tiが0.2μm、Auが0.2μm、Alが2.0μmとする。このTi膜、Au膜およびAl膜の形成後、フォトリソグラフィによりAl膜、Au膜、Ti膜の順でパターニングすることにより、Tiのショットキー電極14、Auの中間電極17およびAlのコンタクト電極18をエピタキシャル層12の上に積層形成する。このコンタクト電極18の形成後、図1の実施形態と同様に熱処理する。
この実施形態の場合、貴金属の中間電極17を薄く形成し、その上にAlあるいはCuのコンタクト電極18を厚く形成することから、貴金属の使用量を減少させることができ、製品コストを低減することができる。
なお、前述した図1の実施形態では、Tiのショットキー電極14の側面が露呈しているが、図3に示すようにTiのショットキー電極14’の側面をAuのコンタクト電極15’で被覆するようにすれば、Tiのショットキー電極14’の劣化を防止することができる。また、図2に示す実施形態についても、Tiのショットキー電極14の側面が露呈しているが、図4に示すようにTiのショットキー電極14’をAuの中間電極17’で被覆するようにすれば、Tiのショットキー電極14’の劣化を防止できる。
11 基板
12 エピタキシャル層
14 ショットキー電極
15 コンタクト電極
17 中間電極
18 コンタクト電極
12 エピタキシャル層
14 ショットキー電極
15 コンタクト電極
17 中間電極
18 コンタクト電極
Claims (4)
- 炭化珪素からなる半導体基板上にエピタキシャル層を形成し、そのエピタキシャル層の表面にショットキー電極を形成したショットキーバリアダイオードにおいて、前記ショットキー電極上に貴金属のコンタクト電極を形成したことを特徴とするショットキーバリアダイオード。
- 炭化珪素からなる半導体基板上にエピタキシャル層を形成し、そのエピタキシャル層の表面にショットキー電極を形成したショットキーバリアダイオードにおいて、前記ショットキー電極上に貴金属の中間電極を形成し、その中間電極の上にコンタクト電極を形成したことを特徴とするショットキーバリアダイオード。
- 炭化珪素からなる半導体基板上にエピタキシャル層を形成し、そのエピタキシャル層の表面にショットキー電極を形成するショットキーバリアダイオードの製造方法において、前記ショットキー電極上に貴金属のコンタクト電極を形成した後、600〜1000℃で熱処理することを特徴とするショットキーバリアダイオードの製造方法。
- 炭化珪素からなる半導体基板上にエピタキシャル層を形成し、そのエピタキシャル層の表面にショットキー電極を形成するショットキーバリアダイオードの製造方法において、前記ショットキー電極上に貴金属の中間電極を形成し、その中間電極上にコンタクト電極を形成した後、600〜1000℃で熱処理することを特徴とするショットキーバリアダイオードの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005152167A JP2006332230A (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | ショットキーバリアダイオード及びその製造方法 |
EP06010743A EP1727209A2 (en) | 2005-05-25 | 2006-05-24 | Schottky barrier diode and method of producing the same |
US11/439,248 US20060267128A1 (en) | 2005-05-25 | 2006-05-24 | Schottky barrier diode and method of producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005152167A JP2006332230A (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | ショットキーバリアダイオード及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006332230A true JP2006332230A (ja) | 2006-12-07 |
Family
ID=36954724
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005152167A Pending JP2006332230A (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | ショットキーバリアダイオード及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060267128A1 (ja) |
EP (1) | EP1727209A2 (ja) |
JP (1) | JP2006332230A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011176015A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Denso Corp | ショットキーバリアダイオードを備えた炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
JP2014086438A (ja) * | 2012-10-19 | 2014-05-12 | Toyota Motor Corp | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5304255B2 (ja) * | 2009-01-13 | 2013-10-02 | 住友電気工業株式会社 | 炭化ケイ素基板、エピタキシャルウエハおよび炭化ケイ素基板の製造方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3290127A (en) * | 1964-03-30 | 1966-12-06 | Bell Telephone Labor Inc | Barrier diode with metal contact and method of making |
US4197551A (en) * | 1977-09-14 | 1980-04-08 | Raytheon Company | Semiconductor device having improved Schottky-barrier junction |
US5270252A (en) * | 1988-10-25 | 1993-12-14 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Method of forming platinum and platinum silicide schottky contacts on beta-silicon carbide |
US5075740A (en) * | 1991-01-28 | 1991-12-24 | Sanken Electric Co., Ltd. | High speed, high voltage schottky semiconductor device |
US6362495B1 (en) * | 1998-03-05 | 2002-03-26 | Purdue Research Foundation | Dual-metal-trench silicon carbide Schottky pinch rectifier |
ATE357744T1 (de) * | 1998-09-02 | 2007-04-15 | Siced Elect Dev Gmbh & Co Kg | Halbleitervorrichtung mit ohmscher kontaktierung und verfahren zur ohmschen kontaktierung einer halbleitervorrichtung |
US6410460B1 (en) * | 2000-05-15 | 2002-06-25 | Ramot University Authority For Applied Research And Industrial Development Ltd. | Technology for thermodynamically stable contacts for binary wide band gap semiconductors |
US6544674B2 (en) * | 2000-08-28 | 2003-04-08 | Boston Microsystems, Inc. | Stable electrical contact for silicon carbide devices |
US6573128B1 (en) * | 2000-11-28 | 2003-06-03 | Cree, Inc. | Epitaxial edge termination for silicon carbide Schottky devices and methods of fabricating silicon carbide devices incorporating same |
US6768146B2 (en) * | 2001-11-27 | 2004-07-27 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | III-V nitride semiconductor device, and protection element and power conversion apparatus using the same |
US7262434B2 (en) * | 2002-03-28 | 2007-08-28 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device with a silicon carbide substrate and ohmic metal layer |
-
2005
- 2005-05-25 JP JP2005152167A patent/JP2006332230A/ja active Pending
-
2006
- 2006-05-24 EP EP06010743A patent/EP1727209A2/en not_active Withdrawn
- 2006-05-24 US US11/439,248 patent/US20060267128A1/en not_active Abandoned
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011176015A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Denso Corp | ショットキーバリアダイオードを備えた炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
JP2014086438A (ja) * | 2012-10-19 | 2014-05-12 | Toyota Motor Corp | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
US9607836B2 (en) | 2012-10-19 | 2017-03-28 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Semiconductor device and manufacturing method of semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060267128A1 (en) | 2006-11-30 |
EP1727209A2 (en) | 2006-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5449786B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置及び炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP5408929B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP6477106B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP4140648B2 (ja) | SiC半導体用オーミック電極、SiC半導体用オーミック電極の製造方法、半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2018098227A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP4379305B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5401356B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4501488B2 (ja) | 炭化珪素半導体のオーミック電極及びその製造方法 | |
JP4091931B2 (ja) | SiC半導体装置およびSiC半導体装置の製造方法 | |
JP2006332230A (ja) | ショットキーバリアダイオード及びその製造方法 | |
JP6648574B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP6014322B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP5982109B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置 | |
TW201131810A (en) | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device | |
JPWO2015155806A1 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法及び炭化珪素半導体装置 | |
JP2010157547A (ja) | 炭化珪素半導体素子の製造方法 | |
JP4038499B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP4087368B2 (ja) | SiC半導体装置の製造方法 | |
JP5775711B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 | |
JP6013817B2 (ja) | ジャンクションバリアショットキーダイオードの製造方法 | |
JP2006032456A (ja) | 半導体素子および半導体素子の製造方法 | |
JP4036075B2 (ja) | p型SiC用電極の製造方法 | |
JP6090474B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP5846779B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2013038319A (ja) | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20071127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081216 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090408 |