JP2006332191A - バンプ平坦化装置及びこれを用いたバンプ平坦化方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 基板表面に形成された複数のバンプを、その位置精度を良好に保ちつつ均一に平坦化することができるバンプ平坦化装置及びこれを用いたバンプ平坦化方法を提供すること。
【解決手段】 ヘッド部３は、載置面２ａと対向配置されたローラ４と、このローラ４の周囲を取り囲んで、当該ローラ４を前記平行な面上でスライド方向Ｘ１と直交する方向に沿った回転軸回りに回転自在に支持する枠状フレーム６と、枠状フレーム６を跨ぐように配置されたチャネル状フレーム８と、チャネル状フレーム８の両側壁８ｂからそれぞれ相手の側壁８ｂ側へ延びるとともに共通の線Ｌ１上に軸線が配置された一対の傾動軸７とを備えている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体素子等の電子部品を搭載する配線基板の表面に設けられた半田バンプ等のバンプを平坦化するための技術に関するものである。

一般に、配線基板は、絶縁層と導体層とを組み合わせることにより、所定の配線経路が形成された基板である。この配線基板の表面には、前記配線経路の適所と電気的に接続された複数の接続パッドが設けられ、この接続パッドと電子部品とを電気的に接続することが可能とされている。

具体的に、配線基板は、前記接続パッドの表面に予め溶着された半田バンプを備え、半田バンプ上に電子部品の電極を載置した後、加熱して半田バンプを溶融させることにより、電子部品と接続パッドとを電気的に接続することができるようになっている。

そして、前記接続パッドと電子部品との接続をより確実なものとするために、前記半田バンプを平坦化する技術（例えば、特許文献１）が知られている。

特許文献１の平坦化装置は、所定の間隔で対向配置された上下一対のローラと、上側のローラを回転自在に保持する支持部材と、前記ローラの回転軸の軸線方向及び上下方向と直交する方向に沿って延びて前記支持部材を傾斜可能に支持する軸とを備え、前記各ローラ間に配線基板を通過させることによりプリコートはんだ（半田バンプ）を平坦化するようになっている。

前記平坦化装置は、前記配線基板の通過方向に沿った前記軸回りに支持部材を傾斜させることができるので、両ローラ間を通過する配線基板に撓み等が生じている場合であっても、この撓みに応じてローラを傾斜させることにより、配線基板上の複数のプリコートはんだ（半田バンプ）に対し比較的一様な圧力を付与することができる。
特開平１０−８４０６０号公報

しかしながら、特許文献１の平坦化装置では、前記回転軸回りのローラの回転駆動と支持部材の傾斜とを両立させるため、前記軸を少なくともローラの半径寸法分だけ前記回転軸から離間した位置に配設する必要があった。

すなわち、特許文献１の平坦化装置では、前記軸を相手側（下側）のローラと反対側の位置（上方）に配設することにより当該軸とローラとの干渉を避けるようにしているため、当該軸と配線基板との距離を大きくせざるを得なかった。

そのため、前記平坦化装置では、前記軸回りの支持部材の傾動半径が大きくなり、これにより、支持部材の傾動に伴うローラの移動距離が大きくなるので、このローラの移動方向に沿って押し潰されたプリコートはんだ（半田バンプ）の位置が前記接続パッドに対して大きく位置ずれしてしまうおそれがあった。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、基板表面に形成された複数のバンプを、その位置精度を良好に保ちつつ均一に平坦化することができるバンプ平坦化装置及びこれを用いたバンプ平坦化方法を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、本発明は、表面に複数のバンプが形成された基板を、前記表面を上方に向けた姿勢で載置可能な載置面を有する載置部と、前記載置面に対して昇降自在なヘッド部と、前記載置面と平行な面上における特定のスライド方向に沿って前記載置部とヘッド部とを相対的に移動させる駆動部とを備え、前記ヘッド部は、前記載置面と対向配置されたローラと、このローラの周囲を取り囲んで、当該ローラを前記平行な面上で前記スライド方向と直交する方向に沿った回転軸回りに回転自在に支持する第一支持部と、この第一支持部の上方に配置された天板とこの天板の前記スライド方向の両側から垂下された一対の側壁とを有し、これら天板及び各側壁で前記第一支持部を跨ぐように配置された第二支持部と、前記両側壁からそれぞれ相手の側壁側へ延びるとともに共通の線上に軸線が配置された一対の傾動軸とを備え、前記第一支持部が第二支持部に対して各傾動軸回りに傾動自在に支持されていることを特徴とするバンプ平坦化装置を提供する。

本発明によれば、バンプの高さ寸法に応じてヘッド部を載置部に対して昇降させた上で、これらヘッド部と載置部とをスライド方向に相対的に移動させることにより、載置部に載置された基板上のバンプに対してヘッド部のローラが転がり接触して、当該バンプを平坦化することができる。

そして、本発明では、第一支持部を跨ぐように第二支持部を配設し、この第二支持部の両側壁から延びる各傾動軸により第一支持部を両側から軸支するようにしているので、ローラの側方の領域であっても当該ローラの回転を妨げることなく傾動軸を配置することができる。

したがって、本発明によれば、前記各傾動軸を載置部（載置面）寄りに配設することができるので、当該各傾動軸を中心とする第一支持部（ローラ）の傾動半径を小さくすることができ、これにより、ローラの傾動に伴う移動距離を短くして、当該ローラの傾動に伴う移動方向に沿ったバンプの押し潰しを抑制することができる。

本発明は、表面に複数のバンプが形成された基板を、前記表面を上方に向けた姿勢で載置可能な載置面を有する載置部と、前記載置面に対して昇降自在なヘッド部と、前記載置面と平行な面上における特定のスライド方向に沿って前記載置部とヘッド部とを相対的に移動させる駆動部とを備え、前記ヘッド部は、前記載置面と対向配置されたローラと、このローラを前記平行な面上で前記スライド方向と直交する方向に沿った回転軸回りに回転自在に支持する支持部とを備え、前記載置部は、前記載置面が形成された載置板と、この載置板の下方に配置された底部とこの底部の前記スライド方向の両側に立設された側壁とを有し、これら底部及び各側壁間に前記載置板を格納するベースと、前記両側壁間に延びる傾動軸とを備え、前記載置板が前記ベースに対して傾動軸回りに傾動自在に支持されていることを特徴とするバンプ平坦化装置を提供する。

本発明によれば、バンプの高さ寸法に応じてヘッド部を載置部に対して昇降させた上で、これらヘッド部と載置部とをスライド方向に相対的に移動させることにより、載置部に載置された基板上のバンプに対してヘッド部のローラが転がり接触して、当該バンプを平坦化することができる。

このとき、載置板が傾動軸回りに傾動することが可能とされているので、ローラと載置板との間で挟圧される基板が撓んでいる場合であっても、この撓みに応じて前記載置板が傾動することにより、各バンプに対して一様に圧力を付与することができる。

そして、本発明では、ベースの底部と両側壁との間に載置板を格納し、このベースの両側壁間に延びる傾動軸により載置板を両側から軸支するようにしているので、載置板の側方の領域に傾動軸を配置することができる。

したがって、本発明によれば、従来のようにローラを傾動させる場合であって当該ローラの半径寸法以上基板から離間した位置に傾動軸を配設している場合と比較して、前記傾動軸を載置面（基板）寄りに配設することができるので、当該傾動軸を中心とする載置板（載置面）の傾動半径を小さくすることができ、これにより、載置面に載置されている基板の傾動に伴う移動距離を短くして、前記ローラに対する基板の傾動に伴う移動方向に沿ったバンプの押し潰しを抑制することができる。

本発明は、表面に複数のバンプが形成された基板を、前記表面を上方に向けた姿勢で載置可能な載置面を有する載置部と、前記載置面に対して昇降自在なヘッド部とを備え、前記ヘッド部は、前記載置面と対向配置された下面が、当該載置面に載置された基板上のバンプ形成領域に対応する表面積のプレス面とされたプレス板と、このプレス板の周囲を取り囲んで、当該プレス板を前記載置面と平行な第一傾動軸回りに傾動自在に支持する第一支持部と、この第一支持部の上方に配置された天板とこの天板の両側から垂下された側壁とを有し、これら天板及び各側壁で前記第一支持部を跨ぐように配置された第二支持部と、前記載置面と平行な面上で前記第一傾動軸と直交する方向に沿った共通の線上にそれぞれ軸線が配置され、前記両側壁からそれぞれ相手の側壁側ヘ延びる一対の第二傾動軸とを備え、前記第一支持部が第二支持部に対して前記第二傾動軸回りに傾動自在に支持されていることを特徴とするバンプ平坦化装置を提供する。

本発明によれば、バンプの高さ寸法に応じてヘッド部（プレス板）を載置部に対して降下させることにより、プレス面と載置面との間で載置部に載置された基板上のバンプを一括して平坦化することができる。

このとき、プレス板が互いに直交する第一傾動軸及び第二傾動軸回りに傾動することが可能とされているので、プレス板と載置部との間で挟圧される基板が撓んでいる場合であっても、この撓みに応じてプレス板が傾動することにより、各バンプに対して一様に圧力を付与することができる。

そして、本発明では、プレス板の周囲を取り囲むように第一支持部を配設し、この第一支持部の第一傾動軸によりプレス板を軸支するようにしているので、当該プレス板をその側方から支持することができる。

さらに、本発明では、第一支持部を跨ぐように第二支持部を配設し、この第二支持部の両側壁からそれぞれ延びる各第二傾動軸により第一支持部を両側から軸支するようにしているので、前記プレス板の側方の領域であっても当該プレス板の第一傾動軸回りの傾動を妨げることなく第二傾動軸を配置することができる。

したがって、本発明によれば、従来のようにローラを傾動させる場合であって当該ローラの半径寸法以上基板から離間した位置に傾動軸を配設している場合と比較して、前記第一傾動軸及び第二傾動軸を載置部（載置面）寄りに配設することができるので、当該各傾動軸を中心とするプレス板の傾動半径を小さくすることができ、これにより、プレス板の傾動に伴う移動距離を短くして、当該プレス板の傾動に伴う移動方向に沿ったバンプの押し潰しを抑制することができる。

本発明は、表面に複数のバンプが形成された基板を、前記表面を上方に向けた姿勢で載置可能な載置面を有する載置部と、前記載置面に対して昇降自在なヘッド部とを備え、前記ヘッド部は、前記載置面と対向配置された下面が、当該載置面に載置された基板上のバンプ形成領域に対応する表面積のプレス面とされたプレス板と、このプレス板の上方に配置された天板とこの天板の両側から垂下された第一側壁とを有し、これら天板及び各第一側壁で前記プレス板を跨ぐように配置された支持部と、前記両第一側壁間に延びる第一傾動軸とを備え、前記載置部は、前記載置面が形成された載置板と、この載置板の下方に配置された底部とこの底部の両側に立設された第二側壁とを有し、これら底部及び各第二側壁間に前記載置板を格納するベースと、前記両第二側壁間で前記第一傾動軸及び上下方向と直交する方向に沿って延びる第二傾動軸とを備え、前記プレス板が前記支持部に対して前記第一傾動軸回りに傾動自在に支持されているとともに、前記載置板が前記ベースに対して第二傾動軸回りに傾動自在に支持されていることを特徴とするバンプ平坦化装置を提供する。

本発明によれば、バンプの高さ寸法に応じてヘッド部（プレス板）を載置部に対して降下させることにより、プレス面と載置面との間で載置部に載置された基板上のバンプを一括して平坦化することができる。

このとき、プレス板が第一傾動軸回りに傾動することが可能とされているので、プレス板と載置板との間で挟圧される基板が撓んでいる場合であっても、この撓みに応じてプレス板が傾動することにより、各バンプに対して一様に圧力を付与することができる。

また、本発明では、載置板が前記第一傾動軸と直交する第二傾動軸回りに傾動することが可能とされているので、基板の撓みに応じて載置板が傾動することにより、前記第一傾動軸回りのプレス板の傾動と相俟って、各バンプに対する圧力をより一層均一に付与することができる。

そして、本発明では、プレス板を跨ぐように支持部を配設し、この支持部の第一傾動軸によりプレス板を軸支するようにしているので、当該プレス板をその側方から支持することができる。

さらに、本発明では、ベースの底部と両第二側壁との間に載置板を格納し、このベースの両第二側壁間に延びる第二傾動軸により載置板を両側から軸支するようにしているので、載置板の側方の領域に第二傾動軸を配置することができる。

したがって、本発明によれば、従来のようにローラを傾動させる場合であって当該ローラの半径寸法以上基板から離間した位置に傾動軸を配設している場合と比較して、前記第一傾動軸及び第二傾動軸を載置面（基板）寄りに配設することができるので、第一傾動軸を中心とするプレス板の傾動半径及び、第二傾動軸を中心とする載置板（載置面）の傾動半径を小さくすることができ、これにより、プレス板と基板との傾動に伴う移動方向に沿ったバンプの押し潰しを抑制することができる。

本発明は、表面に複数のバンプが形成された基板を、前記表面を上方に向けた姿勢で載置可能な載置面を有する載置部と、前記載置面に対して昇降自在なヘッド部とを備え、前記ヘッド部は、前記載置面と対向配置された下面が、当該載置面に載置された基板上のバンプ形成領域に対応する表面積のプレス面とされたプレス板を備え、前記載置部は、前記載置面が形成された載置板と、この載置板の周囲を取り囲んで、前記プレス面と平行な第一傾動軸回りに前記載置板を傾動自在に支持する支持部と、この支持部の下方に配置された底部とこの底部の両側に立設された側壁とを有し、これら底部及び各側壁間に前記支持部を格納するベースと、前記プレス面と平行な面上で前記第一傾動軸の軸線方向と直交する方向に沿った共通の線上にそれぞれ軸線が配置され、前記両側壁からそれぞれ相手の側壁側へ延びる一対の第二傾動軸とを備え、前記支持部が前記ベースに対して第二傾動軸回りに傾動自在に支持されていることを特徴とするバンプ平坦化装置を提供する。

本発明によれば、バンプの高さ寸法に応じてヘッド部（プレス板）を載置部に対して降下させることにより、プレス面と載置面との間で載置部に載置された基板上のバンプを一括して平坦化することができる。

このとき、載置板が互いに直交する第一傾動軸及び第二傾動軸回りに傾動することが可能とされているので、プレス板と載置板との間で挟圧される基板が撓んでいる場合であっても、この撓みに応じて載置板が傾動することにより、各バンプに対して一様に圧力を付与することができる。

そして、本発明では、載置板の周囲を取り囲むように支持部を配設し、この支持部の第一傾動軸により載置板を軸支するようにしているので、当該載置板をその側方から支持することができる。

さらに、本発明では、ベースの底部と両側壁との間に支持部を格納し、このベースの両側壁からそれぞれ延びる各第二傾動軸により支持部を両側から軸支するようにしているので、前記載置板の側方の領域であっても当該載置板の第一傾動軸回りの傾動を妨げることなく各第二傾動軸を配置することができる。

したがって、本発明によれば、従来のようにローラを傾動させる場合であって当該ローラの半径寸法以上基板から離間した位置に傾動軸を配設している場合と比較して、前記第一傾動軸及び第二傾動軸を載置部（載置面）寄りに配設することができるので、当該各傾動軸を中心とする載置板の傾動半径を小さくすることができ、これにより、載置板の傾動に伴う移動距離を短くして、当該載置板の傾動に伴う移動方向に沿ったバンプの押し潰しを抑制することができる。

また、本発明の別の態様は、前記バンプ平坦化装置の前記載置部に、バンプが形成された表面を上方に向けた姿勢で基板を載置する載置工程と、載置部に載置されている基板上のバンプを前記バンプ平坦化装置のヘッド部により平坦化する平坦化工程とを含むことを特徴とするバンプ平坦化方法である。

本発明に係る方法によれば、バンプを平坦化するのに際し、当該基板に撓みが生じている場合でも、載置部又はヘッド部が傾動することにより、各バンプに対して一様な圧力を付与することができる。

さらに、本発明によれば、前記載置部又はヘッド部の傾動半径を小さくすることができるので、これら両者の傾動に伴う移動距離を短くして、この移動方向に沿ったバンプの押し潰しを抑制することができる。

前記バンプ平坦化方法において、前記平坦化工程を複数回繰り返し実行することが好ましい。

すなわち、載置部又はヘッド部の傾動の程度によっては、各バンプの平坦化の程度（押し潰しの程度）が不均一となる場合もあるが、前記平坦化工程を複数回実行することにより、各バンプの平坦化の程度をより均一に揃えることができる。

本発明によれば、基板表面に形成された複数のバンプを、その位置精度を良好に保ちつつ均一に平坦化することができる。

以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。

図１は、本発明の第一の実施形態に係るバンプ平坦化装置の要部を拡大して示す側面断面図である。図２は、図１のバンプ平坦化装置におけるヘッドの底面図である。図３は、図１のバンプ平坦化装置におけるヘッド部を示す斜視図である。

各図を参照して、バンプ平坦化装置１は、表面に複数のバンプＢが形成された基板Ｓを、前記表面を上方に向けた姿勢で載置可能な載置面２ａを有する載置部２と、前記載置面２ａに対して昇降自在なヘッド部３と、前記載置面２ａと平行な面上における特定のスライド方向Ｘ１に沿って前記載置部２とヘッド部３とを相対的に移動させる図略の駆動部とを備えている。

なお、以下の説明では、載置面２ａと平行な面を仮にＸＹ平面とし、このＸＹ平面と直交する方向を仮にＺ軸方向とし、前記ＸＹ平面におけるＸ軸方向と前記スライド方向Ｘ１とが仮に平行するものとして説明する。

載置部２は、ステンレス鋼等の金属からなる四角形の板であり、その上面に形成された載置面２ａが略水平となるように図略の台座上に固定されている。

この載置部２は、基板Ｓの平面形状に対応して立設された複数のガイドピン（図示せず）を備えており、これらガイドピンに沿わせながら載置面２ａ上に載置された基板Ｓが、後述するヘッド部３に対して位置決めされるようになっている。なお、これらガイドピンに沿わせた姿勢にある基板Ｓを載置面２ａ上で保持するために、当該基板Ｓをその裏側から吸着する吸着孔を載置面２ａ上に開口してもよい。また、ガイドピンは、後述する平坦化工程の際にローラ４との干渉をさけるため、載置部２上に載置された基板ＳのバンプＢの高さ位置よりも低くなるように、その突出寸法が設定されている。

ヘッド部３は、前記載置面２ａと対向配置されたローラ４と、このローラ４をＹ軸方向に沿った回転軸５回りに回転自在に支持する枠状フレーム（第一支持部）６と、この枠状フレーム６をＸ軸方向に沿った傾動軸７回りに傾動自在に支持するチャネル状フレーム（第二支持部）８と、このチャネル状フレーム８を上方から支持するアーム９とを備えている。

ローラ４は、ステンレス鋼等の金属からなる直径が１０〜５０ｍｍ程度、長さが１０〜１００ｍｍ程度に設定された円柱状の部材であり、その長手方向がＹ軸方向に沿って配置されている。

また、ローラ４は、その外周面が前記バンプＢを平坦化するためのプレス面４ａとされている。すなわち、ローラ４は、前記駆動部によりヘッド部３がＸ軸方向へ移動することによりバンプＢに対して転がり接触しながら、そのプレス面４ａによりバンプＢを平坦化することが可能とされている。

なお、前記ローラ４の直径は、平坦化の対象となる基板Ｓの種類に応じて適宜設定される。すなわち、ローラ４の直径が小さい程、ローラ４とバンプＢとの接触の態様が点接触（線接触）に近づくので、バンプＢに付与される圧力が大きくなり、ヘッド部３の移動方向（Ｘ軸方向）に沿ったバンプＢの変形を引き起こしやすくなる。一方、ローラ４の直径が大きい程、ローラ４とバンプＢとの接触の態様が面接触に近づくので、バンプＢに付与される圧力が小さくなり、ヘッド部３の移動方向（Ｘ軸方向）に沿ったバンプＢの変形を抑制することができるものの、その分、ローラ４に対して一度に接触するバンプＢの数量が増加するので、当該ローラ４を載置部２に押付ける力が余分に必要となる。

一方、ローラ４の長さ寸法は、Ｙ軸方向における基板Ｓ上のバンプＢの形成領域よりも若干長く寸法設定されている。

枠状フレーム６は、Ｘ軸方向に沿った一対の短辺部６ａ、Ｙ軸方向に沿った一対の長辺部６ｂを有するロの字形に形成され、これら各短辺部６ａ及び各長辺部６ｂにより前記ローラ４の周囲（Ｘ軸、Ｙ軸方向の周囲）を取り囲むようになっている。

また、枠状フレーム６は、各短辺部６ａ間でＹ軸方向に沿って掛け渡された回転軸５回りに回転自在となるように前記ローラ４を支持している。

チャネル状フレーム８は、前記枠状フレーム６の上方に配置された天板８ａと、この天板８ａのＸ軸方向の両端部から垂下された一対の側壁８ｂとを備え、これら天板８ａと各側壁８ｂで前記枠状フレーム６を跨ぐように配置されている（図１参照）。

このチャネル状フレーム８には、前記各側壁８ｂからそれぞれ相手側の側壁８ｂへ向けて延びる一対の傾動軸７が設けられている。これら傾動軸７は、それぞれＹ軸方向に沿った共通の線Ｌ１上に軸線が配置されており、本実施形態において、前記共通の線Ｌ１は、前記ローラ４の軸線に対しその中点で直交するＸＺ平面（平面Ｐ１）上で、回転軸５の軸線と直交するように配置されている。

そして、前記枠状フレーム６及びチャネル状フレーム８の各側壁８ｂは、ローラ４の下部を露出するように（図１参照）、そのＺ軸方向の寸法が設定されている。

アーム９は、前記チャネル状フレーム８の天板８ａから上方に延びる棒状の部材であり、その上部が図略の昇降装置に接続され、この昇降装置によりＺ軸方向への昇降が可能とされている。なお、昇降装置は、エアシリンダや、モータの出力軸に噛合するラック等の周知の構成であるため、ここでは説明を省略する。

駆動部は、前記ヘッド部３のアーム９をＸ軸方向に駆動する、例えば、エアシリンダや、モータの出力軸に噛合するラック等により構成されている。本実施形態では、駆動部がヘッド部３をＸ軸方向に駆動する例について説明しているが、ヘッド部３に対して前記載置部２をＸ軸方向に駆動する駆動部を採用してもよい。

以下、前記バンプ平坦化装置１の使用方法について、図４及び図５を参照して説明する。

図４は、図１のバンプ平坦化装置１を用いたバンプ平坦化方法を示す側面断面図であり、基板Ｓの載置工程実行後の状態を示している。図５は、図１のバンプ平坦化装置１を用いたバンプ平坦化方法を示す側面断面図であり、バンプＢの平坦化工程実行中の状態を示している。

図４を参照して、まず、前記載置部２における載置面２ａ上の所定位置（前記ガイドピンにより規定された位置）に基板Ｓを載置する（載置工程）。このとき、バンプＢが形成されている側の表面を上方に向けた姿勢で基板Ｓを載置する。

図５を参照して、次に、バンプＢの目標となる高さ寸法（平坦化後の高さ寸法）に対応して、前記昇降装置（図示せず）によりヘッド部３を降下させて、前記ローラ４を基板ＳにおけるＸ軸方向の一方の縁部（図では左側の縁部）の上方に配置させる。そして、前記昇降装置によるヘッド部３の高さ位置を維持しながら、ヘッド部３を基板Ｓの他端側（図の右側）へ移動させることにより、前記ローラ４が各バンプＢに対して順次転がり接触し、このローラ４のプレス面４ａにより各バンプＢが順次平坦化される（平坦化工程）。

なお、前記昇降装置をエアシリンダ等で構成して前記アーム９の上下位置を比較的柔軟に変位させることができるように構成する（アーム９をダンパーのように駆動可能とする）ことにより、前記平坦化工程では、ローラ４のプレス面４ａを基板Ｓの上面に当接させた状態で、ヘッド部３をＸ軸方向へ移動させてバンプＢの平坦化を行うこともできる。すなわち、ローラ４をバンプＢの起伏に応じて若干上方へ退避させながら、当該バンプＢに対して順次転がり接触させることにより、各バンプＢを平坦化することができる。

このヘッド部３の移動の過程において、基板Ｓに撓みがある場合には、前記傾動軸７回りに枠状フレーム６が傾動することに伴い、ローラ４が傾動するので、各バンプＢに対して昇降装置（図示せず）による圧力を一様に付与することができる。また、前記傾動軸７がローラ４の回転軸５と同じ高さ位置に配置されているので、この傾動軸７回りの枠状フレーム６（ローラ４）の傾動半径を小さくしてローラ４の傾動に伴う移動距離を短くすることができるので、バンプＢをＹ軸方向に押し潰すことなく平坦化することができる。

そして、ヘッド部３が基板Ｓの端部（図では右側）へ移動した後には、当該ヘッド部３を再び基板Ｓの反対側（図では左側）へ戻らせるように移動して、前記平坦化工程を複数回実行することもできる。このようにすれば、一回目の平坦化工程で枠状フレーム６が大きく傾動して十分に平坦化されていないバンプＢが残っている場合であっても、二回目以降の平坦化工程において各バンプＢをより均一に平坦化することができる。

以上説明したように、前記バンプ平坦化装置１によれば、バンプＢの高さ寸法に応じてヘッド部３を載置部２に対して昇降させた上で、このヘッド部３をスライド方向Ｘ１に駆動することにより、載置部２に載置された基板Ｓ上のバンプＢに対してヘッド部３のローラ４が転がり接触して、当該バンプＢを平坦化することができる。

そして、前記バンプ平坦化装置１では、枠状フレーム６を跨ぐようにチャネル状フレーム８を配設し、このチャネル状フレーム８の両側壁８ｂから延びる各傾動軸７により枠状フレーム６をＹ軸方向の両側から軸支するようにしているので、ローラ４の側方の領域であっても当該ローラ４の回転を妨げることなく傾動軸７を配置することができる。

したがって、前記バンプ平坦化装置１によれば、前記各傾動軸７を載置部２（載置面２ａ）寄りに配設することができるので、当該各傾動軸７を中心とする枠状フレーム６（ローラ４）の傾動半径を小さくすることができ、これにより、ローラ４の傾動に伴う移動距離を短くして、当該ローラ４の傾動に伴う移動方向に沿ったバンプＢの押し潰しを抑制することができる。

また、前記バンプ平坦化装置１では、前記ローラ４の長手方向の中点で回転軸５と直交する平面Ｐ１上に傾動軸７を配設している、すなわち、ローラ４をその長手方向の中央位置を中心として傾動させることができるので、ローラ４の両端部の傾動に伴う移動距離を長手方向の両側で均一にすることができ、これによっても、ローラ４の傾動に伴う移動方向に沿ったバンプＢの押し潰しを抑制することができる。

なお、前記第一の実施形態では、傾動軸７を回転軸５と同じ高さ位置に配置した例を説明したが、前述したように「各傾動軸７を中心とする枠状フレーム６の傾動半径を小さくする」本発明の目的に鑑みると、前記傾動軸７は、回転軸５よりも下方（載置部２側）に配設することが好ましい。すなわち、前記実施形態のバンプ平坦化装置１では、前記枠状フレーム６及びチャネル状フレーム８の両側壁８ｂのＺ軸方向の寸法をローラ４の下部が必要最小限露出する程度に載置部２側へ延ばした寸法に設定した上で、これら枠状フレーム６及びチャネル状フレーム８の両側壁８ｂの下部に傾動軸７を設けることが最も好ましい。

図６は、本発明の第二の実施形態に係るバンプ平坦化装置の要部を拡大して示す正面断面図である。

図６を参照して、第二の実施形態に係るバンプ平坦化装置１０は、表面に複数のバンプＢが形成された基板Ｓを、前記表面を上方に向けた姿勢で載置可能な載置面１４ａを有する載置部１１と、前記載置面１４ａに対して昇降自在なヘッド部１２と、前記載置面１４ａと平行な面上における特定のスライド方向Ｘ２（図６の紙面に対して垂直な方向）に沿って前記載置部１１とヘッド部１２とを相対的に移動させる図略の駆動部とを備えている。

なお、以下の説明では、後述する傾動軸１７回りに傾動していない姿勢にある載置面１４ａと平行な面を仮にＸＹ平面とし、このＸＹ平面と直交する方向を仮にＺ軸方向とし、前記ＸＹ平面におけるＸ軸方向と前記スライド方向Ｘ２とが仮に平行するものとして説明する。

載置部１１は、ステンレス鋼等の金属からなる四角形の載置板１４と、この載置板１４を格納するベース１５とを備え、このベース１５が図略の台座上に固定されている。

載置板１４は、その上面が平坦な載置面１４ａとされ、この載置面１４ａ上に前記基板Ｓを載置することが可能とされている。具体的に、載置板１４は、第一の実施形態と同様に図略のガイドピン等により後述するヘッド部１２に対して位置決めした姿勢で基板Ｓを載置するようになっている。

ベース１５は、上方へ開口する凹部１６を備え、この凹部１６内に前記載置板１４を格納するようになっている。

すなわち、前記載置板１４は、凹部１６の底部１６ａ上に配置され、この底部１６ａのＸ軸方向の両側に立設された一対の側壁（図示せず）間でＸ軸方向に沿って延びる傾動軸１７回りに傾動自在とされた状態で、当該凹部１６内に格納されている（底部１６ａと載置板１４の下面との間には傾動用のクリアランスが設けられている）。

本実施形態において、前記傾動軸１７は、Ｙ軸方向における載置板１４の中央位置で、かつ、載置板１４の厚み方向の中央位置で、当該載置板１４をＸ軸方向に沿って貫いている。

ヘッド部１２は、前記載置面１４ａと対向配置された前述のローラ４と、このローラ４を回転軸１８回りに回転自在に支持するチャネル状フレーム（支持部）１９と、このチャネル状フレーム１９を上方から支持する前述のアーム９とを備えている。

チャネル状フレーム１９は、ローラ４の上方に配置された天板１９ａと、この天板１９ａのＹ軸方向の両端部から垂下された一対の側壁１９ｂとを備え、これら天板１９ａと各側壁１９ｂで前記ローラ４を跨ぐように配置されている。

このチャネル状フレーム１９には、前記各側壁１９ｂ間でＹ軸方向に沿って延びる回転軸１８が設けられ、この回転軸１８に前記ローラ４が外嵌されている。

そして、前記チャネル状フレーム１９の各側壁１９ｂは、ローラ４の下部を露出するように、そのＺ軸方向の寸法が設定されている。

アーム９は、第一の実施形態と同様、その上部が図略の昇降装置に接続され、この昇降装置によりＺ軸方向への昇降が可能とされている。

駆動部は、前述した第一の実施形態と同様の構成を有し、前記ヘッド部１２のアーム９をＸ軸方向へ駆動する。

そして、第二の実施形態に係るバンプ平坦化装置１０も、第一の実施形態と同様、載置工程（図４参照）及び平坦化工程（図５参照）を行うことにより、基板Ｓ上のバンプＢを平坦化することができる。

この平坦化工程の過程においては、基板Ｓに撓みがある場合に、前記傾動軸１７回りに載置板１４が傾動することに伴い、基板Ｓが傾動するので、各バンプＢに対して昇降装置（図示せず）による圧力を一様に付与することができる。

以上説明したように、前記バンプ平坦化装置１０によれば、バンプＢの高さ寸法に応じてヘッド部１２を載置部１１に対して昇降させた上で、このヘッド部１２をスライド方向Ｘ２に駆動することにより、載置部１１に載置された基板Ｓ上のバンプＢに対してヘッド部１２のローラ４が転がり接触して、当該バンプＢを平坦化することができる。

このとき、載置板１４が傾動軸１７回りに傾動することが可能とされているので、ローラ４と載置板１４との間で挟圧される基板Ｓが撓んでいる場合であっても、この撓みに応じて載置板１４が傾動することにより、各バンプＢに対して一様に圧力を付与することができる。

そして、バンプ平坦化装置１０では、ベース１５の凹部１６内に載置板１４を格納し、このベース１５の両側壁間に延びる傾動軸１７により載置板１４を両側から軸支するようにしているので、載置板１４の側方の領域に傾動軸１７を配置することができる。

したがって、第二の実施形態に係るバンプ平坦化装置１０によれば、傾動軸１７を載置面１４ａ（基板Ｓ）寄りに配設することができるので、当該傾動軸１７を中心とする載置板１４（載置面１４ａ）の傾動半径を小さくすることができ、これにより、載置面１４ａに載置されている基板Ｓの傾動に伴う移動距離を短くして、ローラ４に対する基板Ｓの傾動に伴う移動方向に沿ったバンプＢの押し潰しを抑制することができる。

また、前記バンプ平坦化装置１０では、載置板１４のＹ軸方向の中央位置で、かつ、載置板１４の厚み方向の中央位置に傾動軸１７を配設しているので、載置板１４の傾動に伴う移動距離をＹ軸方向における両側で均一にすることができ、これによっても、載置板１４の傾動に伴う移動方向に沿ったバンプＢの押し潰しを抑制することができる。

なお、前記第二の実施形態では、傾動軸１７を載置板１４の厚み方向の中央位置に配置した例を説明したが、「傾動軸１７を中心とする載置板１４の傾動半径を小さくする」本発明の目的に鑑みると、前記傾動軸１７は、より上方（載置面１４ａ寄り）に配設することが好ましい。

図７は、本発明の第三の実施形態に係るバンプ平坦化装置の要部を拡大して示す側面断面図である。

図７を参照して、第三の実施形態に係るバンプ平坦化装置２０は、前記第一の実施形態と同様の載置部２と、載置面２ａに対して昇降自在なヘッド部２１とを備えている。

なお、以下の説明では、載置面２ａと平行な面を仮にＸＹ平面とし、このＸＹ平面と直交する方向を仮にＺ軸方向として説明する。

ヘッド部２１は、前記載置面２ａとの間で前記バンプＢを挟圧するプレス板２２と、このプレス板２２をＹ軸方向に沿った第一傾動軸２３回りに傾動自在に支持する枠状フレーム（第一支持部）２４と、この枠状フレーム２４をＸ軸方向に沿った第二傾動軸２５回りに傾動自在に支持するチャネル状フレーム（第二支持部）２６と、このチャネル状フレーム２６を上方から支持する前記アーム９とを備えている。

プレス板２２は、前記載置面２ａと対向配置された下面が、当該載置面２ａに載置された基板Ｓ上のバンプ形成領域Ｅ１に対応する表面積のプレス面２２ａとされた四角形の板である。

枠状フレーム２４は、Ｘ軸方向に沿った一対の縦辺部２４ａ（図７では１つ示している）、Ｙ軸方向に沿った一対の横辺部２４ｂを有するロの字形に形成され、これら各縦辺部２４ａ及び各横辺部２４ｂにより前記プレス板２２の周囲（Ｘ軸、Ｙ軸方向の周囲）を取り囲むようになっている。

また、枠状フレーム２４は、各縦辺部２４ａ間でＹ軸方向に沿って掛け渡された第一傾動軸２３回りに傾動自在となるように前記プレス板２２を支持している。本実施形態において、この第一傾動軸２３は、Ｘ軸方向及びＺ軸方向におけるプレス板２２の中央位置を通るように、当該プレス板２２を貫いている。

チャネル状フレーム２６は、前記枠状フレーム２４の上方に配置された天板２６ａと、この天板２６ａのＸ軸方向の両端部から垂下された一対の側壁２６ｂとを備え、これら天板２６ａと各側壁２６ｂで前記枠状フレーム２４を跨ぐように配置されている。

このチャネル状フレーム２６には、前記各側壁２６ｂからそれぞれ相手側の側壁２６ｂへ向けて延びる一対の第二傾動軸２５が設けられている。これら第二傾動軸２５は、それぞれＹ軸方向に沿った共通の線Ｌ２上に軸線が配置されており、本実施形態において、前記共通の線Ｌ２は、Ｙ軸方向においてプレス板２２を二等分するＸＺ平面上で、前記第一傾動軸２３の軸線と直交するように配置されている。

そして、各第二傾動軸２５は、それぞれ枠状フレーム２４の横辺部２４ｂを傾動自在に軸支している。したがって、前記枠状フレーム２４は、チャネル状フレーム２６に対して各第二傾動軸２５回りに傾動することができる。

なお、前記枠状フレーム２４及びチャネル状フレーム２６の各側壁２６ｂは、プレス板２２の下部を露出するように、そのＺ軸方向の寸法が設定されている。

アーム９は、前記各実施形態と同様、その上部が図略の昇降装置に接続され、この昇降装置によりＺ軸方向への昇降が可能とされている。

そして、第三の実施形態に係るバンプ平坦化装置２０では、前記各実施形態と同様に載置工程を実行した後、バンプＢの目標となる高さ寸法に対応して、前記昇降装置によりヘッド部２１を降下させることにより、前記プレス板２２のプレス面２２ａにより各バンプＢが一括して平坦化される（平坦化工程）。

このヘッド部２１の移動の過程において、基板Ｓに撓みがある場合には、互いに直交する前記第一傾動軸２３及び第二傾動軸２５回りにプレス板２２が傾動するので、各バンプＢに対して昇降装置（図示せず）による圧力を一様に付与することができる。

以上説明したように、前記バンプ平坦化装置２０によれば、バンプＢの高さ寸法に応じてヘッド部２１（プレス板２２）を載置部２に対して降下させることにより、プレス面２２ａと載置面２ａとの間で載置部２に載置された基板Ｓ上のバンプＢを一括して平坦化することができる。

このとき、プレス板２２が互いに直交する第一傾動軸２３及び第二傾動軸２５回りに傾動することが可能とされているので、プレス板２２と載置部２との間で挟圧される基板Ｓが撓んでいる場合であっても、この撓みに応じてプレス板２２が傾動することにより、各バンプＢに対して一様に圧力を付与することができる。

そして、前記バンプ平坦化装置２０では、プレス板２２の周囲を取り囲むように枠状フレーム２４を配設し、この枠状フレーム２４の第一傾動軸２３によりプレス板２２を軸支するようにしているので、当該プレス板２２をその側方から支持することができる。

さらに、前記バンプ平坦化装置２０では、枠状フレーム２４を跨ぐようにチャネル状フレーム２６を配設し、このチャネル状フレーム２６の両側壁２６ｂからそれぞれ延びる各第二傾動軸２５により枠状フレーム２４を両側から軸支するようにしているので、前記プレス板２２の側方の領域であっても当該プレス板２２の第一傾動軸２３回りの傾動を妨げることなく第二傾動軸２５を配置することができる。

したがって、バンプ平坦化装置２０によれば、第一傾動軸２３及び第二傾動軸２５を載置部２（載置面２ａ）寄りに配設することができるので、当該各傾動軸２３及び２５を中心とするプレス板２２の傾動半径を小さくすることができ、これにより、プレス板２２の傾動に伴う移動距離を短くして、当該プレス板２２の傾動に伴う移動方向に沿ったバンプＢの押し潰しを抑制することができる。

また、バンプ平坦化装置２０では、Ｘ軸方向及びＺ軸方向におけるプレス板２２の中央位置を通るように第一傾動軸２３を配設するとともに、前記共通の線Ｌ２に沿って各第二傾動軸２５を配設しているので、各傾動軸２３及び２５を中心とするプレス板２２の傾動の際に、当該プレス板２２の傾動に伴う移動距離を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の両側で均一にすることができ、これによっても、プレス板２２の傾動に伴う移動方向に沿ったバンプＢの押し潰しを抑制することができる。

なお、前記第三の実施形態では、第一傾動軸２３と第二傾動軸２５とを同じ高さ位置に配設した例について説明したが、これら両者を別々の高さ位置に配設してもよい。さらに前述したように「各傾動軸２３及び２５を中心とするプレス板２２の傾動半径を小さくする」本発明の目的に鑑みると、前記各傾動軸２３及び２５は、より下方（プレス面２２ａ寄り）に配設することが好ましい。

図８は、本発明の第四の実施形態に係るバンプ平坦化装置の要部を拡大して示す正面断面図である。

図８を参照して、第四の実施形態に係るバンプ平坦化装置３０は、前述した第二の実施形態と同様の載置部１１と、前記載置面１４ａに対して昇降自在なヘッド部３１とを備えている。

なお、以下の説明では、前記傾動軸１７回りに傾動していない姿勢にある載置面１４ａと平行な面を仮にＸＹ平面とし、このＸＹ平面と直交する方向を仮にＺ軸方向として説明する。

ヘッド部３１は、前記載置面１４ａとの間でバンプＢを挟圧するプレス板３２と、このプレス板３２をＹ軸方向に沿った一対の第一傾動軸３３回りに傾動自在に支持するチャネル状フレーム３４と、このチャネル状フレーム３４を上方から支持する前記アーム９とを備えている。

プレス板３２は、前記載置面１４ａと対向配置された下面が、当該載置面１４ａに載置された基板Ｓ上のバンプ形成領域Ｅ１に対応する表面積のプレス面３２ａとされた四角形の板である。

チャネル状フレーム３４は、前記プレス板３２の上方に配置された天板３４ａと、この天板３４ａのＹ軸方向の両端部から垂下された一対の側壁３４ｂとを備え、これら天板３４ａと各側壁３４ｂで前記プレス板３２を跨ぐように配置されている。

このチャネル状フレーム３４には、前記各側壁３４ｂからそれぞれ相手側の側壁３４ｂへ向けて延びる一対の第一傾動軸３３が設けられている。これら第一傾動軸３３は、それぞれＹ軸方向に沿った共通の線Ｌ３上に軸線が配置されており、本実施形態において、前記共通の線Ｌ３は、Ｘ軸方向においてプレス板３２を二等分するＸＹ平面上で、当該プレス板３２の厚み方向の中央位置を通るように配置されている。

そして、前記プレス板３２は、各第一傾動軸３３により両側から軸支され、当該各第一傾動軸３３回りに前記チャネル状フレーム３４に対して傾動自在とされている。

なお、前記チャネル状フレーム３４の各側壁３４ｂは、プレス板３２の下部を露出するように、そのＺ軸方向の寸法が設定されている。

アーム９は、前記各実施形態と同様、その上部が図略の昇降装置に接続され、この昇降装置によりＺ軸方向への昇降が可能とされている。

そして、第四の実施形態に係るバンプ平坦化装置３０では、前記各実施形態と同様に載置工程を実行した後、バンプＢの目標となる高さ寸法に対応して、前記昇降装置によりヘッド部３１を降下させることにより、前記プレス板３２のプレス面３２ａにより各バンプＢが一括して平坦化される（平坦化工程）。

このヘッド部３１の移動の過程において、基板Ｓに撓みがある場合には、前記第一傾動軸３３回りにプレス板３２が傾動するとともに、この第一傾動軸３３と直交する前記傾動軸１７（第二傾動軸）回りに載置板１４が傾動するので、各バンプＢに対して昇降装置（図示せず）による圧力を一様に付与することができる。

以上説明したように、前記バンプ平坦化装置３０によれば、バンプＢの高さ寸法に応じてヘッド部３１（プレス板３２）を載置部１１に対して降下させることにより、プレス面３２ａと載置面１４ａとの間で載置部１１に載置された基板Ｓ上のバンプＢを一括して平坦化することができる。

このとき、プレス板３２が第一傾動軸３３回りに傾動することが可能とされているので、プレス板３２と載置板１４との間で挟圧される基板Ｓが撓んでいる場合であっても、この撓みに応じてプレス板３２が傾動することにより、各バンプＢに対して一様に圧力を付与することができる。

また、バンプ平坦化装置３０では、載置板１４が前記第一傾動軸３３と直交する傾動軸１７（第二傾動軸）回りに傾動することが可能とされているので、基板Ｓの撓みに応じて載置板１４が傾動することにより、前記第一傾動軸３３回りのプレス板３２の傾動と相俟って、各バンプＢに対する圧力をより一層均一に付与することができる。

そして、本実施形態のバンプ平坦化装置３０では、プレス板３２を跨ぐようにチャネル状フレーム３４を配設し、このチャネル状フレーム３４の第一傾動軸３３によりプレス板３２を軸支するようにしているので、当該プレス板３２をその側方から支持することができる。

さらに、本実施形態のバンプ平坦化装置３０では、ベース１５の凹部１６内に載置板１４を格納し、このベース１５の両側壁（第二側壁）間に延びる傾動軸（第二傾動軸）１７により載置板１４を両側から軸支するようにしているので、載置板１４の側方の領域に傾動軸１７を配置することができる。

したがって、本実施形態のバンプ平坦化装置３０によれば、第一傾動軸３３及び傾動軸１７を載置面１４ａ（基板Ｓ）寄りに配設することができるので、第一傾動軸３３を中心とするプレス板３２の傾動半径及び、傾動軸１７を中心とする載置板１４（載置面１４ａ）の傾動半径を小さくすることができ、これにより、プレス板３２と基板Ｓとの傾動に伴う移動方向に沿ったバンプＢの押し潰しを抑制することができる。

また、バンプ平坦化装置３０では、前記共通の線Ｌ３に沿って各第一傾動軸３３を配設しているので、当該各第一傾動軸３３を中心とするプレス板３２の傾動の際に、プレス板３２の移動距離を、Ｙ軸方向の両側で均一にすることができ、これによっても、プレス板３２の傾動に伴う移動方向に沿ったバンプＢの押し潰しを抑制することができる。

なお、前記第四の実施形態では、プレス板３２の厚み方向の中央位置を通る高さ位置に各第一傾動軸３３を配設しているが、前述したように「各第一傾動軸３３を中心とするプレス板３２の傾動半径を小さくする」本発明の目的に鑑みると、前記第一傾動軸３３は、より下方（プレス面３２ａ寄り）に配設することが好ましい。また、第二の実施形態の場合と同様に、前記傾動軸１７は、より上方（載置面１４ａ寄り）に配設することが好ましい。

図９は、本発明の第五の実施形態に係るバンプ平坦化装置の要部を拡大して示す正面断面図である。

図９を参照して、第五の実施形態に係るバンプ平坦化装置４０は、表面に複数のバンプＢが形成された基板Ｓを、前記表面を上方に向けた姿勢で載置可能な載置面４３ａを有する載置部４１と、前記載置面４３ａに対して昇降自在なヘッド部４２とを備えている。

なお、以下の説明では後述する第一傾動軸４５及び第二傾動軸４９回りに傾動していない姿勢にある前記載置面４３ａと平行な面を仮にＸＹ平面とし、このＸＹ平面と直交する方向を仮にＺ軸方向として説明する。

前記載置部４１は、ステンレス鋼等の金属からなる四角形の載置板４３と、この載置板４３をＸ軸方向に沿った第一傾動軸４５回りに傾動自在に支持する枠状フレーム（支持部）４６と、この枠状フレーム４６を格納するベース４７とを備えている。

載置板４３は、その上面が平坦な載置面４３ａとされ、この載置面４３ａ上に前記基板Ｓを載置することが可能とされている。具体的に、載置板４３は、第一の実施形態と同様に図略のガイドピン等により後述するヘッド部４２に対して位置決めした姿勢で基板Ｓを載置するようになっている。

枠状フレーム４６は、Ｘ軸方向に沿った一対の縦辺部４６ａ、Ｙ軸方向に沿った一対の横辺部４６ｂ（図９では１つ示している）を有するロの字形に形成され、これら縦辺部４６ａ及び各横辺部４６ｂにより前記載置板４３の周囲（Ｘ軸、Ｙ軸方向の周囲）を取り囲むようになっている。

また、枠状フレーム４６は、各横辺部４６ｂ間でＸ軸方向に沿って掛け渡された第一傾動軸４５回りに傾動自在となるように前記載置板４３を支持している。本実施形態において、この第一傾動軸４５は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向における載置板４３の中央位置を通るように、当該載置板４３を貫いている。

ベース４７は、上方へ開口する凹部４８を備え、この凹部４８内に前記枠状フレーム４６を格納するようになっている。

凹部４８は、前記枠状フレーム４６の下方に配置された底部４８ａと、この底部４８ａのＹ軸方向の両側に立設された一対の側壁４８ｂとによって囲まれている。

そして、前記ベース４７には、前記各側壁４８ｂからそれぞれ相手側の側壁４８ｂへ向けてＹ軸方向に沿って延びる第二傾動軸４９が設けられている。これら第二傾動軸４９は、それぞれＹ軸方向に沿った共通の線Ｌ４上に軸線が配置されており、本実施形態において、前記共通の線Ｌ４は、Ｘ軸方向において載置板４３を二等分するＹＺ平面上で、前記第一傾動軸４５の軸線と直交するように配置されている。

そして、各第二傾動軸４９は、それぞれ枠状フレーム４６の縦辺部４６ａを傾動自在に軸支している。したがって、前記枠状フレーム４６は、ベース４７の凹部４８内で前記各第二傾動軸４９回りに傾動することができる。

なお、前記枠状フレーム４６及びベース４７の上面は、前記載置板４３の上面と面一となるように寸法設定されている。

一方、ヘッド部４２は、前記載置面４３ａとの間でバンプＢを挟圧するプレス板５０と、このプレス板５０を上方から支持する前記アーム９とを備えている。

プレス板５０は、前記載置面４３ａと対向配置された下面が、当該載置面４３ａに載置された基板Ｓ上のバンプ形成領域Ｅ１に対応する表面積のプレス面５０ａとされた四角形の板である。

アーム９は、前記各実施形態と同様、その上部が図略の昇降装置に接続され、この昇降装置によりＺ軸方向への昇降が可能とされている。

そして、第五の実施形態に係るバンプ平坦化装置４０では、前記各実施形態と同様に載置工程を実行した後、バンプＢの目標となる高さ寸法に対応して、前記昇降装置によりヘッド部４２を降下させることにより、前記プレス板５０のプレス面５０ａにより各バンプＢが一括して平坦化される（平坦化工程）。

このヘッド部４２の移動の過程において、基板Ｓに撓みがある場合には、前記第一傾動軸４５回りに載置板４３が傾動するとともに、この第一傾動軸４５と直交する第二傾動軸４９回りに枠状フレーム４６が傾動するので、各バンプＢに対して昇降装置（図示せず）による圧力を一様に付与することができる。

以上説明したように、前記バンプ平坦化装置４０によれば、バンプＢの高さ寸法に応じてヘッド部４２（プレス板５０）を載置部４１に対して降下させることにより、プレス面５０ａと載置面４３ａとの間で基板Ｓ上のバンプＢを一括して平坦化することができる。

このとき、載置板４３が互いに直交する第一傾動軸４５及び第二傾動軸４９回りに傾動することが可能とされているので、プレス板５０と載置板４３との間で挟圧される基板Ｓが撓んでいる場合であっても、この撓みに応じて載置板４３が傾動することにより、各バンプＢに対して一様に圧力を付与することができる。

そして、前記バンプ平坦化装置４０では、載置板４３の周囲を取り囲むように枠状フレーム４６を配設し、この枠状フレーム４６の第一傾動軸４５により載置板４３を軸支するようにしているので、当該載置板４３をその側方（Ｘ軸方向の両側）から支持することができる。

さらに、前記バンプ平坦化装置４０では、ベース４７の凹部４８に枠状フレーム４６を格納し、このベース４７の両側壁４８ｂからそれぞれ延びる各第二傾動軸４９により枠状フレーム４６を両側（Ｙ軸方向の両側）から軸支するようにしているので、前記載置板４３の側方の領域であっても当該載置板４３の第一傾動軸４５回りの傾動を妨げることなく各第二傾動軸４９を配置することができる。

したがって、バンプ平坦化装置４０によれば、第一傾動軸４５及び各第二傾動軸４９を載置部４１（載置面４３ａ）寄りに配設することができるので、当該各傾動軸４５及び４９を中心とする載置板４３の傾動半径を小さくすることができ、これにより、載置板４３の傾動に伴う移動距離を短くして、当該載置板４３の傾動に伴う移動方向に沿ったバンプＢの押し潰しを抑制することができる。

なお、前記各実施形態のバンプ平坦化装置１、１０、２０、３０、４０（以下、バンプ平坦化装置１〜４０と称す）においては、以下のような構成とすることもできる。

１）基板Ｓの自動供給及び自動排出装置を追加する
前記バンプ平坦化装置１〜４０には、載置部２、１１又は４１（以下、載置部２〜４１と称す）に対し基板Ｓを自動的に供給し、当該載置部２〜４１からバンプ平坦化後の基板Ｓを排出する装置を設けることが好ましい。

具体的には、基板Ｓを吸着又は把持可能なロボット等を採用することができ、このロボットにより基板Ｓを前記ガイドピン（図示せず）に位置決めした上で前記載置部２〜４１上に載置し、前記平坦化工程の実行後に前記載置部２〜４１上の基板Ｓを所定の排出領域へ搬送することができる。

なお、前記ガイドピンは、載置部２〜４１の上面から突出した位置と、載置部２〜４１内に格納された位置との間で、当該載置部２〜４１に対して出没自在に構成することが好ましい。このようにすれば、載置部２〜４１に対して基板Ｓを位置決めする機能を確保しながら、前記平坦化工程時にローラ４、プレス板２２、３２及び５０とガイドピンとの干渉を抑制することができる。

そして、このようにした場合には、前記実施形態と異なり、ガイドピンの載置部２〜４１からの突出寸法は、載置部２〜４１に載置された基板ＳのバンプＢの頂点位置よりも高くなるように設定することができる。

２）緩衝材を追加する
前記バンプ平坦化装置１〜４０には、載置面２ａ、１４ａ、４３ａ（以下、載置面２ａ〜４３ａと称す）上に基板Ｓの裏面を保護する緩衝材を設けることが好ましい。具体的には、弾性を有する合成樹脂シート等を載置面２ａ〜４３ａ上に貼着することができる。これにより、基板Ｓの裏面にすり傷等が形成されることや、反対に、基板Ｓの裏面に形成された突起等により前記平坦化工程の際に当該基板Ｓに対し局所的な応力が付与されてしまうこと等を抑制することができる。

３）ローラ４、プレス板２２、３２及び５０の材質等の調整
ローラ４、プレス板２２、３２及び５０は、そのプレス面４ａ、２２ａ、３２ａ及び５０ａ（以下、プレス面４ａ〜５０ａと称す）の中心線平均粗さが０．２μｍ以下であることが好ましい。この値を超えると、平坦化工程の際に、バンプＢを構成する金属がプレス面４ａ〜５０ａに付着しやすくなる。

また、前記プレス面４ａ〜５０ａにダイヤモンドライクカーボンをコーティングしても良い。このようにすると、平坦化工程の際に、バンプＢを構成する金属がプレス面４ａ〜５０ａに付着し難くなる。

さらに、前記昇降装置（図示せず）をエアシリンダ等で構成してアーム９をダンパーのように駆動可能とした場合には、前記ローラ４の形状を以下のようにすることが好ましい。

つまり、ローラ４の長手両端部がそれぞれバンプ形成領域Ｅ１から両側にはみ出るように、当該ローラ４の長手寸法を設定し、この両端部をプレス面４ａが形成されている部分よりも大きな直径寸法となるように設定することが好ましい。このようにすると、ローラ４の前記両端部を基板Ｓの上面に当接させた場合に、前記プレス面４ａと基板Ｓとの間に、前記直径寸法の差に相当する隙間が保たれることになる。したがって、前記直径寸法の差を平坦化後のバンプＢの高さ寸法に対応して設定すれば、バンプＢを潰しすぎてしまうといった事態を抑制することができる。

本発明の第一の実施形態に係るバンプ平坦化装置の要部を拡大して示す側面断面図である。 図１のバンプ平坦化装置におけるヘッド部の底面図である。 図１のバンプ平坦化装置におけるヘッド部を示す斜視図である。 図１のバンプ平坦化装置を用いたバンプ平坦化方法を示す側面断面図であり、基板の載置工程実行後の状態を示している。 図１のバンプ平坦化装置を用いたバンプ平坦化方法を示す側面断面図であり、バンプの平坦化工程実行中の状態を示している。 本発明の第二の実施形態に係るバンプ平坦化装置の要部を拡大して示す正面断面図である。 本発明の第三の実施形態に係るバンプ平坦化装置の要部を拡大して示す側面断面図である。 本発明の第四の実施形態に係るバンプ平坦化装置の要部を拡大して示す正面断面図である。 本発明の第五の実施形態に係るバンプ平坦化装置の要部を拡大して示す正面断面図である。

符号の説明

１、１０、２０、３０、４０ バンプ平坦化装置
２、１１、４１ 載置部
２ａ、１４ａ、４３ａ 載置面
３、１２、２１、３１、４２ ヘッド部
４ ローラ
５、１８ 回転軸
６、２４、４６ 枠状フレーム
７ 傾動軸
８、１９、２６、３４ チャネル状フレーム
８ａ、１９ａ、２６ａ、３４ａ 天板
８ｂ、１９ｂ、２６ｂ、３４ｂ 側壁
９ アーム
１４、４３ 載置板
１５、４７ ベース
１６、４８ 凹部
１６ａ、４８ａ 底部
１７ 傾動軸
２２、３２、５０ プレス板
２２ａ、３２ａ、５０ａ プレス面
２３、３３、４５ 第一傾動軸
２５、４９ 第二傾動軸
４８ｂ 側壁
Ｂ バンプ
Ｅ１ バンプ形成領域
Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４ 共通の線
Ｓ 基板
Ｘ１ スライド方向
Ｘ２ スライド方向

Claims (7)

1. 表面に複数のバンプが形成された基板を、前記表面を上方に向けた姿勢で載置可能な載置面を有する載置部と、
   前記載置面に対して昇降自在なヘッド部と、
   前記載置面と平行な面上における特定のスライド方向に沿って前記載置部とヘッド部とを相対的に移動させる駆動部とを備え、
   前記ヘッド部は、
   前記載置面と対向配置されたローラと、
   このローラの周囲を取り囲んで、当該ローラを前記平行な面上で前記スライド方向と直交する方向に沿った回転軸回りに回転自在に支持する第一支持部と、
   この第一支持部の上方に配置された天板とこの天板の前記スライド方向の両側から垂下された一対の側壁とを有し、これら天板及び各側壁で前記第一支持部を跨ぐように配置された第二支持部と、
   前記両側壁からそれぞれ相手の側壁側へ延びるとともに共通の線上に軸線が配置された一対の傾動軸とを備え、
   前記第一支持部が第二支持部に対して各傾動軸回りに傾動自在に支持されていることを特徴とするバンプ平坦化装置。
2. 表面に複数のバンプが形成された基板を、前記表面を上方に向けた姿勢で載置可能な載置面を有する載置部と、
   前記載置面に対して昇降自在なヘッド部と、
   前記載置面と平行な面上における特定のスライド方向に沿って前記載置部とヘッド部とを相対的に移動させる駆動部とを備え、
   前記ヘッド部は、
   前記載置面と対向配置されたローラと、
   このローラを前記平行な面上で前記スライド方向と直交する方向に沿った回転軸回りに回転自在に支持する支持部とを備え、
   前記載置部は、
   前記載置面が形成された載置板と、
   この載置板の下方に配置された底部とこの底部の前記スライド方向の両側に立設された側壁とを有し、これら底部及び各側壁間に前記載置板を格納するベースと、
   前記両側壁間に延びる傾動軸とを備え、
   前記載置板が前記ベースに対して傾動軸回りに傾動自在に支持されていることを特徴とするバンプ平坦化装置。
3. 表面に複数のバンプが形成された基板を、前記表面を上方に向けた姿勢で載置可能な載置面を有する載置部と、
   前記載置面に対して昇降自在なヘッド部とを備え、
   前記ヘッド部は、
   前記載置面と対向配置された下面が、当該載置面に載置された基板上のバンプ形成領域に対応する表面積のプレス面とされたプレス板と、
   このプレス板の周囲を取り囲んで、当該プレス板を前記載置面と平行な第一傾動軸回りに傾動自在に支持する第一支持部と、
   この第一支持部の上方に配置された天板とこの天板の両側から垂下された側壁とを有し、これら天板及び各側壁で前記第一支持部を跨ぐように配置された第二支持部と、
   前記載置面と平行な面上で前記第一傾動軸と直交する方向に沿った共通の線上にそれぞれ軸線が配置され、前記両側壁からそれぞれ相手の側壁側ヘ延びる一対の第二傾動軸とを備え、
   前記第一支持部が第二支持部に対して前記第二傾動軸回りに傾動自在に支持されていることを特徴とするバンプ平坦化装置。
4. 表面に複数のバンプが形成された基板を、前記表面を上方に向けた姿勢で載置可能な載置面を有する載置部と、
   前記載置面に対して昇降自在なヘッド部とを備え、
   前記ヘッド部は、
   前記載置面と対向配置された下面が、当該載置面に載置された基板上のバンプ形成領域に対応する表面積のプレス面とされたプレス板と、
   このプレス板の上方に配置された天板とこの天板の両側から垂下された第一側壁とを有し、これら天板及び各第一側壁で前記プレス板を跨ぐように配置された支持部と、
   前記両第一側壁間に延びる第一傾動軸とを備え、
   前記載置部は、
   前記載置面が形成された載置板と、
   この載置板の下方に配置された底部とこの底部の両側に立設された第二側壁とを有し、これら底部及び各第二側壁間に前記載置板を格納するベースと、
   前記両第二側壁間で前記第一傾動軸及び上下方向と直交する方向に沿って延びる第二傾動軸とを備え、
   前記プレス板が前記支持部に対して前記第一傾動軸回りに傾動自在に支持されているとともに、前記載置板が前記ベースに対して第二傾動軸回りに傾動自在に支持されていることを特徴とするバンプ平坦化装置。
5. 表面に複数のバンプが形成された基板を、前記表面を上方に向けた姿勢で載置可能な載置面を有する載置部と、
   前記載置面に対して昇降自在なヘッド部とを備え、
   前記ヘッド部は、
   前記載置面と対向配置された下面が、当該載置面に載置された基板上のバンプ形成領域に対応する表面積のプレス面とされたプレス板を備え、
   前記載置部は、
   前記載置面が形成された載置板と、
   この載置板の周囲を取り囲んで、前記プレス面と平行な第一傾動軸回りに前記載置板を傾動自在に支持する支持部と、
   この支持部の下方に配置された底部とこの底部の両側に立設された側壁とを有し、これら底部及び各側壁間に前記支持部を格納するベースと、
   前記プレス面と平行な面上で前記第一傾動軸の軸線方向と直交する方向に沿った共通の線上にそれぞれ軸線が配置され、前記両側壁からそれぞれ相手の側壁側へ延びる一対の第二傾動軸とを備え、
   前記支持部が前記ベースに対して第二傾動軸回りに傾動自在に支持されていることを特徴とするバンプ平坦化装置。
6. 請求項１〜５の何れか１項に記載のバンプ平坦化装置の前記載置部に、バンプが形成された表面を上方に向けた姿勢で基板を載置する載置工程と、載置部に載置されている基板上のバンプを前記バンプ平坦化装置のヘッド部により平坦化する平坦化工程とを含むことを特徴とするバンプ平坦化方法。
7. 前記平坦化工程を複数回繰り返し実行することを特徴とする請求項６に記載のバンプ平坦化方法。

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