JP2006324502A - テープ貼り機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 環状のフレームに装着された粘着テープに複数個のウエーハを貼着するテープ貼り機であって、上面が開放したハウジングと、ハウジング内に配設されウエーハを保持する保持面を有する複数個のウエーハ保持部を備えたチャックテーブルと、チャックテーブルの上側に配設され上面に環状のフレームを保持するフレーム保持部を備えるとともに、フレーム保持部の内側に複数個のウエーハ保持部をそれぞれ遊嵌する複数個の嵌挿穴を備えたウエーハ位置決め枠体と、ウエーハ位置決め枠体の上面に向けて押圧する押圧部材を備えた押圧手段と、チャックテーブルをウエーハ位置決め枠体に対して進退せしめる進退手段とを具備している。
【選択図】 図2
Description
上面が開放したハウジングと、
該ハウジング内に配設されウエーハを保持する保持面を有する複数個のウエーハ保持部を備えたチャックテーブルと、
該チャックテーブルの上側に配設され上面に該環状のフレームを保持するフレーム保持部を備えるとともに、該フレーム保持部の内側に該複数個のウエーハ保持部をそれぞれ遊嵌する複数個の嵌挿穴を備えたウエーハ位置決め枠体と、
該ウエーハ位置決め枠体の上面に向けて押圧する押圧部材を備えた押圧手段と、
該チャックテーブルを該ウエーハ位置決め枠体に対して進退せしめる進退手段と、を具備している、
ことを特徴とするテープ貼り機が提供される。
図1乃至図3に示すテープ貼り機は、上面が開放された箱状のハウジング2と、ウエーハを保持するチャックテーブル3と、該チャックテーブル3を後述するウエーハ載置位置と該ウエーハ載置位置より高いウエーハ貼着位置に位置付ける進退手段4と、ウエーハを位置決めするとともに後述する環状のフレームを支持するウエーハ位置決め枠体5と、該ウエーハ位置決め枠体5の上面に向けて押圧する押圧部材を備えた押圧手段6を具備している。ハウジング2は、図示の実施形態においては直方体状に形成されており、その上面は正方形に形成され開放して構成されている。なお、ハウジング2の側壁21には接続管211が配設されており、この接続管211が図3に示すように配管34を介して減圧手段35に接続されている。
以上のように構成された押圧手段6は、図1に示すように蓋体62がヒンジ65によって上記ウエーハ位置決め枠体5にヒンジ結合される。
ここで、ウエーハおよび該ウエーハを貼着するための環状のフレームに装着された粘着テープについて説明する。
図5には複数個(上記チャックテーブル3の複数個のウエーハ保持部32の数に相当する7個)の光デバイスウエーハ10が示されている。この光デバイスウエーハ10は、サファイヤからなる基板の表面10aに複数の光デバイス101がマトリックス状に形成されている。
図6には、ステンレス鋼等の金属材によって形成された環状のフレーム7の一方の面(図6において上面)に粘着テープ8が装着された状態が示されている。
先ず、図1に示すようにテープ貼り機の押圧手段6をヒンジ65を中心として上方に回動して開ける。このとき、チャックテーブル3は、上述したウエーハ載置位置に位置付けられている。
そして、進退手段4を作動してチャックテーブル3を上述したウエーハ載置位置に戻すとともに、押圧手段6を図1に示す開状態とする。
3:チャックテーブル
32:ウエーハ保持部
35:減圧手段
38:吸引手段
4:進退手段
41:エアシリンダ
5:ウエーハ位置決め枠体
51:フレーム保持部
52:嵌挿穴
6:押圧手段
61:押圧部材
62:蓋体
63:支持支柱
64:コイルスプリング
65:ヒンジ
7:環状のフレーム
8:粘着テープ
10:光デバイスウエーハ
Claims (5)
- 環状のフレームに装着された粘着テープに複数個のウエーハを貼着するテープ貼り機であって、
上面が開放したハウジングと、
該ハウジング内に配設されウエーハを保持する保持面を有する複数個のウエーハ保持部を備えたチャックテーブルと、
該チャックテーブルの上側に配設され上面に該環状のフレームを保持するフレーム保持部を備えるとともに、該フレーム保持部の内側に該複数個のウエーハ保持部をそれぞれ遊嵌する複数個の嵌挿穴を備えたウエーハ位置決め枠体と、
該ウエーハ位置決め枠体の上面に向けて押圧する押圧部材を備えた押圧手段と、
該チャックテーブルを該ウエーハ位置決め枠体に対して進退せしめる進退手段と、を具備している、
ことを特徴とするテープ貼り機。 - 該チャックテーブルは該複数個のウエーハ保持部の該保持面に開口する吸引孔を備えており、該吸引口が吸引手段に接続されている、請求項1記載のテープ貼り機。
- 押圧手段は、押圧部材を弾性部材を介して支持する蓋体を具備している、請求項1記載のテープ貼り機。
- 該ハウジング内は、減圧手段に接続されている、請求項1記載のテープ貼り機。
- 該ウエーハ位置決め枠体は、該粘着テープに対して粘着力が弱い合成樹脂材によって形成されている、請求項1記載のテープ貼り機。
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