JPS6351244A

JPS6351244A - マグネツト式テ−プフレ−ム位置決め装置

Info

Publication number: JPS6351244A
Application number: JP61196416A
Authority: JP
Inventors: Takatoshi Ono; 小野　喬利; Ken Kimura; 謙木村
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 1986-08-20
Filing date: 1986-08-20
Publication date: 1988-03-04
Anticipated expiration: 2011-03-27
Also published as: JPH0829861B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、ウェハーとテープフレームとを一体的に貼付
するテープ貼付装置に関するものである。

詳細には、テープフレームを磁力によって２本の位置決
めピンに押し当て、テープフレームの位置決めを行うテ
ープフレーム位置決め装置に関するものである。

（従来の技術）テープ貼付装置は、ウェハーをテープによってテープフ
レームに一体的に貼付するものであり、ウェハーとテー
プフレームとが所要位置関係となるように貼付すること
が必要である。そのため、両省の位置決めを高い蹟度で
行うことが要求されている。

例えば、第４図乃至第６図に示すものは手動のテープ貼
付装置であり、ウェハーＷ及びテープフレーム８をテー
プテーブルｌ上において夫々位置決めし、テープケース
１２からテープＴを引き出した後に、カッタープレート
１３を矢印方向に回転してテープテーブルｌの上方の固
定板１１に固定し、しかる後、テープテーブル■をプラ
ンジャー１４により上昇させてテープＴをウェハーＷと
テープフレーム８に貼付けるものである。

前記テープ貼付装置において、ウェハーＷ及びテープフ
レーム８の位置決めは、次のように行われる。先ず、ウ
ェハーＷをテープデープルＩのテ−プル本体２上のオリ
フラに合わせて吸着板３上に載置し、吸着板３に吸着す
る。しかる後、アライメレド入アーライン位置調整ツマ
ミ９を操作し゛　て吸着板３を左右動し、且つアライメ
ント角度調整ツマミＩＯを操作して吸着板３を回動し、
ウェハーＷのストリートがヘアラインと一致するように
位置決めする。次いで、第７図に示すテープフレーム８
の一側端に設けられたＶ溝８ａ及び平溝８ｂが、テーブ
ル本体２の一端に設けられた第１及び第２の位置決めピ
ン４．５に当接し、前記−側端と対向する側端面８ｃが
テーブル本体２の他端に設けられた板バネ７に当接する
ようにテープフレーム８をセットする。すなわち、テー
プフレーム８は、板バネ７の押圧力によって、■溝８ａ
及び平溝８ｂが第１及び第２の位置決めピン４．５に当
接されることになり、正確に位置決めされる。

ところで、前記テープフレーム８は、第７図に示すよう
にＶ溝８ａ及び平溝８ｂが第１及び第２の位置決めピン
４．５に当接するように板バネ７によって押圧されるた
め、板バネ７に当接する側端面８ｃと第１位置決めピン
４と当接するＶ　’ｒＲ８ａとの距ｍＬ及び前記側端面
８ｃが高い精度で形成されていることが必要とされてお
り、高価なものとなっている。

また、図示していないが、テープテーブル上にウェハー
及びテープフレームを位置決め載置し、テープテーブル
を上昇させると共に、テープの上下面に異なった圧力を
作用させることによって、ウェハー及びテープフレーム
にテープを貼付する全自動テープ貼付装置が知られてい
る。該テープ貼付装置において、テープフレームの位置
決めは、テープテーブル上に設けられた２本の位置決め
ピンにテープフレームのＶ溝及び平溝が当接するように
、真空パッドを有する送り装置によりテープフレームを
送り込むことによって行われている。

そのため、送り装置の送り精度を高く設定することが必
要とされている。

以上のように、従来のテープ貼付装置において、テープ
フレームの位置決めは、テープテーブルに設けられた２
本の位置決めピンにテープフレームの位置決め溝を当接
することによって行われているため、テープフレームの
寸法精度を高めたり、或はテープフレームの送り装置の
送り精度を高める等のことが必要とされ、装置が高価と
なっている。

（発明の目的）本発明は、前記従来の事情に鑑みてなされたもので、テ
ープフレームを磁力によって吸引して２本の位置決めピ
ンに当接するようにすることにより、高精度のテープフ
レームを採用したり、或は送り精度の高いテープフレー
ム送り装置を採用する必要がなく、テープフレームの位
置決めを確実に行い得るマグネット式テープフレーム位
置決め装置を提供することにある。

（発明の構成）本発明の構成は、テープ貼付装置におけるテープテーブ
ル上に設けられた２本の位置決めピンに、テープフレー
１２の一側端に設けられた左右一対の位置決め溝を当接
することによって、テープフレームを位置決めするテー
プフレーム位置決め装置において、前記テープフレーム
を前記２本の位置決めピン側に吸引し得る位置に磁石が
設けられていることを特徴とするマグネ１ト式テープフ
レーム位置決め装置である。

（実施例）本発明の実施例を第１図乃至第３図に基いて説明する。

第１図において、■はテープテーブルで、２はテーブル
本体、３はウェハーＷを吸着する吸着板である。吸着板
３は、第４図乃至第６図に示す従来例と同様にテーブル
本体２上に回転及び左右動可能に設けられたものであっ
てもよい。

４は第１位置決めピン、５は第２位置決めピンで、夫々
テーブル本体２上に設けられている。６は磁石で、第１
位置決めピン４と第２位置決めピン５とを結ぶ線よりも
外側に設けられており、第２図に示すようにテーブル本
体２の上面に突出しないように設けられていることが好
ましい。また、磁石６は、テープフレーム８を第１位置
決めピン４及び第２位置決めピン５の側に吸引し得る位
置であれば、テーブル本体２、固定板Ｉｔ（第４図乃至
第６図参照）等のいずれの位置に設けられていてもよい
が、第１位置決めピン４及び第２位置決めピン５から等
距離に設けられていることが好ましく、テープフレーム
８を片寄りすることなく移動することができ、谷溝８　
ａ、　８　ｂを確実に各位置決めピン４．５に当接する
ことができる。さらに、磁石６は、谷溝８　ａ、　８　
ｂが各位置決めピン４゜５に当接した状態において、テ
ープフレーム８が接触しない位置に設けられていること
が好ましく、テープフレーＡ　８が磁化することを防ぐ
ことができる。

本実施例は以りのように構成されており、テープフレー
ム８を位置決めする際、テープフレーム８を第１図に二
点鎖線で示す位置に手動又はテープフレーム送り装置（
図示せず）によって自動的に載置すると、テープフレー
ム８は磁石６によって矢印の方向に引き寄せられ、実線
で示すようにＶ溝８ａが第１位置決めピン４に、又平溝
８ｂが第２位置決めピン５に当接される。

従って、テープフレーム８は、第３図（Ａ）及び（ｒ３
）に示すように、−側端に設けられたＶ溝８ａから対向
する側端面８Ｃまでの寸法及び前記側端面８Ｃの表面は
荒いものでもよく、従来のように高精度に加工されたも
のを採用する必要がない。

なお、位置決めｉＩｌηは、前記のように■溝と平溝と
の組み合わせが加工上好ましいが、Ｖ　Ｗｉと■溝等他
の組み合わせであっても良い。テープフし−ム８の外形
形状は、第３図（Ａ）に示すように四角形状のものでも
よく、又第３図（Ｂ）に示すように角部を円弧状にした
ものであってもよい。

また、テープフレーム８は、各位置決め溝８ａ。

８ｂが各位置決めピン４．５に当接した状態において、
磁石６によってテーブル本体２上に吸着保持されるため
、テープ貼付は作業中においても位置ずれを生じること
がない。

さらに、本実施例を従来の全自動テープ貼付装置に適用
する際には、テープフレームを各位置決めｊｉｌが各位
置決めピンに当接する位置に送る必要がなく、位置決め
ピンの近傍に送ればよいため、従来のように送り精度の
高いテープフレーム送り装置を必要とすることがなく、
簡単な構成で確実にテープフレームの位置決めを行うこ
とができる。

（発明の効果）本発明は、テープフレームを２本の位置決めピン側に吸
引し得る位置に磁石を設けたことにより、従来のように
テープフレームの各位置決め溝が前記各位置決めピンに
当接するようにテープフレームを載置する必要がなく、
各位置決め溝が各位置決めピンの近傍に位置するように
載置するのみでよく、磁石の吸引力によって移動され、
０動的に適切な位置決めが行われる。従って、手動テー
プ貼付装置に適用した場合は勿論のこと、全自動テープ
貼付装置に適用した場合においても、テープフレームは
従来のように高精度に加工されたものを用いる必要がな
い。また、全自動テープ貼付装置に適用した場合におい
ては、従来のように送り精度の高いテープフレーム送り
装置を採用する必要がない。

さらに、位置決めされた状態においては、テープフレー
ムは磁石によってテープテーブルに吸着固定されるため
、テープ貼付は作業中において、位置ずれを生じる恐れ
がない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の平面図、第２図は第１図のＩ
Ｉ−ＩＴ線に沿った断面図、第３図の（Ａ）及び０３）
は本実施゛例に用いるテープフレームの平面図、第４図
は従来例の全体斜視図、第５図は第４図の■−■線に沿
った断面図、第６図は第４図の平面図、第７図は従来例
において用いられるテープフレームの平面図である。ｌ・・・テープテーブル、２・・・テーブル本体、３・
・・吸着板、４・・・第１位置決めピン、５・・・第２
位置決めピン、６・・・磁石、８・・・テープフレーム
、８ａ・・・■溝、８ｂ・・・平溝、Ｗ・・・ウェハー
。 ―■ 第　　２　　図第　　３　　図　　（Ａ）第　　３　　図　（日）第　　４　　図第　　６　　図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）テープ貼付装置におけるテープテーブル上に設け
られた２本の位置決めピンに、テープフレームの一側端
に設けられた左右一対の位置決め溝を当接することによ
って、テープフレームを位置決めするテープフレーム位
置決め装置において、前記テープフレームを前記２本の
位置決めピン側に吸引し得る位置に磁石が設けられてい
ることを特徴とするマグネット式テープフレーム位置決
め装置。