JPH0829861B2 - マグネツト式テ−プフレ−ム位置決め装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ウエハーとテープフレームとを一体的に貼
付するテープ貼付装置に関するものである。詳細には、
テープフレームを磁力によって２本の位置決めピンに押
し当て、テープフレームの位置決めを行うテープフレー
ム位置決め装置に関するものである。

（従来の技術） テープ貼付装置は、ウエハーをテープによってテープ
フレームに一体的に貼付するものであり、ウエハーとテ
ープフレームとが所要位置関係となるように貼付するこ
とが必要である。そのため、両者の位置決めを高い精度
で行うことが要求されている。

例えば、第４図乃至第６図に示すものは手動のテープ
貼付装置であり、ウエハーＷ及びテープフレーム８をテ
ープテーブル１上において夫々位置決めし、テープケー
ス12からテープＴを引き出した後に、カッタープレート
13を矢印方向に回転してテープテーブル１の上方の固定
板11に固定し、しかる後、テープテーブル１をプランジ
ャー14により上昇させてテープＴをウエハーＷとテープ
フレーム８に貼付けるものである。

前記テープ貼付装置において、ウエハーＷ及びテープ
フレーム８の位置決めは、次のように行われる。先ず、
ウエハーＷをテープテーブル１のテーブル本体２上のオ
リフラに合わせて吸着板３上に載置し、吸着板３に吸着
する。しかる後、アライメントヘアーライン位置調整ツ
マミ９を操作して吸着板３を左右動し、且つアライメン
ト角度調整ツマミ10を操作して吸着板３を回動し、ウエ
ハーＷのストリートがヘアラインと一致するように位置
決めする。次いで、第７図に示すテープフレーム８の一
側端に設けられたＶ溝8a及び平溝8bが、テーブル本体２
の一端に設けられた第１及び第２の位置決めピン4,5に
当接し、前記一側端と対向する側端面8cがテーブル本体
２の他端に設けられた板バネ７に当接するようにテープ
フレーム８をセットする。すなわち、テープフレーム８
は、板バネ７の押圧力によって、Ｖ溝8a及び平溝8bが第
１及び第２の位置決めピン4,5に当接されることにな
り、正確に位置決めされる。

ところで、前記テープフレーム８は、第７図に示すよ
うにＶ溝8a及び平溝8bが第１及び第２の位置決めピン4,
5に当接するように板バネ７によって押圧されるため、
板バネ７に当接する側端面8cと第１位置決めピン４と当
接するＶ溝8aとの距離Ｌ及び前記側端面8cが高い精度で
形成されていることが必要とされており、高価なものと
なっている。

また、図示していないが、テープテーブル上にウエハ
ー及びテープフレームを位置決め載置し、テープテーブ
ルを上昇させると共に、テープの上下面に異なった圧力
を作用させることによって、ウエハー及びテープフレー
ムにテープを貼付する全自動テープ貼付装置が知られて
いる。該テープ貼付装置において、テープフレームの位
置決めは、テープテーブル上に設けられた２本の位置決
めピンにテープフレームのＶ溝及び平溝が当接するよう
に、真空パッドを有する送り装置によりテープフレーム
を送り込むことによって行われている。そのため、送り
装置の送り精度を高く設定することが必要とされてい
る。

以上のように、従来のテープ貼付装置において、テー
プフレームの位置決めは、テープテーブルに設けられた
２本の位置決めピンにテープフレームの位置決め溝を当
接することによって行われているため、テープフレーム
の寸法精度を高めたり、或はテープフレームの送り装置
の送り精度を高める等のことが必要とされ、装置が高価
となっている。

（発明の目的） 本発明は、前記従来の事情に鑑みてなされたもので、
テープフレームを磁力によって吸引して２本の位置決め
ピンに当接するようにすることにより、高精度のテープ
フレームを採用したり、或は送り精度の高いテープフレ
ーム送り装置を採用する必要がなく、テープフレームの
位置決めを確実に行い得るマグネット式テープフレーム
位置決め装置を提供することにある。

（発明の構成） 本発明の構成は、テープ貼付装置におけるテープテー
ブル上に設けられた２本の位置決めピンに、テープフレ
ームの１側端面に設けられた左右一対の位置決め溝を当
接することによって、テープフレームを位置決めするテ
ープフレーム位置決め装置において、前記各位置決めピ
ンを結ぶ線を挟んでテープフレームを載置する部位の反
対側で、テープフレームを前記一対の位置決め溝が前記
各位置決めピンに当接するように吸引して移動させ得る
位置に設けられた位置決め用磁石を備えていることを特
徴とするマグネット式テープフレーム位置決め装置であ
る。

（実施例） 本発明の実施例を第１図乃至第３図に基いて説明す
る。第１図において、１はテープテーブルで、２はテー
ブル本体、３はウェハーＷを吸着する吸着板である。吸
着板３は、第４図乃至第６図に示す従来例と同様にテー
ブル本体２上に回転及び左右動可能に設けられたもので
あってもよい。

４は第１位置決めピン、５は第２位置決めピンで、夫
々テーブル本体２上に設けられている。６は位置決め用
磁石で、第１位置決めピン４と第２位置決めピン５と結
ぶ線よりも外側、すなわち前記線を挟んでテープフレー
ム８を載置する部位の反対側に設けられており、第２図
に示すようにテーブル本体２の上面に突出しないように
設けられていることが好ましい。また、位置決め用磁石
６は、テープフレーム８を第１位置決めピン４及び第２
位置決めピン５の側に吸引して移動させ得る位置であれ
ば、テーブル本体２、固定板11（第４図乃至第６図参
照）等のいずれの位置に設けられていてもよいが、第１
位置決めピン４及び第２位置決めピン５から等距離に設
けられていることが好ましく、テープフレーム８を片寄
りすることなく移動することができ、各溝8a,8bを確実
に各位置決め4,5に当接することができる。さらに、位
置決め用磁石６は、各溝8a,8bが各位置決めピン4,5に当
接した状態において、テープフレーム８が接触しない位
置に設けられていることが好ましく、テープフレーム８
が磁化することを防ぐことができる。

本実施例は以上のように構成されており、テープフレ
ーム８を位置決めする際、テープフレーム８を第１図に
二点鎖線で示すテーブル本体２上の位置に手動又はテー
プフレーム送り装置（図示せず）によって自動的に載置
すると、テープフレーム８は位置決め用磁石６によって
矢印の方向に引き寄せられ、実線で示すようにＶ溝8aが
第１位置決めピン４に、又平溝8bが第２位置決めピン５
に当接し、所定状態で位置決め固定される。すなわち、
テープフレーム８を位置決め用磁石６の磁力により吸引
して移動し、Ｖ溝8aと平溝8bとをそれぞれ第１位置決め
ピン４と第２位置決めピン５とに当接させ、これにより
位置決めする。その結果、テープフレーム８の位置決め
精度は、テープフレーム８のＶ溝8aと平溝8bの加工精度
に依存することになり、従来のように各溝8a、8bが形成
された一側端面と対向する側端面8cの加工精度等の影響
は受けない。

従って、テープフレーム８は、第３図（Ａ）及び
（Ｂ）に示すように、一側端面に設けられたＶ溝8aから
対向する側端面8cまでの寸法及び前記側端面8cの表面は
荒いものでもよく、従来のように高精度に加工されたも
のを採用する必要がない。なお、位置決め溝は、前記の
ようにＶ溝と平溝との組み合わせが加工上好ましいが、
Ｖ溝とＶ溝等他の組み合わせであっても良い。テープフ
レーム８の外形形状は、第３図（Ａ）に示すように四角
形状のものでもよく、又第３図（Ｂ）に示すように角部
を円弧状にしたものであってもよい。

また、テープフレーム８は、Ｖ溝8aと平溝8bとがそれ
ぞれ第１位置決めピン４と第２位置決めピン５とに当接
して位置決めされた後においても、位置決め用磁石６の
吸引力によって前記当接した状態に固定保持されるた
め、テープ貼付け作業中においても位置ずれを生じるこ
とがない。

さらに、本実施例を従来の全自動テープ貼付装置に適
用する際には、テープフレームを各位置決め溝が各位置
決めピンに当接する位置に送る必要がなく、位置決めピ
ンの近傍に送ればよいため、従来のように送り精度の高
いテープフレーム送り装置を必要とすることがなく、簡
単な構成で確実にテープフレームの位置決めを行うこと
ができる。

（発明の効果） 本発明によれば、テープフレームを位置決め用磁石の
吸引力により各位置決めピンの側に吸引して移動し、各
位置決め溝を各位置決めピンに当接して位置決め保持す
るようになっているため、テープフレームを各位置決め
溝が各位置決めピンの近傍に位置するようにテープテー
ブル上に載置すればよく、これにより自動的に適切な位
置決めをすることができる。また、テープフレームの位
置決め精度は、各位置決め溝の加工精度のみに依存し、
従来のように各位置決め溝から側端面までの寸法及び前
記側端面の加工精度等の影響を何等受けることがない。
従って、手動テープ貼付装置に適用した場合は勿論のこ
と、全自動テープ貼付装置に適用した場合においても、
テープフレームは従来のように高精度に加工されたもの
を用いる必要がない。また、全自動テープ貼付装置に適
用した場合においては、従来のように送り精度の高いテ
ープフレーム送り装置を採用する必要がない。

テープフレームは、前記したように位置決め用磁石の
吸引力によつて各位置決め溝が各位置決めピンに当接し
た状態、すなわち押し付けられた状態に固定保持される
ため、テープ貼付け作業中に位置ずれを生じる恐れがな
い。従って、ウエハーとの位置関係に狂いを生じること
がなく、テープフレームとウエハーとの一体的な貼付を
従来よりも簡単に高精度で行うことが可能になつた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の平面図、第２図は第１図のII
−II線に沿った断面図、第３図の（Ａ）及び（Ｂ）は本
実施例に用いるテープフレームの平面図、第４図は従来
例の全体斜視図、第５図は第４図のＶ−Ｖ線に沿った断
面図、第６図は第４図の平面図、第７図は従来例におい
て用いられるテープフレームの平面図である。 １……テープテーブル、２……テーブル本体、３……吸
着板、４……第１位置決めピン、５……第２位置決めピ
ン、６……位置決め用磁石、８……テープフレーム、8a
……Ｖ溝、8b……平溝、Ｗ……ウエハー。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】テープ貼付装置におけるテープテーブル上
   に設けられた２本の位置決めピンに、テープフレームの
   一側端面に設けられた左右一対の位置決め溝を当接する
   ことによって、テープフレームを位置決めするテープフ
   レーム位置決め装置において、前記各位置決めピンを結
   ぶ線を挟んでテープフレームを載置する部位の反対側
   で、テープフレームを前記一対の位置決め溝が前記各位
   置決めピンに当接するように吸引して移動させ得る位置
   に設けられた位置決め用磁石を備えていることを特徴と
   するマグネット式テープフレーム位置決め装置。