JP2006323347A - 光部品の調心装置、光部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】光部品同士の調心作業に用いられる光部品の調心装置において、構造の単純化、調心のための操作の簡素化を実現できる技術が求められていた。
【解決手段】光部品を上下方向の基準軸線に沿って直線移動させる上部ステージ４と、上部ステージ４の光部品に固定する別の光部品を、直線移動２軸、回転移動３軸の計５軸の自由度で移動させる下部ステージ３とを備え、下部ステージ３の回転移動３軸の内の２つが、前記基準軸線に対して垂直かつ互いに垂直の軸線を以て光部品を回転させる角度調整用、残る回転移動１軸が、角度調整用の２軸に対して垂直の軸線を以て光部品を回転させる回転調心用である光部品の調心装置及びそれを用いた光部品の製造方法を提供する。
【選択図】図１

Description

本発明は、光部品同士を調心する光部品の調心装置、光部品の製造方法に関する。

例えば、１つの導波路素子と２つのファイバアレイとの調心固定や、１つの誘電体多層膜フィルタ素子と２つのコリメータとの調心固定に用いられる装置として、特許文献１に示すような横型の調心装置がある。
この横型の調心装置は、一般的には、光部品を把持する固定台と、その両側に設置され、それぞれ、６軸（例えば特許文献１のＸ、Ｙ、Ｚ、θｘ、θｙ、θｚを参照。両側で合計１２軸）の可動軸を有する可動ステージ装置とからなる。可動ステージ装置は、固定台に取り付けられた光部品に対して調心して固定する光部品を支持する。可動ステージ装置に支持された光部品は、可動ステージ装置の自由度によって、固定台に取り付けられた光部品に対して調心される。
可動ステージ装置に支持される光部品は、該光部品に取り付けられている光ファイバが横向き（水平方向）となる向きで、可動ステージ装置に取り付けられる。
各光部品は、最適位置に調心後、紫外線硬化型接着剤（以下、ＵＶ接着剤）などで接着固定される。
特開２０００−１８０６５８号公報

しかしながら、上述したような従来の調心装置（横型調心装置）の各可動ステージ装置は、各可動軸をモータで個別に駆動するようになっている。このため、調心装置全体として、非常に高価になってしまう、といった問題があった。
また、コリメータのように、円筒形のものについて調心を行う際に、光部品同士の接続光軸に沿った方向の軸線（特許文献１のθｚ軸参照）回りの回転幅が小さい（±１０°程度）。このため、例えば２心コリメータ等、方向性のある光部品を調心する際には、予め大まかな方向性を確認してから可動ステージ装置に取り付ける必要がある、といった問題があった。

本発明は、前記課題に鑑みて、（１）可動軸の数の削減でき、装置全体を低コスト化できる（２）光部品同士の接続光軸に沿った方向の軸線回りの光部品の回転幅を大きく確保することができ、方向性のある円筒形の光部品の調心についても、簡単に行える光部品の調心装置、光部品の製造方法の提供を目的としている。

上記課題を解決するために、本発明では以下の構成を提供する。
本発明では、光部品同士の光軸合わせのための調心作業に用いられる光部品の調心装置において、光部品が着脱可能に固定される固定台を、直線移動１軸の自由度で、上下方向に延在する基準軸線に沿って移動させる移動ステージである第１ステージと、この第１ステージに支持された光部品に固定される別の光部品を支持する第２ステージとを具備し、前記第２ステージは、光部品が着脱可能に固定される固定台と、この固定台を、前記基準軸線に対する垂直方向の直線移動２軸、及び、回転移動３軸の計５軸の自由度で移動させる各軸毎の移動ステージとを備え、前記第２ステージの回転移動３軸の移動ステージの内の２つが、前記基準軸線に対して垂直かつ互いに垂直の軸線を中心に前記固定台を回転させる角度調整用、残る回転移動１軸の移動ステージが、角度調整用の２軸に対して垂直の軸線を中心に前記固定台を回転させる回転調心用であることを特徴とする光部品の調心装置を提供する。
また、本発明は、第２ステージは、計５軸の移動ステージを前記基準軸線に沿って配列配置した構成であり、計５軸の移動ステージの内、第１ステージに最も近い側に配置された回転調心用の移動ステージに固定台が設けられていることを特徴とする請求項１記載の光部品の調心装置を提供する。
また、本発明は、第２ステージの各移動ステージが、手動操作ステージであることを特徴とする請求項１又は２記載の光部品の調心装置を提供する。
また、本発明は、第１ステージの固定台及び第２ステージの固定台の一方又は両方に、円筒状あるいは円柱状の光部品を位置決めするための位置決め溝を有する位置決め部が設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光部品の調心装置を提供する。
また、本発明は、紫外線硬化型接着剤を用いて光部品を接着固定するための光ファイババンドルを具備することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の光部品の調心装置を提供する。
また、本発明は、前記光ファイババンドルからの紫外線の照射角度が、前記基準軸線に対して可変であることを特徴とする請求項５に記載の光部品の調心装置を提供する。
また、本発明は、前記光ファイババンドルからの紫外線の照射角度が、前記基準軸線に対して０〜１８０°の範囲の角度であることを特徴とする請求項５又は６に記載の光部品の調心装置を提供する。
また、本発明は、前記光ファイババンドルからの紫外線の照射角度が、前記基準軸線に対して略垂直であることを特徴とする請求項５又は６に記載の光部品の調心装置を提供する。

また、本発明は、請求項１〜８のいずれかに記載の光部品の調心装置を用いて、光部品同士の光軸を合わせて、複数の光部品を一体化してなる複合光部品を製造する方法であって、第２ステージの固定台に固定した光部品の光軸を、前記回転調心用の移動ステージによる固定台の回転で、第１ステージの固定台に固定しておいた光部品の光軸に粗調心する粗調心工程と、この粗調心工程の完了後、第２ステージの回転移動３軸及び直線移動２軸の内の１以上の自由度で第２ステージの固定台を移動して、第２ステージの固定台に固定した光部品の光軸を、第１ステージの固定台に固定しておいた光部品の光軸に、前記粗調心よりも高精度に調心する高精度調心工程と、高精度調心工程の完了後、光部品同士を固定して、前記複合光部品を組み立てる固定組立工程とを具備することを特徴とする光部品の製造方法を提供する。
また、本発明は、第１ステージの固定台に光軸を複数本有する光部品を固定し、第２ステージの固定台に光軸を１本のみ有する光部品を固定して、前記粗調心工程と前記高精度調心工程と前記固定組立工程とを行うことで、光軸を複数本有する光部品と、光軸を１本のみ有する光部品とを固定してなる複合光部品を組み立てることを特徴とする請求項９記載の光部品の製造方法を提供する。

本発明によれば、固定台に固定した光部品を固定台とともに所定の基準軸線上で直線移動させる第１ステージと、第１ステージに支持された光部品とは別の光部品を、直線移動２軸及び回転移動３軸の自由度で移動して、第１ステージに支持された光部品に対して調心する第２ステージとを備えたものであるため、光部品を移動するための軸数を削減でき、低コスト化できる。
また、第１、第２ステージにそれぞれ支持した光部品同士の調心作業において、第２ステージに支持した光部品を、第２ステージの回転調心用の１軸によって回転させることで、調心作業の手間を軽減することが可能である。第２ステージに支持した光部品を、第２ステージの回転調心用の１軸での回転で、第１ステージに支持された光部品に対して光軸の粗調心を行った後、第２ステージの直線移動２軸及び回転移動３軸の自由度で、粗調心よりも高精度の調心を行えば、調心作業の手間を大幅に軽減できる。
また、本発明に係る調心装置では、第２ステージの回転調心用の１軸による光部品の回転の可動範囲（角度範囲）を、広く確保することが容易である。３６０度回転自在とすることができる。この結果、第２ステージの回転調心用の１軸による光部品の回転によって、円筒形や円柱形の光部品の調心を容易に行えるようになるといった利点もある。

以下、本発明の一実施の形態を、図面を参照して説明する。
図１は、本発明に係る光部品の調心装置１（以下、単に、調心装置とも言う）を示す斜視図、図２は、図１の調心装置１の第２ステージ３の移動ステージ３２〜３６の構成を模式的に示す拡大斜視図（モデル図）、図３は、図１の調心装置１の第１、第２ステージ３、４の固定台３１、４２１を示す拡大斜視図である。
なお、図１、図２、図３において、上側を上、下側を下として説明する。
また、図１下側に、矢印で示したＸ、Ｙ、Ｚは、それぞれ、以下文中の、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向を示す。

図１、図２に示すように、この調心装置１は、ベース２１及び該ベース２１上に立設された縦フレーム２２を有する装置フレーム２と、この装置フレーム２のベース２１上に設置された下部ステージ３と、前記装置フレーム２の縦フレーム２２に支持して、前記下部ステージ３の上方に設けられた上部ステージ４とを具備して構成されている。
また、図１中、符号５は、紫外線照射装置である。図１に例示した実施形態の調心装置１は、この紫外線照射装置を含む。すなわち、本形態例の調心装置１は、紫外線硬化型接着剤を用いて光部品を接着固定するための光ファイババンドル５１（詳しくは後述する。）を具備するものである。
下部ステージ３は、本発明に係る第２ステージとして機能するものである。
上部ステージ４は、本発明に係る第１ステージとして機能するものである。

（下部ステージ）
下部ステージ３は、光部品６が着脱可能に固定される固定台３１（以下、下部固定台とも言う）と、水平２方向の直線移動２軸、及び、回転移動３軸の計５軸の自由度で前記下部固定台３１を移動させる各軸毎の移動ステージ３２〜３６とを備えて構成されている。
各移動ステージ３２〜３６はプレート状である。これら移動ステージ３２〜３６は、装置フレーム２のベース２１上に積み重ねるようにして設けられている。

前記下部固定台３１は、最上段の移動ステージ３６（後述のθｚ軸ステージ）に立設されている柱状の部材である回転ブロック３６２の上端部（θｚ軸ステージ３６からの突出先端）である。
図３に示すように、この下部固定台３１には、光部品６の位置決め用の位置決め溝３１２（図４参照）が形成されている光部品保持台３１１を収納する保持台装着溝３１ａが形成されている。保持台装着溝３１ａ内に収納された光部品保持台３１１（位置決め部）は、図示しない取付部材によって、下部固定台３１に対して着脱可能に取り付けられる。
また、この下部固定台３１には、保持台装着溝３１ａ内の前記光部品保持台３１１の位置決め溝３１２に収納して位置決めした光部品６をスプリング（図示略）の付勢力によって押さえ込んで、光部品保持台３１１との間にクランプ保持する押さえ片３１ｂが、軸３１ｃを介して回転自在に取り付けられている。押さえ片３１ｂを、スプリングの付勢力に抗して、光部品保持台３１１から離隔させるように回転させれば、下部固定台３１に対する光部品６の着脱作業を行える。なお、図３中、符号３１ｄは、押さえ片３１ｂに突設された当接突起３１ｄである。押さえ片３１ｂは、具体的には、光部品保持台３１１の位置決め溝３１２に収納した光部品６を、当接突起３１ｄで光部品保持台３１１に押さえ込む。

図４に例示した光部品保持台３１１は、位置決め溝３１２としてＶ溝を採用している。
位置決め溝３１２としては、例えば、コリメータ等の円柱状（あるいは円筒状）の光部品の位置決め及び保持に適した形状のものであり、Ｖ溝に限定されず、例えば、角溝、その他、様々な形状のものを採用できる。下部固定台３１に取り付ける光部品保持台３１１は、光部品６の位置決め及び保持に適した位置決め溝３１２を有するものを選択使用する。

なお、ここでは、光部品６の位置決め及び保持に適した位置決め溝３１２を有する光部品保持台３１１を、下部固定台３１に選択的に取り付ける構成を例示したが、これに限定されず、例えば、θｚ軸ステージ３６の回転ブロック３６２の上端部に着脱可能な、回転ブロック３６２とは別体の下部固定台３１を採用し、この下部固定台３１に位置決め溝３１２を形成することも可能である。この場合は、光部品６の位置決め及び保持に適した位置決め溝３１２を有する下部固定台３１を選択して、回転ブロック３６２に取り付ける。

図１、図２に示すように、移動ステージ３２〜３６は、Ｙ軸方向の直線移動用のＹ軸ステージ３２、Ｘ軸方向の直線移動用のＸ軸ステージ３３、θｘ軸回転移動用のθｘ軸ステージ３４、θｙ軸回転移動用のθｙ軸ステージ３５、θｚ軸回転移動用のθｚ軸ステージ３６である。
これら移動ステージ３２〜３６は、Ｙ軸ステージ３２、Ｘ軸ステージ３３、θｘ軸ステージ３４、θｙ軸ステージ３５、θｚ軸ステージ３６の順で、下から上に積み重ねられている。

Ｘ軸方向（図２中、符号Ｘ）、Ｙ軸方向（図２中、符号Ｙ）とは、ここでは、鉛直軸線に直交し、かつ、互いに直交する２方向（水平方向において互いに直交する２方向）を指す。
また、「θｘ軸回転移動」は、Ｘ軸方向に延びる軸線を中心とする回転移動、「θｙ軸回転移動」は、Ｙ軸方向に延びる軸線を中心とする回転移動を指す。
「θｚ軸回転移動」は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に垂直の方向に延びる軸線（θｚ軸。図２参照）を中心とする回転移動を指す。但し、θｚ軸は必ずしも鉛直ではなく、θｘ軸ステージ３４及び／又はθｙ軸ステージ３５の操作によって、鉛直軸線に対して傾斜させることができる。

Ｙ軸ステージ３２は、プレート状のスライドベース３２１と、このスライドベース３２１上に、Ｙ軸方向にスライド移動可能に設けられた可動ブロック３２２とを具備する。Ｙ軸ステージ３２の側部には、可動ブロック３２２のＹ軸方向の移動操作用の操作ダイヤル（粗動ダイヤル３２３及び微動ダイヤル３２４）が突設されている。操作ダイヤルの回転操作は、Ｙ軸ステージ３２に組み込まれている可動ブロック移動機構（図示略）によって、可動ブロック３２２のＹ軸方向への移動に変換される。微動ダイヤル３２４は、可動ブロック３２２の高精度位置調整用の操作ダイヤルであり、操作量（回転量）に対する可動ブロック３２２の移動量が粗動ダイヤル３２３よりも小さい。

Ｘ軸ステージ３３は、前記Ｙ軸ステージ３２の可動ブロック３２２上に固定されたプレート状のスライドベース３３１と、このスライドベース３３１上に、Ｘ軸方向にスライド移動可能に設けられた可動ブロック３３２とを具備する。Ｘ軸ステージ３３の側部には、可動ブロック３３２のＸ軸方向の移動操作用の操作ダイヤル（粗動ダイヤル３３３及び微動ダイヤル３３４）が突設されている。操作ダイヤルの回転操作は、Ｘ軸ステージ３３に組み込まれている可動ブロック移動機構（図示略）によって、可動ブロック３３２のＸ軸方向への移動に変換される。微動ダイヤル３３４は、可動ブロック３３２の高精度位置調整用の操作ダイヤルであり、操作量（回転量）に対する可動ブロック３３２の移動量が粗動ダイヤル３３３よりも小さい。

θｘ軸ステージ３４は、前記Ｘ軸ステージ３３の可動ブロック３３２上に固定されたプレート状のスライドベース３４１と、このスライドベース３４１上に設けられ、スライドベース３４１上に形成されたスライド用湾曲面３４１ａに沿ったスライド移動によってθｘ軸回りに回転移動する可動ブロック３４２と、この可動ブロック３４２のθｘ軸回りの回転操作用の操作ダイヤル３４３とを具備して構成されている。

θｙ軸ステージ３５は、前記θｘ軸ステージ３４の可動ブロック３４２上に固定されたプレート状のスライドベース３５１と、このスライドベース３５１上に設けられ、スライドベース３５１上に形成されたスライド用湾曲面３５１ａに沿ったスライド移動によってθｙ軸回りに回転移動する可動ブロック３５２と、この可動ブロック３５２のθｙ軸回りの回転操作用の操作ダイヤル３５３とを具備する。

θｚ軸ステージ３６は、前記θｙ軸ステージ３５の可動ブロック３５２上に固定されたスライドベース３６１と、このスライドベース３６１上にθｚ軸を中心として３６０度回転自在として支持された回転ブロック３６２とを具備している。
前述したように回転ブロック３６２は柱状の部材であり、スライドベース３６１上に立設されている。
また、回転ブロック３６２の側部には、該回転ブロック３６２の回転操作用の操作ハンドル３６３が突設されている。この操作ハンドル３６３を使って回転ブロック３６２を回転させることで、回転ブロック３６２の上端部の下部固定台３１及び該下部固定台３１に固定した光部品６を、θｚ軸を中心として回転させることができる。

前記下部ステージ３の回転移動３軸の移動ステージ３４、３５、３６内の１つ（１軸）は、θｚ軸を回転中心として下部固定台３１を回転させる回転調心用（θｚ軸ステージ３６）、回転移動３軸の残り２軸（θｘ軸ステージ３４、θｙ軸ステージ３５）が前記下部固定台３１に固定した光部品６の光軸の前記θｚ軸に対する角度調整用である。

（上部ステージ）
図１に示すように、上部ステージ４は、装置フレーム２の縦フレーム２２の上端部に固定されたスライドベース４１と、このスライドベース４１にガイドされて、所定の基準軸線Ｂに沿って移動する可動ブロック４２と、この可動ブロック４２を前記基準軸線Ｂ（ここでは、鉛直軸線）に沿って移動するための操作ダイヤル（粗動ダイヤル４３及び微動ダイヤル４４）とを具備して構成されている。

本実施形態において、前述したように、前記基準軸線Ｂは鉛直軸線である。換言すれば、Ｚ軸方向に延在する軸線である。したがって、前述した上部ステージ４の可動ブロック４２の移動は、上下方向（鉛直方向）の移動である。
また、基準軸線Ｂは、より詳しくは、上部ステージ４の可動ブロック４２に設けられた固定台４２１（後述の上部固定台）に固定される光部品６の突き合わせ端面（例えば、図７に示す２心コリメータ６２の突き合わせ端面６２ａを参照）を通る鉛直軸線である。
調心装置１を用いて、光部品同士の光軸合わせのための調心作業を行う場合は、上下のステージ３、４に支持した各光部品６の突き合わせ端面が基準軸線Ｂと交差する位置となるように、下部ステージ３の移動ステージの操作によって下部ステージ３による光部品の支持位置を調整する。

可動ブロック４２の下端部には、光部品６の位置決め用の位置決め溝４５１（図５参照。図５ではＶ溝）が形成されている光部品保持台４５を収納する保持台装着溝４２ａが形成されている。
可動ブロック４２の下端部は、光部品６を固定するための固定台４２１（以下、上部固定台とも言う）として機能する。上部ステージ４は、上部固定台４２１を基準軸線Ｂに沿って（ここでは上下方向）に移動するための移動ステージとして機能する。
保持台装着溝４２ａ内に収納された光部品保持台４５（位置決め部）は、図示しない取付部材によって、上部固定台４２１に対して着脱可能に取り付けられる。この上部固定台４２１でも、下部ステージ３の下部固定台３１と同様に、光部品６の固定に適した位置決め溝４５１を有する光部品保持台４５が選択使用される。

操作ダイヤルは、上部ステージ４の可動ブロック４２を基準軸線Ｂに沿って移動するために上部ステージ４に組み込まれた移動機構の一部である。この上部ステージ４では、操作ダイヤルの回転操作（正逆回転操作）が、移動機構によって、可動ブロック４２（及び上部固定台４２１）のＺ軸方向の移動（昇降）に変換される。
また、微動ダイヤル４４の回転操作量に対する上部固定台４２１の移動量は、粗動ダイヤル４３の回転操作量に対する上部固定台４２１の移動よりも小さい。

すでに述べたように、基準軸線Ｂは、上部固定台４２１において、光部品６を固定する固定位置を通る（換言すれば、該上部固定台４２１に固定される光部品６の突き合わせ端面を通る、ということ）鉛直軸線であり、上部固定台４２１の上下動は基準軸線Ｂに沿った移動であることから、上部固定台４２１を上下動させても、光部品６の突き合わせ端面が基準軸線Ｂと交差した状態が維持される。

図３に示すように、上部固定台４２１には、保持台装着溝４２ａ内の前記光部品保持台４５の位置決め溝４５１に収納して位置決めした光部品６をスプリング（図示略）の付勢力によって押さえ込んで、光部品保持台４５との間にクランプ保持する押さえ片４２ｂが、軸４２ｃを介して回転自在に取り付けられている。押さえ片４２ｂを、スプリングの付勢力に抗して、光部品保持台４５から離隔させるように回転させれば、上部固定台４２１に対する光部品６の着脱作業を行える。なお、図３中、符号４２ｄは、押さえ片４２ｂに突設された当接突起である。押さえ片４２ｂは、具体的には、光部品保持台４５の位置決め溝４５１に収納した光部品６を、当接突起４２ｄで光部品保持台４５に押さえ込む。

なお、ここでは、光部品６の位置決め及び保持に適した位置決め溝４５１を有する光部品保持台４５が選択的に取り付ける構成の上部固定台４２１を例示したが、これに限定されず、例えば、位置決め溝４５１及び押さえ片４２ｂを具備する固定台を、上部ステージ４の可動ブロック４２に着脱可能に取り付ける構成等も可能である。

下部ステージ３の各移動ステージ３２、３３、３４、３５、３６は、それぞれ、操作ダイヤル３２３、３２４、３３３、３３４、３４３、３５３、操作ハンドル３６３の手動操作によって下部固定台３１を移動できる、手動操作ステージである。また、上部ステージ４も、操作ダイヤル４３、４４の手動操作によって上部固定台４２１を移動できる手動操作ステージである。したがって、多数の電動モータを必要とする従来技術の調心装置に比べて、大幅な低コスト化を実現できる。
但し、本発明に係る下部ステージ３及び上部ステージ４としては、手動操作ステージに限定されず、電動モータで駆動されるものを排除しない。本発明に係る調心装置によれば、下部ステージ３が５軸で済み、従来の調心装置の６軸に比べて１軸少ないため、構成を単純化でき、小型化、低コスト化を容易に実現できる。また、下部ステージ３は、回転調心用のθｚ軸ステージ３６を具備していることから、調心のための操作が単純で済むといった利点もある。

紫外線照射装置５は、本調心装置１の下部ステージ３の下部固定台３１に保持した光部品６と、上部ステージ４の上部固定台４２１に保持した光部品６とを紫外線硬化型接着剤で接着固定する際に、紫外線を照射して、光部品６同士を接着固定する紫外線硬化型接着剤を硬化させるものである。
図示例の紫外線照射装置５は、具体的には、ＵＶ光源に接続された光ファイババンドル５１と、この光ファイババンドル５１を支持する支持台５２とで構成されている。
なお、光部品６同士を固定する紫外線硬化型接着剤を硬化させるための紫外線照射手段としては、図示例のような紫外線照射装置に限定されず、様々な構造のものを採用できる。

（光部品の製造方法）
次に、調心装置１を利用して、光部品同士の調心及び接着固定を行い、複数の光部品からなる複合光部品を組み立てる方法（製造方法）の一例を説明する。

図６は、ここで組み立てる複合光部品７の一例を示す図である。
図６に例示した複合光部品７は、波長分割多重機能を持つ光部品であるＷＤＭフィルタ（ＷＤＭ：Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ Ｄｉｖｉｓｉｏｎ Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ）である。
この複合光部品７（以下、ＷＤＭフィルタ７とも言う）は、誘電体多層膜フィルタ素子６１（以下、フィルタ素子とも言う）と、該フィルタ素子６１の入射側に、フィルタ素子６１の入射及び反射ポートとして取り付けた２心コリメータ６２と、フィルタ素子６１の出射側（入射側と反対の側）に、フィルタ素子６１の透過ポートとして取り付けた単心コリメータ６３とで構成されている。つまり、この複合光部品７は、３つの光部品６（フィルタ素子６１と、２心コリメータ６２と、単心コリメータ６３）を一体化した構成になっている。２心コリメータ６２と単心コリメータ６３とは、接着剤で、フィルタ素子６１に接着固定される。

フィルタ素子６１は、ここでは、１．３１μｍ帯の光を透過し、かつ、１．５５μｍ帯の光を反射する、短波長透過フィルタ（ＳＷＰＦ：Ｓｈｏｒｔ Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ Ｐａｓｓ Ｆｉｌｔｅｒ）である。

２心コリメータ６２は、円柱状のコリメートレンズ６２ｂに２本の光ファイバ８１、８２を融着接続したものである。
単心コリメータ６３は、円柱状のコリメートレンズ６３ｂに１本の光ファイバ８３を融着接続したものである。
符号８１の光ファイバは入射ポート用光ファイバ、８２の光ファイバは反射ポート用光ファイバ、８３の光ファイバは透過ポート用光ファイバである。
各光ファイバ８１、８２、８３は、コリメートレンズ６２ｂ、６３ｂの軸方向両端の内、軸方向の一端面である突き合わせ端面６２ａ、６３ａとは反対の側の端部に融着接続されている。また、以下、コリメートレンズ６２ｂ、６３ｂの突き合わせ端面６２ａ、６３ａを、コリメータ６２、６３の突き合わせ端面として説明する場合がある。
なお、２心コリメータ６２に接続する光ファイバは、光ファイバ素線等の単心光ファイバであるが、例えば、１本の２心光ファイバテープ心線であっても良い。２心光ファイバテープ心線の場合は、光ファイバテープ心線内の各光ファイバ（裸光ファイバ）が、それぞれ単独の光ファイバとして機能する。

ここで説明する複合光部品７の製造方法（組み立て方法）は、フィルタ素子６１の入射側に２心コリメータ６２を接着固定して、フィルタ素子６１と２心コリメータ６２とを一体化した光部品７１（以下、２心コリメータ付きフィルタ素子とも言う）を組み立てる工程（第１工程）と、この２心コリメータ付きフィルタ素子７１の透過側（フィルタ素子６１の透過側）に単心コリメータ６３を接着固定して、複合光部品７を組み立てる工程（第２工程）とを具備する。
第１工程では、調心装置１を利用して、フィルタ素子６１に対する２心コリメータ６２の光軸の調心作業を行う。第２工程では、調心装置１を利用して、フィルタ素子６１に対する単心コリメータ６３の光軸の調心作業を行う。
以下、第１工程、第２工程を詳しく説明する。

（第１工程）
ここで説明する複合光部品７の製造方法（組み立て方法）では、まず、フィルタ素子６１と、２心コリメータ６２とを、下部ステージ３の下部固定台３１と上部ステージ４の上部固定台４２１とにセット（固定）する。
図７に示すように、２心コリメータ６２（光部品６）は、上部ステージ４の上部固定台４２１にセット（固定）し、フィルタ素子６１（光部品６）は、下部ステージ３の下部固定台３１にセット（固定）する。

フィルタ素子６１は、入射側端面（突き合わせ端面６１ａ）が上部固定台４２１側を向くように（つまり、突き合わせ端面６１ａが上側になるようにする）して下部固定台３１にセットする。また、外観円柱状に形成したフィルタ素子６１は、下部固定台３１に取り付けておいた光部品保持台３１１の位置決め溝３１２（Ｖ溝）によって位置決めするが、このときフィルタ素子６１自体の中心軸回り（より正確には光軸回り）の回転方向の位置決めは考慮する必要が無い。

２心コリメータ６２は、突き合わせ端面６２ａが下部固定台３１側を向くように（つまり、突き合わせ端面６２ａが下側となるようにする）して、上部固定台４２１にセットする。外観円柱状の２心コリメータ６２は、上部固定台４２１に取り付けておいた光部品保持台４５の位置決め溝４５１（Ｖ溝）によって位置決めするが、２心コリメータ６２自体の中心軸回りの回転方向の位置決めは考慮する必要が無い。
２心コリメータ６２に接続されている２本の光ファイバ８１、８２は、２心コリメータ６２から上方に延出されるようにする。また、２心コリメータ６２から延出されている２本の光ファイバ８１、８２の内、入射ポート用光ファイバ８１（図６中、Ｃポート）を光源（図示略）に接続し、反射ポート用光ファイバ８２（図６中、Ｒポート）を光パワーメータ（図示略）に接続する。

上部固定台４２１及び下部固定台３１に対する光部品６１、６２のセット（固定）が完了したら、２心コリメータ６２に対するフィルタ素子６１の調心作業を行う。
この調心作業は、入射ポート用光ファイバ８１に１．５５μｍ帯の光を送入し、この送入光の、フィルタ素子６１の誘電体多層膜から反射ポート用光ファイバ８２への反射光強度を光パワーメータでモニタしながら、下部ステージ３の全５軸の移動ステージ３２〜３６の内の１又は複数を操作して、最も伝送特性が良好な位置（最適位置）を探る。最適位置で調心がなされたものとする。

下部ステージ３の操作による調心作業について詳しく説明する。
下部ステージ３の操作による調心作業に入る前に、フィルタ素子６１が、２心コリメータ６２の下側に、２心コリメータ６２から僅かなクリアランスを介して配置されるようにする。
フィルタ素子６１は、下部ステージ３の全５軸の移動ステージ３２〜３６の内の１又は複数の操作によって、２心コリメータ６２の真下に配置できる。これにより、フィルタ素子６１の突き合わせ端面６１ａが、基準軸線Ｂと交差するようにする。
また、フィルタ素子６１と２心コリメータ６２との離隔距離の調整は、上部ステージ４の、２心コリメータ６２が固定されている上部固定台４２１の移動によって実現できることは言うまでも無い。
フィルタ素子６１が、２心コリメータ６２の下側に、２心コリメータ６２から僅かなクリアランスを介して配置されれば、上部固定台４２１に固定されている２心コリメータ６２の突き合わせ端面６２ａと、下部固定台３１に固定されているフィルタ素子６１の入射側の突き合わせ端面６１ａとが、僅かなクリアランスを介して対面される。
フィルタ素子６１が、２心コリメータ６２の下側に、２心コリメータ６２から僅かなクリアランスを介して配置されることで、調心作業が可能な状態となる。

フィルタ素子６１が、調心作業可能な位置に配置されたら調心作業を行う。
調心作業は、θｚ軸ステージ３６のみの操作によって、最も伝送特性が良好な位置を探る粗調心工程と、この粗調心工程の後、下部ステージ３の複数の移動ステージ３２〜３６の１又は複数を操作して、最適位置に調心する高精度調心工程とからなる。粗調心工程の後に、高精度調心工程を行う。

粗調心工程では、θｚ軸ステージ３６の回転操作で、下部固定台３１に固定されている光部品６（フィルタ素子６１）を、上部固定台４２１に固定されている２心コリメータ６２の突き合わせ端面を通る基準軸線、あるいは、該基準軸線と平行の鉛直軸線（θｚ軸）を中心として回転させる。
この粗調心工程の完了後に、高精度調心工程を行う。

このように、粗調心工程の後に高精度調心工程を行う調心作業であれば、最初に、θｙ軸ステージ３５及びθｘ軸ステージ３４の自由度によって大まかな調心位置を探る粗調心を行った後に、下部ステージ３の５軸の自由度による高精度の調心を行う手順に比べて、下部ステージ３の移動ステージの操作回数を削減でき、調心作業の所要時間を短縮できるといった利点がある。

上述の高精度調心工程が完了したら、紫外線硬化型接着剤を用いて、フィルタ素子６１と２心コリメータ６２とを接着固定して、２心コリメータ付きフィルタ素子７１（複合光部品）を組み立てる。フィルタ素子６１と２心コリメータ６２とに塗布した紫外線硬化型接着剤は、例えば、紫外線照射装置５の光ファイババンドル５１からの紫外線照射によって、迅速に硬化させることができる。
２心コリメータ付きフィルタ素子７１の組み立てによって第１工程が完了する。

（第２工程）
第１工程が完了したら、２心コリメータ付きフィルタ素子７１の全体を上側に移動して、フィルタ素子６１を上部固定台４２１に固定する。これにより、２心コリメータ付きフィルタ素子７１全体が上部固定台４２１に支持されるようにする。
この２心コリメータ付きフィルタ素子７１の上方への移動に伴い、空いた下部固定台３１に、単心コリメータ６３を固定する。このとき、単心コリメータ６３は、該単心コリメータ６３自体の中心軸線回りの回転方向の位置決めを考慮する必要が無い。
また、単心コリメータ６３に接続されている透過ポート用光ファイバ８３（図８中、Ｔポート）に光パワーメータ（図示略）を接続する。

単心コリメータ６３は、２心コリメータ付きフィルタ素子７１のフィルタ素子６１の下側（透過側）に、フィルタ素子６１から僅かなクリアランスを介して配置されるようにする。このような、単心コリメータ６３と、２心コリメータ付きフィルタ素子７１との位置関係は、下部ステージ３の全５軸の移動ステージ３２〜３６の内の１又は複数の操作による単心コリメータ６３の移動や、上部ステージ４における上部固定台４２１の移動によって、実現できることは言うまでも無い。
単心コリメータ６３が、２心コリメータ付きフィルタ素子７１のフィルタ素子６１の下側（透過側）に、フィルタ素子６１から僅かなクリアランスを介して配置されれば、上部固定台４２１に固定されているフィルタ素子６１の透過側の突き合わせ端面６１ｂと、下部固定台３１に固定されている単心コリメータ６３の突き合わせ端面６３ａとが、僅かなクリアランスを介して対面される。また、光部品７１、６３は、鉛直方向に延在する一本の基準軸線Ｂに、フィルタ素子６１の突き合わせ端面６１ｂと、単心コリメータ６３の突き合わせ端面６３ａとが交差するように配置する。

２心コリメータ付きフィルタ素子７１及び単心コリメータ６３の、上部固定台４２１及び下部固定台３１へのセット（固定）が完了したら、２心コリメータ付きフィルタ素子７１に対する単心コリメータ６３の調心作業を行う。
この調心作業は、２心コリメータ付きフィルタ素子７１に接続されている入射ポート用光ファイバ８１の光軸と、単心コリメータ６３に接続されている透過ポート用光ファイバ８３の光軸とを調心するものである。
この調心作業では、入射ポート用光ファイバ８１に１．３３μｍ帯の光を送入し、フィルタ素子６１を透過した光が、単心コリメータ６３に導かれるようにする。そして、フィルタ素子６１を透過した透過光を、透過ポート用光ファイバ８３に接続しておいた光パワーメータでモニタしながら、下部ステージ３の全５軸の移動ステージ３２〜３６の１又は複数を操作して、最も伝送特性が良好な位置（最適位置）を探る。最適位置で調心がなされたものとする。

調心作業は、θｚ軸ステージ３６のみの操作によって、最も伝送特性が良好な位置を探る、粗調心工程と、この粗調心工程の後、下部ステージ３の複数の移動ステージ３２〜３６の１又は複数を操作して、最適位置に調心する高精度調心工程とからなる。

粗調心工程では、θｚ軸ステージ３６の回転操作で、下部固定台３１に固定されている単心コリメータ６３を回転させる。
図８（ａ）〜（ｃ）は、この粗調心工程を説明する図であり、（ａ）は、入射ポート用光ファイバ８１の光軸と、透過ポート用光ファイバ８３の光軸とがずれた状態を示す図、（ｂ）はθｚ軸ステージ３６の回転操作による単心コリメータ６３の回転変位を示す図、（ｃ）は、入射ポート用光ファイバ８１の光軸と、透過ポート用光ファイバ８３の光軸とが合った状態を示す図である。

粗調心工程の後に高精度調心工程を行う調心作業であれば、最初に、θｙ軸ステージ３５及びθｘ軸ステージ３４の自由度によって大まかな調心位置を探る粗調心を行った後に、下部ステージ３の５軸の自由度による高精度の調心を行う手順に比べて、下部ステージ３の移動ステージの操作回数を削減でき、調心作業の所要時間を短縮できるといった利点がある。

上述の高精度調心工程が完了したら、紫外線硬化型接着剤を用いて、２心コリメータ付きフィルタ素子７１と単心コリメータ６３とを接着固定して、複合光部品７を組み立てる。紫外線硬化型接着剤の硬化は、例えば、紫外線照射装置５の光ファイババンドル５１からの紫外線照射によって、迅速に行える。
複合光部品７の組み立てによって第２工程が完了する。
第２工程の完了後、下部固定台３１及び上部固定台４２１から、複合光部品７を取り出す。

前述の実施形態では、フィルタ素子６１に、光ファイバが融着接続されたコリメータ６２、６３を接着固定して組み立てられる構成の複合光部品（ＷＤＭフィルタ７）を例示したが、本発明に係る調心装置及び光部品の製造方法を適用して組み立てる（製造する）複合光部品としては、これに限定されない。
以下、本発明に適用可能な光部品の別態様（別態様１、２）を説明する。

（光部品の別態様１）
図９（ａ）、（ｂ）に示す複合光部品７２も、前述した複合光部品７と同様に、ＷＤＭフィルタとして機能するものである。
この複合光部品７２は、フィルタ素子６１の入射側及び出射側にそれぞれコリメートレンズ７２１ａ、７２１ｂを固定してなるフィルタ保持部７２２（光部品）と、このフィルタ保持部７２２の入射側に接続される２本の光ファイバ８１、８２（入射ポート用、反射ポート用の光ファイバ）の先端をキャピラリ（例えばガラス製のもの）に挿入して固定したものである２心キャピラリ７２３ａ（光部品）と、フィルタ保持部７２２の出射側に接続される１本の光ファイバ８３（透過ポート用光ファイバ）の先端が挿入して固定されたキャピラリである単心キャピラリ７２３ｂ（光部品）とを具備し、フィルタ保持部７２２の両側にキャピラリ７２３ａ、７２３ｂ（光部品）を接着剤で固定して組み立てられるようになっている。
２心キャピラリ７２３ａは、光ファイバ８１、８２を、フィルタ保持部７２２の入射側のコリメートレンズ７２１ａに光軸合わせして、コリメートレンズ７２１ａに接着剤で固定される。
単心キャピラリ７２３ｂは、光ファイバ８３を、フィルタ保持部７２２の出射側のコリメートレンズ７２１ｂに光軸合わせして、コリメートレンズ７２１ｂに接着剤で固定される。
なお、キャピラリ７２３ａ、７２３ｂの材質は、ガラス以外、例えばジルコニアセラミック等であっても良い。

各キャピラリ７２３ａ、７２３ｂでは、光ファイバ８１、８２、８３の先端（先端面）の位置を、該キャピラリ７２３ａ、７２３ｂの、コリメートレンズ７２１ａ、７２１ｂに対面される端面（突き合わせ端面７２３ｃ、７２３ｄ）に揃えてある。
また、コリメートレンズ７２１ａ、７２１ｂ及びキャピラリ７２３ａ、７２３ｂは、互いに対面される突き合わせ端面７２１ｃ、７２１ｄ、７２３ｃ、７２３ｄが斜め研磨されている。この斜め研磨は、突き合わせ端面での光の反射を抑えるためであり、光部品の光軸に垂直の面に対して約８度の傾斜とする。
但し、突き合わせ端面は、必ずしも斜め研磨する必要は無い。

この複合光部品７２も、本発明に係る調心装置１を使用して、効率良く組み立てることができる。
例えば、調心装置１の下部固定台３１に固定したフィルタ保持部７２２と、上部固定台４２１に固定した２心キャピラリ７２３ａとを調心し、接着固定した後、２心キャピラリ７２３ａが固定されたフィルタ保持部７２２を上部固定台４２１に固定し、単心キャピラリ７２３ｂを下部固定台３１に固定して、フィルタ保持部７２２と単心キャピラリ７２３ｂとの調心及び接着固定を行い、複合光部品７２を組み立てる。

（光部品の別態様２）
図１０（ａ）、（ｂ）に示す複合光部品７３は、フィルタ素子６１及び該フィルタ素子６１の入射側及び出射側に光軸を合わせて配置したコリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂをハウジング７３２に組み込んだ構造のフィルタ保持部７３３（光部品）と、このフィルタ保持部７３３の入射側に接続される２本の光ファイバ８１、８２（入射ポート用、反射ポート用の光ファイバ）の先端をキャピラリ（例えばガラス製のもの）に挿入して固定したものである２心キャピラリ７３４ａ（光部品）と、フィルタ保持部７３３の出射側に接続される１本の光ファイバ８３（透過ポート用光ファイバ）の先端をキャピラリ（例えばガラス製のもの）に挿入して固定したものである単心キャピラリ７３４ｂ（光部品）とを具備し、キャピラリ７３４ａ、７３４ｂを、コリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂに光軸合わせして、フィルタ保持部７３３の両側に固定して組み立てられるようになっている。
なお、キャピラリ７２３ａ、７２３ｂの材質は、ガラス以外、例えばジルコニアセラミック等であっても良い。
この複合光部品７３は、キャピラリ７３４ａ、７３４ｂとコリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂとを、接着剤で直接的に接着固定するのではなく、キャピラリ７３４ａ、７３４ｂの外側に固定した固定用部材７３６をフィルタ保持部７３３のハウジング７３２に接着剤で固定することで、キャピラリ７３４ａ、７３４ｂとコリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂとの相対的な位置を固定する構造になっている。

フィルタ保持部７３３のコリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂは、ハウジング７３２に内蔵した位置決めスリーブ７３５に収納して、位置決めスリーブ７３５に接着剤等で固定されている。フィルタ素子６１は、ハウジング７３２内側の突起あるいはハウジング７３２内に固定されている部材（図１０（ａ）、（ｂ）では、位置決めスリーブ７３５）に固定される。
このフィルタ保持部７３３では、コリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂとフィルタ素子６１とは、ハウジング７３２あるいはハウジング７３２内の部材に固定して、互いの光軸が合った位置関係で配置するのであり、コリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂとフィルタ素子６１とを、直接、接着剤で固定する訳ではない。これにより、コリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂとフィルタ素子６１との間の光路に、接着剤が存在しないようにしてある。

キャピラリ７３４ａ、７３４ｂは、該キャピラリ７３４ａ、７３４ｂの外側に固定した固定用部材７３６とフィルタ保持部７３３のハウジング７３２との接着固定によって、コリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂに対して光ファイバ８１、８２、８３の光軸を合わせた状態でフィルタ保持部７３３に一体化される。
なお、各キャピラリ７３４ａ、７３４ｂでは、光ファイバ８１、８２、８３の先端（先端面）の位置を、該キャピラリ７３４ａ、７３４ｂの、コリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂに対面される端面（突き合わせ端面７３４ｃ、７３４ｄ）に揃えてある。
また、コリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂ及びキャピラリ７３４ａ、７３４ｂは、互いに対面される突き合わせ端面７３１ｃ、７３１ｄ、７３４ｃ、７３４ｄが斜め研磨されている。この斜め研磨は、突き合わせ端面での光の反射を抑えるためであり、光部品の光軸に垂直の面に対して約８度の傾斜とする。
但し、突き合わせ端面は、必ずしも斜め研磨する必要は無い。

この複合光部品７３でも、フィルタ保持部７３３のコリメートレンズ７３１ａに対する２心キャピラリ７３４ａの光ファイバ８１、８２の調心作業、及び、フィルタ保持部７３３のコリメートレンズ７３１ｂに対する単心キャピラリ７３４ｂの光ファイバ８３の調心作業に、本発明に係る調心装置１を利用することで、効率良く組み立て（製造）ることができる。
なお、キャピラリ７３４ａ、７３４ｂは、調心装置１によって、光ファイバ８１、８２、８３の光軸を、フィルタ保持部７３３のコリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂの光軸に合わせた状態で、フィルタ保持部７３３のハウジング７３２に固定用部材７３６を、接着剤で接着固定して、フィルタ保持部７３３に一体化する。

フィルタ保持部７３３に対するキャピラリ７３４ａ、７３４ｂの固定は、固定用部材７３６を利用したものであり、フィルタ保持部７３３に固定したキャピラリ７３４ａ、７３４ｂの光ファイバ８１、８２、８３と、フィルタ保持部７３３のコリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂとの間の光路に接着剤が存在しないようにしてある。

なお、この複合光部品７３では、前述したように、フィルタ保持部７３３のコリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂとフィルタ素子６１との間の光路に、接着剤が存在しないようにしてある。また、フィルタ保持部７３３に固定したキャピラリ７３４ａ、７３４ｂの光ファイバ８１、８２、８３と、フィルタ保持部７３３のコリメートレンズ７３１ａ、７３１ｂとの間の光路にも接着剤が存在しない。
このため、この複合光部品７３は、例えば、入射ポート用光ファイバ８１からの送入光が、ワットクラスのハイパワー光であっても、接着剤が高温に加熱されることに起因する光特性の劣化や、接着剤の焦損等の不都合を回避できる利点がある。

（調心装置の別態様）
本発明において、光ファイババンドルからの紫外線の照射角度は、基準軸線に対して可変とすることも、又は基準軸線に対して一定の角度とすることも可能である。
前記光ファイババンドルからの紫外線の照射角度は、特に限定されるものではなく、上下方向に延在する基準軸線に対して０〜１８０°の範囲の角度とすることができる。
ここで、鉛直軸線である基準軸線に対する紫外線の照射角度について、紫外線の照射方向が上から下への方向である場合の照射角度を０°、水平方向である場合の照射角度を９０°、下から上への方向である場合の照射角度を１８０°と規定する。
図１に示す例では、光ファイババンドル５１からの紫外線の照射角度は、基準軸線に対して略垂直（約９０°）である。

上述の図１に示す調心装置では、紫外線硬化型接着剤を用いて光部品を接着固定するための光ファイババンドル５１を備えた紫外線照射装置５を、第１ステージ４及び第２ステージ３を備えた装置フレーム２とは別体の装置として設けた例を示したが、本発明においては、光ファイババンドル５１を、第１ステージ４、第２ステージ３、装置フレーム２等と一体として設けた態様を採用することも可能である。

図１１は、本発明に係る紫外線照射部を備えた調心装置の一例を示す全体斜視図である。また、図１２は、本発明に係る紫外線照射部を備えた調心装置の他の例を示す全体斜視図である。図１１及び図１２において、図１に用いたものと同一の符号は、図１に示す調心装置１と同一又は同様の構成であることを表し、重複する説明を省略する。

図１１に示す調心装置１Ａは、図１に示す調心装置１における別体の紫外線照射装置５に代えて、第１ステージ４に一体化された紫外線照射部５Ａを備えており、紫外線照射部５Ａは、光部品の接着部に紫外線を照射するための光ファイババンドル５１と、光ファイババンドル５１を上部ステージ（第１ステージ）４に固定するための固定部５２Ａから構成されている。光ファイババンドル５１，５１は、上部固定台４２１に固定された光部品の中心軸に対する斜め上方の２方向から紫外線を照射できる方向に向けられている。
なお、図１１に示す例ではθｚ軸ステージ３６の操作を操作ダイヤル３６３Ａにより行うが、調心の手順は、図１に示す操作ハンドル３６３による場合と同様である。

この調心装置１Ａの場合、光ファイババンドル５１が上部ステージ４に固定されているため、上部ステージ４及び下部ステージ３の操作により光部品を最適な位置に調心した後、直ちに紫外線を照射することができ、かつ光ファイババンドル５１の位置が毎回同じ位置に設定されているため、紫外線の照射条件のばらつきを抑制でき、接着固定の品質の安定性を向上することができる。光ファイババンドル５１の支持台５２等を用意する必要がないため、紫外線照射部５Ａを簡素な構成で実現することができ、調心装置１Ａの価格を抑えることができる。
光部品の寸法等に応じて最適な紫外線照射角度を選択可能にするため、固定部５２Ａは、光ファイババンドル５１による紫外線の照射角度を可変とする構造とすることも可能である。

図１２に示す調心装置１Ｂは、図１に示す調心装置１における別体の紫外線照射装置５に代えて、第２ステージ３及び第１ステージ４に一体化された紫外線照射部５Ｂを備えており、紫外線照射部５Ｂは、光部品の接着部に紫外線を照射するための光ファイババンドル５１と、光ファイババンドル５１をステージに固定するための固定部５２Ｂから構成されている。光ファイババンドル５１，５１は、上部固定台４２１及び下部固定台３１に固定された光部品に対し、これら光部品の中心軸に沿って紫外線を照射できる方向に向けられている。

下部固定台３１の下方に光ファイババンドル５１を配置する空間を確保するため、ベース２１上において、下部ステージ３の下部は、下部固定台３１の下方から装置の手前側にずれた位置に設置されている。本形態例に係る調心装置１Ｂの場合、下部ステージ３の移動ステージ３４の可動ブロック３４２の上面には第１の中間プレート３７１の一側が固定されるとともに、移動ステージ３５のスライドベース３５１の下面に第２の中間プレート３７２の一側が固定され、これら２枚の中間プレート３７１，３７２の他側同士が、互いに固定的に連結されている。また、移動ステージ３５の可動ブロック３５２の上面には第３の中間プレート３７３の一側が固定されるとともに、第３の中間プレート３７３の他側には移動ステージ３６のスライドベース３６１が固定されている。

この調心装置１Ｂの場合、光ファイババンドル５１が下部ステージ３及び上部ステージ４の両方に固定されているため、紫外線を光部品の下側から照射することも上側から照射することも可能である。
例えばフィルタ保持部の両側に２心コリメータと単心コリメータを接着固定して複合光部品を組み立てる場合、下部固定台３１はフィルタ保持部の固定に適するものを採用するとともに、上部固定台４２１はコリメータの固定に適するものを採用することにより、例えば、調心装置１Ａの下部固定台３１に固定したフィルタ保持部と、上部固定台４２１に固定した２心コリメータとを調心し、接着固定した後、２心コリメータが固定されたフィルタ保持部の向きを前後逆転させて下部固定台３１に取り付け直し、単心コリメータを上部固定台４２１に固定して、フィルタ保持部と単心コリメータとの調心及び接着固定を行う、という手順を採用することも可能である。この場合、フィルタ保持部を下部ステージ３から上部ステージ４に入れ替える必要がなく、ステージに対する光部品の取り付け作業を簡略化することができる。

図１１，図１２に示す調心装置１Ａ，１Ｂは、調心される光部品６が紫外線を透過する場合に好適である。上部固定台４２１に固定された光部品６の上方から、及び下部固定台３１に固定された光部品６の下方から照射される紫外線を充分に透過するように、光部品６を保持する当接突起３１ｄ，４２ｄ及び光部品保持台３１１，４５（図４，図５を参照。）は、石英ガラス等、紫外線を透過する材料から構成することが好ましい。

なお、前述の実施形態では、鉛直軸線である基準軸線Ｂを基準として、この基準軸線Ｂに垂直の方向（すなわち水平方向）に固定台を移動させるＸ軸ステージ、Ｙ軸ステージと、基準軸線Ｂに垂直の軸線を中心として固定台を回転させるθｘ軸ステージ、θｙ軸ステージと、θｘ軸ステージ、θｙ軸ステージの回転軸線に対して垂直の回転軸線を以て固定台を回転させるθｚ軸ステージの計５軸（Ｘ、Ｙ、θｘ、θｙ、θｚ）の自由度で光部品を移動できる下部ステージを具備した構成の調心装置１，１Ａ，１Ｂを例示したが、本発明に係る調心装置は、これに限定されない。調心装置としては、鉛直方向に対して、若干傾斜した基準軸線Ｂを基準に組み立てられた下部ステージを具備するものであっても良い。
また、応用例として、水平方向に延在する基準軸線Ｂを基準に組み立てた調心装置、すなわち、光部品が固定される固定台を基準軸線Ｂに沿って水平方向に移動できる第１ステージと、５軸の自由度で固定台を移動できる第２ステージとを、水平方向に横並びに配置した構成の、横型の調心装置も考えられる。しかしながら、この横型の調心装置の場合は、鉛直方向の基準軸線Ｂを基準として構成された調心装置（縦型の調心装置）に比べて、第２ステージの複数の移動ステージの重量バランスが悪くなり、調心精度の安定確保が難しくなる。このため、調心装置としては、横型よりも縦型の方が好ましい。
また、縦型の調心装置であれば、第２ステージの複数の移動ステージが上下に積み重ねるようにして配置される構成となるので、横型の調心装置に比べて、設置床に占める設置スペースを省スペース化できるといった利点もある。

本発明に係る調心装置を示す全体斜視図である。 図１の調心装置の第２ステージの移動ステージの構成を模式的に示す拡大斜視図（モデル図）である。 図１の調心装置の第１、第２ステージの固定台を示す拡大斜視図である。 下部ステージの固定台と、光部品保持台、保持台装着溝、押さえ片を示す断面図である。 上部ステージの固定台と、光部品保持台、保持台装着溝、押さえ片を示す断面図である。 本発明に適用される複合光部品の一例を示す図であり、ＷＤＭフィルタを示す図である。 上部ステージの固定台に固定した２心コリメータと、下部ステージの固定台に固定したフィルタ素子との、調心作業（光軸合わせ）における、２心コリメータの入射ポート用光ファイバの光軸とフィルタ素子の突き合わせ端面との関係を示す図である。 （ａ）〜（ｃ）は、上部ステージの固定台に固定した２心コリメータ付きフィルタ素子と、下部ステージの固定台に固定した単心コリメータとの、調心作業（光軸合わせ）を示す工程図である。 フィルタ保持部と、その両側のコリメートレンズに接着固定されるキャピラリ（２心キャピラリと単心キャピラリ）とからなる複合光部品を示す図であり、（ａ）はフィルタ保持部と２つのキャピラリとを分離して示した図、（ｂ）はフィルタ保持部の両側にキャピラリを固定した組み立て状態の複合光部品を示す図である。 フィルタ素子及びその両側に配置したコリメートレンズをハウジングに組み込んだ構成のフィルタ保持部と、フィルタ保持部のハウジングの両側に接着固定されるキャピラリ（２心キャピラリと単心キャピラリ）とからなる複合光部品を示す図であり、（ａ）はフィルタ保持部と２つのキャピラリとを分離して示した図、（ｂ）はフィルタ保持部の両側にキャピラリを固定した組み立て状態の複合光部品を示す図である。 本発明に係る紫外線照射部を備えた調心装置の一例を示す全体斜視図である。 本発明に係る紫外線照射部を備えた調心装置の他の例を示す全体斜視図である。

符号の説明

１…光部品の調心装置、１Ａ，１Ｂ…光部品の調心装置（紫外線照射部付き）、３…第２ステージ（下部ステージ）、３１…固定台（下部固定台）、３２…移動ステージ（Ｙ軸ステージ）、３３…移動ステージ（Ｘ軸ステージ）、３４…移動ステージ（θｘ軸ステージ）、３５…移動ステージ（θｙ軸ステージ）、３６…移動ステージ（θｚ軸ステージ）、３１１…位置決め部（光部品保持台）、３１２…位置決め溝、４…第１ステージ（上部ステージ）、４２１…固定台（上部固定台）、４５…位置決め部（光部品保持台）、４５１…位置決め溝、５…紫外線照射装置、５Ａ，５Ｂ…紫外線照射部、５１…光ファイババンドル、６…光部品、６１…光部品（フィルタ素子）、６２…光部品（２心コリメータ）、６３…光部品（単心コリメータ）、７…複合光部品（ＷＤＭフィルタ）、７１…光部品、複合光部品（２心コリメータ付きフィルタ素子）、７２…光部品（ＷＤＭフィルタ）、７２２…フィルタ保持部、７２３ａ…光部品（２心キャピラリ）、７２３ｂ…光部品（単心キャピラリ）、７３…光部品（ＷＤＭフィルタ）、７３３…フィルタ保持部、７３４ａ…光部品（２心キャピラリ）、７３４ｂ…光部品（単心キャピラリ）。

Claims (10)

1. 光部品同士の光軸合わせのための調心作業に用いられる光部品の調心装置において、
   光部品が着脱可能に固定される固定台を、直線移動１軸の自由度で、上下方向に延在する基準軸線に沿って移動させる移動ステージである第１ステージと、この第１ステージに支持された光部品に固定される別の光部品を支持する第２ステージとを具備し、
   前記第２ステージは、光部品が着脱可能に固定される固定台と、この固定台を、前記基準軸線に対する垂直方向の直線移動２軸、及び、回転移動３軸の計５軸の自由度で移動させる各軸毎の移動ステージとを備え、
   前記第２ステージの回転移動３軸の移動ステージの内の２つが、前記基準軸線に対して垂直かつ互いに垂直の軸線を中心に前記固定台を回転させる角度調整用、残る回転移動１軸の移動ステージが、角度調整用の２軸に対して垂直の軸線を中心に前記固定台を回転させる回転調心用であることを特徴とする光部品の調心装置。
2. 第２ステージは、計５軸の移動ステージを前記基準軸線に沿って配列配置した構成であり、計５軸の移動ステージの内、第１ステージに最も近い側に配置された回転調心用の移動ステージに固定台が設けられていることを特徴とする請求項１記載の光部品の調心装置。
3. 第２ステージの各移動ステージが、手動操作ステージであることを特徴とする請求項１又は２記載の光部品の調心装置。
4. 第１ステージの固定台及び第２ステージの固定台の一方又は両方に、円筒状あるいは円柱状の光部品を位置決めするための位置決め溝を有する位置決め部が設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光部品の調心装置。
5. 紫外線硬化型接着剤を用いて光部品を接着固定するための光ファイババンドルを具備することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の光部品の調心装置。
6. 前記光ファイババンドルからの紫外線の照射角度が、前記基準軸線に対して可変であることを特徴とする請求項５に記載の光部品の調心装置。
7. 前記光ファイババンドルからの紫外線の照射角度が、前記基準軸線に対して０〜１８０°の範囲の角度であることを特徴とする請求項５又は６に記載の光部品の調心装置。
8. 前記光ファイババンドルからの紫外線の照射角度が、前記基準軸線に対して略垂直であることを特徴とする請求項５又は６に記載の光部品の調心装置。
9. 請求項１〜８のいずれかに記載の光部品の調心装置を用いて、光部品同士の光軸を合わせて、複数の光部品を一体化してなる複合光部品を製造する方法であって、
   第２ステージの固定台に固定した光部品の光軸を、前記回転調心用の移動ステージによる固定台の回転で、第１ステージの固定台に固定しておいた光部品の光軸に粗調心する粗調心工程と、
   この粗調心工程の完了後、第２ステージの回転移動３軸及び直線移動２軸の内の１以上の自由度で第２ステージの固定台を移動して、第２ステージの固定台に固定した光部品の光軸を、第１ステージの固定台に固定しておいた光部品の光軸に、前記粗調心よりも高精度に調心する高精度調心工程と、
   高精度調心工程の完了後、光部品同士を固定して、前記複合光部品を組み立てる固定組立工程とを具備することを特徴とする光部品の製造方法。
10. 第１ステージの固定台に光軸を複数本有する光部品を固定し、第２ステージの固定台に光軸を１本のみ有する光部品を固定して、前記粗調心工程と前記高精度調心工程と前記固定組立工程とを行うことで、
    光軸を複数本有する光部品と、光軸を１本のみ有する光部品とを固定してなる複合光部品を組み立てることを特徴とする請求項９記載の光部品の製造方法。

Images