JP2005165016A - 光ファイバモジュールおよび光デバイスとそれらの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 光ファイバモジュールの光ファイバに接合されるレンズ機能部品を容易に精度良く所定の長さに形成する。
【解決手段】 光ファイバモジュール１の支持基板２には、研磨停止基準部６と接合部用位置合わせ部５が形成されている。この支持基板２上に、ＳＭ型光ファイバ３ａとＧＩ型光ファイバ３ｂが接合されたファイバ部材３が載置され、その接合部を接合部用位置合わせ部５に位置合わせする。その状態で押さえ部材４によってファイバ部材３を支持基板２に固定する。この支持基板２を研磨装置７にセットし、ＧＩ型光ファイバ３ｂと支持基板２と押さえ部材４の各端面を研磨パッド８に圧接して研磨する。やがて所定の研磨量に到達すると、研磨停止基準部６がストッパ部１０ａに当接して、研磨が停止する
【選択図】図４

Description

本発明は、端部にレンズ機能部品が接合された光ファイバが支持基板上に搭載された構成の光ファイバモジュールと、その光ファイバモジュールを含む光デバイスと、それらの製造方法に関する。

従来、例えば光通信分野等において、光ファイバを用いた光デバイスが多用されており、情報伝送路である光路を切り替えるための光スイッチや、ビームを減衰させるための光アッテネータ等の様々な光デバイスが用いられている。光デバイスの基本構成は、光ファイバが支持基板上に搭載された構成の光ファイバモジュールが形成され、その光ファイバの先端の前方にレンズやミラーや光フィルタ等の様々な光機能部品が配置されているのが一般的である。このような光デバイスにおいて、光ファイバから光機能部品に向かって光を出射する場合と光機能部品から光ファイバに光を入射する場合のいずれの場合にも、光ファイバと光機能部品の間を進行する光は、集束したり発散したりしない実質的に平行なビームであるのが好ましい。そこで、平行なビームを得るために通常の光ファイバ、例えばシングルモード型光ファイバ（ＳＭ型光ファイバ）の端部にレンズ機能部品を接合した、いわゆるファイバコリメータが広く用いられている。

ファイバコリメータにおけるレンズ機能部品の一例としては、比較的短いグレーデッドインデックス型光ファイバ（ＧＩ型光ファイバ）が挙げられる。図１８（ｃ）に示すようにＳＭ型光ファイバ１０３に接合されているＧＩ型光ファイバ１０１が適切な長さであると（図１８（ａ）のＢ−Ｂ線で切断されていると）、所望のビーム径の平行光を入出射するファイバコリメータ１０２が得られる。しかし、図１８（ａ）に示すようにＧＩ型光ファイバ１０１の内部では光は正弦波的な光路で伝播するため、図１８（ｂ）に示すようにＧＩ型光ファイバ１０１が短過ぎると（例えば図１８（ａ）のＡ−Ａ線で切断されていると）、光が発散する構成になってしまう。逆に、図１８（ｄ）に示すようにＧＩ型光ファイバ１０１が長過ぎると（例えば図１８（ａ）のＣ−Ｃ線で切断されていると）、光が集束する構成になってしまう。このようにＧＩ型光ファイバ１０１の長さを精度良く形成する必要があることについては、特許文献１等に開示されている。
特開平６−１３８３４２号公報（［００１７］〜［００２０］、［００２６］）

前記した通り、ＧＩ型光ファイバ１０１等のレンズ機能部品を所定の長さに精度よく形成することによって、はじめて所望の性能を有するファイバコリメータ１０２を構成することができる。少なくとも、ＧＩ型光ファイバ１０１の長さは、数μｍ程度の誤差しか許容できない。

ファイバコリメータ１０２において、光ファイバ（例えばＳＭ型光ファイバ１０３）の端部に接合されているレンズ機能部品（例えばＧＩ型光ファイバ１０１）は非常に短いため、ＧＩ型光ファイバ１０１を所定の長さに切断した後にＳＭ型光ファイバ１０１に接合する作業は困難である。また、融着の際には、ＧＩ型光ファイバ１０１が所定の長さ以上ないと融着接続できない。従って、比較的長い状態のＧＩ型光ファイバ１０１をＳＭ型光ファイバ１０３の端部に接合した後に、ＧＩ型光ファイバが所定の長さになるまで研磨するのが一般的である。

通常の研磨作業においては、研磨装置に被加工物をセットして、被加工物を研磨装置の研磨部材（例えば研磨パッド）に押し付けながら研磨部材に向かって押し進めて、所定の長さに到達した時点で作業を停止する。この研磨作業において、被加工物であるＧＩ型光ファイバ１０１が所定の長さに到達したことを正確に認識して即座に研磨作業を停止することは容易ではない。これを実現するためには、研磨量を計測してその計測値を監視しながら研磨を行う必要があり、少なくとも、所定の長さにある程度近づいた時点からは常時研磨量を計測および監視する必要がある。従って、監視用の設備が必要になり、作業が非常に煩雑になる。この研磨作業を自動化するためには、非常に精密で複雑かつ高価な制御装置を用意する必要があり、一般的には困難である。このように、従来は、研磨作業において数μｍ程度の誤差で長さ精度の良好なレンズ機能部品を形成することは容易ではなく、簡単かつ安価に、信頼性の高い光ファイバモジュールおよび光デバイスを得ることはできない。

そこで本発明の目的は、安価かつ簡単な構成で、レンズ機能部品の長さを容易に精度良く研磨できる光ファイバモジュールおよび光デバイスと、それらの製造方法を提供することにある。

本発明の光ファイバモジュールは、支持基板と、支持基板に搭載されている光ファイバと、支持基板に搭載されており、光ファイバの端部に接合されているレンズ機能部品と、支持基板に設けられており、光ファイバとレンズ機能部品の接合部の所定の位置を示す接合部用位置合わせ部と、支持基板に設けられており、支持基板上のレンズ機能部品が研磨処理が行われる際の停止位置を定める研磨停止基準部とを有することを特徴とする。接合部用位置合わせ部と研磨停止基準部とが支持基板に設けられていることによって、光ファイバとレンズ機能部品の接合部と、レンズ機能部品の研磨後の端面位置が規定され、レンズ機能部品を所定の長さに形成することが容易にできる。

研磨停止基準部は、支持基板自体に直接形成されていてもよい。その場合、接合部用位置合わせ部と研磨停止基準部とは同一工程で形成される。接合部用位置合わせ部と研磨停止基準部の相対位置精度が向上するため、レンズ機能部品の長さがより高精度になる。

または、支持基板には補助部材が取り付けられており、研磨停止基準部は補助部材に設けられている構成であってもよい。その場合、支持基板には、補助部材を取り付けるための補助部材用位置合わせ部が設けられており、接合部用位置合わせ部と補助部材用位置合わせ部とは同一工程で形成されている。接合部用位置合わせ部と補助部材用位置合わせ部の相対位置精度が向上し、研磨停止基準部が設けられている補助部材が補助部材用位置合わせ部を基準にして支持基板に取り付けるため、この構成でもレンズ機能部品の長さが高精度になる。

さらに、支持基板には、光ファイバモジュールと他の部材とを接合するための他部材用位置合わせ部が設けられており、接合部用位置合わせ部と他部材用位置合わせ部とは同一工程で形成されていてもよい。これによると、レンズ機能部品と他部材との相対位置が高精度になり、光ファイバモジュールが使いやすくなる。

支持基板上には、光ファイバを支持基板に押し付ける押さえ部材が固定されており、支持基板には、押さえ部材を固定するための接着剤が周囲に流れ込むのを防止する流れ込み防止溝が設けられていてもよい。

研磨停止基準部は、研磨装置の一部に当接して支持基板が研磨装置に向かってそれ以上接近するのを阻止する停止面であると、構成が簡単であり好ましい。

レンズ機能部品の一例はグレーデッドインデックス型光ファイバである。

支持基板と、光ファイバの端部に接合されているレンズ機能部品の端面が、一括して同時に研磨されていてもよい。あるいは、光ファイバの端部に接合されているレンズ機能部品の端面は支持基板の端面から突出しており、レンズ機能部品の端面のみが研磨されていてもよい。

支持基板上に複数の光ファイバが搭載されており、複数の光ファイバの端部にそれぞれレンズ機能部品が接合されているファイバアレイの形態であってもよい。

本発明の光デバイスは、前記したいずれかの構成の光ファイバモジュールと、光ファイバの端部に接合されているレンズ機能部品の端面の前方に位置する光機能部品とを有することを特徴とする。

本発明の光ファイバモジュールの製造方法は、光ファイバとレンズ機能部品とを接合するステップと、光ファイバとレンズ機能部品の接合部が支持基板上の所定の位置に配置されるように、支持基板に設けられている接合部用位置合わせ部を用いて光ファイバおよびレンズ機能部品を支持基板に対して相対的に位置合わせするステップと、相対的に位置合わせされた状態で、光ファイバおよびレンズ機能部品を支持基板上に固定するステップと、支持基板上に光ファイバおよびレンズ機能部品が固定された状態で、少なくともレンズ機能部品の研磨処理を行うステップと、研磨処理中に、支持基板に設けられている研磨停止基準部が研磨装置の一部に当接することによって、支持基板が研磨装置に向かってそれ以上接近するのが阻止されて、研磨処理が停止するステップとを含むことを特徴とする。この方法によると、容易な方法でレンズ機能部品を所定の長さに精度良く形成できる。

接合部用位置合わせ部と研磨停止基準部とを同一工程で同時に支持基板自体に直接形成するステップをさらに含んでいてもよい。あるいは、接合部用位置合わせ部と補助部材用位置合わせ部とを同一工程で同時に支持基板自体に直接形成するステップと、研磨停止基準部が設けられている補助部材を、補助部材用位置合わせ部を基準にして支持基板に取り付けるステップとをさらに含んでいてもよい。これらの方法によって、レンズ機能部品はより高精度になる。

接合部用位置合わせ部の形成と同時に同一工程で、光ファイバモジュールと他の部材とを接合するための他部材用位置合わせ部を前記支持基板自体に直接形成してもよい。

レンズ機能部品はグレーデッドインデックス型光ファイバであってもよい。

支持基板と、光ファイバの端部に接合されているレンズ機能部品の端面を、一括して同時に研磨してもよい。あるいは、光ファイバの端部に接合されているレンズ機能部品の端面を支持基板の端面から突出させ、レンズ機能部品の端面のみを研磨してもよい。

複数の光ファイバおよびレンズ機能部品をそれぞれ接合し、接合された複数組の光ファイバおよびレンズ機能部品を、支持基板に対して相対的に位置合わせして、支持基板上に固定してもよい。

本発明の光デバイスの製造方法は、前記した光ファイバモジュールの製造方法の各ステップと、光機能部品を、光ファイバモジュールの光ファイバの端部に接合されているレンズ機能部品の端面の前方に配置するステップを含む。

本発明によると、簡単な構成で、製造コストをほとんど上昇させることなく、レンズ機能部品を所定の長さに精度良く形成することができる。それによって所望の特性を有する光ファイバモジュールが容易に精度良く製造できる。

このような本発明の光ファイバモジュールを光デバイスに組み込むことによって、精度および信頼性が高い光デバイスを製造することができる。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。

［第１の実施形態］
図１，２に本発明の第１の実施形態の光ファイバモジュール１を示している。図１は端面研磨前の状態であり、図２は端面研磨後の状態である。

この光ファイバモジュール１の基本構成は、支持基板２に複数の保持溝２ａが形成されており、この保持溝２ａに、シングルモード型光ファイバ（ＳＭ型光ファイバ）３ａとグレーデッドインデックス型光ファイバ（ＧＩ型光ファイバ）３ｂを接合した複数のファイバ部材３がそれぞれ保持されているファイバアレイである。そして、押さえ部材４がファイバ部材３を支持基板２に対して押し付けた状態で、支持基板２上に固定されている。

ＳＭ型光ファイバ３ａは比較的長く光の伝送を行うためのものであり、一般的な光ファイバの一例である。これに対し、ＧＩ型光ファイバ３ｂは、ＳＭ型光ファイバ３ａの入出射光を実質的に平行なビームにするためのレンズ機能部品であり、非常に短く、しかも前記した通り数μｍ程度の誤差で精度良く所定の長さＬに形成されている。ＳＭ型光ファイバ３ａとＧＩ型光ファイバ３ｂとは端面同士が融着接合されて、１本のファイバ部材３になっている。

本実施形態では、支持基板２に、接合部用位置合わせ部５と研磨停止基準部６が設けられている。これらについて詳細に説明する。支持基板２はガラスやシリコンなどからなる基板であり、ウエットエッチング、ドライエッチング、またはダイシングなどの方法で、全体の外形と、保持溝２ａと、接合部用位置合わせ部５と、研磨停止基準部６が形成されている。保持溝２ａは、保持すべきファイバ部材３の外径に応じた形状のＶ溝または矩形溝である。押さえ部材４は、支持基板２と同様にガラスやシリコンなどからなり、例えば接着剤を用いて支持基板２上に固着されている。接合部用位置合わせ部５は、ＳＭ型光ファイバ３ａとＧＩ型光ファイバ３ｂの接合部が位置すべき所定の個所に設けられている。この接合部用位置合わせ部５は、例えば支持基板２に刻み目をつけるなどの簡単な目印であってよい。研磨停止基準部６は、後述する研磨装置７のストッパ部１０ａに当接する停止面である。研磨停止基準部６は支持基板２の先端の両側部に設けられているので、支持基板２の先端は比較的幅が狭い凸状部になっている。本実施形態では、少なくとも接合部用位置合わせ部５と研磨停止基準部６は同一の工程で同時に形成されている。

図２に示すように、本実施形態では、支持基板２とＧＩ型光ファイバ３ｂと押さえ部材４が一括して同時に研磨されて、端面が支持基板２の板面に対して傾斜するように形成されている。

次に、この光ファイバモジュール１の製造方法について説明する。また、製造方法をフローチャートにして図３に示す。

支持基板２は、シリコンやガラス等の平板材料を、ウエットエッチング、ドライエッチング、ダイシングなどの方法で、図１に示すような形状に加工して研磨停止基準部６を形成するとともに、一方の面に複数の保持溝２ａと接合部用位置合わせ部５を形成する（ステップＳ１）。通常、露光工程および現像工程と組み合わせてエッチングを行う、いわゆるフォトグラフィ法では非常に精度の良い加工が行えるため、この方法を用いると、高精度の支持基板２が形成できる。ただし、仮に加工時に多少の誤差が生じたとしても、研磨停止基準部６と保持溝２ａと接合部用位置合わせ部５は同一の工程で一度に形成されるため、これらの相対的な位置関係に誤差が生じるおそれは殆どない。

それと並行してファイバ部材３を製造するために、まず、ＳＭ型光ファイバ３ａの被覆を部分的に剥離し（ステップＳ２）、被覆を除去して芯線が露出した部分をアルコールを浸み込ませた紙で拭くなどして清浄にする（ステップＳ３）。一方、ＧＩ型光ファイバ３ｂの被覆も剥離して（ステップＳ４）清浄にする（ステップＳ５）。それから、両光ファイバ３ａ，３ｂの端部を切断して平滑にし（ステップＳ６）、図示しない融着機に両光ファイバ３ａ，３ｂをセットして融着して、ファイバ部材３を形成する（ステップＳ７）。ＧＩ型光ファイバ３ｂを所定の長さに切断する（ステップＳ８）。なお、切断後のＧＩ型光ファイバ３ｂの長さは、後工程でＧＩ型光ファイバ３ｂの端面を研磨して短くすることを考慮して長めに設定されている。

次に、図示しない作製治具等を用いて、複数のファイバ部材３を支持基板２上の保持溝２ａに挿入して載置する（ステップＳ９）。それから、接合部用位置合わせ部５を参照しながら、ファイバ部材３の接合部、すなわちＳＭ型光ファイバ３ａとＧＩ型光ファイバ３ｂが互いに融着している界面を、支持基板２上の所定の位置に配置する（ステップＳ１０）。具体例としては、図示しないが、接合部用位置合わせ部５を顕微鏡などで目視しつつマイクロメータを用いてファイバ部材３を保持溝２ａに沿って移動させて、接合部用位置合わせ部５が指し示す位置にファイバ部材３の接合部、すなわち融着部分を到達させる。なお、この時のファイバ部材３の接合部と接合部用位置合わせ部５の相対的な位置誤差は、１μｍ以下程度に抑えられる。

それから、押さえ部材４を、ファイバ部材３を押し付けるようにしながら支持基板２上に載置し、紫外線硬化型接着剤やろう付けやはんだ付け等により押さえ部材４を支持基板２に固定する（ステップＳ１１）。なお、押さえ部材４には、ファイバ部材３が挿入される保持溝が形成されていてもよいが、保持溝が形成されておらず平坦であってもよい。これによって、ファイバ部材３の接合部が、接合部用位置合わせ部５が指し示す位置に一致した状態が保持される。

続いて、ファイバ部材３および押さえ部材４が固着された支持基板２を、図４に模式的に示す研磨装置７にセットする（ステップＳ１２）。本実施形態で用いられる研磨装置７について簡単に説明すると、回転可能な研磨パッド８と、被研磨物を保持して研磨パッド８に対して進退する保持アーム９と、ストッパ部（ストッパ面）１０ａを備えている停止用治具１０を有している。そして、研磨パッド８に図示しない研磨剤が供給され、この研磨パッド８が回転し、保持アーム９が研磨パッド８に対して被研磨物を圧接させることによって、研磨を行うものである。ここでは、この研磨装置７を用いて、図１に示す光ファイバモジュール１のＧＩ型光ファイバ３ｂと支持基板２と押さえ部材４の各端面を一括して同時に研磨を行う（ステップＳ１３）。

このようにして研磨を開始し、保持アーム９に保持された光ファイバモジュール１を研磨パッド８に向けて押し進めていくと、やがて支持基板２の研磨停止基準部６が停止用治具１０のストッパ部１０ａに当接する。研磨停止基準部６とストッパ部１０ａはいずれも十分な剛性を有し、互いに確実に面接触する形状であるため、両者が当接した時点で、光ファイバモジュール１の研磨パッド８に向かう方向の進行は停止させられる。このように光ファイバモジュール１の研磨パッド８への接近が停止された時点で、それ以上の研磨は行われなくなり研磨処理は実質的に停止する（ステップＳ１４）。そして、使用者は研磨装置７の作動を停止して、研磨パッド８の回転や保持アーム９の駆動を停止する。こうして、光ファイバモジュール１の研磨が完了する。なお、研磨停止基準部６とストッパ部１０ａが当接した時に各部材が破損したり駆動手段に過重な負荷が加わったりしないように、保持アーム９が光ファイバモジュール１を研磨パッド８に向けて押し進める力は比較的弱く設定されている。

研磨パッド８に対して光ファイバモジュール１の端面を斜めに当接させるため、支持基板２、ＧＩ型光ファイバ３ｂ、および押さえ部材４の研磨後の端面は、図２（ｂ）に示すように傾斜している。さらに、図示しないが、ＧＩ型光ファイバ３ｂの端面には、非反射コーティングが施される。ＧＩ型光ファイバ３ｂの端面が傾斜し、非反射コーティングが施されているので、反射損失が低減する。

以上説明した製造方法により光ファイバモジュール１を製造すると、研磨によって、ＧＩ型光ファイバ３ｂを精度良く所定の長さＬにすることができる。その点について以下に説明する。本実施形態では、研磨停止基準部６が研磨装置７のストッパ部１０ａに当接した時点でそれ以上の研磨が不可能な状態になり、研磨が終了する。その時の研磨量は研磨停止基準部６の位置によって決まる。前記した通り、ＳＭ型光ファイバ３ａとＧＩ型光ファイバ３ｂの接合部、すなわちＧＩ型光ファイバ３ｂの一方の端部（ＳＭ型光ファイバ３ａと接合されている界面）は、接合部用位置合わせ部５に精度良く位置合わせしてあり、ＧＩ型光ファイバ３ｂの他方の端部（露出している側の端部）は、研磨停止基準部６によって規定された量だけ研磨されている。本実施形態では、接合部用位置合わせ部５と研磨停止基準部６は、例えばエッチング等の同一の工程で同時に形成されているため相対的な位置精度が非常に高い。このように相対位置精度よく形成されている接合部用位置合わせ部５と研磨停止基準部６によって、ＧＩ型光ファイバ３ｂの両端部がそれぞれ規定されるため、結果的にＧＩ型光ファイバ３ｂは所定の長さＬに精度良く形成することができる。それによって、例えば図１８（ｃ）に示すように、高精度な平行光を入出射できるファイバコリメータが得られる。従来のように、研磨量の計測および監視を行う必要がなく、また所定の研磨量に到達した時点で即座に研磨装置を停止させる必要がなく、非常に容易に高精度の光ファイバモジュール１を製造することができる。このような方法によると、研磨工程における誤差も含めて数μｍ程度の誤差に抑えることができる。

仮に、接合部用位置合わせ部５および研磨停止基準部６を形成する工程において、支持基板２上での位置に多少の誤差が含まれている場合であっても、接合部用位置合わせ部５と研磨停止基準部６の両方に同様の誤差が含まれるため、接合部用位置合わせ部５と研磨停止基準部６の相対的な位置精度は非常に高い。従って、ＧＩ型光ファイバ３ｂの長さを精度良く形成する上での支障とはならない。

なお、以上の説明は、所望の研磨量に応じて、研磨パッド８とストッパ部１０ａの相対位置が予め精度良く組み立てられている研磨装置７を用いることを前提としている。

本実施形態では、研磨停止基準部６が支持基板２の先端の両側部に設けられており、支持基板２の先端は比較的幅が狭い凸状部になっているため、研磨する面積が小さく作業効率がよい。

また、本実施形態では、複数のファイバ部材３を押さえ部材４によって支持基板２上に固定してから研磨を行っているため、研磨後のＧＩ型光ファイバ３ｂの端面を全て揃えることが容易にできる。特に、図２に示すように端面が傾斜している構成では、本実施形態の方法によると、研磨後に複数のファイバ部材３を支持基板２上に固定する場合のように各ＧＩ型光ファイバ３毎に端面の傾斜方向が異なってしまうおそれがなく、非常に有効である。

［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態の光ファイバモジュールおよびその製造方法について説明する。なお、第１の実施形態と同様の部分については同一の符号を付与し説明を省略する。

本実施形態では、基部が一体化されたテープ状の光ファイバ１１，１２が用いられている。すなわち、図５に示すように、複数のＳＭ型光ファイバ１１の基部１１ａがテープ状の被覆物で一体化されている。この構成において、ファイバ部材１３を形成する方法について、図６を参照して説明する。まず、図６（ａ）に示す、複数のＳＭ型光ファイバの基部１１ａが一体化された構成のテープ状ＳＭ型光ファイバ１１と、それと同数の、ＧＩ型光ファイバの基部１２ａが一体化された構成のテープ状ＧＩ型光ファイバ１２の芯線１１ｂ，１２ｂの端面同士を突き合わせる。そして、図６（ｂ）に示すように、突き合わせられた芯線１１ｂ，１２ｂの端面の周辺を全体的に加熱することによって、芯線１１ｂ，１２ｂの端面同士を融着させる。この時点では、両側部にテープ状の基部１１ａ，１２ａが存在する。そこで、図６（ｃ）に示すようにＧＩ型光ファイバの芯線１２ｂにおいて切断して、複数のＧＩ型光ファイバの芯線１２ｂの切断面をそれぞれ露出させる。このＧＩ型光ファイバの芯線１２ｂは後で研磨されて前記したように正確な長さに加工されるため、この時点ではＧＩ型光ファイバ１２の切断位置はあまり厳密に設定される必要はない。

以降の工程は第１の実施形態と実質的に同じである。すなわち、こうして作製したファイバ部材１３を支持基板２上に載置し、接合部用位置合わせ部５を参照しながら、ファイバ部材１３の接合部を、支持基板２上の所定の位置に配置する。それから、押さえ部材４を、ファイバ部材１３を押し付けるようにしながら支持基板２上に固定する。こうしてファイバ部材１３および押さえ部材４が固着された支持基板２を研磨装置７（図４参照）にセットして、支持基板２の研磨停止基準部６が停止用治具１０のストッパ部１０ａに当接するまで研磨を行う。

本実施形態では、複数の光ファイバを有するファイバアレイにおいて、一括して容易に融着処理および接合部位置合わせ処理が行えるので、ファイバ数が増加した場合にも作製工程数は変わらずに作製可能である。

［第３の実施形態］
次に、本発明の第３の実施形態の光ファイバモジュールおよびその製造方法について説明する。なお、第１〜２の実施形態と同様の部分については同一の符号を付与し説明を省略する。

本実施形態では、図７に示すように、支持基板２にファイバ部材３の接合部を挿入可能な溝１４が形成されており、この溝１４の中心を接合部用位置合わせ部として利用している。すなわち、第１の実施形態と同様に形成したファイバ部材３を、ＳＭ型光ファイバ３ａとＧＩ型光ファイバ３ｂの接合部を溝１４に挿入するようにして支持基板２上に載置する。そして、例えば顕微鏡およびマイクロメータを用いて、ＳＭ型光ファイバ３ａとＧＩ型光ファイバ３ｂの接合部を、溝１４の中心に位置させる。なお、中心には線が引かれていてもよいが、顕微鏡およびマイクロメータを見ることによって溝１４の中心を割り出して接合部用位置合わせ部としてもよい。なお、以降の工程は第１〜２の実施形態と同様なので説明を省略する。

本実施形態では、溝１４を研磨停止基準部６とエッチングなどの同一工程で同時に形成しているため、両者の間に相対的な位置ずれがなく、ＧＩ型光ファイバ３ｂが所定の長さＬになるように高精度に研磨できる。また、本実施形態では、ＳＭ型光ファイバ３ａとＧＩ型光ファイバ３ｂの接合部が融着などによって太くなっている場合に、太くなった接合部を溝１４内に収容できるため特に好適である。

本実施形態の変形例として、ＳＭ型光ファイバ３ａとＧＩ型光ファイバ３ｂの径が異なる場合に、図８（ａ），（ｂ）に拡大して示すように溝１４の端部１４ａまたは１４ｂを接合部用位置合わせ部として利用することができる。すなわち、ＧＩ型光ファイバ３ｂの方が大径である場合には、図８（ａ）に示すように、溝１４の後端部１４ｂを接合部用位置合わせ部として用い、ＧＩ型光ファイバ３ｂの接合端部を溝１４の後端部１４ｂに係合させることによって、接合部の位置合わせを行う。また、ＳＭ型光ファイバ３ａの方が大径である場合には、図８（ｂ）に示すように、溝１４の先端部１４ａを接合部用位置合わせ部として用い、ＳＭ型光ファイバ３ａの接合端部を溝１４の先端部１４ａに係合させることによって、接合部の位置合わせを行う。これらの変形例によると、顕微鏡やマイクロメータを用いなくても接合部の位置合わせができる。

［第４の実施形態］
次に、本発明の第４の実施形態の光ファイバモジュールおよびその製造方法について説明する。なお、第１〜３の実施形態と同様の部分については同一の符号を付与し説明を省略する。

本実施形態は、前記した第３の実施形態の変形例（図８（ａ），（ｂ）参照）に類似しており、ＳＭ型光ファイバ３ａとＧＩ型光ファイバ３ｂの径が異なる場合に、保持溝２ａに段差２ｂを設けてこれを接合部用位置合わせ部として利用している。すなわち、第１の実施形態と同様の工程で形成したファイバ部材３を支持基板２の保持溝２ａに挿入する。そして、ＧＩ型光ファイバ３ｂの方が大径である場合には、図９（ａ），（ｂ）に示すように、ＧＩ型光ファイバ３ｂの接合端部を保持溝２ａの段差２ｂに係合させることによって、接合部の位置合わせを行う。また、ＳＭ型光ファイバ３ａの方が大径である場合には、図９（ｃ），（ｄ）に示すように、ＳＭ型光ファイバ３ａの接合端部を保持溝２ａの段差２ｂに係合させることによって、接合部の位置合わせを行う。なお、以降の工程は第１〜３の実施形態と同様なので説明を省略する。本実施形態では、保持溝２ａおよび段差２ｂと研磨停止基準部６とをエッチングなどの同一工程で同時に形成しているため、両者の間に相対的な位置ずれがなく、ＧＩ型光ファイバ３ｂが所定の長さＬになるように高精度に研磨できる。また、本実施形態では、顕微鏡やマイクロメータを用いなくても接合部の位置合わせができる。

［第５の実施形態］
次に、本発明の第５の実施形態の光ファイバモジュールおよびその製造方法について、図１０を参照して説明する。なお、第１〜４の実施形態と同様の部分については同一の符号を付与し説明を省略する。

本実施形態は、研磨停止基準部６に接合部用位置合わせ部としての機能も持たせている。すなわち、研磨停止基準部６は研磨装置７のストップ部１０ａと当接する停止面であり、この面を支持基板２の上面側から見た線を接合部用位置合わせ部とする。具体的には、第１の実施形態と同様に作製したファイバ部材３を支持基板２上に載置し、そのファイバ部材３の接合部が、支持基板２の正面側から見て研磨停止基準部６の延長線上に位置するように、ファイバ部材の位置を調整する。それから、押さえ部材４を、ファイバ部材３を押し付けるようにしながら支持基板２上に固定する。なお、以降の工程は第１〜４の実施形態と同様なので説明を省略する。本実施形態によると、研磨停止基準部６と接合部用位置合わせ部を別個に形成する必要がないため、製造が容易になる。また、研磨停止基準部６と接合部用位置合わせ部の位置ずれを考慮する必要が全くなくなるので、さらに精度の向上が図れる。

ただし、本実施形態では、研磨停止基準部６の面の延長線上にファイバ部材３の接合部が位置しているときに、ＧＩ型光ファイバ３ｂが正確に所定の長さＬになるまで研磨されるように、研磨装置７の研磨パッド８とストッパ部１０ａの間隔を予め正確に調整しておく必要がある。

［第６の実施形態］
次に、本発明の第６の実施形態の光ファイバモジュールおよびその製造方法について、図１１を参照して説明する。なお、第１〜５の実施形態と同様の部分については同一の符号を付与し説明を省略する。

本実施形態は、研磨停止基準部１５を支持基板２の先端部ではなく、中間部の切り欠き溝の上端面として形成している。そして、第１の実施形態と同様に作製したファイバ部材３を支持基板２上に載置し、接合部用位置合わせ部５を参照しながら、ファイバ部材３の接合部を支持基板２上の所定の位置に配置し、押さえ部材４を支持基板２上に固定する。

それから、ファイバ部材３および押さえ部材４が固着された支持基板２を研磨装置７にセットする。本実施形態で用いられる研磨装置７の停止用治具１６は、第１〜５の実施形態のものとは異なり、切り欠き溝の内部に挿入できる細い突出部を有し、その突出部の上端面がストッパ部１６ａになっている。従って、本実施形態では、細い突出部が切り欠き溝内に挿入されるように、支持基板２を研磨装置７にセットする。その状態から、ストッパ部１６ａが研磨停止基準部１５に当接するまで研磨を行う。

本実施形態は、強度上の問題や使用方法のために第１〜５の実施形態のように支持基板２の先端両側部を切り欠くことが困難な場合や、ＧＩ型光ファイバ３ｂが正確に所定の長さになるまで研磨されるようにするために研磨装置７の研磨パッド８とストッパ部１６ａの間隔を比較的長く設定する必要がある場合になどに、特に有効である。ただし、図１１に示すように、研磨停止基準部としては用いないが、第１〜５の実施形態と同様に支持基板２の先端両側部を切り欠いた構成にすると、支持基板２の先端は比較的幅が狭い凸状部になるため、研磨する面積が小さく作業効率がよい。

本実施形態でも、接合部用位置合わせ部５と研磨停止基準部１５とをエッチングなどの同一工程で同時に形成しているため、両者の間に相対的な位置ずれがなく、ＧＩ型光ファイバ３ｂが所定の長さＬになるように高精度に研磨できる。

［第７の実施形態］
次に、本発明の第７の実施形態の光ファイバモジュールおよびその製造方法について、図１２を参照して説明する。なお、第１〜６の実施形態と同様の部分については同一の符号を付与し説明を省略する。

本実施形態は、研磨停止基準部１７が支持基板２自体ではなく補助部材１８に設けられており、この補助部材１８が支持基板２に取り付けられている。本実施形態では、支持基板２の後端（図１２上部）が、補助部材１８を取り付けるための補助部材用位置合わせ部２ｃとして高精度に形成されている。そして、補助部材１８には研磨停止基準部１７が高精度に形成されている。この補助部材１８が、補助部材用位置合わせ部２ｃにガイドされながら、支持基板２にねじ止めなどによって精度良く取り付けられる。それから、第１の実施形態と同様に作製したファイバ部材３を支持基板２上に載置し、接合部用位置合わせ部５を参照しながら、ファイバ部材３の接合部を支持基板２上の所定の位置に配置し、押さえ部材４を支持基板２上に固定する。

こうして補助部材１８とファイバ部材３と押さえ部材４が固着された支持基板２を研磨装置７にセットし、研磨装置７の停止用治具１９のストッパ部１９ａが、補助部材１８の研磨停止基準部１７に当接するまで研磨を行う。なお、本実施形態で用いられる研磨装置７の停止用治具１９は、第１〜５の実施形態に比べて上方まで延びている。

本実施形態は、第６の実施形態と同様に、強度上の問題や使用方法のために第１〜５の実施形態のように支持基板２の先端両側部を切り欠くことが困難な場合や、ＧＩ型光ファイバ３ｂが正確に所定の長さＬになるまで研磨されるようにするために研磨装置７の研磨パッド８とストッパ部１９ａの間隔を比較的長く設定する必要がある場合になどに、特に有効である。ただし、図１２に示すように、研磨停止基準部としては用いないが、第１〜５の実施形態と同様に支持基板２の先端両側部を切り欠いた構成にすると、支持基板２の先端は比較的幅が狭い凸状部になるため、研磨する面積が小さく作業効率がよい。

本実施形態では、接合部用位置合わせ部５と補助部材用位置合わせ部２ｃをエッチングなどの同一工程で同時に形成している。さらに、研磨停止基準部１７が高精度に形成されている補助部材１８が、補助部材用位置合わせ部２ｃにガイドされて支持基板２に固定されている。すなわち、接合部用位置合わせ部５と補助部材用位置合わせ部２ｃの間に相対的な位置ずれがなく、それに伴って、接合部用位置合わせ部５と補助部材１８の相対的な位置精度も高く保たれている。従って、本実施形態でも、ＧＩ型光ファイバ３ｂが所定の長さＬになるように高精度に研磨できる。なお、本明細書中で、研磨停止基準部が支持基板に設けられているという記載は、第１〜６の実施形態のように研磨停止基準部１７が支持基板２に直接設けられている構成も、本実施形態のように補助部材１８を用いて研磨停止基準部１７が支持基板２に間接的に設けられている構成も含んでいる。

［第８の実施形態］
次に、本発明の第８の実施形態の光ファイバモジュールおよびその製造方法について、図１３を参照して説明する。なお、第１〜７の実施形態と同様の部分については同一の符号を付与し説明を省略する。

本実施形態では、第１の実施形態の構成に加えて、支持基板２に逆四角錐状の他部材用位置合わせ部２ｄを設け、図示しないがボール状の位置決め手段を間に挟んで他部材との位置合わせを行う構成にしている。他部材用位置合わせ部２ｄは逆四角錐状の他に円形に支持基板２を貫通した形状でもよい。さらに、支持基板２の、押さえ部材４が接着される位置の外側に流れ込み防止溝２ｅが設けられている。

この構成によると、他部材用位置合わせ部２ｄおよび位置決め手段によって、支持基板２と他部材との相対位置精度が向上する。特に、エッチングなどによって保持溝２ａや接合部用位置合わせ部５や研磨停止基準部６と同時に他部材用位置合わせ部２ｄを形成すると、それぞれの相対位置精度が高くできるため、ファイバ部材３と、他部材用位置合わせ部２ｄおよび位置決め手段により位置合わせされる他部材との相対位置精度が向上する。また、支持基板２に流れ込み防止溝２ｅが設けられているため、過剰に塗布された接着剤を収容して、他部材への影響、例えばこの光ファイバモジュール１を他部材に取り付ける際に使用する他部材用位置合わせ部２ｄを埋没させるなどの不都合を防ぐことができる。

なお、以上説明した第１〜８の実施形態において、支持基板２および押さえ部材４のいずれかまたは全ての材料としては、ガラスやシリコンが用いられる。その場合作製が容易である。また、両部材が同一の材料から構成されていると、接合が容易であるとともに、熱膨張係数が同じであるため熱による破損が生じにくいという利点がある。支持基板２と押さえ部材４との接合は、接着剤による接着や、はんだ付けや、ワックスによる接合などが考えられる。

また、ＧＩ型光ファイバ３ｂの先端の傾斜は図２に示す構成と反対になっていてもよい。さらに、光ファイバはＳＭ型光ファイバ３ａに限定されず、レンズ機能部品はＧＩ型光ファイバ３ｂに限定されない。例えば、ロッドレンズ等をレンズ機能部品として用いてもよい。光ファイバとレンズ機能部品の接合は、融着や接着など様々な方法で行うことができる。

第１〜８の実施形態では、支持基板２と押さえ部材４とＧＩ型光ファイバ３ｂの端面を揃えるように、これらを一括して同時に研磨する例を示している。しかし、本来研磨が必要であるのは、ＧＩ型光ファイバ３ｂのみであり、このＧＩ型光ファイバ３ｂを支持基板２および押さえ部材４から突出させた状態でその端面のみを研磨するようにしてもよい。

本発明の光ファイバモジュール１は、多数の光ファイバを含むファイバアレイであってもよいが、単一の光ファイバのみを含む単芯構成のモジュールであってもよい。

［一括研磨方法］
前記した第１〜８の実施形態では、光ファイバモジュール１を１つずつ研磨する例について説明している。しかし、生産コストおよび生産効率を考慮すると、複数の光ファイバモジュール１を一括して同時に研磨することが望まれる。そこで、複数の光ファイバモジュール１の一括研磨方法について説明する。

まず、一括研磨方法の第１の例について図１４を参照して説明する。この研磨装置２０は、研磨パッド２１の周囲にリング状治具２２が配置されており、図１４（ａ）〜（ｃ）には簡略化して示されているが図１４（ｄ）に示すように、このリング状治具２２の上面に、研磨する光ファイバモジュール１の数に合わせたストッパ部（ストッパ面）２２ａが設けられている。そして、保持アーム２３の先端に設けられている保持治具２４には、光ファイバモジュール１を取り付けるための溝部２４ａが複数形成されている。

具体的には、図１４（ｂ）に示すように、例えば第１の実施形態と同様な外形の光ファイバモジュール１の、一方の側部１Ａを溝部２４ａに挿入して固定する。なお、必要があれば他に固定治具を用いてもよい。このようにして、複数の光ファイバモジュール１を保持治具２４に取り付ける。それから、研磨パッド２１を回転させつつ、保持アーム２３によって保持治具２４を研磨パッド２１に向けて押し進め、光ファイバモジュール１の先端部１Ｂを研磨パッド２１に圧接して研磨する。なお、リング状治具２２は回転させない。保持治具２４を研磨パッド２１に向けて押し進めながら研磨を行い、所定の研磨量に到達すると、光ファイバモジュール１の他方の側部１Ｃの研磨停止基準部６がストッパ部２２ａに当接する。その時点で、光ファイバモジュール１の研磨パッド２１に向かう方向の進行は停止させられ、それ以上の研磨は行われなくなる。

なお、研磨パッド２１とその周囲のリング状治具２２は、光ファイバモジュール１の一方の側部１Ａが保持治具２４の溝部２４ａに挿入された状態で、研磨すべき先端部１Ｂはストッパ部２２ａに接触することなく研磨パッド２１に当接し、他方の側部１Ｃの研磨停止基準部６が確実にストッパ部２２ａに面接触できるように、適切な大きさで互いに同心に形成されている。また、前記した通り、反射損失を低減するためにＧＩ型光ファイバ３ｂの端面は傾斜していることが望ましいので、図示するように光ファイバモジュール１を研磨パッド２１に対して傾斜して保持できるように溝部２４ａは斜めに形成されている。それに対応して、ストッパ部２２ａは溝部２４ａと実質的に直角に形成されている。すなわち、図１４（ａ）〜（ｃ）には簡略化して示されているが図１４（ｄ）に示すように、複数のストッパ部２２ａが水平面に対して斜めに配置され、しかも同じタイミングでそれぞれ光ファイバモジュール１の側部に当接しなければならないので、図示するように段差のついた形状に形成されている。

次に、一括研磨方法の第２の例について図１５を参照して説明する。この研磨装置２５は、研磨パッド２６の周囲にリング状治具２７が配置されており、このリング状治具２７の上面は平坦なストッパ部２７ａになっている。そして、保持アーム３０の先端に、後述する多角錐治具２８を介して複数の光ファイバモジュール１が取り付けられる構成である。

この例で研磨する光ファイバモジュール１は、第７の実施形態と同様に、支持基板２の後端面である補助部材用位置合わせ部２ｃが接合部用位置合わせ部５と同時に相対位置精度良く形成されているものである。そして複数の光ファイバモジュール１の補助部材用位置合わせ部２ｃが、同一の多角錐状治具２８の複数の凸部２８ａにそれぞれ位置決めされて保持されている。多角錐状治具２８はこのようにして多数の光ファイバモジュール１を保持可能であるとともに、延出部を有しており、この延出部の下端面が研磨停止基準部２９になっている。多角錐治具２８は、凸部２８ａと研磨停止基準部２９が高精度に形成されている。従って、光ファイバモジュール１の接合部用位置合わせ部５と、多角錐治具２８の研磨停止基準部２９の相対位置精度は高い。

このように多数の光ファイバモジュール１が取り付けられている多角錐治具２８を、研磨装置２５の保持アーム３０の先端に取り付ける。そして、研磨パッド２６を回転させつつ、保持アーム３０によって多角錐治具２８を研磨パッド２６に向けて押し進め、光ファイバモジュール１の先端部を研磨パッド２６に圧接して研磨する。なお、リング状治具２７は回転させなくてもよい。多角錐治具２８を研磨パッド２６に向けて押し進めながら研磨を行い、所定の研磨量に到達すると、研磨停止基準部２９がストッパ部２７ａに当接する。その時点で、光ファイバモジュール１の研磨パッド２６に向かう方向の進行は停止させられ、それ以上の研磨は行われなくなる。

［光デバイス］
前記した本発明の光ファイバモジュール１を含む光デバイスについて以下に説明する。本発明は、光スイッチ、光減衰器、光波長選択装置など、光ファイバモジュール１を含むあらゆる光デバイスに採用できる。

図１６には、本発明の光ファイバモジュール１を有する光スイッチが示されている。すなわち、本発明の光ファイバモジュール１のファイバ部材３の先端部の前方にミラー手段３１が配置されており、このミラー手段３１が図示しない駆動手段によって平行移動可能である。この構成では、ミラー手段３１を構成する第１のミラー群３１ａが光ファイバモジュール１のＧＩ型光ファイバ３ｂの先端部の前方に位置するとき（図１６（ａ）参照）と、第２のミラー群３１ｂが光ファイバモジュール１のファイバ部材３の先端部の前方に位置するとき（図１６（ｂ）参照）とで、出射用のファイバ部材３から入射用のファイバ部材３へ至る光路が変わり、すなわち、出射するファイバ部材３とそのビームを入射するファイバ部材３の組み合わせが変わる。こうしてスイッチング機能を果たすことができる。この構成において、本発明の光ファイバモジュール１を採用することによって、高精度な光スイッチを構成することが可能である。なお、この光ファイバモジュール１は、前記した第１〜８の実施形態に限られず、本発明の範囲に含まれるいかなる構成であってもよい。また、ミラー手段３１および駆動手段の構成は任意に変更でき、例えば、水平ではなく垂直方向にミラー手段３１が移動する構成であってもよい。

この光スイッチの製造方法としては、例えば前記した第１〜８の実施形態に例示したような工程で光ファイバモジュール１を製造した後、その光ファイバモジュール１のファイバ部材３の先端部の前方にミラー手段３１および駆動手段を配置する工程を実施すればよい。

図１７には、本発明の光ファイバモジュール１を１対有する光波長選択装置が示されている。すなわち、本発明の光ファイバモジュール１が、ファイバ部材３の先端部同士が対向するように配置され、両先端部間に光フィルタ３２が配置され、この光フィルタ３２が駆動手段３３によって平行移動可能である。この構成では、光フィルタ３２が両ファイバ部材３間に位置するとき（図１７参照）には所定の波長のみの光を透過させ、光フィルタ３２が両ファイバ部材３間に位置しないとき（図示せず）には光をそのまま透過させるようにして、光波長選択機能を果たすことができる。この構成でも、本発明の光ファイバモジュール１を採用することによって、波長選択装置の高精度化が可能である。

この光波長選択装置の製造方法としては、前記した第１〜８の実施形態に例示したような工程で１対の光ファイバモジュール１を製造した後、その光ファイバモジュール１のファイバ部材３の先端部同士が対向するように配置し、両先端部間に光フィルタ３２および駆動手段３３を配置する工程を実施すればよい。

（ａ）は本発明の第１の実施形態の光ファイバモジュールの研磨前の状態を示す平面図、（ｂ）はその正面図である。 （ａ）は図１に示す光ファイバモジュールの研磨後の状態を示す平面図、（ｂ）はその正面図である。 図１に示す光ファイバモジュールの製造方法を示すフローチャートである。 図１に示す光ファイバモジュールの研磨工程を示す説明図である。 本発明の第２の実施形態の光ファイバモジュールの研磨前の状態を示す平面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、図５に示す光ファイバモジュールのファイバ部材の形成工程を示す説明図である。 （ａ）は本発明の第３の実施形態の光ファイバモジュールの研磨前の状態を示す平面図、（ｂ）はその正面図である。 （ａ）は本発明の第３の実施形態の光ファイバモジュールの変形例の要部を拡大した正面断面図、（ｂ）は他の変形例の要部を拡大した正面断面図である。 （ａ）は本発明の第４の実施形態の光ファイバモジュールの研磨前の状態を示す平面図、（ｂ）はその要部を拡大した平面図、（ｃ）はその変形例の研磨前の状態を示す平面図、（ｄ）はその要部を拡大した平面図である。 （ａ）は本発明の第５の実施形態の光ファイバモジュールの研磨前の状態を示す平面図、（ｂ）はその正面図である。 本発明の第６の実施形態の光ファイバモジュールの研磨工程を示す説明図である。 本発明の第７の実施形態の光ファイバモジュールの研磨工程を示す説明図である。 本発明の第８の実施形態の光ファイバモジュールの研磨前の状態を示す平面図である。 （ａ）は本発明の光ファイバモジュールの一括研磨工程の第１の例に用いられる研磨装置の分解斜視図、（ｂ）は光ファイバモジュールの取付状態を示す要部断面図、（ｃ）は保持治具を省略して研磨工程を示す平面図、（ｄ）はストッパ部と研磨停止基準部を詳細に示す拡大正面図である。 （ａ）は本発明の光ファイバモジュールの一括研磨工程の第２の例に用いられる研磨装置の平面図、（ｂ）はそのＡ−Ａ線断面図、（ｃ）はそのＢ−Ｂ線断面図である。 本発明の光デバイスの第１の例を示す概略平面図である。 本発明の光デバイスの第２の例を示す概略平面図である。 ファイバ部材からの光出射状態を示す説明図である。

符号の説明

１ 光ファイバモジュール
１Ａ 一方の側部
１Ｂ 先端部
１Ｃ 他方の側部
２ 支持基板
２ａ 保持溝
２ｂ 段差
２ｃ 補助部材用位置合わせ部
２ｄ 他部材用位置合わせ部
２ｅ 流れ込み防止溝
３ ファイバ部材
３ａ シングルモード型光ファイバ（ＳＭ型光ファイバ）
３ｂ グレーデッドインデックス型光ファイバ（ＧＩ型光ファイバ）
４ 押さえ部材
５ 接合部用位置合わせ部
６ 研磨停止基準部（停止面）
７ 研磨装置
８ 研磨パッド
９ 保持アーム
１０ 停止用治具
１０ａ ストッパ部（ストッパ面）
１１ テープ状のＳＭ型光ファイバ
１２ テープ状のＧＩ型光ファイバ
１１ａ，１２ａ 基部
１１ｂ，１２ｂ 芯線
１３ ファイバ部材
１４ 溝
１４ａ 先端部
１４ｂ 後端部
１５ 研磨停止基準部（停止面）
１６ 停止用治具
１６ａ ストッパ部（ストッパ面）
１７ 研磨停止基準部（停止面）
１８ 補助部材
１９ 停止用治具
１９ａ ストッパ部（ストッパ面）
２０ 研磨装置
２１ 研磨パッド
２２ リング状治具
２２ａ ストッパ部（ストッパ面）
２３ 保持アーム
２４ 保持治具
２４ａ 溝部
２５ 研磨装置
２６ 研磨パッド
２７ リング状治具
２７ａ ストッパ部（ストッパ面）
２８ 多角錐治具
２８ａ 凸部
２９ 研磨停止基準部（停止面）
３０ 保持アーム
３１ ミラー手段
３１ａ 第１のミラー群
３１ｂ 第２のミラー群
３２ 光フィルタ
３３ 駆動手段
１０１ グレーデッドインデックス型光ファイバ（ＧＩ型光ファイバ）
１０２ ファイバコリメータ
１０３ シングルモード型光ファイバ（ＳＭ型光ファイバ）

Claims (22)

1. 支持基板と、
   前記支持基板に搭載されている光ファイバと、
   前記支持基板に搭載されており、前記光ファイバの端部に接合されているレンズ機能部品と、
   前記支持基板に設けられており、前記光ファイバと前記レンズ機能部品の接合部の所定の位置を示す接合部用位置合わせ部と、
   前記支持基板に設けられており、前記支持基板上の前記レンズ機能部品が研磨処理される際の停止位置を定める研磨停止基準部とを有する光ファイバモジュール。
2. 前記研磨停止基準部は、前記支持基板自体に直接形成されている、請求項１に記載の光ファイバモジュール。
3. 前記接合部用位置合わせ部と前記研磨停止基準部とは同一工程で形成されている、請求項２に記載の光ファイバモジュール。
4. 前記支持基板には補助部材が取り付けられており、前記研磨停止基準部は前記補助部材に設けられている、請求項１に記載の光ファイバモジュール。
5. 前記支持基板には、前記補助部材を取り付けるための補助部材用位置合わせ部が設けられており、前記接合部用位置合わせ部と前記補助部材用位置合わせ部とは同一工程で形成されている、請求項４に記載の光ファイバモジュール。
6. 前記支持基板には、光ファイバモジュールと他の部材とを接合するための他部材用位置合わせ部が設けられており、前記接合部用位置合わせ部と前記他部材用位置合わせ部とは同一工程で形成されている、請求項３または５に記載の光ファイバモジュール。
7. 前記支持基板上には、前記光ファイバを前記支持基板に押し付ける押さえ部材が固定されており、前記支持基板には、前記押さえ部材を固定するための接着剤が周囲に流れ込むのを防止する流れ込み防止溝が設けられている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の光ファイバモジュール。
8. 前記研磨停止基準部は、研磨装置の一部に当接して、前記支持基板が前記研磨装置に向かってそれ以上接近するのを阻止する停止面である、請求項１〜７のいずれか１項に記載の光ファイバモジュール。
9. 前記レンズ機能部品はグレーデッドインデックス型光ファイバである、請求項１〜８のいずれか１項に記載の光ファイバモジュール。
10. 前記支持基板と、前記光ファイバの端部に接合されている前記レンズ機能部品の端面が、一括して同時に研磨されている、請求項１〜９のいずれか１項に記載の光ファイバモジュール。
11. 前記光ファイバの端部に接合されている前記レンズ機能部品の端面は前記支持基板の端面から突出しており、前記レンズ機能部品の端面のみが研磨されている、請求項１〜９のいずれか１項に記載の光ファイバモジュール。
12. 前記支持基板上に複数の前記光ファイバが搭載されており、前記複数の光ファイバの端部にそれぞれ前記レンズ機能部品が接合されている、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の光ファイバモジュール。
13. 請求項１〜１２のいずれか１項に記載の光ファイバモジュールと、前記光ファイバの端部に接合されている前記レンズ機能部品の端面の前方に位置する光機能部品とを有する光デバイス。
14. 光ファイバとレンズ機能部品とを接合するステップと、
    前記光ファイバと前記レンズ機能部品の接合部が前記支持基板上の所定の位置に配置されるように、前記支持基板に設けられている接合部用位置合わせ部を用いて前記光ファイバおよび前記レンズ機能部品を前記支持基板に対して相対的に位置合わせするステップと、
    相対的に位置合わせされた状態で、前記光ファイバおよび前記レンズ機能部品を前記支持基板上に固定するステップと、
    前記支持基板上に前記光ファイバおよび前記レンズ機能部品が固定された状態で、少なくとも前記レンズ機能部品の研磨処理を行うステップと、
    研磨処理中に、前記支持基板に設けられている研磨停止基準部が研磨装置の一部に当接することによって、前記支持基板が前記研磨装置に向かってそれ以上接近するのが阻止されて研磨処理が停止するステップとを含む光ファイバモジュールの製造方法。
15. 前記接合部用位置合わせ部と前記研磨停止基準部とを同一工程で前記支持基板自体に直接形成するステップをさらに含む、請求項１４に記載の光ファイバモジュールの製造方法。
16. 前記接合部用位置合わせ部と補助部材用位置合わせ部とを同一工程で前記支持基板自体に直接形成するステップと、
    前記研磨停止基準部が設けられている補助部材を、前記補助部材用位置合わせ部を基準にして前記支持基板に取り付けるステップとをさらに含む、請求項１４に記載の光ファイバモジュールの製造方法。
17. 前記接合部用位置合わせ部の形成と同一工程で、光ファイバモジュールと他の部材とを接合するための他部材用位置合わせ部を前記支持基板自体に直接形成する、請求項１５または１６に記載の光ファイバモジュールの製造方法。
18. 前記レンズ機能部品はグレーデッドインデックス型光ファイバである、請求項１４〜１７のいずれか１項に記載の光ファイバモジュールの製造方法。
19. 前記支持基板と、前記光ファイバの端部に接合されている前記レンズ機能部品の端面を、一括して同時に研磨する、請求項１４〜１８のいずれか１項に記載の光ファイバモジュールの製造方法。
20. 前記光ファイバの端部に接合されている前記レンズ機能部品の端面を前記支持基板の端面から突出させ、前記レンズ機能部品の端面のみを研磨する、請求項１４〜１８のいずれか１項に記載の光ファイバモジュールの製造方法。
21. 複数の前記光ファイバおよび前記レンズ機能部品をそれぞれ接合し、接合された複数組の前記光ファイバおよび前記レンズ機能部品を、前記接合部用位置合わせ部を用いて前記支持基板に対して相対的に位置合わせして、前記支持基板上に固定する、請求項１４〜２０のいずれか１項に記載の光ファイバモジュールの製造方法。
22. 請求項１４〜２１のいずれか１項に記載の光ファイバモジュールの製造方法の各ステップと、
    光機能部品を、前記光ファイバモジュールの前記光ファイバの端部に接合されている前記レンズ機能部品の端面の前方に配置するステップをさらに含む光デバイスの製造方法。
    
    

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