JP2001108863A - 光モジュール用試験機及びその光軸調整方法 - Google Patents
光モジュール用試験機及びその光軸調整方法Info
- Publication number
- JP2001108863A JP2001108863A JP29049699A JP29049699A JP2001108863A JP 2001108863 A JP2001108863 A JP 2001108863A JP 29049699 A JP29049699 A JP 29049699A JP 29049699 A JP29049699 A JP 29049699A JP 2001108863 A JP2001108863 A JP 2001108863A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- component
- axis
- optical module
- coupling position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光通信分野に利用される光モジュール用試験
機及びその光軸調整方法に関し、光デバイスのパッケー
ジと光ファイバブロックとの面合わせを精度良く行い、
光軸調整を精密に且つ、短時間で行うことを可能にす
る。 【解決手段】 光デバイスパッケージ１５−２と光ファ
イバブロック１５−４をそれぞれ部品保持部１−１，１
−２に保持し、それらの接合面をＣＣＤカメラ１−
３1 ，１−３2 で撮像し、その平面画像データと撮像対
象に焦点が合う合焦距離とを基に、画像処理部１−１０
及び演算処理部１−１１により、二つの部品の接合面の
傾き、回転、光結合位置のずれを算出する。その算出デ
ータを基に、各部品保持部１−１，１−２をそれぞれ搭
載した移動ステージを駆動して接合面の面合わせと光軸
位置を調整し、対向する位置に移動させて接合する。移
動ステージは少なくとも６軸の平行移動及び傾斜、回転
移動が可能である。
機及びその光軸調整方法に関し、光デバイスのパッケー
ジと光ファイバブロックとの面合わせを精度良く行い、
光軸調整を精密に且つ、短時間で行うことを可能にす
る。 【解決手段】 光デバイスパッケージ１５−２と光ファ
イバブロック１５−４をそれぞれ部品保持部１−１，１
−２に保持し、それらの接合面をＣＣＤカメラ１−
３1 ，１−３2 で撮像し、その平面画像データと撮像対
象に焦点が合う合焦距離とを基に、画像処理部１−１０
及び演算処理部１−１１により、二つの部品の接合面の
傾き、回転、光結合位置のずれを算出する。その算出デ
ータを基に、各部品保持部１−１，１−２をそれぞれ搭
載した移動ステージを駆動して接合面の面合わせと光軸
位置を調整し、対向する位置に移動させて接合する。移
動ステージは少なくとも６軸の平行移動及び傾斜、回転
移動が可能である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信分野に利用
される光モジュール用試験機及びその光軸調整方法に関
し、特に、光導波路を形成した基板又は該基板を実装し
た光デバイスパッケージと、該基板又は光デバイスパッ
ケージに光学的に接合される光ファイバホルダ又は光フ
ァイバブロックとの間で、その接合面での光軸を調整し
て合わせ、伝送特性等の試験を行う光モジュール用試験
機及びその光軸調整方法に関する。
される光モジュール用試験機及びその光軸調整方法に関
し、特に、光導波路を形成した基板又は該基板を実装し
た光デバイスパッケージと、該基板又は光デバイスパッ
ケージに光学的に接合される光ファイバホルダ又は光フ
ァイバブロックとの間で、その接合面での光軸を調整し
て合わせ、伝送特性等の試験を行う光モジュール用試験
機及びその光軸調整方法に関する。
【０００２】光デバイス技術の発展に伴い、平面実装型
光デバイスやＬＮ（ニオブ酸リチウム）外部変調器等の
光導波路型光デバイスが多種開発されている。この光導
波路型デバイスは部品の小型化やコストダウンが図れる
ことから、今後主流となる光デバイスとして期待されて
いる。
光デバイスやＬＮ（ニオブ酸リチウム）外部変調器等の
光導波路型光デバイスが多種開発されている。この光導
波路型デバイスは部品の小型化やコストダウンが図れる
ことから、今後主流となる光デバイスとして期待されて
いる。
【０００３】図１５はこれらの光デバイスと光ファイバ
とを接合した光モジュールの外観を示す図である。同図
において、１５−１は光導波路を形成した光導波路付基
板、１５−２は該光導波路付基板を実装したパッケー
ジ、１５−３は光ファイバ、１５−４は複数の光ファイ
バを束ねた光ファイバブロック、１５−５はパッケージ
の端子である。
とを接合した光モジュールの外観を示す図である。同図
において、１５−１は光導波路を形成した光導波路付基
板、１５−２は該光導波路付基板を実装したパッケー
ジ、１５−３は光ファイバ、１５−４は複数の光ファイ
バを束ねた光ファイバブロック、１５−５はパッケージ
の端子である。
【０００４】
【従来の技術】このパッケージ１５−２の光導波路の光
軸と光ファイバブロック１５−４の光ファイバの光軸と
が合致するように光軸調整して結合し、特性試験を行う
場合、図１６に示すような光軸調整機構を用いて試験を
行っている。
軸と光ファイバブロック１５−４の光ファイバの光軸と
が合致するように光軸調整して結合し、特性試験を行う
場合、図１６に示すような光軸調整機構を用いて試験を
行っている。
【０００５】図１６に示す従来の光軸調整機構は、前述
の光導波路付基板パッケージ１５−２を保持するパッケ
ージ保持部１６−１と、該パッケージ保持部１６−１を
搭載し、搭載面が自由に傾斜するジンバル機構部１６−
２と、それらを搭載するθ軸移動ステージ１６−３と、
ＸＹ軸移動ステージ１６−４と、Ｚ軸移動ステージ１６
−５とを備え、また、前述の光ファイバブロック１５−
４を保持する光ファイバブロック保持部１６−６と、そ
れらを搭載する防振台１６−７とを備える。
の光導波路付基板パッケージ１５−２を保持するパッケ
ージ保持部１６−１と、該パッケージ保持部１６−１を
搭載し、搭載面が自由に傾斜するジンバル機構部１６−
２と、それらを搭載するθ軸移動ステージ１６−３と、
ＸＹ軸移動ステージ１６−４と、Ｚ軸移動ステージ１６
−５とを備え、また、前述の光ファイバブロック１５−
４を保持する光ファイバブロック保持部１６−６と、そ
れらを搭載する防振台１６−７とを備える。
【０００６】光軸調整試験手順について、ＬＤ（Laser
Diode ）等の光半導体素子を実装した平面実装型光デバ
イスのパッケージと光ファイバブロックとを接合した光
モジュールの例について説明する。
Diode ）等の光半導体素子を実装した平面実装型光デバ
イスのパッケージと光ファイバブロックとを接合した光
モジュールの例について説明する。
【０００７】先ず、光デバイスのパッケージ１５−２と
光ファイバブロック１５−４とを、それぞれ部品取付け
部（パッケージ保持部１６−１、光ファイバブロック保
持部１６−６）にクランプした後、光デバイスのパッケ
ージ１５−２と光ファイバブロック１５−４との接合面
を平行に合わせる面合わせを行う。
光ファイバブロック１５−４とを、それぞれ部品取付け
部（パッケージ保持部１６−１、光ファイバブロック保
持部１６−６）にクランプした後、光デバイスのパッケ
ージ１５−２と光ファイバブロック１５−４との接合面
を平行に合わせる面合わせを行う。
【０００８】面合わせは、Ｚ軸移動ステージ１６−５に
よりパッケージ保持部１６−１を上昇させていき、光デ
バイスのパッケージ１５−２を光ファイバブロック１５
−４に突き当て、ジンバル機構部１６−２の圧力センサ
（図示省略）により規定の圧力が加わったことを検出し
たところでジンバル機構部１６−２の傾斜を固定し、光
デバイスのパッケージ１５−２の接合面を光ファイバブ
ロック１５−４の面と平行になるように合わせる。
よりパッケージ保持部１６−１を上昇させていき、光デ
バイスのパッケージ１５−２を光ファイバブロック１５
−４に突き当て、ジンバル機構部１６−２の圧力センサ
（図示省略）により規定の圧力が加わったことを検出し
たところでジンバル機構部１６−２の傾斜を固定し、光
デバイスのパッケージ１５−２の接合面を光ファイバブ
ロック１５−４の面と平行になるように合わせる。
【０００９】続いて、光デバイスパッケージ１５−２の
基板に実装されたＬＤ素子にＬＤ駆動電源１６−８から
給電することによりＬＤ素子を発光させ、光ファイバか
らの受光量を光パワーメータ１６−９で測定し、該測定
値をデータ処理部１６−１０に出力し、データ処理部１
６−１０は所定の調芯アルゴリズムに基づき、θ軸移動
ステージ１６−３、ＸＹ軸移動ステージ１６−４及びＺ
軸移動ステージ１６−５をステージ駆動部１６−１１に
より駆動し、光ファイバからの受光量が最大となるよう
光デバイスのパッケージ１５−２の位置を調整する。調
芯終了後、所定の特性試験を行い、光軸調整を含む試験
を完了する。
基板に実装されたＬＤ素子にＬＤ駆動電源１６−８から
給電することによりＬＤ素子を発光させ、光ファイバか
らの受光量を光パワーメータ１６−９で測定し、該測定
値をデータ処理部１６−１０に出力し、データ処理部１
６−１０は所定の調芯アルゴリズムに基づき、θ軸移動
ステージ１６−３、ＸＹ軸移動ステージ１６−４及びＺ
軸移動ステージ１６−５をステージ駆動部１６−１１に
より駆動し、光ファイバからの受光量が最大となるよう
光デバイスのパッケージ１５−２の位置を調整する。調
芯終了後、所定の特性試験を行い、光軸調整を含む試験
を完了する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の面合わ
せに使用しているジンバル機構部１６−２は、２つの部
品を押し当てて接合面が平行になるように傾斜を固定す
る機構を備える必要があるため、構造が複雑にならざる
を得ず、また、部品固定の際に傾斜の位置ずれを起こし
やすいという問題があった。
せに使用しているジンバル機構部１６−２は、２つの部
品を押し当てて接合面が平行になるように傾斜を固定す
る機構を備える必要があるため、構造が複雑にならざる
を得ず、また、部品固定の際に傾斜の位置ずれを起こし
やすいという問題があった。
【００１１】更に、ますます部品の微細化が要求されて
いる光デバイスに対する光軸調整において、部品形状が
微細になるほど面合わせを精度良く行うことが困難とな
り、面の角度ずれ（傾斜）に起因する光の損失・反射等
が発生し、特性試験精度が低下してしまう。
いる光デバイスに対する光軸調整において、部品形状が
微細になるほど面合わせを精度良く行うことが困難とな
り、面の角度ずれ（傾斜）に起因する光の損失・反射等
が発生し、特性試験精度が低下してしまう。
【００１２】また、部品形状の差異により回転中心（θ
軸の位置）が変動し、部品毎の位置のバラツキが大き
く、光軸調整の移動範囲を広くとらないと適正な調芯が
できず、調芯に多くの時間が掛かるという問題があっ
た。
軸の位置）が変動し、部品毎の位置のバラツキが大き
く、光軸調整の移動範囲を広くとらないと適正な調芯が
できず、調芯に多くの時間が掛かるという問題があっ
た。
【００１３】また、多芯の光導波路型デバイスに対する
試験の場合には、回転調整（θ軸を中心とする回転）を
行うと接合面の傾斜が変動するため、面合わせと回転調
整を数回繰り返して行う必要があり、調芯に長時間を費
やすという問題があった。
試験の場合には、回転調整（θ軸を中心とする回転）を
行うと接合面の傾斜が変動するため、面合わせと回転調
整を数回繰り返して行う必要があり、調芯に長時間を費
やすという問題があった。
【００１４】本発明は光デバイスのパッケージ１５−２
と光ファイバブロック１５−４との面合わせ精度良く行
い、且つ、光軸合わせに部品形状の差異等による影響が
少なく、精密にかつ短時間で光軸調整を行うことができ
る光モジュール用試験機及びその光軸調整方法を提供す
ることを目的とする。
と光ファイバブロック１５−４との面合わせ精度良く行
い、且つ、光軸合わせに部品形状の差異等による影響が
少なく、精密にかつ短時間で光軸調整を行うことができ
る光モジュール用試験機及びその光軸調整方法を提供す
ることを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明の光モジュール用
試験機は、（１）対向する接合面で光結合される二つの
光モジュール部品をそれぞれ保持する部品保持部と、該
部品保持部により保持された二つの光モジュール部品の
接合面を撮像するＣＣＤカメラと、前記部品保持部を搭
載し、対向する接合面との相対的な位置ずれ、回転ずれ
及び傾斜を補正する移動可能な移動ステージとを備え、
前記部品保持部を搭載する移動ステージは、対向する部
品の接合面に対して相対的に左右、上下及び前後方向に
平行に移動する移動機構と、対向する部品の接合面に対
して相対的に左右、上下及び前後方向の軸と平行な軸を
中心として傾斜又は回転する移動機構を少なくとも有
し、前記ＣＣＤカメラで撮像したそれぞれの部品の接合
面の測定点の画像データと撮像対象に焦点が合う合焦距
離とを基に、該接合面の３次元位置データを算出し、該
３次元位置データを基に、対向する接合面の傾き及び光
結合位置を算出する手段と、該算出データを基に部品保
持部を搭載する移動ステージを駆動し、対向する接合面
に傾き及び光結合位置を合致させて二つの光モジュール
部品を接合する手段と、を備えたものである。
試験機は、（１）対向する接合面で光結合される二つの
光モジュール部品をそれぞれ保持する部品保持部と、該
部品保持部により保持された二つの光モジュール部品の
接合面を撮像するＣＣＤカメラと、前記部品保持部を搭
載し、対向する接合面との相対的な位置ずれ、回転ずれ
及び傾斜を補正する移動可能な移動ステージとを備え、
前記部品保持部を搭載する移動ステージは、対向する部
品の接合面に対して相対的に左右、上下及び前後方向に
平行に移動する移動機構と、対向する部品の接合面に対
して相対的に左右、上下及び前後方向の軸と平行な軸を
中心として傾斜又は回転する移動機構を少なくとも有
し、前記ＣＣＤカメラで撮像したそれぞれの部品の接合
面の測定点の画像データと撮像対象に焦点が合う合焦距
離とを基に、該接合面の３次元位置データを算出し、該
３次元位置データを基に、対向する接合面の傾き及び光
結合位置を算出する手段と、該算出データを基に部品保
持部を搭載する移動ステージを駆動し、対向する接合面
に傾き及び光結合位置を合致させて二つの光モジュール
部品を接合する手段と、を備えたものである。
【００１６】また、（２）前記部品保持部により保持さ
れた二つの光モジュール部品の接合面が対向する位置の
間に配置され、移動ステージ上に搭載されて配置された
プリズム又は反射鏡と、該プリズム又は反射鏡を介し、
前記二つの部品の接合面を交互に撮像する１台のＣＣＤ
カメラとを備え、該ＣＣＤカメラでそれぞれの部品の接
合面の測定点を撮像した後に、前記移動ステージ上に搭
載したプリズム又は反射鏡を、二つの部品の接合面が対
向する位置から移動させて退避させる手段と、該ＣＣＤ
カメラで撮像した画像データと撮像対象に焦点が合う合
焦距離とを基にした二つの部品の接合面の傾き及び光結
合位置に応じて、部品保持部に設けた移動ステージを駆
動し、対向する接合面に傾き及び光結合位置を合致させ
て二つの光モジュール部品を接合する手段と、を備えた
ものである。
れた二つの光モジュール部品の接合面が対向する位置の
間に配置され、移動ステージ上に搭載されて配置された
プリズム又は反射鏡と、該プリズム又は反射鏡を介し、
前記二つの部品の接合面を交互に撮像する１台のＣＣＤ
カメラとを備え、該ＣＣＤカメラでそれぞれの部品の接
合面の測定点を撮像した後に、前記移動ステージ上に搭
載したプリズム又は反射鏡を、二つの部品の接合面が対
向する位置から移動させて退避させる手段と、該ＣＣＤ
カメラで撮像した画像データと撮像対象に焦点が合う合
焦距離とを基にした二つの部品の接合面の傾き及び光結
合位置に応じて、部品保持部に設けた移動ステージを駆
動し、対向する接合面に傾き及び光結合位置を合致させ
て二つの光モジュール部品を接合する手段と、を備えた
ものである。
【００１７】また、（３）外部から光入射が可能な光導
波路付基板又は該基板を実装した光デバイスパッケージ
の光モジュール部品の接合面撮像時に、該光モジュール
部品の光導波路部に外部から可視光を入射する手段を備
え、光導波路部に外部から可視光を入射した状態で光結
合位置を画像認識するものである。
波路付基板又は該基板を実装した光デバイスパッケージ
の光モジュール部品の接合面撮像時に、該光モジュール
部品の光導波路部に外部から可視光を入射する手段を備
え、光導波路部に外部から可視光を入射した状態で光結
合位置を画像認識するものである。
【００１８】また、（４）光半導体素子を実装した光導
波路付基板又は該基板を実装した光デバイスパッケージ
の光モジュール部品の接合面撮像時に、該光半導体素子
を発光させる手段を備え、該光半導体を発光させた状態
で赤外線ＣＣＤカメラで光結合位置を画像認識するもの
である。
波路付基板又は該基板を実装した光デバイスパッケージ
の光モジュール部品の接合面撮像時に、該光半導体素子
を発光させる手段を備え、該光半導体を発光させた状態
で赤外線ＣＣＤカメラで光結合位置を画像認識するもの
である。
【００１９】また、（５）前記ＣＣＤカメラはズームレ
ンズ又は倍率の異なる２種以上のレンズを有し、低倍率
のレンズで撮像した画像データから接合面の平面座標位
置を測定し、高倍率のレンズで撮像した画像により接合
面との合焦距離及び光結合位置を測定し、それの測定値
を基に接合面の傾き及び光結合位置を算出する手段を備
えたものである。
ンズ又は倍率の異なる２種以上のレンズを有し、低倍率
のレンズで撮像した画像データから接合面の平面座標位
置を測定し、高倍率のレンズで撮像した画像により接合
面との合焦距離及び光結合位置を測定し、それの測定値
を基に接合面の傾き及び光結合位置を算出する手段を備
えたものである。
【００２０】また、光モジュール用試験機における光軸
調整方法は、（６）前述の（１）乃至（５）のいずれか
に記載の光モジュール用試験機において、対向する部品
接合面の傾きを補正する際に、光結合位置がずれた場
合、傾き補正前の光結合位置と傾き補正後の光結合位置
とのずれの量から、対向する部品接合面との回転ずれの
中心位置を算出し、該算出データを基に光結合位置を補
正しながら対向する接合面の傾きを補正するものであ
る。
調整方法は、（６）前述の（１）乃至（５）のいずれか
に記載の光モジュール用試験機において、対向する部品
接合面の傾きを補正する際に、光結合位置がずれた場
合、傾き補正前の光結合位置と傾き補正後の光結合位置
とのずれの量から、対向する部品接合面との回転ずれの
中心位置を算出し、該算出データを基に光結合位置を補
正しながら対向する接合面の傾きを補正するものであ
る。
【００２１】
【発明の実施の形態】図１は本発明の光モジュール用試
験機の第１の実施形態を示す図である。同図において、
１５−２は光デバイスパッケージ、１５−４は光ファイ
バブロック、１−１は光デバイスパッケージ保持部、１
−２は光ファイバブロック保持部、１−３1 ，１−３2
はズームレンズ付ＣＣＤカメラ、１−４1 ，１−４2 は
Ｘ軸移動ステージ、１−５はＹ軸移動ステージ、１−６
はＺ軸移動ステージ、１−７はα軸及びβ軸移動ステー
ジ、１−８はθ軸移動ステージ、１−９は画像処理部、
１−１０は演算処理部、１−１１はステージ駆動部、１
６−８はＬＤ駆動電源、１６−９は光パワーメータ、１
６−１０はデータ処理部である。
験機の第１の実施形態を示す図である。同図において、
１５−２は光デバイスパッケージ、１５−４は光ファイ
バブロック、１−１は光デバイスパッケージ保持部、１
−２は光ファイバブロック保持部、１−３1 ，１−３2
はズームレンズ付ＣＣＤカメラ、１−４1 ，１−４2 は
Ｘ軸移動ステージ、１−５はＹ軸移動ステージ、１−６
はＺ軸移動ステージ、１−７はα軸及びβ軸移動ステー
ジ、１−８はθ軸移動ステージ、１−９は画像処理部、
１−１０は演算処理部、１−１１はステージ駆動部、１
６−８はＬＤ駆動電源、１６−９は光パワーメータ、１
６−１０はデータ処理部である。
【００２２】図の（ａ）に示すようにこの実施形態の光
モジュール用試験機は、光デバイスパッケージ保持部１
−１と光ファイバブロック保持部１−２とを、それぞれ
対向するＸ軸移動ステージ１−４1 ，１−４2 上の各移
動ステージ上に搭載し、そして、光デバイスパッケージ
保持部１−１及び光ファイバブロック保持部１−２に対
向する位置に、それぞれズームレンズ付ＣＣＤカメラ１
−３1 ，１−３2 を、各々のＸ軸移動ステージ１−
４2 ，１−４1 上の移動ステージ上に配置する。
モジュール用試験機は、光デバイスパッケージ保持部１
−１と光ファイバブロック保持部１−２とを、それぞれ
対向するＸ軸移動ステージ１−４1 ，１−４2 上の各移
動ステージ上に搭載し、そして、光デバイスパッケージ
保持部１−１及び光ファイバブロック保持部１−２に対
向する位置に、それぞれズームレンズ付ＣＣＤカメラ１
−３1 ，１−３2 を、各々のＸ軸移動ステージ１−
４2 ，１−４1 上の移動ステージ上に配置する。
【００２３】ここで、光デバイスパッケージ保持部１−
１及び光ファイバブロック保持部１−２の原点位置と、
対向するズームレンズ付ＣＣＤカメラ１−３2 ，１−３
1 の原点位置との距離を予め測定しておく。
１及び光ファイバブロック保持部１−２の原点位置と、
対向するズームレンズ付ＣＣＤカメラ１−３2 ，１−３
1 の原点位置との距離を予め測定しておく。
【００２４】これは、後に光デバイスパッケージ１５−
２と光ファイバブロック１５−４とを対向する位置に移
動する際のシフト量として参照される。また、対向する
移動ステージの原点位置も測定しておき、この値は接合
位置補正時のオフセット量として設定しておく。
２と光ファイバブロック１５−４とを対向する位置に移
動する際のシフト量として参照される。また、対向する
移動ステージの原点位置も測定しておき、この値は接合
位置補正時のオフセット量として設定しておく。
【００２５】光ファイバブロック保持部１−２は、Ｘ軸
移動ステージ１−４2 上に２軸傾斜ステージ（α軸及び
β軸移動ステージ１−７）と回転ステージ（θ軸移動ス
テージ１−８）とを組み合わせた移動ステージに配置
し、光デバイスパッケージ保持部１−１は、Ｘ軸移動ス
テージ１−４1 上に２軸移動ステージ（Ｙ軸移動ステー
ジ１−５及びＺ軸移動ステージ１−６）上に配置した構
成にする。
移動ステージ１−４2 上に２軸傾斜ステージ（α軸及び
β軸移動ステージ１−７）と回転ステージ（θ軸移動ス
テージ１−８）とを組み合わせた移動ステージに配置
し、光デバイスパッケージ保持部１−１は、Ｘ軸移動ス
テージ１−４1 上に２軸移動ステージ（Ｙ軸移動ステー
ジ１−５及びＺ軸移動ステージ１−６）上に配置した構
成にする。
【００２６】ここで、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、図１の
（ｂ）に示すように、光デバイスパッケージと光ファイ
バブロックとが対向する方向をＺ軸、光デバイスパッケ
ージ及び光ファイバブロックが左右に移動する方向をＸ
軸、光デバイスパッケージ及び光ファイバブロックが上
下に移動する方向をＹ軸とする。
（ｂ）に示すように、光デバイスパッケージと光ファイ
バブロックとが対向する方向をＺ軸、光デバイスパッケ
ージ及び光ファイバブロックが左右に移動する方向をＸ
軸、光デバイスパッケージ及び光ファイバブロックが上
下に移動する方向をＹ軸とする。
【００２７】また、Ｚ軸と平行な回転軸をθ軸、Ｘ軸と
平行な回転軸をα軸、Ｙ軸と平行な回転軸をβ軸とす
る。光デバイスパッケージと光ファイバブロックとの接
合面の回転ずれはθ軸の回転により、該接合面の傾きは
α軸及びβ軸の回動により調整される。
平行な回転軸をα軸、Ｙ軸と平行な回転軸をβ軸とす
る。光デバイスパッケージと光ファイバブロックとの接
合面の回転ずれはθ軸の回転により、該接合面の傾きは
α軸及びβ軸の回動により調整される。
【００２８】ズームレンズ付ＣＣＤカメラ１−３1 ，１
−３2 は、それぞれ光ファイバブロック保持部１−２及
び光デバイスパッケージ保持部１−１を搭載した移動ス
テージ上に配置され、光ファイバブロック１５−４及び
光デバイスパッケージ１５−２の接合面に対向し、それ
らの形状を撮影する。
−３2 は、それぞれ光ファイバブロック保持部１−２及
び光デバイスパッケージ保持部１−１を搭載した移動ス
テージ上に配置され、光ファイバブロック１５−４及び
光デバイスパッケージ１５−２の接合面に対向し、それ
らの形状を撮影する。
【００２９】各ズームレンズ付ＣＣＤカメラ１−３1 ，
１−３2 により撮像した接合面の画像から、画像処理部
１−９及び演算処理部１−１１は、光デバイスパッケー
ジ１５−２及び光ファイバブロック１５−４の接合面の
平面絶対座標値（ＸＹ軸座標位置）を算出する。
１−３2 により撮像した接合面の画像から、画像処理部
１−９及び演算処理部１−１１は、光デバイスパッケー
ジ１５−２及び光ファイバブロック１５−４の接合面の
平面絶対座標値（ＸＹ軸座標位置）を算出する。
【００３０】更に、各ズームレンズ付ＣＣＤカメラ１−
３1 ，１−３2 で、光デバイスパッケージ１５−２及び
光ファイバブロック１５−４の接合面を撮影したとき、
画像のピントが合う合焦距離から該接合面のＺ軸座標位
置を算出する。
３1 ，１−３2 で、光デバイスパッケージ１５−２及び
光ファイバブロック１５−４の接合面を撮影したとき、
画像のピントが合う合焦距離から該接合面のＺ軸座標位
置を算出する。
【００３１】本発明の光モジュール用試験機は、部品接
合面をズームレンズ付ＣＣＤカメラ１−３1 ，１−３2
で撮影し、画像処理して得た３次元位置データを基に、
接合面の傾きと光結合位置（光導波路部と光ファイバコ
ア部の位置等）を算出し、この算出データより、部品保
持部の一方又は両方に設けたメカニカル移動ステージを
移動して面合わせと調芯を行うものである。
合面をズームレンズ付ＣＣＤカメラ１−３1 ，１−３2
で撮影し、画像処理して得た３次元位置データを基に、
接合面の傾きと光結合位置（光導波路部と光ファイバコ
ア部の位置等）を算出し、この算出データより、部品保
持部の一方又は両方に設けたメカニカル移動ステージを
移動して面合わせと調芯を行うものである。
【００３２】即ち、本発明の光軸調整機構は、部品保持
部を３軸方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向）の平面
移動と、回転移動（θ軸中心）及び傾斜移動（α軸及び
β軸中心）を含む少なくとも６軸上で移動する移動ステ
ージ上に配置し、また、各々の部品保持部に保持される
部品の接合面に対向する位置にズームレンズ付ＣＣＤカ
メラを配置し、該ＣＣＤカメラで撮像した接合面の画像
処理データを基に移動ステージを駆動して面合わせ及び
調芯行う構成を基本としている。
部を３軸方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向）の平面
移動と、回転移動（θ軸中心）及び傾斜移動（α軸及び
β軸中心）を含む少なくとも６軸上で移動する移動ステ
ージ上に配置し、また、各々の部品保持部に保持される
部品の接合面に対向する位置にズームレンズ付ＣＣＤカ
メラを配置し、該ＣＣＤカメラで撮像した接合面の画像
処理データを基に移動ステージを駆動して面合わせ及び
調芯行う構成を基本としている。
【００３３】光軸調整試験の手順は以下の通りである。
先ず、光軸調整機構の部品保持部に取り付けた光デバイ
スパッケージ１５−２と光ファイバブロック１５−４の
接合面を低倍率で撮像して画像認識し、光ファイバコア
部と光導波路部等の光結合位置及び予め設定した接合面
上の測定点（例えば、接合面の３隅の点）の座標値
（Ｘ，Ｙ，Ｚ座標）を読み取り、各々の接合面の傾きと
光結合位置とを算出する。
先ず、光軸調整機構の部品保持部に取り付けた光デバイ
スパッケージ１５−２と光ファイバブロック１５−４の
接合面を低倍率で撮像して画像認識し、光ファイバコア
部と光導波路部等の光結合位置及び予め設定した接合面
上の測定点（例えば、接合面の３隅の点）の座標値
（Ｘ，Ｙ，Ｚ座標）を読み取り、各々の接合面の傾きと
光結合位置とを算出する。
【００３４】ここで、取得した３次元位置データを基
に、光デバイスパッケージと光ファイバブロックの接合
面が平行になるように、かつ光導波路と光ファイバの光
軸方向及びその光軸位置が一致するように移動ステージ
を駆動して光導波路と光ファイバコアの光軸位置の粗調
整を行う（粗調芯）。なお、この段階の画像処理時に部
品形状の画像判定を行うことにより、光軸調整前に部品
の良否判定を行うことができる。
に、光デバイスパッケージと光ファイバブロックの接合
面が平行になるように、かつ光導波路と光ファイバの光
軸方向及びその光軸位置が一致するように移動ステージ
を駆動して光導波路と光ファイバコアの光軸位置の粗調
整を行う（粗調芯）。なお、この段階の画像処理時に部
品形状の画像判定を行うことにより、光軸調整前に部品
の良否判定を行うことができる。
【００３５】更に、ズームレンズ付ＣＣＤカメラ１−３
1 ，１−３2 の倍率を上げて、光デバイスパッケージ１
５−２と光ファイバブロック１５−４の接合面を同様に
撮像し、画像処理により光導波路と光ファイバコア部の
光軸位置を算出し、より精密な光軸位置の微調整を行う
（微調芯）。
1 ，１−３2 の倍率を上げて、光デバイスパッケージ１
５−２と光ファイバブロック１５−４の接合面を同様に
撮像し、画像処理により光導波路と光ファイバコア部の
光軸位置を算出し、より精密な光軸位置の微調整を行う
（微調芯）。
【００３６】そして、精緻な調芯の終了後に光モジュー
ルの特性試験を行う。このような試験機により、面合わ
せ精度を高く維持し、部品形状の差異に影響されず精密
に且つ安定的に光軸調整が行われ、精度の良い光モジュ
ール特性試験が可能となる。
ルの特性試験を行う。このような試験機により、面合わ
せ精度を高く維持し、部品形状の差異に影響されず精密
に且つ安定的に光軸調整が行われ、精度の良い光モジュ
ール特性試験が可能となる。
【００３７】次に、本発明における光結合位置の算出手
法について説明する。図２はＣＣＤカメラによって撮像
した光導波路又は光ファイバコアの光結合位置の算出の
説明図である。同図に示すように、光デバイスパッケー
ジ又は光ファイバブロック２−１の接合面をズームレン
ズ付ＣＣＤカメラ２−２により撮影する。
法について説明する。図２はＣＣＤカメラによって撮像
した光導波路又は光ファイバコアの光結合位置の算出の
説明図である。同図に示すように、光デバイスパッケー
ジ又は光ファイバブロック２−１の接合面をズームレン
ズ付ＣＣＤカメラ２−２により撮影する。
【００３８】ズームレンズ付ＣＣＤカメラ２−２により
撮影した画像から、光導波路又は光ファイバコア部２−
３のＸ，Ｙ座標値ａ（ｘ1 ，ｙ1 ）、ｂ（ｘ2 ，ｙ2 ）
を算出する。また、多芯光導波路型デバイスの光導波路
又は光ファイバコア部の間隔はミクロン精度で作製され
ており、任意の２点の光導波路又は光ファイバコア部２
−３のＸ，Ｙ座標値ａ（ｘ1 ，ｙ1 ）、ｂ（ｘ2 ，
ｙ2 ）から、光導波路又は光ファイバコア部２−３のθ
軸を中心とする回転ずれ角θs が、θs ＝tan ―1
｛（ｙ1 −ｙ2 ）／（ｘ1 −ｘ2 ）｝として算出され
る。
撮影した画像から、光導波路又は光ファイバコア部２−
３のＸ，Ｙ座標値ａ（ｘ1 ，ｙ1 ）、ｂ（ｘ2 ，ｙ2 ）
を算出する。また、多芯光導波路型デバイスの光導波路
又は光ファイバコア部の間隔はミクロン精度で作製され
ており、任意の２点の光導波路又は光ファイバコア部２
−３のＸ，Ｙ座標値ａ（ｘ1 ，ｙ1 ）、ｂ（ｘ2 ，
ｙ2 ）から、光導波路又は光ファイバコア部２−３のθ
軸を中心とする回転ずれ角θs が、θs ＝tan ―1
｛（ｙ1 −ｙ2 ）／（ｘ1 −ｘ2 ）｝として算出され
る。
【００３９】そして、これらの算出データを基に一方の
部品の光結合位置及び回転角を基準に他方の部品の光結
合位置と回転角とを合わせる。その後、ズームレンズ付
ＣＣＤカメラ２−２の倍率を上げて再度画像認識を行
い、同様の処理を行って光軸をより正確に合わせる補正
を行う
部品の光結合位置及び回転角を基準に他方の部品の光結
合位置と回転角とを合わせる。その後、ズームレンズ付
ＣＣＤカメラ２−２の倍率を上げて再度画像認識を行
い、同様の処理を行って光軸をより正確に合わせる補正
を行う
【００４０】図３及び図４はＣＣＤカメラによって撮像
した光デバイスパッケージ又は光ファイバブロック接合
面の傾きの算出の説明図である。先ず、図３に示すよう
に、部品保持部３−１に保持された光デバイスパッケー
ジ又は光ファイバブロック３−２の上端測定点ＡをＣＣ
Ｄカメラ３−３で撮影し、ＣＣＤカメラ３−３を搭載し
たＺ軸移動ステージ３−４をＺ軸方向に移動させ、撮影
画像のピントが部品の上端測定点Ａに合ったときのＺ軸
移動ステージ３−４の原点位置からの移動距離（合焦距
離）ｚ1 を測定し、また、部品の上端測定点Ａの高さ、
即ちＹ座標位置ｙ1 を撮影した画像から算出する。
した光デバイスパッケージ又は光ファイバブロック接合
面の傾きの算出の説明図である。先ず、図３に示すよう
に、部品保持部３−１に保持された光デバイスパッケー
ジ又は光ファイバブロック３−２の上端測定点ＡをＣＣ
Ｄカメラ３−３で撮影し、ＣＣＤカメラ３−３を搭載し
たＺ軸移動ステージ３−４をＺ軸方向に移動させ、撮影
画像のピントが部品の上端測定点Ａに合ったときのＺ軸
移動ステージ３−４の原点位置からの移動距離（合焦距
離）ｚ1 を測定し、また、部品の上端測定点Ａの高さ、
即ちＹ座標位置ｙ1 を撮影した画像から算出する。
【００４１】次に、図４に示すように、部品保持部３−
１に保持された光デバイスパッケージ又は光ファイバブ
ロック３−２の下端測定点ＢをＣＣＤカメラ３−３で撮
影し、同様にＣＣＤカメラ３−３を搭載したＺ軸移動ス
テージ３−４をＺ軸方向に移動させ、撮影画像のピント
が部品の下端測定点Ｂに合ったときのＺ軸移動ステージ
３−４の原点位置からの移動距離を測定し、また、部品
の下端測定点Ｂの高さ、即ちＹ座標位置ｙ2 を撮影した
画像から算出する。
１に保持された光デバイスパッケージ又は光ファイバブ
ロック３−２の下端測定点ＢをＣＣＤカメラ３−３で撮
影し、同様にＣＣＤカメラ３−３を搭載したＺ軸移動ス
テージ３−４をＺ軸方向に移動させ、撮影画像のピント
が部品の下端測定点Ｂに合ったときのＺ軸移動ステージ
３−４の原点位置からの移動距離を測定し、また、部品
の下端測定点Ｂの高さ、即ちＹ座標位置ｙ2 を撮影した
画像から算出する。
【００４２】なお、図３及び図４において、ＣＣＤカメ
ラ３−３のレンズの焦点距離は固定とし、ＣＣＤカメラ
３−３をＺ軸方向に移動させて撮像対象に対して焦点を
合わせるものとしているため、焦点が合う撮像対象とＣ
ＣＤカメラとの距離Ｌは、図３に示す測定点Ａを測定し
た場合と図４に示す測定点Ｂを測定した場合のいずれの
場合でも等しい。なお、合焦距離は、ＣＣＤカメラのレ
ンズの焦点距離を可変とし、撮像対象にピントが合う焦
点距離から算出する構成とすることもできる。
ラ３−３のレンズの焦点距離は固定とし、ＣＣＤカメラ
３−３をＺ軸方向に移動させて撮像対象に対して焦点を
合わせるものとしているため、焦点が合う撮像対象とＣ
ＣＤカメラとの距離Ｌは、図３に示す測定点Ａを測定し
た場合と図４に示す測定点Ｂを測定した場合のいずれの
場合でも等しい。なお、合焦距離は、ＣＣＤカメラのレ
ンズの焦点距離を可変とし、撮像対象にピントが合う焦
点距離から算出する構成とすることもできる。
【００４３】光デバイスパッケージ又は光ファイバブロ
ック３−２の接合面の傾き（α軸を中心とする回転ず
れ）αs は、上記移動距離ｚ1 ，ｚ2 及びＹ座標位置ｙ
1 ，ｙ2 から、αs ＝tan ―1｛（ｚ1 −ｚ2 ）／（ｙ
1 −ｙ2 ）｝として算出される。この算出データを基
に、一方の部品を基準に他方の部品の接合面が平行とな
るようにα軸移動ステージを移動させ、傾斜を調整す
る。
ック３−２の接合面の傾き（α軸を中心とする回転ず
れ）αs は、上記移動距離ｚ1 ，ｚ2 及びＹ座標位置ｙ
1 ，ｙ2 から、αs ＝tan ―1｛（ｚ1 −ｚ2 ）／（ｙ
1 −ｙ2 ）｝として算出される。この算出データを基
に、一方の部品を基準に他方の部品の接合面が平行とな
るようにα軸移動ステージを移動させ、傾斜を調整す
る。
【００４４】同様に、部品接合面の左端測定点と右端測
定点のＸ座標位置ｘ1 ，ｘ2 とその合焦距離から算出さ
れるＺ座標位置ｚ1 ，ｚ2 とから、β軸を中心とする回
転ずれβs が、βs ＝tan ―1｛（ｚ1 −ｚ2 ）／（ｘ
1 −ｘ2 ）｝として算出され、この算出データを基に、
一方の部品を基準に他方の部品の接合面が平行となるよ
うにβ軸移動ステージを移動させ、傾斜を調整する。
定点のＸ座標位置ｘ1 ，ｘ2 とその合焦距離から算出さ
れるＺ座標位置ｚ1 ，ｚ2 とから、β軸を中心とする回
転ずれβs が、βs ＝tan ―1｛（ｚ1 −ｚ2 ）／（ｘ
1 −ｘ2 ）｝として算出され、この算出データを基に、
一方の部品を基準に他方の部品の接合面が平行となるよ
うにβ軸移動ステージを移動させ、傾斜を調整する。
【００４５】このような調整機構により、多芯光導波路
型デバイスであっても容易に光結合位置を算出して光軸
を合わせることができ、調芯時間の短縮化が図れると共
に、メカニカルステージの駆動のみにより面合わせと調
芯を行うことができるため、調整機構の簡略化を図るこ
とができる。
型デバイスであっても容易に光結合位置を算出して光軸
を合わせることができ、調芯時間の短縮化が図れると共
に、メカニカルステージの駆動のみにより面合わせと調
芯を行うことができるため、調整機構の簡略化を図るこ
とができる。
【００４６】図５及び図６は本発明の光軸調整手順のフ
ロー図であり、以下にそのフローを説明する。先ず、従
来と同様に光デバイスパッケージ及び光ファイバブロッ
クを光モジュール用試験機の各部品保持部に保持する。
また、光ファイバの光出力端を光パワーメータに接続
し、光デバイスパッケージのＬＤ駆動端子部を電源端子
に接続しておく（５−１）。
ロー図であり、以下にそのフローを説明する。先ず、従
来と同様に光デバイスパッケージ及び光ファイバブロッ
クを光モジュール用試験機の各部品保持部に保持する。
また、光ファイバの光出力端を光パワーメータに接続
し、光デバイスパッケージのＬＤ駆動端子部を電源端子
に接続しておく（５−１）。
【００４７】光軸調整は、先ず互いに対向したＣＣＤカ
メラを低倍率にして、光デバイスパッケージ及び光ファ
イバブロックの各接合面全体を撮像する（５−２）。撮
像した画像データより、各接合面の３隅の測定点と光導
波路又は光ファイバコア部のＸＹ座標値[ 光デバイスパ
ッケージの３隅の測定点：Ａ（ｘA ，ｙA ），Ｂ
（ｘB ，ｙB ），Ｃ（ｘC ，ｙC ）、光ファイバブロッ
クの３隅の測定点：ａ（ｘa ，ｙa ），ｂ（ｘb ，
ｙb ），ｃ（ｘc ，ｙc ）、光導波路部：Ｄ（ｘD ，ｙ
D ），Ｅ（ｘE ，ｙE ）、光ファイバコア部：ｄ
（ｘd ，ｙd ），ｅ（ｘe ，ｙe ）] （図７参照）を読
み取って測定する（５−３）。
メラを低倍率にして、光デバイスパッケージ及び光ファ
イバブロックの各接合面全体を撮像する（５−２）。撮
像した画像データより、各接合面の３隅の測定点と光導
波路又は光ファイバコア部のＸＹ座標値[ 光デバイスパ
ッケージの３隅の測定点：Ａ（ｘA ，ｙA ），Ｂ
（ｘB ，ｙB ），Ｃ（ｘC ，ｙC ）、光ファイバブロッ
クの３隅の測定点：ａ（ｘa ，ｙa ），ｂ（ｘb ，
ｙb ），ｃ（ｘc ，ｙc ）、光導波路部：Ｄ（ｘD ，ｙ
D ），Ｅ（ｘE ，ｙE ）、光ファイバコア部：ｄ
（ｘd ，ｙd ），ｅ（ｘe ，ｙe ）] （図７参照）を読
み取って測定する（５−３）。
【００４８】ここで、測定した座標値と部品仕様寸法と
の比較を行い、部品の良否判定を自動的に行う（５−
４）。部品不良と判定された場合は、その旨を表示し、
自動的に又は試験者により部品を交換する。
の比較を行い、部品の良否判定を自動的に行う（５−
４）。部品不良と判定された場合は、その旨を表示し、
自動的に又は試験者により部品を交換する。
【００４９】続いて、ＣＣＤカメラのズームレンズの倍
率を例えば５倍程度上げ（５−５）、接合面の３隅等の
任意の測定点が画像認識範囲内に入るようにＣＣＤカメ
ラを移動し、各測定点で焦点が合うＣＣＤカメラの移動
距離から各測定点のＺ軸座標値［光デバイスパッケージ
の３隅の測定点：Ａ（ｚA ），Ｂ（ｚB ），Ｃ
（ｚC ）、光ファイバブロックの３隅の測定点：ａ（ｚ
a ），ｂ（ｚb ），ｃ（ｚc ）］を、Ｚ軸移動ステージ
の移動量と画像鮮明度を示す画像認識データとを基に測
定する（５−６）。
率を例えば５倍程度上げ（５−５）、接合面の３隅等の
任意の測定点が画像認識範囲内に入るようにＣＣＤカメ
ラを移動し、各測定点で焦点が合うＣＣＤカメラの移動
距離から各測定点のＺ軸座標値［光デバイスパッケージ
の３隅の測定点：Ａ（ｚA ），Ｂ（ｚB ），Ｃ
（ｚC ）、光ファイバブロックの３隅の測定点：ａ（ｚ
a ），ｂ（ｚb ），ｃ（ｚc ）］を、Ｚ軸移動ステージ
の移動量と画像鮮明度を示す画像認識データとを基に測
定する（５−６）。
【００５０】この測定点座標値データを基に接合面の傾
斜角（αs ，βs ）を算出する（５−７）（図８参
照）。そして、傾斜角算出データ（αs ，βs ）を基
に、光ファイバブロックが光デバイスパッケージ面と平
行になるように、α軸及びβ軸移動ステージを用いて光
ファイバブロック保持部の傾きを補正する（５−８）。
斜角（αs ，βs ）を算出する（５−７）（図８参
照）。そして、傾斜角算出データ（αs ，βs ）を基
に、光ファイバブロックが光デバイスパッケージ面と平
行になるように、α軸及びβ軸移動ステージを用いて光
ファイバブロック保持部の傾きを補正する（５−８）。
【００５１】その後、再度光デバイスパッケージ及び光
ファイバブロックの接合面を撮像し、任意の３点の測定
点の位置座標と合焦距離とを測定し（５−９）、接合面
の傾斜を算出する（５−１０）。このとき、光ファイバ
ブロックの接合面の傾きと光デバイスパッケージの接合
面の傾きとが等しいか、即ち接合面が平行であるか否か
を判定し（６−１）、平行でない場合は再度傾斜補正を
行った後に接合面の傾きが等しくなったかどうかを判定
する。
ファイバブロックの接合面を撮像し、任意の３点の測定
点の位置座標と合焦距離とを測定し（５−９）、接合面
の傾斜を算出する（５−１０）。このとき、光ファイバ
ブロックの接合面の傾きと光デバイスパッケージの接合
面の傾きとが等しいか、即ち接合面が平行であるか否か
を判定し（６−１）、平行でない場合は再度傾斜補正を
行った後に接合面の傾きが等しくなったかどうかを判定
する。
【００５２】次に、光導波路部及び光ファイバコア部の
ＸＹ平面座標値を高倍率レンズにより測定し（６−
２）、それぞれの接合面の回転角を算出する（６−
３）。この回転角を基に光ファイバコア部と光導波部と
の接合面の回転角が同じになるように光ファイバブロッ
ク保持部のθ軸移動ステージを回転させる（６−４）。
ＸＹ平面座標値を高倍率レンズにより測定し（６−
２）、それぞれの接合面の回転角を算出する（６−
３）。この回転角を基に光ファイバコア部と光導波部と
の接合面の回転角が同じになるように光ファイバブロッ
ク保持部のθ軸移動ステージを回転させる（６−４）。
【００５３】接合面の回転角補正後、光導波路部及び光
ファイバコア部を撮像して画像認識し（６−５）、その
平面座標値と回転角を算出し（６−６）、光導波路部と
光ファイバコア部の回転角が等しいかどうかを判定し
（６−７）、等しくない場合は再び光ファイバブロック
保持部θ軸移動ステージを回転させ、光導波路部と光フ
ァイバコア部の回転角が等しくなるように調整する。
ファイバコア部を撮像して画像認識し（６−５）、その
平面座標値と回転角を算出し（６−６）、光導波路部と
光ファイバコア部の回転角が等しいかどうかを判定し
（６−７）、等しくない場合は再び光ファイバブロック
保持部θ軸移動ステージを回転させ、光導波路部と光フ
ァイバコア部の回転角が等しくなるように調整する。
【００５４】光導波路部と光ファイバコア部の結合位置
の一致を確認した後、図９に示すように光ファイバブロ
ック保持部をＸ軸移動ステージにより光デバイスパッケ
ージ保持部と対向する位置に移動する（６−８）。この
ときの移動量は先に述べた部品保持部とＣＣＤカメラの
間隔分である。
の一致を確認した後、図９に示すように光ファイバブロ
ック保持部をＸ軸移動ステージにより光デバイスパッケ
ージ保持部と対向する位置に移動する（６−８）。この
ときの移動量は先に述べた部品保持部とＣＣＤカメラの
間隔分である。
【００５５】次に、光導波路部及び光ファイバコア部の
平面座標値より算出した光結合位置データより光デバイ
スパッケージ保持部のＸ軸移動ステージ及びＹ軸移動ス
テージを移動させ、光結合がとれる位置に位置補正する
（６−９）。
平面座標値より算出した光結合位置データより光デバイ
スパッケージ保持部のＸ軸移動ステージ及びＹ軸移動ス
テージを移動させ、光結合がとれる位置に位置補正する
（６−９）。
【００５６】そして、光デバイスパッケージ保持部のＺ
軸移動ステージにより光ファイバブロックとの間隔が約
５μｍとなるように光デバイスパッケージ保持部を移動
させる（６−１０）。
軸移動ステージにより光ファイバブロックとの間隔が約
５μｍとなるように光デバイスパッケージ保持部を移動
させる（６−１０）。
【００５７】最後に、光デバイスパッケージのＬＤにＬ
Ｄ駆動電源１６−８から給電し、光ファイバから出力さ
れる受光量を光パワーメータ１６−９により測定し、光
ファイバ端の受光量が最大となるように微調芯を行う
（６−１１）。
Ｄ駆動電源１６−８から給電し、光ファイバから出力さ
れる受光量を光パワーメータ１６−９により測定し、光
ファイバ端の受光量が最大となるように微調芯を行う
（６−１１）。
【００５８】以上の手順により調芯が完了した後、光デ
バイスパッケージと光ファイバブロックとの間隔が約１
μｍとなるまで光デバイスパッケージ保持部をＺ軸移動
ステージの移動により近づけ、特性確認の試験を行い
（６−１２）、調整試験完了後に部品を取り外す（６−
１３）。
バイスパッケージと光ファイバブロックとの間隔が約１
μｍとなるまで光デバイスパッケージ保持部をＺ軸移動
ステージの移動により近づけ、特性確認の試験を行い
（６−１２）、調整試験完了後に部品を取り外す（６−
１３）。
【００５９】図１０及び図１１は本発明の光モジュール
用試験機の第２の実施形態を示す図である。この実施形
態は、接合する２つの部品１５−２，１５−４の接合面
とプリズム１０−１とを同軸の一直線上に配置し、２つ
の部品の接合面を交互にプリズムを介してズームレンズ
付ＣＣＤカメラ１０−２で撮像する構成とし、一台のズ
ームレンズ付ＣＣＤカメラ１０−２により画像処理して
光軸調整をするようにしたものである。
用試験機の第２の実施形態を示す図である。この実施形
態は、接合する２つの部品１５−２，１５−４の接合面
とプリズム１０−１とを同軸の一直線上に配置し、２つ
の部品の接合面を交互にプリズムを介してズームレンズ
付ＣＣＤカメラ１０−２で撮像する構成とし、一台のズ
ームレンズ付ＣＣＤカメラ１０−２により画像処理して
光軸調整をするようにしたものである。
【００６０】この実施例では、部品の接合面とプリズム
１０−１と間の距離を約１５ｍｍとし、プリズムとズー
ムレンズ付ＣＣＤカメラ１０−２と間の距離を約２０ｍ
ｍとした。ここで、プリズム１０−１は、直交する２面
で反射する直角プリズムを用い、直角度９０度±１分以
内、面精度０．１５μｍ、直交２面外形寸法１５ｍｍ程
度のものを使用することができる。また、プリズムに代
えて、反射鏡を用いることもできる。
１０−１と間の距離を約１５ｍｍとし、プリズムとズー
ムレンズ付ＣＣＤカメラ１０−２と間の距離を約２０ｍ
ｍとした。ここで、プリズム１０−１は、直交する２面
で反射する直角プリズムを用い、直角度９０度±１分以
内、面精度０．１５μｍ、直交２面外形寸法１５ｍｍ程
度のものを使用することができる。また、プリズムに代
えて、反射鏡を用いることもできる。
【００６１】また、ズームレンズ付ＣＣＤカメラ部１０
−２は二つの部品を接合したときに退避できるよう、Ｘ
軸移動ステージ１０−３上に配置し、更にズームレンズ
付ＣＣＤカメラ１０−２は位置調整のためＺ軸移動ステ
ージ１０−５上に取り付ける。
−２は二つの部品を接合したときに退避できるよう、Ｘ
軸移動ステージ１０−３上に配置し、更にズームレンズ
付ＣＣＤカメラ１０−２は位置調整のためＺ軸移動ステ
ージ１０−５上に取り付ける。
【００６２】光軸調整の手順は以下の通りである。先
ず、光ファイバブロック１５−４と光デバイスパッケー
ジ１５−２をそれぞれの保持部に取り付ける。次に接合
部品のどちらか一方（例えば、光ファイバブロック）を
撮像し、接合面の３隅と光結合位置（光ファイバコア
部）を前述の第１の実施形態と同様に画像認識して３次
元位置データを算出する。
ず、光ファイバブロック１５−４と光デバイスパッケー
ジ１５−２をそれぞれの保持部に取り付ける。次に接合
部品のどちらか一方（例えば、光ファイバブロック）を
撮像し、接合面の３隅と光結合位置（光ファイバコア
部）を前述の第１の実施形態と同様に画像認識して３次
元位置データを算出する。
【００６３】次にもう一方の接合面（光デバイスパッケ
ージ）を撮像できる位置にズームレンズ付ＣＣＤカメラ
１０−２をＺ軸移動ステージ１０−５により移動し、同
様に接合面の３隅と光結合位置（光導波路）の３次元位
置データを算出する。
ージ）を撮像できる位置にズームレンズ付ＣＣＤカメラ
１０−２をＺ軸移動ステージ１０−５により移動し、同
様に接合面の３隅と光結合位置（光導波路）の３次元位
置データを算出する。
【００６４】この位置データを基にそれぞれの接合面を
平行にするため、接合部品の移動ステージ（光ファイバ
ブロック側：α・β・θ軸移動ステージ、光デバイスパ
ッケージ側：Ｘ・Ｙ・Ｚ軸移動ステージ）により位置補
正を行う。
平行にするため、接合部品の移動ステージ（光ファイバ
ブロック側：α・β・θ軸移動ステージ、光デバイスパ
ッケージ側：Ｘ・Ｙ・Ｚ軸移動ステージ）により位置補
正を行う。
【００６５】位置補正後に再度接合部品位置を確認し
て、接合面の傾斜が平行となるまで上記動作を繰り返
し、接合位置をより精密に合わせ込んでいく。そして、
接合面の傾斜が平行となったところで光結合位置データ
を再度確認する。
て、接合面の傾斜が平行となるまで上記動作を繰り返
し、接合位置をより精密に合わせ込んでいく。そして、
接合面の傾斜が平行となったところで光結合位置データ
を再度確認する。
【００６６】光結合位置確認後、ズームレンズ付ＣＣＤ
カメラ部１０−２を部品接合エリアの外に退避させるよ
うにＸ軸移動ステージ１０−３により移動し、その後、
算出データを基に、光ファイバブロック１５−４と光デ
バイスパッケージ１５−２の接合面間の距離が約５μｍ
となるように、光ファイバブロック保持部を光デバイス
パッケージ保持部に近づけると共に、光導波路部と光フ
ァイバコア部との回転ずれを調整し、光結合位置を補正
する（図１１参照）。
カメラ部１０−２を部品接合エリアの外に退避させるよ
うにＸ軸移動ステージ１０−３により移動し、その後、
算出データを基に、光ファイバブロック１５−４と光デ
バイスパッケージ１５−２の接合面間の距離が約５μｍ
となるように、光ファイバブロック保持部を光デバイス
パッケージ保持部に近づけると共に、光導波路部と光フ
ァイバコア部との回転ずれを調整し、光結合位置を補正
する（図１１参照）。
【００６７】最後に、光デバイスパッケージのＬＤを駆
動し、光ファイバ端からの受光量が最大となるように微
調芯を行う。以上の手順により調芯を完了した後、光デ
バイスパッケージと光ファイバの接合面間の距離を約１
μｍに近づけて、特性確認を行い、特性試験を完了す
る。
動し、光ファイバ端からの受光量が最大となるように微
調芯を行う。以上の手順により調芯を完了した後、光デ
バイスパッケージと光ファイバの接合面間の距離を約１
μｍに近づけて、特性確認を行い、特性試験を完了す
る。
【００６８】図１２乃至図１４は本発明による光導波路
型光デバイスの挿入損失光軸調整試験機の説明図であ
る。この光軸調整試験機は、光導波路基板１２−１の保
持部とズームレンズ付ＣＣＤカメラ１２−２1 とを同一
の移動ステージ１２−３上に配置した機構部と、光ファ
イバブロック保持部１２−４とズームレンズ付ＣＣＤカ
メラ１２−２2 とを同一移動ステージ１２−５上に配置
した機構部と、レンズ１２−６を介した受光器１２−７
と可視光光源１２−８とを同一移動ステージ上に配置し
た機構部の三つの機構部から構成される。
型光デバイスの挿入損失光軸調整試験機の説明図であ
る。この光軸調整試験機は、光導波路基板１２−１の保
持部とズームレンズ付ＣＣＤカメラ１２−２1 とを同一
の移動ステージ１２−３上に配置した機構部と、光ファ
イバブロック保持部１２−４とズームレンズ付ＣＣＤカ
メラ１２−２2 とを同一移動ステージ１２−５上に配置
した機構部と、レンズ１２−６を介した受光器１２−７
と可視光光源１２−８とを同一移動ステージ上に配置し
た機構部の三つの機構部から構成される。
【００６９】ここで、可視光光源１２−８は光導波路基
板１２−１の光導波路位置を測定するときに使用し、受
光器１２−７は位置補正できるよう、ＸＹ軸移動ステー
ジ１２−９上に配置する。また、光ファイバブロック保
持部は６軸（ＸＹＺ−αβ−θ）ステージ１２−１０上
に配置している。
板１２−１の光導波路位置を測定するときに使用し、受
光器１２−７は位置補正できるよう、ＸＹ軸移動ステー
ジ１２−９上に配置する。また、光ファイバブロック保
持部は６軸（ＸＹＺ−αβ−θ）ステージ１２−１０上
に配置している。
【００７０】光軸調整の手順は以下の通りである。先
ず、図１３に示すように、光ファイバブロック１２−１
１からレンズ１２−６を通して直接受光器１２−７に光
を入射する位置に受光器１２−７のステージ１２−９を
移動して受光量の測定を行い、リファレンスデータを測
定する。
ず、図１３に示すように、光ファイバブロック１２−１
１からレンズ１２−６を通して直接受光器１２−７に光
を入射する位置に受光器１２−７のステージ１２−９を
移動して受光量の測定を行い、リファレンスデータを測
定する。
【００７１】次に、光導波路基板１２−１を試験機の保
持部１２−１２に取付け、図１２に示す位置に、移動ス
テージを移動させ、可視光光源１２−８を光導波路基板
１２−１に入射してＣＣＤカメラ１２−２2 にて基板接
合面を撮像する。これは、可視光を入射すると光導波路
位置を明瞭に撮像できるためである。
持部１２−１２に取付け、図１２に示す位置に、移動ス
テージを移動させ、可視光光源１２−８を光導波路基板
１２−１に入射してＣＣＤカメラ１２−２2 にて基板接
合面を撮像する。これは、可視光を入射すると光導波路
位置を明瞭に撮像できるためである。
【００７２】また、並行して光ファイバブロック接合面
をＣＣＤカメラ１２−２1 で撮像し、前述の第１の実施
形態と同様の処理を行い、接合面の傾きと光結合位置を
算出する。この算出データを基に光ファイバブロック保
持部の６軸移動ステージ１２−１０を移動して接合面の
傾きと光結合位置を合わせ込む。
をＣＣＤカメラ１２−２1 で撮像し、前述の第１の実施
形態と同様の処理を行い、接合面の傾きと光結合位置を
算出する。この算出データを基に光ファイバブロック保
持部の６軸移動ステージ１２−１０を移動して接合面の
傾きと光結合位置を合わせ込む。
【００７３】次に図１４に示すように、光導波路基板保
持部１２−１２を光ファイバブロック１２−１１と対向
する位置に移動させ、更に光ファイバブロック１２−１
１をＺ軸移動ステージにて光導波路基板１２−１との間
隔が約１μｍとなるように移動させる。
持部１２−１２を光ファイバブロック１２−１１と対向
する位置に移動させ、更に光ファイバブロック１２−１
１をＺ軸移動ステージにて光導波路基板１２−１との間
隔が約１μｍとなるように移動させる。
【００７４】最後に、光ファイバ端から光を入射した状
態で受光器１２−７のＸＹ軸移動ステージ１２−９を調
芯して受光量が最大となる位置に合わせ込み、挿入損失
を測定する。
態で受光器１２−７のＸＹ軸移動ステージ１２−９を調
芯して受光量が最大となる位置に合わせ込み、挿入損失
を測定する。
【００７５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光モジュール部品の接合面をＣＣＤカメラで撮像し互い
の接合面の傾き及び回転、光結合位置を画像データから
算出し、該算出データを基にそれらの部品を搭載した移
動ステージを駆動して面合わせ及び光結合位置を合わせ
ることにより、部品形状や部品取付のばらつきによる影
響が少なく、安定した面合わせを行うことができる。
光モジュール部品の接合面をＣＣＤカメラで撮像し互い
の接合面の傾き及び回転、光結合位置を画像データから
算出し、該算出データを基にそれらの部品を搭載した移
動ステージを駆動して面合わせ及び光結合位置を合わせ
ることにより、部品形状や部品取付のばらつきによる影
響が少なく、安定した面合わせを行うことができる。
【００７６】また、移動ステージは並行移動、傾斜移
動、回転移動を各軸独立に移動する機構とすることによ
り、面合わせ及び光結合位置合わせの機構を簡略化する
ことができ、多芯光導波路型デバイスであっても容易に
調芯が可能となり、調芯時間の短縮化を図ることができ
る。
動、回転移動を各軸独立に移動する機構とすることによ
り、面合わせ及び光結合位置合わせの機構を簡略化する
ことができ、多芯光導波路型デバイスであっても容易に
調芯が可能となり、調芯時間の短縮化を図ることができ
る。
【図１】本発明の光モジュール用試験機の第１の実施形
態を示す図である。
態を示す図である。
【図２】本発明のＣＣＤカメラによって撮像した部品接
合面の光結合位置の算出の説明図である。
合面の光結合位置の算出の説明図である。
【図３】本発明のＣＣＤカメラによって撮像した部品接
合面の傾き算出の説明図である。
合面の傾き算出の説明図である。
【図４】本発明のＣＣＤカメラによって撮像した部品接
合面の傾き算出の説明図である。
合面の傾き算出の説明図である。
【図５】本発明の光軸調整手順のフロー図である。
【図６】本発明の光軸調整手順のフロー図である。
【図７】本発明の接合面の画像処理測定位置を示す図で
ある。
ある。
【図８】本発明の接合面の傾き算出の説明図である。
【図９】本発明により光軸調整した光ファイバブロック
及び光デバイスパッケージを接合させた状態を示す図で
ある。
及び光デバイスパッケージを接合させた状態を示す図で
ある。
【図１０】本発明の光モジュール用試験機の第２の実施
形態を示す図である。
形態を示す図である。
【図１１】本発明の光モジュール用試験機の第２の実施
形態を示す図である。
形態を示す図である。
【図１２】本発明による光導波路型光デバイスの挿入損
失光軸調整試験機の説明図である。
失光軸調整試験機の説明図である。
【図１３】本発明による光導波路型光デバイスの挿入損
失光軸調整試験機の説明図である。
失光軸調整試験機の説明図である。
【図１４】本発明による光導波路型光デバイスの挿入損
失光軸調整試験機の説明図である。
失光軸調整試験機の説明図である。
【図１５】光デバイスと光ファイバとを接合した光モジ
ュールの外観を示す図である。
ュールの外観を示す図である。
【図１６】従来の光軸調整機構を示す図である。
１−１ 光デバイスパッケージ保持部 １−２ 光ファイバブロック保持部 １−３1 ，１−３2 ズームレンズ付ＣＣＤカメラ １−４1 ，１−４2 Ｘ軸移動ステージ １−５ Ｙ軸移動ステージ １−６ Ｚ軸移動ステージ １−７ α軸及びβ軸移動ステージ １−８ θ軸移動ステージ １−９ 画像処理部 １−１０ 演算処理部 １−１１ ステージ駆動部 １５−２ 光デバイスパッケージ １５−４ 光ファイバブロック １６−８ ＬＤ駆動電源 １６−９ 光パワーメータ １６−１０ データ処理部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA04 AA16 AA37 CC25 DD06 FF02 FF04 FF61 JJ03 JJ05 JJ09 JJ26 KK01 MM01 MM06 PP02 PP12 PP13 RR01 TT02 UU04 2G086 EE03 2H037 AA01 BA24 DA02 DA04 DA18 DA22 2H043 AA04 AD04 AE23
Claims (6)
- 【請求項１】 対向する接合面で光結合される二つの光
モジュール部品をそれぞれ保持する部品保持部と、該部
品保持部により保持された二つの光モジュール部品の接
合面を撮像するＣＣＤカメラと、前記部品保持部を搭載
し、対向する接合面との相対的な位置ずれ、回転ずれ及
び傾斜を補正する移動可能な移動ステージとを備え、 前記部品保持部を搭載する移動ステージは、対向する部
品の接合面に対して相対的に左右、上下及び前後方向に
平行に移動する移動機構と、対向する部品の接合面に対
して相対的に左右、上下及び前後方向の軸と平行な軸を
中心として傾斜または回転する移動機構を少なくとも有
し、 前記ＣＣＤカメラで撮像したそれぞれの部品の接合面の
測定点の画像データと撮像対象に焦点が合う合焦距離と
を基に、該接合面の３次元位置データを算出し、該３次
元位置データを基に、対向する接合面の傾き及び光結合
位置を算出する手段と、 該算出データを基に部品保持部を搭載する移動ステージ
を駆動し、対向する接合面に傾き及び光結合位置を合致
させて二つの光モジュール部品を接合する手段と、 を備えたことを特徴とする光モジュール用試験機。 - 【請求項２】 前記部品保持部により保持された二つの
光モジュール部品の接合面が対向する位置の間に配置さ
れ、移動ステージ上に搭載されたプリズム又は反射鏡
と、 該プリズム又は反射鏡を介し、前記二つの部品の接合面
を交互に撮像する１台のＣＣＤカメラとを備え、 該ＣＣＤカメラでそれぞれの部品の接合面の測定点を撮
像した後に、前記移動ステージ上に搭載したプリズム又
は反射鏡を、二つの部品の接合面が対向する位置から移
動させて退避させる手段と、 該ＣＣＤカメラで撮像した画像データと撮像対象に焦点
が合う合焦距離とを基にした二つの部品の接合面の傾き
及び光結合位置に応じて、部品保持部に設けた移動ステ
ージを駆動し、対向する接合面に傾き及び光結合位置を
合致させて二つの光モジュール部品を接合する手段と、 を備えたことを特徴とする請求項１に記載の光モジュー
ル用試験機。 - 【請求項３】 外部から光入射が可能な光導波路付基板
又は該基板を実装した光デバイスパッケージの光モジュ
ール部品の接合面撮像時に、該光モジュール部品の光導
波路部に外部から可視光を入射する手段を備え、 光導波路部に外部から可視光を入射した状態で光結合位
置を画像認識することを特徴とする請求項１又は２に記
載の光モジュール用試験機。 - 【請求項４】 光半導体素子を実装した光導波路付基板
又は該基板を実装した光デバイスパッケージの光モジュ
ール部品の接合面撮像時に、該光半導体素子を発光させ
る手段を備え、 該光半導体を発光させた状態で赤外線ＣＣＤカメラで光
結合位置を画像認識することを特徴とする請求項１又は
２に記載の光モジュール用試験機。 - 【請求項５】 前記ＣＣＤカメラはズームレンズ又は倍
率の異なる２種以上のレンズを有し、低倍率のレンズで
撮像した画像データから接合面の平面座標位置を測定
し、高倍率のレンズで撮像した画像により接合面との合
焦距離及び光結合位置を測定し、それの測定値を基に接
合面の傾き及び光結合位置を算出する手段を備えたこと
を特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の光モジ
ュール用試験機。 - 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかに記載の光モ
ジュール用試験機において、対向する部品接合面の傾き
を補正する際に、光結合位置がずれた場合、傾き補正前
の光結合位置と傾き補正後の光結合位置とのずれの量か
ら、対向する部品接合面との回転ずれの中心位置を算出
し、該算出データを基に光結合位置を補正しながら対向
する接合面の傾きを補正することを特徴とする光モジュ
ール用試験機における光軸調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29049699A JP3837689B2 (ja) | 1999-10-13 | 1999-10-13 | 光モジュール用試験機、調整装置及び調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29049699A JP3837689B2 (ja) | 1999-10-13 | 1999-10-13 | 光モジュール用試験機、調整装置及び調整方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001108863A true JP2001108863A (ja) | 2001-04-20 |
| JP2001108863A5 JP2001108863A5 (ja) | 2005-10-27 |
| JP3837689B2 JP3837689B2 (ja) | 2006-10-25 |
Family
ID=17756785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29049699A Expired - Lifetime JP3837689B2 (ja) | 1999-10-13 | 1999-10-13 | 光モジュール用試験機、調整装置及び調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3837689B2 (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006267236A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | レーザー装置およびその組立方法 |
| JP2006323347A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-30 | Fujikura Ltd | 光部品の調心装置、光部品の製造方法 |
| JP2007171281A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Yokogawa Electric Corp | 調芯装置 |
| CN100491910C (zh) * | 2002-07-29 | 2009-05-27 | 株式会社茉莉特斯 | 套管偏心量测定装置 |
| JP2011085402A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
| CN102866471A (zh) * | 2012-09-29 | 2013-01-09 | 武汉光迅科技股份有限公司 | 波导芯片和pd阵列耦合的对准装置及利用其对准的方法 |
| CN103363927A (zh) * | 2013-08-02 | 2013-10-23 | 中国人民解放军总装备部军械技术研究所 | 平台光电装备的任意轴距多光轴一致性检测装置及方法 |
| US8650939B2 (en) | 2009-10-13 | 2014-02-18 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring machine and a surface texture measuring method |
| JP2014505997A (ja) * | 2010-12-02 | 2014-03-06 | コーニング インコーポレイテッド | レーザを特徴付けるシステム及びプロセス |
| CN104280578A (zh) * | 2013-07-11 | 2015-01-14 | 爱德万测试株式会社 | 器件接口装置、测试装置及测试方法 |
| WO2016051836A1 (ja) * | 2014-10-02 | 2016-04-07 | 三菱電機株式会社 | 光部品、光モジュールおよび光部品の製造方法 |
| US9470853B2 (en) | 2014-02-28 | 2016-10-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Optical transmission module and method of manufacturing optical transmission module |
| JP2019203926A (ja) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | Tdk株式会社 | 接続装置 |
| CN110873637A (zh) * | 2020-01-19 | 2020-03-10 | 江西迅特通信技术有限公司 | 一种光模块测试设备及方法 |
| CN114397090A (zh) * | 2021-11-15 | 2022-04-26 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种连续变焦相机光轴平行性快速测量方法 |
| WO2023079798A1 (ja) * | 2021-11-04 | 2023-05-11 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 位置決め装置、実装装置、位置決め方法および電子部品の製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100552378C (zh) * | 2007-12-20 | 2009-10-21 | 哈尔滨工业大学 | 基于角棱镜的激光发射轴与机械基准面同轴度测量方法 |
-
1999
- 1999-10-13 JP JP29049699A patent/JP3837689B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100491910C (zh) * | 2002-07-29 | 2009-05-27 | 株式会社茉莉特斯 | 套管偏心量测定装置 |
| JP4515298B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2010-07-28 | 富士フイルム株式会社 | レーザー装置の組立方法 |
| JP2006267236A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | レーザー装置およびその組立方法 |
| JP4713346B2 (ja) * | 2005-04-19 | 2011-06-29 | 株式会社フジクラ | 光部品の調心装置、光部品の製造方法 |
| JP2006323347A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-30 | Fujikura Ltd | 光部品の調心装置、光部品の製造方法 |
| JP2007171281A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Yokogawa Electric Corp | 調芯装置 |
| JP4655225B2 (ja) * | 2005-12-19 | 2011-03-23 | 横河電機株式会社 | 調芯装置 |
| US8650939B2 (en) | 2009-10-13 | 2014-02-18 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring machine and a surface texture measuring method |
| JP2011085402A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
| JP2014505997A (ja) * | 2010-12-02 | 2014-03-06 | コーニング インコーポレイテッド | レーザを特徴付けるシステム及びプロセス |
| CN102866471A (zh) * | 2012-09-29 | 2013-01-09 | 武汉光迅科技股份有限公司 | 波导芯片和pd阵列耦合的对准装置及利用其对准的方法 |
| US9246579B2 (en) | 2013-07-11 | 2016-01-26 | Advantest Corporation | Device interface apparatus, test apparatus, and test method |
| CN104280578A (zh) * | 2013-07-11 | 2015-01-14 | 爱德万测试株式会社 | 器件接口装置、测试装置及测试方法 |
| JP2015017892A (ja) * | 2013-07-11 | 2015-01-29 | 株式会社アドバンテスト | デバイスインターフェイス装置、試験装置、および試験方法 |
| CN103363927A (zh) * | 2013-08-02 | 2013-10-23 | 中国人民解放军总装备部军械技术研究所 | 平台光电装备的任意轴距多光轴一致性检测装置及方法 |
| US9470853B2 (en) | 2014-02-28 | 2016-10-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Optical transmission module and method of manufacturing optical transmission module |
| WO2016051836A1 (ja) * | 2014-10-02 | 2016-04-07 | 三菱電機株式会社 | 光部品、光モジュールおよび光部品の製造方法 |
| JPWO2016051836A1 (ja) * | 2014-10-02 | 2017-04-27 | 三菱電機株式会社 | 光部品、光モジュールおよび光部品の製造方法 |
| JP2019203926A (ja) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | Tdk株式会社 | 接続装置 |
| CN110873637A (zh) * | 2020-01-19 | 2020-03-10 | 江西迅特通信技术有限公司 | 一种光模块测试设备及方法 |
| WO2023079798A1 (ja) * | 2021-11-04 | 2023-05-11 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 位置決め装置、実装装置、位置決め方法および電子部品の製造方法 |
| CN114397090A (zh) * | 2021-11-15 | 2022-04-26 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种连续变焦相机光轴平行性快速测量方法 |
| CN114397090B (zh) * | 2021-11-15 | 2023-05-02 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种连续变焦相机光轴平行性快速测量方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3837689B2 (ja) | 2006-10-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3837689B2 (ja) | 光モジュール用試験機、調整装置及び調整方法 | |
| KR102467134B1 (ko) | 렌즈 모듈에 대한 이미지 센서 정렬 | |
| JP3500850B2 (ja) | リボン型光ファイバの突き合せ部を観察する方法及び観察装置 | |
| CN109877007B (zh) | 一种点胶针头的校准装置及校准方法 | |
| EP1395106A2 (en) | Parts mounting method and parts mounting apparatus | |
| JP2001108863A5 (ja) | 光モジュール用試験機、調整装置及び調整方法 | |
| JP5998707B2 (ja) | 光部品の光軸調整方法及び光軸調整装置 | |
| WO2020173223A1 (zh) | 光学镜头、摄像模组及相应的组装方法 | |
| KR102701354B1 (ko) | 다수의 렌즈 요소를 정렬하기 위한 시스템 및 방법 | |
| JP4514316B2 (ja) | 半導体レーザモジュールの製造方法 | |
| US11283978B1 (en) | Aligning lens elements in a lens module relative to an image sensor | |
| KR20160129652A (ko) | 카메라 모듈 조립장치 및 조립방법 | |
| JP2011151551A (ja) | カメラモジュールの製造方法及び装置 | |
| JP6264797B2 (ja) | 光伝送路の位置合わせ方法、位置合わせ装置、及び位置合わせプログラム | |
| JP3613209B2 (ja) | 光コネクタ測定装置及びその測定方法 | |
| CN115712201B (zh) | 一种无源耦合系统及耦合方法 | |
| CN114942506B (zh) | 基于准直仪的用于潜望式摄像模组的组装系统的校正方法 | |
| JP2023080540A (ja) | 光通信モジュールの製造方法および光通信モジュール製造装置 | |
| JP2529526Y2 (ja) | 光部品用調芯装置 | |
| WO2015015920A1 (ja) | 撮像モジュールの製造方法及び撮像モジュールの製造装置 | |
| JP2004128224A (ja) | 電子部品位置合わせ方法及びその装置 | |
| JP2003315590A (ja) | 光デバイス部品結合装置および光デバイス部品結合方法 | |
| JP6444029B2 (ja) | 検出装置およびそれを備えた撮像装置 | |
| CN116095300A (zh) | 一种光轴对准方法及摄像模组 | |
| JP3366728B2 (ja) | 光ファイバの観察装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050728 |
|
| A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20050728 |
|
| A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20050906 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051004 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051130 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060124 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060323 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060425 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060518 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060620 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060720 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3837689 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090811 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100811 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100811 Year of fee payment: 4 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100811 Year of fee payment: 4 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110811 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120811 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130811 Year of fee payment: 7 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |