JP3045991B2 - 光部品の光軸調整方法 - Google Patents
光部品の光軸調整方法Info
- Publication number
- JP3045991B2 JP3045991B2 JP10002309A JP230998A JP3045991B2 JP 3045991 B2 JP3045991 B2 JP 3045991B2 JP 10002309 A JP10002309 A JP 10002309A JP 230998 A JP230998 A JP 230998A JP 3045991 B2 JP3045991 B2 JP 3045991B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- light
- fiber array
- optical axis
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光部品と光部品と
の光軸を一致させて接続する必要がある場合に用いられ
る光部品の光軸調整方法に関するものである。
の光軸を一致させて接続する必要がある場合に用いられ
る光部品の光軸調整方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光部品と光部品とを接続する場合、両者
の光軸を一致させる必要がある。例えば、接続すべき光
部品が光ファイバアレイと光導波路チップである場合、
光ファイバアレイの端面における光ファイバからの出射
光の光軸と、光導波路チップの端面における光導波部か
らの出射光の光軸とを一致させて両者を接続する必要が
ある。従来、このような光部品の光軸調整方法として、
スパイラルサーチ法、外形観察法等の方法が知られてい
る。
の光軸を一致させる必要がある。例えば、接続すべき光
部品が光ファイバアレイと光導波路チップである場合、
光ファイバアレイの端面における光ファイバからの出射
光の光軸と、光導波路チップの端面における光導波部か
らの出射光の光軸とを一致させて両者を接続する必要が
ある。従来、このような光部品の光軸調整方法として、
スパイラルサーチ法、外形観察法等の方法が知られてい
る。
【０００３】図４は従来から光軸調整方法の一例として
知られているスパイラルサーチ法を説明するための図で
ある。図４に示す例において、５１は光ファイバ５２を
保持する光ファイバアレイ、５３は光導波部５４を有す
る光導波路チップ、５５は光ファイバ５２に光を入射さ
せるためのレーザダイオード、５６は光導波部５４から
出射する出射光を観察するためのフォトダイオードであ
る。図４に示す例において、レーザダイオード５５から
入射し、光ファイバ５２、光導波部５４を介して出射す
る光を、フォトダイオード５６で常に観察する。この状
態で、光ファイバアレイ５１または光導波路チップ５３
のいずれかをそれを保持するステージを光軸と垂直の面
内で一定のステップ幅例えば２μｍのステップ幅で任意
の位置からスパイラル状に移動させ、フォトダイオード
５６で観察した出射光の強度が所定のしきい値以上の大
きさとなる点で、両者の光軸が一致したものとして光部
品の光軸調整を行っていた。
知られているスパイラルサーチ法を説明するための図で
ある。図４に示す例において、５１は光ファイバ５２を
保持する光ファイバアレイ、５３は光導波部５４を有す
る光導波路チップ、５５は光ファイバ５２に光を入射さ
せるためのレーザダイオード、５６は光導波部５４から
出射する出射光を観察するためのフォトダイオードであ
る。図４に示す例において、レーザダイオード５５から
入射し、光ファイバ５２、光導波部５４を介して出射す
る光を、フォトダイオード５６で常に観察する。この状
態で、光ファイバアレイ５１または光導波路チップ５３
のいずれかをそれを保持するステージを光軸と垂直の面
内で一定のステップ幅例えば２μｍのステップ幅で任意
の位置からスパイラル状に移動させ、フォトダイオード
５６で観察した出射光の強度が所定のしきい値以上の大
きさとなる点で、両者の光軸が一致したものとして光部
品の光軸調整を行っていた。
【０００４】図５は従来から光軸調整方法の一例として
知られている外形観察法を説明するための図である。図
５に示す例において、図４に示す例と同一の部材には同
一の符号を付し、その説明を省略する。図５に示す例で
は、光ファイバアレイ５１と光導波路チップ５３とを側
面からＣＣＤカメラなどの撮像装置５７で観察し、観察
した画像に基づき、光ファイバアレイ５１と光導波路チ
ップ５３の外形を画像処理して求め、あるいは、透明な
光ファイバアレイ５１内の光ファイバ５２と光導波路チ
ップ５３上の光導波部５４との位置を画像処理して求
め、いずれかの方法で求めた両者の位置に応じて光ファ
イバアレイ５１または光導波路チップ５３を移動させ
て、両者の光軸が一致するよう光部品の光軸調整を行っ
ている。
知られている外形観察法を説明するための図である。図
５に示す例において、図４に示す例と同一の部材には同
一の符号を付し、その説明を省略する。図５に示す例で
は、光ファイバアレイ５１と光導波路チップ５３とを側
面からＣＣＤカメラなどの撮像装置５７で観察し、観察
した画像に基づき、光ファイバアレイ５１と光導波路チ
ップ５３の外形を画像処理して求め、あるいは、透明な
光ファイバアレイ５１内の光ファイバ５２と光導波路チ
ップ５３上の光導波部５４との位置を画像処理して求
め、いずれかの方法で求めた両者の位置に応じて光ファ
イバアレイ５１または光導波路チップ５３を移動させ
て、両者の光軸が一致するよう光部品の光軸調整を行っ
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示したスパイラルサーチ法では、スパイラルサーチを開
始する任意の点で光ファイバ５２と光導波部５４とのズ
レ量が大きいと、膨大な回数のスパイラルサーチが必要
となり処理に要する時間が指数関数的に大きくなる問題
があった。例えば、ステップ幅５μｍで±５０μｍの範
囲を走査して処理するためには、４００回の移動・測定
が必要であった。
示したスパイラルサーチ法では、スパイラルサーチを開
始する任意の点で光ファイバ５２と光導波部５４とのズ
レ量が大きいと、膨大な回数のスパイラルサーチが必要
となり処理に要する時間が指数関数的に大きくなる問題
があった。例えば、ステップ幅５μｍで±５０μｍの範
囲を走査して処理するためには、４００回の移動・測定
が必要であった。
【０００６】また、図５に示した外形観察法では、まず
光ファイバアレイ５１と光導波路チップ５３との外形を
基準に光軸調整を行おうとすると、各ワークの光軸と外
形との間の精度が要求される問題があった。そのため、
光ファイバ同士の接続では有効だが、光ファイバアレイ
５１と光導波路チップ５３との接続では、光の伝搬する
コア径が数μｍと小さくなると、前述の精度も数μｍ必
要となりコストが大となる問題があった。また、光ファ
イバ５２と光導波部５４の位置を基準に光軸調整を行お
うとすると、光部品に使用している接着剤により光ファ
イバ５２の位置を特定できない場合がある問題があっ
た。さらに、この場合は、振動や汚れさらにはワークの
欠け等の測定外乱に敏感なため、光ファイバ同士の接続
では有効だが、光ファイバアレイ５１では光ファイバ５
２を接着剤でＶ溝中に保持固定する場合が多く、実質的
に光部品の光軸調整ができない問題もあった。
光ファイバアレイ５１と光導波路チップ５３との外形を
基準に光軸調整を行おうとすると、各ワークの光軸と外
形との間の精度が要求される問題があった。そのため、
光ファイバ同士の接続では有効だが、光ファイバアレイ
５１と光導波路チップ５３との接続では、光の伝搬する
コア径が数μｍと小さくなると、前述の精度も数μｍ必
要となりコストが大となる問題があった。また、光ファ
イバ５２と光導波部５４の位置を基準に光軸調整を行お
うとすると、光部品に使用している接着剤により光ファ
イバ５２の位置を特定できない場合がある問題があっ
た。さらに、この場合は、振動や汚れさらにはワークの
欠け等の測定外乱に敏感なため、光ファイバ同士の接続
では有効だが、光ファイバアレイ５１では光ファイバ５
２を接着剤でＶ溝中に保持固定する場合が多く、実質的
に光部品の光軸調整ができない問題もあった。
【０００７】本発明の目的は上述した課題を解消して、
高速でしかも測定外乱の影響を受けずに高精度の光軸調
整を行うことのできる光部品の光軸調整方法を提供しよ
うとするものである。
高速でしかも測定外乱の影響を受けずに高精度の光軸調
整を行うことのできる光部品の光軸調整方法を提供しよ
うとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の光部品の光軸調
整方法は、二芯でかつ両芯が光軸を調整すべき端面と同
じ端面にある光ファイバアレイと光導波路チップとの光
軸を一致させる光部品の光軸調整方法において、光ファ
イバアレイの光軸を調整したい端面における一方の芯と
光導波路チップの光軸を調整したい端面の反対側の端面
における入射部とに、少なくとも光導波路チップについ
てはその入射部を照明用ファイバまたはライトガイドで
照射することで、光を入射させ、光ファイバアレイと光
導波路チップとの光軸を調整したい端面の間に両面反射
部材を設け、光軸を一致させたい端面における光ファイ
バアレイの他方の芯からの出射光と光導波路チップから
の出射光とを、両面反射部材で互いに反対方向に反射さ
せ、反射した光ファイバアレイおよび光導波路チップか
らの出射光を撮像位置で撮像し、撮像した画像の光ファ
イバアレイおよび光導波路チップからの出射光の位置に
基づき両者の光軸が一致するよう光ファイバアレイおよ
び光導波路チップを相対移動させることで、光ファイバ
アレイと光導波路チップとの光軸を一致させることを特
徴とするものである。
整方法は、二芯でかつ両芯が光軸を調整すべき端面と同
じ端面にある光ファイバアレイと光導波路チップとの光
軸を一致させる光部品の光軸調整方法において、光ファ
イバアレイの光軸を調整したい端面における一方の芯と
光導波路チップの光軸を調整したい端面の反対側の端面
における入射部とに、少なくとも光導波路チップについ
てはその入射部を照明用ファイバまたはライトガイドで
照射することで、光を入射させ、光ファイバアレイと光
導波路チップとの光軸を調整したい端面の間に両面反射
部材を設け、光軸を一致させたい端面における光ファイ
バアレイの他方の芯からの出射光と光導波路チップから
の出射光とを、両面反射部材で互いに反対方向に反射さ
せ、反射した光ファイバアレイおよび光導波路チップか
らの出射光を撮像位置で撮像し、撮像した画像の光ファ
イバアレイおよび光導波路チップからの出射光の位置に
基づき両者の光軸が一致するよう光ファイバアレイおよ
び光導波路チップを相対移動させることで、光ファイバ
アレイと光導波路チップとの光軸を一致させることを特
徴とするものである。
【０００９】本発明では、接続すべき２つの光部品の光
伝播部または光伝播部からの出射光を観察し、観察した
光伝播部または光伝播部からの出射光の位置に基づき両
者の光軸を一致させることで、好ましくは、光部品と光
部品との光軸を調整したい端面の間に両面反射部材を設
け、光軸を調整すべき端面からの出射光を、前記両面反
射部材で互いに反対方向に反射させ、撮像装置で反射光
を撮像し、撮像した画像の互いの反射光の位置に基づき
両者の光軸が一致するよう光部品を相対移動させること
で、光部品の外形精度や接着剤使用の有無に関わらず、
高速で高精度の光軸調整を行うことができる。また、同
一の調芯装置に接続すべき２つの光部品及び撮像装置が
装着された状態で出射光を同時に観察できるよう構成す
ることで、測定機器の振動の影響を非常に小さくするこ
とができる。さらに、光の伝播部を直接観察するので、
光部品などの汚れ等の測定外乱に強い構造となる。
伝播部または光伝播部からの出射光を観察し、観察した
光伝播部または光伝播部からの出射光の位置に基づき両
者の光軸を一致させることで、好ましくは、光部品と光
部品との光軸を調整したい端面の間に両面反射部材を設
け、光軸を調整すべき端面からの出射光を、前記両面反
射部材で互いに反対方向に反射させ、撮像装置で反射光
を撮像し、撮像した画像の互いの反射光の位置に基づき
両者の光軸が一致するよう光部品を相対移動させること
で、光部品の外形精度や接着剤使用の有無に関わらず、
高速で高精度の光軸調整を行うことができる。また、同
一の調芯装置に接続すべき２つの光部品及び撮像装置が
装着された状態で出射光を同時に観察できるよう構成す
ることで、測定機器の振動の影響を非常に小さくするこ
とができる。さらに、光の伝播部を直接観察するので、
光部品などの汚れ等の測定外乱に強い構造となる。
【００１０】 〔発明の詳細な説明〕図１は本発明の光部品の光軸調整
方法の一例の概念を説明するための図である。図１に示
す例において、１は光ファイバ２を保持する光ファイバ
アレイ、３は光導波部４を有する光導波路チップ、５は
光ファイバアレイ１と光導波路チップ３とにおける光軸
を調整したい端面の間に設けた両面反射部材としてのミ
ラー、６は光ファイバ２に光を入射させるためのレーザ
ダイオード、７は光導波部４に光を入射させるためのレ
ーザダイオード、８は光ファイバ２から出射しミラー５
の一反射面で反射した反射光を撮像するための鏡筒８−
１およびＣＣＤカメラ８−２からなる撮像装置、９は光
導波部４から出射しミラー５の他の反射面で反射した反
射光を撮像するための鏡筒９−１およびＣＣＤカメラ９
−２からなる撮像装置である。
方法の一例の概念を説明するための図である。図１に示
す例において、１は光ファイバ２を保持する光ファイバ
アレイ、３は光導波部４を有する光導波路チップ、５は
光ファイバアレイ１と光導波路チップ３とにおける光軸
を調整したい端面の間に設けた両面反射部材としてのミ
ラー、６は光ファイバ２に光を入射させるためのレーザ
ダイオード、７は光導波部４に光を入射させるためのレ
ーザダイオード、８は光ファイバ２から出射しミラー５
の一反射面で反射した反射光を撮像するための鏡筒８−
１およびＣＣＤカメラ８−２からなる撮像装置、９は光
導波部４から出射しミラー５の他の反射面で反射した反
射光を撮像するための鏡筒９−１およびＣＣＤカメラ９
−２からなる撮像装置である。
【００１１】図１に示す例において、光ファイバ２から
の出射光とこの出射光がミラー５の一反射面で反射した
反射光とが例えば９０°の関係になるとともに、光導波
路４からの出射光とこの出射光がミラー５の他の反射面
で反射した反射光とが例えば９０°の関係になるよう
に、ミラー５の反射面の向きを決定している。また、撮
像装置８と撮像装置９との関係は、互いの撮像した画像
中の各位置の対応が一義的に決定できるような関係、好
ましくは、撮像装置８の光軸と撮像装置９の光軸とが一
致するような関係になるよう配置している。なお、撮像
装置８と撮像装置９とが上述したような関係にあれば、
撮像装置８および撮像装置９との光軸が一致するよう配
置する必要はない。さらに、上述した光ファイバ１、光
導波路チップ３、ミラー５、撮像装置８および撮像装置
９は、それぞれ必要に応じて取付治具を介して同一の調
芯装置上に配置されている。
の出射光とこの出射光がミラー５の一反射面で反射した
反射光とが例えば９０°の関係になるとともに、光導波
路４からの出射光とこの出射光がミラー５の他の反射面
で反射した反射光とが例えば９０°の関係になるよう
に、ミラー５の反射面の向きを決定している。また、撮
像装置８と撮像装置９との関係は、互いの撮像した画像
中の各位置の対応が一義的に決定できるような関係、好
ましくは、撮像装置８の光軸と撮像装置９の光軸とが一
致するような関係になるよう配置している。なお、撮像
装置８と撮像装置９とが上述したような関係にあれば、
撮像装置８および撮像装置９との光軸が一致するよう配
置する必要はない。さらに、上述した光ファイバ１、光
導波路チップ３、ミラー５、撮像装置８および撮像装置
９は、それぞれ必要に応じて取付治具を介して同一の調
芯装置上に配置されている。
【００１２】図１に示す構成において、本発明の光部品
の光軸調整方法は、光ファイバアレイ１および光導波路
チップ３からの出射光を同時に観察し、観察した出射光
の位置に基づき両者の光軸を一致させることで達成され
る。具体的には、ミラー５での反射光を撮像装置８と撮
像装置９とで同時に撮像し、撮像した両画像における反
射光の位置に基づき、光ファイバ２と光導波部４との光
軸が一致するようにすることで、本発明の光部品の光軸
調整方法を実現している。このとき、撮像装置８の撮像
画像と撮像装置９の撮像画像とが予め一定の関係になる
よう構成されているため、両撮像画像中の出射光の位置
に基づき、光ファイバアレイ１または光導波路チップ３
のいずれか一方を移動させることだけで、両者の光軸を
一致させることができる。また、各画像における出射光
の位置の決定は、パターンマッチングにより行うことが
ノイズに強い点で好ましい。すなわち、予め登録してお
いた出射光の特徴量に基づき、その特徴量と相関が高い
撮像画像中の画素を求めることで行うことができる。
の光軸調整方法は、光ファイバアレイ１および光導波路
チップ３からの出射光を同時に観察し、観察した出射光
の位置に基づき両者の光軸を一致させることで達成され
る。具体的には、ミラー５での反射光を撮像装置８と撮
像装置９とで同時に撮像し、撮像した両画像における反
射光の位置に基づき、光ファイバ２と光導波部４との光
軸が一致するようにすることで、本発明の光部品の光軸
調整方法を実現している。このとき、撮像装置８の撮像
画像と撮像装置９の撮像画像とが予め一定の関係になる
よう構成されているため、両撮像画像中の出射光の位置
に基づき、光ファイバアレイ１または光導波路チップ３
のいずれか一方を移動させることだけで、両者の光軸を
一致させることができる。また、各画像における出射光
の位置の決定は、パターンマッチングにより行うことが
ノイズに強い点で好ましい。すなわち、予め登録してお
いた出射光の特徴量に基づき、その特徴量と相関が高い
撮像画像中の画素を求めることで行うことができる。
【００１３】上述した本発明の光部品の光軸調整方法で
は、光ファイバアレイ１ろ光導波路チップ３のいずれか
を移動することだけで光軸を一致させることができるた
め、高速で光軸調整を行うことができる。また、この移
動をステージの移動で達成できるため、高精度の光軸調
整を行うことができる。さらに、光ファイバアレイ１、
光導波路チップ３、ミラー５、撮像装置８および撮像装
置９は、同一の調芯装置上に設けられており、しかも比
較する画像を撮像装置８および撮像装置９により同時に
撮像しているため、撮像系に振動があってもその影響を
受けにくい。さらにまた、光の伝播部すなわち出射光を
直接撮像して光軸調整を行っているため、各装置の汚れ
等の測定外乱に強い構成を得ることができる。
は、光ファイバアレイ１ろ光導波路チップ３のいずれか
を移動することだけで光軸を一致させることができるた
め、高速で光軸調整を行うことができる。また、この移
動をステージの移動で達成できるため、高精度の光軸調
整を行うことができる。さらに、光ファイバアレイ１、
光導波路チップ３、ミラー５、撮像装置８および撮像装
置９は、同一の調芯装置上に設けられており、しかも比
較する画像を撮像装置８および撮像装置９により同時に
撮像しているため、撮像系に振動があってもその影響を
受けにくい。さらにまた、光の伝播部すなわち出射光を
直接撮像して光軸調整を行っているため、各装置の汚れ
等の測定外乱に強い構成を得ることができる。
【００１４】図２は本発明の光部品の光軸調整方法のう
ち単芯の光ファイバアレイと単芯の光導波路チップとの
光軸調整の例を説明するための図である。図２に示す例
において、図１に示す例と同一の部材には同一の符号を
付し、その説明を省略する。本例では、図２（ａ）に示
すように、撮像装置８の光軸と撮像装置９の光軸とが一
致するよう撮像装置８および撮像装置９の位置を決定し
ている。また、図２（ｂ）に示すように、光ファイバア
レイ１の端面からの出射光１１とその反射光１２とが例
えば直角になるとともに、光導波路チップ３の端面から
の出射光１３とその反射光１４とが例えば直角になるよ
うに、光ファイバアレイ１、ミラー５および光導波路チ
ップ３の位置を決定している。
ち単芯の光ファイバアレイと単芯の光導波路チップとの
光軸調整の例を説明するための図である。図２に示す例
において、図１に示す例と同一の部材には同一の符号を
付し、その説明を省略する。本例では、図２（ａ）に示
すように、撮像装置８の光軸と撮像装置９の光軸とが一
致するよう撮像装置８および撮像装置９の位置を決定し
ている。また、図２（ｂ）に示すように、光ファイバア
レイ１の端面からの出射光１１とその反射光１２とが例
えば直角になるとともに、光導波路チップ３の端面から
の出射光１３とその反射光１４とが例えば直角になるよ
うに、光ファイバアレイ１、ミラー５および光導波路チ
ップ３の位置を決定している。
【００１５】なお、撮像装置８および９のＣＣＤカメラ
８−１および９−１としては、１／３インチの白黒（レ
ンズ系と合わせて１μｍ／画素相当）で１／２０００電
子シャッタを使用したＣＣＤカメラを使用した。また、
鏡筒８−２および９−２としては８倍のレンズ系のもの
を使用した。さらに、ミラー５としては、直角プリズム
で反射面にアルミコートを施したものを利用した。さら
にまた、光導波部４に光を照射するために、レーザダイ
オードではなく照明用ファイバ２１を使用した。照明用
ファイバ２１としては、コア直径２００μｍの石英系マ
ルチモードファイバを利用し、この照明用ファイバ２１
をＳＬＤ光源に接続して使用した。
８−１および９−１としては、１／３インチの白黒（レ
ンズ系と合わせて１μｍ／画素相当）で１／２０００電
子シャッタを使用したＣＣＤカメラを使用した。また、
鏡筒８−２および９−２としては８倍のレンズ系のもの
を使用した。さらに、ミラー５としては、直角プリズム
で反射面にアルミコートを施したものを利用した。さら
にまた、光導波部４に光を照射するために、レーザダイ
オードではなく照明用ファイバ２１を使用した。照明用
ファイバ２１としては、コア直径２００μｍの石英系マ
ルチモードファイバを利用し、この照明用ファイバ２１
をＳＬＤ光源に接続して使用した。
【００１６】図３は本発明の光部品の光軸調整方法のう
ち２芯の光ファイバアレイと単芯の光導波路チップとの
光軸調整の例を説明するための図である。図３に示す例
において、図１および図２に示す例と同一の部材には同
一の符号を付し、その説明を省略する。本例でも、図３
（ａ）に示すように、撮像装置８の光軸と撮像装置９の
光軸とが一致するよう撮像装置８および撮像装置９の位
置を決定している。また、図３（ｂ）に示すように、光
ファイバアレイ１の端面からの出射光１１とその反射光
１２とが例えば直角になるとともに、光導波路チップ３
の端面からの出射光１３とその反射光１４とが例えば直
角になるように、光ファイバアレイ１、ミラー５および
光導波路チップ３の位置を決定している。
ち２芯の光ファイバアレイと単芯の光導波路チップとの
光軸調整の例を説明するための図である。図３に示す例
において、図１および図２に示す例と同一の部材には同
一の符号を付し、その説明を省略する。本例でも、図３
（ａ）に示すように、撮像装置８の光軸と撮像装置９の
光軸とが一致するよう撮像装置８および撮像装置９の位
置を決定している。また、図３（ｂ）に示すように、光
ファイバアレイ１の端面からの出射光１１とその反射光
１２とが例えば直角になるとともに、光導波路チップ３
の端面からの出射光１３とその反射光１４とが例えば直
角になるように、光ファイバアレイ１、ミラー５および
光導波路チップ３の位置を決定している。
【００１７】図３に示す例において、図２に示す例と異
なるのは、光ファイバアレイとして２芯の光ファイバア
レイ３１を使用している点である。本例における２芯の
光ファイバアレイ３１は、偏波面保存光ファイバの偏波
面保存面の計測に用いる例えば本出願人が先に特開平９
−７２８２６号公報で開示している特殊な用途に使用さ
れるもので、２芯の光ファイバ３２と３３とは、光導波
路チップ３と接続する端面と反対側で互いに接続した構
造を有している。そのため、図２に示す単芯の光ファイ
バアレイ１と単芯の光導波路チップ３との光軸調整にお
ける光の入射方法とは異なり、光ファイバアレイ３１に
おいて一方の光ファイバ３２から光を入射して他方の光
ファイバ３３から光を出射するよう構成している。すな
わち、図３（ａ）に示すように、撮像装置８の鏡筒８−
１の側面にスリット同軸落射照明部３４を設け、このス
リット同時照明部３４により鏡筒８−１から光を出射さ
せ、この出射光１５をミラー５で反射させた反射光１６
が光ファイバ３２へ入射するよう構成している。一方、
光ファイバ３３からの出射光１１は、図２に示した例と
同様に光軸調整を行っている。
なるのは、光ファイバアレイとして２芯の光ファイバア
レイ３１を使用している点である。本例における２芯の
光ファイバアレイ３１は、偏波面保存光ファイバの偏波
面保存面の計測に用いる例えば本出願人が先に特開平９
−７２８２６号公報で開示している特殊な用途に使用さ
れるもので、２芯の光ファイバ３２と３３とは、光導波
路チップ３と接続する端面と反対側で互いに接続した構
造を有している。そのため、図２に示す単芯の光ファイ
バアレイ１と単芯の光導波路チップ３との光軸調整にお
ける光の入射方法とは異なり、光ファイバアレイ３１に
おいて一方の光ファイバ３２から光を入射して他方の光
ファイバ３３から光を出射するよう構成している。すな
わち、図３（ａ）に示すように、撮像装置８の鏡筒８−
１の側面にスリット同軸落射照明部３４を設け、このス
リット同時照明部３４により鏡筒８−１から光を出射さ
せ、この出射光１５をミラー５で反射させた反射光１６
が光ファイバ３２へ入射するよう構成している。一方、
光ファイバ３３からの出射光１１は、図２に示した例と
同様に光軸調整を行っている。
【００１８】次に、光ファイバアレイおよび光導波路チ
ップへ光を入射させる照明について説明する。光ファイ
バアレイおよび光導波路チップへの照明の方法について
は、光が光ファイバおよび光導波部に入射しさえすれば
どのような方法でも問題なく使用でき、上述した実施例
のようにレーザダイオードや照明用ファイバを使用する
簡易な方法を利用することができる。しかし、光導波路
チップの光導波部以外へ光を入射すると、その光は撮像
装置にとって外乱光となるため、あまり広範囲に照明す
る事は望ましくない。そのため、図２および図３に示す
ように照明用ファイバ２１を使用してＳＬＤ光源からの
光を導波部周辺に集光し、導波部に光を入射することが
好ましい。その他の方法として、大きな光量が必要な場
合には照明用ファイバ２１の代わりにハロゲンライトガ
イドを使用して光を入射させることが好ましい。照明用
ファイバ２１やハロゲンライトガイドを使用した場合は
容易に照明を行うことができるが、照明用ファイバ２１
やハロゲンライトガイドは装置に組み込む際にじゃまに
なる場合がある。そのような場合には、レーザ光源から
のレーザ光をレンズとミラーとを組み合わせた光学系を
使用して直接光導波部へ落射して光を入射させることが
好ましい。なお、光導波部への光の入射は、光源からの
光を直接光導波部に照射するだけでなく、例えば図３
（ｂ）に示すように、光導波路チップ３に予め別の光フ
ァイバアレイ４１を接続させておき、この光ファイバア
レイ４１を介して光を入射させるよう構成することもで
きる。
ップへ光を入射させる照明について説明する。光ファイ
バアレイおよび光導波路チップへの照明の方法について
は、光が光ファイバおよび光導波部に入射しさえすれば
どのような方法でも問題なく使用でき、上述した実施例
のようにレーザダイオードや照明用ファイバを使用する
簡易な方法を利用することができる。しかし、光導波路
チップの光導波部以外へ光を入射すると、その光は撮像
装置にとって外乱光となるため、あまり広範囲に照明す
る事は望ましくない。そのため、図２および図３に示す
ように照明用ファイバ２１を使用してＳＬＤ光源からの
光を導波部周辺に集光し、導波部に光を入射することが
好ましい。その他の方法として、大きな光量が必要な場
合には照明用ファイバ２１の代わりにハロゲンライトガ
イドを使用して光を入射させることが好ましい。照明用
ファイバ２１やハロゲンライトガイドを使用した場合は
容易に照明を行うことができるが、照明用ファイバ２１
やハロゲンライトガイドは装置に組み込む際にじゃまに
なる場合がある。そのような場合には、レーザ光源から
のレーザ光をレンズとミラーとを組み合わせた光学系を
使用して直接光導波部へ落射して光を入射させることが
好ましい。なお、光導波部への光の入射は、光源からの
光を直接光導波部に照射するだけでなく、例えば図３
（ｂ）に示すように、光導波路チップ３に予め別の光フ
ァイバアレイ４１を接続させておき、この光ファイバア
レイ４１を介して光を入射させるよう構成することもで
きる。
【００１９】なお、上述した実施例では、光部品の光伝
播部からの出射光を観察したが、例えば光部品がレーザ
ダイオードやフォトダイオードの場合は、光伝播部を直
接観察でき、その場合でも本発明の光軸調整を行うこと
ができる。また、上述した実施例では、両面反射部材に
より互いに反対方向に反射させた反射光を２つの撮像装
置で同時に撮像したが、例えば両面反射部材としてハー
フミラープリズムを使用し、一旦互いに反対方向に反射
させた反射光のうちの一方を再度プリズムで全反射させ
ることで、反射光を互いに同一方向にすることができ、
この場合は１つの撮像装置で画像の観察を順次に行うこ
とで、本発明の光軸調整を行うことができる。
播部からの出射光を観察したが、例えば光部品がレーザ
ダイオードやフォトダイオードの場合は、光伝播部を直
接観察でき、その場合でも本発明の光軸調整を行うこと
ができる。また、上述した実施例では、両面反射部材に
より互いに反対方向に反射させた反射光を２つの撮像装
置で同時に撮像したが、例えば両面反射部材としてハー
フミラープリズムを使用し、一旦互いに反対方向に反射
させた反射光のうちの一方を再度プリズムで全反射させ
ることで、反射光を互いに同一方向にすることができ、
この場合は１つの撮像装置で画像の観察を順次に行うこ
とで、本発明の光軸調整を行うことができる。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、接続すべき２つの光部品の光伝播部または光
伝播部からの出射光を観察し、観察した光伝播部または
光伝播部からの出射光の位置に基づき両者の光軸を一致
させているため、光部品の外形精度や接着剤使用の有無
に関わらず、高速で高精度の光軸調整を行うことができ
る。また、同一の調芯装置に接続すべき２つの光部品及
び撮像装置が装着された状態で出射光を同時に観察でき
るよう構成することで、測定機器の振動の影響を非常に
小さくすることができる。さらに、光の伝播部を直接観
察するので、光部品などの汚れ等の測定外乱に強い構造
となる。
によれば、接続すべき２つの光部品の光伝播部または光
伝播部からの出射光を観察し、観察した光伝播部または
光伝播部からの出射光の位置に基づき両者の光軸を一致
させているため、光部品の外形精度や接着剤使用の有無
に関わらず、高速で高精度の光軸調整を行うことができ
る。また、同一の調芯装置に接続すべき２つの光部品及
び撮像装置が装着された状態で出射光を同時に観察でき
るよう構成することで、測定機器の振動の影響を非常に
小さくすることができる。さらに、光の伝播部を直接観
察するので、光部品などの汚れ等の測定外乱に強い構造
となる。
【図１】本発明の光部品の光軸調整方法の一例の概念を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図２】本発明の一例として単芯の光ファイバアレイと
単芯の光導波路チップとの光軸調整の例を説明するため
の図である。
単芯の光導波路チップとの光軸調整の例を説明するため
の図である。
【図３】本発明の他の例として２芯の光ファイバアレイ
と単芯の光導波路チップとの光軸調整の例を説明するた
めの図である。
と単芯の光導波路チップとの光軸調整の例を説明するた
めの図である。
【図４】従来のスパイラルサーチ法を説明するための図
である。
である。
【図５】従来の外形観察法を説明するための図である。
１、３１、４１ 光ファイバアレイ、２、３２、３３
光ファイバ、３ 光導波路チップ、４ 光導波部、５
ミラー、６、７ レーザダイオード、８、９ 撮像装
置、８−１、９−１ 鏡筒、８−２、９−２ ＣＣＤカ
メラ、１１、１３、１５ 出射光、１２、１４、１６
反射光、２１ 照明用ファイバ、３４ スリット同時照
明部
光ファイバ、３ 光導波路チップ、４ 光導波部、５
ミラー、６、７ レーザダイオード、８、９ 撮像装
置、８−１、９−１ 鏡筒、８−２、９−２ ＣＣＤカ
メラ、１１、１３、１５ 出射光、１２、１４、１６
反射光、２１ 照明用ファイバ、３４ スリット同時照
明部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 6/30 G02B 6/42
Claims (3)
- 【請求項１】二芯でかつ両芯が光軸を調整すべき端面と
同じ端面にある光ファイバアレイと光導波路チップとの
光軸を一致させる光部品の光軸調整方法において、光フ
ァイバアレイの光軸を調整したい端面における一方の芯
と光導波路チップの光軸を調整したい端面の反対側の端
面における入射部とに、少なくとも光導波路チップにつ
いてはその入射部を照明用ファイバまたはライトガイド
で照射することで、光を入射させ、光ファイバアレイと
光導波路チップとの光軸を調整したい端面の間に両面反
射部材を設け、光軸を一致させたい端面における光ファ
イバアレイの他方の芯からの出射光と光導波路チップか
らの出射光とを、両面反射部材で互いに反対方向に反射
させ、反射した光ファイバアレイおよび光導波路チップ
からの出射光を撮像位置で撮像し、撮像した画像の光フ
ァイバアレイおよび光導波路チップからの出射光の位置
に基づき両者の光軸が一致するよう光ファイバアレイお
よび光導波路チップを相対移動させることで、光ファイ
バアレイと光導波路チップとの光軸を一致させることを
特徴とする光部品の光軸調整方法。 - 【請求項２】前記光ファイバアレイ、光導波路チップ、
必要に応じて両面反射部材、撮像装置を同一の基台上に
設けて光軸調整を行う請求項１記載の光部材の光軸調整
方法。 - 【請求項３】前記光ファイバアレイおよび光導波路チッ
プからの出射光を同時に観察して、光ファイバアレイと
光導波路チップとの光軸を一致させる請求項１または２
記載の光部材の光軸調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10002309A JP3045991B2 (ja) | 1998-01-08 | 1998-01-08 | 光部品の光軸調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10002309A JP3045991B2 (ja) | 1998-01-08 | 1998-01-08 | 光部品の光軸調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11202153A JPH11202153A (ja) | 1999-07-30 |
| JP3045991B2 true JP3045991B2 (ja) | 2000-05-29 |
Family
ID=11525763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10002309A Expired - Fee Related JP3045991B2 (ja) | 1998-01-08 | 1998-01-08 | 光部品の光軸調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3045991B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5786528B2 (ja) * | 2011-07-29 | 2015-09-30 | 住友電気工業株式会社 | コア位置特定方法及び調芯装置 |
-
1998
- 1998-01-08 JP JP10002309A patent/JP3045991B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11202153A (ja) | 1999-07-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3365598B2 (ja) | 光モジュール組立体の製造方法および製造装置 | |
| US5408553A (en) | Optical power splitter for splitting high power light | |
| JP3837689B2 (ja) | 光モジュール用試験機、調整装置及び調整方法 | |
| US6504611B2 (en) | Two stage optical alignment device and method of aligning optical components | |
| JP6331196B2 (ja) | 光学素子、照射光学系、集光光学系および光導波路検査装置 | |
| JP3045991B2 (ja) | 光部品の光軸調整方法 | |
| US6459490B1 (en) | Dual field of view optical system for microscope, and microscope and interferometer containing the same | |
| US6486942B1 (en) | Method and system for measurement of a characteristic of lens | |
| JP3343756B2 (ja) | 光回路用コリメータの製造方法 | |
| JPH0534646B2 (ja) | ||
| US5657117A (en) | Device for examining optical waveguides | |
| JP2950004B2 (ja) | 共焦点レーザ顕微鏡 | |
| JP3418296B2 (ja) | 異径光ファイバの軸ずれ量検出方法 | |
| US10724900B2 (en) | Determining focus condition in spectral reflectance system | |
| JP3599908B2 (ja) | 屈折率測定方法及びその装置 | |
| US7221830B2 (en) | Method and apparatus for connecting optical transmission module and core position detection method for optical waveguide | |
| JP2529526Y2 (ja) | 光部品用調芯装置 | |
| US4850668A (en) | Gyroptic visual couplers | |
| JP2684075B2 (ja) | 多芯光ファイバの接続部検査方法 | |
| JPS63311139A (ja) | 光ファイバの特性測定装置 | |
| JP2524275B2 (ja) | 光部品−光ファイバ調芯方法及び光部品 | |
| JP3155569B2 (ja) | 分散分布測定方法 | |
| JP2746849B2 (ja) | 遠近合焦装置 | |
| JPH0648323B2 (ja) | 光フアイバ軸ずれ測定方法 | |
| SU1543308A1 (ru) | Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов зеркального отражени |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000215 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |