JP6331196B2 - 光学素子、照射光学系、集光光学系および光導波路検査装置 - Google Patents
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Description
つぎのステップS102では、距離A、Bを用いて入射面SIの位置を算出する。なお、距離Aの代わりに、エッジr2と入射面SIとの距離A’を用いてもよい。また、距離A、A’、Bの値は、予め記憶部62等の記憶手段に記憶させておいてもよい。
つぎのステップS104では、算出された入射面SIの位置を用いて、光導波路が、CCD106による撮像視野の中央に位置するように照射光学ユニット10を移動させる。
つぎのステップS108では、ステップ106で算出したずれ量が、予め定められた許容範囲内であるか否か判定する。当該判定結果が否定判定となった場合にはステップS100に戻ってエッジの検出から繰り返し、肯定判定となった場合には終了する。
つぎのステップS202では、距離C、Dを用いて入射面SIの位置を算出する。なお、距離Cの代わりに、アライメントマークM1と入射面SIとの距離C’を用いてもよい。また、距離C、C’、Dの値は、予め記憶部62等の記憶手段に記憶させておいてもよい。また、本実施の形態ではアライメントマークを2個設ける場合を例示して説明するが、これに限られず、該アライメントマークは、複数のアライメントマークに基づいて光導波路が特定できればよいので、3個以上設けてもよい。
10 照射光学ユニット
20 集光光学ユニット
30 XXθxyz軸ステージ
32 XYZ軸ステージ
34 XYZ軸ステージ
36 防振台
50 制御・解析部
52 PC
54 イーサネットカード
56 GPIBカード
58 モーションコントローラカード
60 ADDAカード
62 記憶部
100 FCコネクタ
102 対物レンズ
104 ハーフミラーセット
106 CCDカメラ
108 LED照明
110 コリメートレンズ
112 結像レンズ
114 ケーラー照明レンズ
116 フィルタ挿入ポート
118 フィルタ挿入ポート
200 FCコネクタ
202 対物レンズ
204 ハーフミラーセット
206 CCDカメラ
208 LED照明
210 コリメートレンズ
212 結像レンズ
214 ケーラー照明レンズ
216 フィルタ挿入ポート
218 フィルタ挿入ポート
500 LD電源
502 光源ヘッド
504 アイソレータユニット
506 パワーメータヘッド
508 パワーメータ
510 モータドライバ
512 LED電源
900 光ファイバ調芯装置
902 投光部
904 受光部
906 θxyz軸ステージ
908 XYZ軸ステージ
910 XYZ軸ステージ
912 サンプル上面観察用照明
914 落射照明用LED
916 CCDカメラ
918 手動XYZ軸ステージ
920 PC
922 LD光源
924 パワーメータ
926 ステージコントローラ
A1、A2、A3 軸
DUT、DUT1、DUT2 被検査物
HM1、HM2、HM3 ハーフミラー
HMP1、HMP2 ハーフミラー対
L 光点
MMF マルチモードファイバ
r1、r2、r3 エッジ
SMF シングルモードファイバ
SI 入射面
SO 出射面
T1、T2 端面
Claims (8)
- 第1の方向の偏光の入射角が45度で検査光が入射されるように配置された第1のハーフミラー、および前記第1のハーフミラーで反射された前記検査光の前記第1の方向の偏光が前記第1の方向と直交する第2の方向の偏光として反射され、かつ前記検査光が入射角45度で入射するように配置された第2のハーフミラーを含む第1の光学素子と、
光導波路を有する被検査物に対して前記検査光を入射させる入射側端面を撮像する第1の撮像部と、を備え、
前記第1のハーフミラーは第1の光源から入射された前記検査光を反射させて前記第2のハーフミラーへ入射させ、前記第2のハーフミラーは前記第1のハーフミラーで反射された前記検査光を反射して前記入射側端面に入射光として照射するとともに、前記入射側端面で反射された前記入射光を透過して前記第1の撮像部に入射させ、かつ前記第1の撮像部で撮像された画像に基づいて前記入射側端面との入射側位置合わせを行う
照射光学系。 - 光導波路を有する被検査物の入射側端面から入射された光が出射する出射側端面を撮像する第2の撮像部と、
第1の方向の偏光の入射角が45度で前記出射側端面から出射した光が入射されるように配置された第3のハーフミラー、および前記第3のハーフミラーで反射された前記出射側端面から出射した光の前記第1の方向の偏光が前記第1の方向と直交する第2の方向の偏光として反射され、かつ前記出射側端面から出射した光が入射角45度で入射するように配置された第4のハーフミラーを含む第2の光学素子と、を備え、
前記第3のハーフミラーは前記出射側端面から出射した光を透過して前記第2の撮像部に入射させるとともに、前記出射側端面から出射した光を反射して前記第4のハーフミラーに入射させ、かつ前記第4のハーフミラーは前記第3のハーフミラーからの光を反射させ出射光として出射するとともに、前記第2の撮像部で撮像された画像に基づいて前記出射側端面との出射側位置合せを行う
集光光学系。 - 請求項1に記載の照射光学系と、
前記検査光を発生する第1の光源と、
請求項2に記載の集光光学系と、
前記集光光学系から出射された前記出射光の光量を測定する光量計と、
前記第1の撮像部で撮像された画像に基づいて前記入射側端面と前記照射光学系との入射側位置合わせを制御するとともに、前記第2の撮像部で撮像された画像に基づいて前記出射側端面と前記集光光学系との出射側位置合せを制御する制御部と、
を含む光導波路検査装置。 - 前記第1の方向の偏光の入射角が45度で第2の光源からの光が入射されるようにかつ反射された前記第2の光源からの光の前記第1の方向の偏光が前記第2の方向の偏光として前記第2のハーフミラーに入射されるように配置された第5のハーフミラーをさらに備え、
前記第5のハーフミラーは前記第2の光源からの光を反射して前記第2のハーフミラーに入射し、
前記第2のハーフミラーは入射された前記第2の光源からの光を透過して前記入射側端面を照明する
請求項1に記載の照射光学系。 - 前記第1の方向の偏光の入射角が45度で第3の光源からの光が入射されるようにかつ反射された前記第3の光源からの光の前記第1の方向の偏光が前記第2の方向の偏光として前記第3のハーフミラーに入射されるように配置された第6のハーフミラーをさらに備え、
前記第6のハーフミラーは第3の光源からの光を反射して前記第3のハーフミラーへ入射し、
前記第3のハーフミラーは入射された前記第3の光源からの光を透過して前記出射側端面を照明する
請求項2に記載の集光光学系。 - 請求項4に記載の照射光学系と、
前記検査光を発生する第1の光源と、
前記第2の光源と、
請求項5に記載の集光光学系と、
前記第3の光源と、
前記集光光学系から出射された前記出射光の光量を測定する光量計と、
前記第1の撮像部で撮像された画像に基づいて前記入射側端面と前記照射光学系との入射側位置合わせを制御するとともに、前記第2の撮像部で撮像された画像に基づいて前記出射側端面と前記集光光学系との出射側位置合せを制御する制御部と、
を含む光導波路検査装置。 - 前記入射光を前記照射光学系に導く第1の光ファイバと、
前記出射光を前記光量計に導く第2の光ファイバと、をさらに含み、
前記第1の撮像部が撮像する画像には前記照射光学系と前記第1の光ファイバとの接続点の第1の画像が含まれ、前記第2の撮像部が撮像する画像には前記集光光学系と前記第2の光ファイバとの接続点の第2の画像が含まれる
請求項3または請求項6に記載の光導波路検査装置。 - 前記入射側位置合わせおよび前記出射側位置合せの少なくとも一方が、前記被検査物の形状、前記第1の画像、および前記第2の画像を用いた位置合せ、または、前記被検査物に設けられたアライメントマーク、前記第1の画像、および前記第2の画像を用いた位置合せである
請求項7に記載の光導波路検査装置。
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