JP2016125920A - 光学素子、照射光学系、集光光学系および光導波路検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学素子(104)を、入射する光を透過または反射させるとともに、ミラー面の所定の偏光方向に対する角度が、所定の偏光方向の光に対する透過率および反射率が第1の特性を示す角度となっている第1のハーフミラー(HM1)と、入射する光を透過または反射させるとともに、ミラー面の所定の偏光方向に対する角度が、所定の偏光方向の光に対する透過率および反射率が第2の特性を示す角度となっている第2のハーフミラー(HM2)と、を含み、第1のハーフミラーは入射した光を透過または反射して第2のハーフミラーに入射させるか、または、第2のハーフミラーは入射した光を透過または反射して第1のハーフミラーに入射させるようにした。
【選択図】図9
Description
照射光学系である。
つぎのステップS102では、距離A、Bを用いて入射面SIの位置を算出する。なお、距離Aの代わりに、エッジr2と入射面SIとの距離A’を用いてもよい。また、距離A、A’、Bの値は、予め記憶部62等の記憶手段に記憶させておいてもよい。
つぎのステップS104では、算出された入射面SIの位置を用いて、光導波路が、CCD106による撮像視野の中央に位置するように照射光学ユニット10を移動させる。
つぎのステップS108では、ステップ106で算出したずれ量が、予め定められた許容範囲内であるか否か判定する。当該判定結果が否定判定となった場合にはステップS100に戻ってエッジの検出から繰り返し、肯定判定となった場合には終了する。
つぎのステップS202では、距離C、Dを用いて入射面SIの位置を算出する。なお、距離Cの代わりに、アライメントマークM1と入射面SIとの距離C’を用いてもよい。また、距離C、C’、Dの値は、予め記憶部62等の記憶手段に記憶させておいてもよい。また、本実施の形態ではアライメントマークを2個設ける場合を例示して説明するが、これに限られず、該アライメントマークは、複数のアライメントマークに基づいて光導波路が特定できればよいので、3個以上設けてもよい。
10 照射光学ユニット
20 集光光学ユニット
30 XXθxyz軸ステージ
32 XYZ軸ステージ
34 XYZ軸ステージ
36 防振台
50 制御・解析部
52 PC
54 イーサネットカード
56 GPIBカード
58 モーションコントローラカード
60 ADDAカード
62 記憶部
100 FCコネクタ
102 対物レンズ
104 ハーフミラーセット
106 CCDカメラ
108 LED照明
110 コリメートレンズ
112 結像レンズ
114 ケーラー照明レンズ
116 フィルタ挿入ポート
118 フィルタ挿入ポート
200 FCコネクタ
202 対物レンズ
204 ハーフミラーセット
206 CCDカメラ
208 LED照明
210 コリメートレンズ
212 結像レンズ
214 ケーラー照明レンズ
216 フィルタ挿入ポート
218 フィルタ挿入ポート
500 LD電源
502 光源ヘッド
504 アイソレータユニット
506 パワーメータヘッド
508 パワーメータ
510 モータドライバ
512 LED電源
900 光ファイバ調芯装置
902 投光部
904 受光部
906 θxyz軸ステージ
908 XYZ軸ステージ
910 XYZ軸ステージ
912 サンプル上面観察用照明
914 落射照明用LED
916 CCDカメラ
918 手動XYZ軸ステージ
920 PC
922 LD光源
924 パワーメータ
926 ステージコントローラ
A1、A2、A3 軸
DUT、DUT1、DUT2 被検査物
HM1、HM2、HM3 ハーフミラー
HMP1、HMP2 ハーフミラー対
L 光点
MMF マルチモードファイバ
r1、r2、r3 エッジ
SMF シングルモードファイバ
SI 入射面
SO 出射面
T1、T2 端面
Claims (11)
- 入射する光を透過または反射させるとともに、ミラー面の所定の偏光方向に対する角度が、前記所定の偏光方向の光に対する透過率および反射率が第1の特性を示す角度となっている第1のハーフミラーと、
入射する光を透過または反射させるとともに、ミラー面の前記所定の偏光方向に対する角度が、前記所定の偏光方向の光に対する透過率および反射率が第2の特性を示す角度となっている第2のハーフミラーと、を含み、
前記第1のハーフミラーは入射した光を透過または反射して前記第2のハーフミラーに入射させるか、または、前記第2のハーフミラーは入射した光を透過または反射して前記第1のハーフミラーに入射させる
光学素子。 - 前記第1のハーフミラーのミラー面の前記所定の偏光方向に対する角度、および、前記第2のハーフミラーのミラー面の前記所定の偏光方向に対する角度の一方が0°であり、他方が45°である
請求項1に記載の光学素子。 - 前記第1のハーフミラーの第1のミラー面と前記第2のハーフミラーの第2のミラー面との配置が、前記第1のミラー面と前記第2のミラー面とが90°の角度をなす第1の配置から、前記第1の配置における前記第1のミラー面と前記第2のミラー面との交線と回転後の交線とのなす角度が90°となるように、前記第1のハーフミラーおよび前記第2のハーフミラーの少なくとも一方を回転させた第2の配置となっている
請求項1または請求項2に記載の光学素子。 - 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の光学素子、および光導波路を有する被検査物に対して検査光を入射させる入射側端面を撮像する第1の撮像部を備え、
前記第1のハーフミラーは第1の光源から入射された光を反射させて前記第2のハーフミラーへ入射させ、
前記第2のハーフミラーは前記第1のハーフミラーで反射した前記第1の光源からの光を反射して前記入射側端面に入射光として照射するとともに、前記入射側端面で反射された前記入射光を透過して前記第1の撮像部に入射させる
照射光学系。 - 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の光学素子、および光導波路を有する被検査物の入射側端面から入射された光が出射する出射側端面を撮像する第2の撮像部を備え、 前記第2のハーフミラーは前記出射側端面からの光を透過して前記第2の撮像部に入射させるとともに、前記出射側端面からの光を反射して前記第1のハーフミラーに入射させ、
前記第1のハーフミラーは前記第2のハーフミラーからの光を反射させ出射光として出射する
集光光学系。 - 請求項4に記載の照射光学系と、
前記第1の光源と、
請求項5に記載の集光光学系と、
前記集光光学系から出射された前記出射光の光量を測定する光量計と、
前記第1の撮像部で撮像された画像に基づいて前記入射側端面と前記照射光学系との入射側位置合わせを制御するとともに、前記第2の撮像部で撮像された画像に基づいて前記出射側端面と前記集光光学系との出射側位置合せを制御する制御部と、
を含む光導波路検査装置。 - 入射する光を透過または反射させるとともに、ミラー面の前記所定の偏光方向に対する角度が、前記所定の偏光方向の光に対する透過率および反射率が前記第1の特性を示す角度となっている第3のハーフミラーをさらに含み、
前記第3のハーフミラーは第2の光源からの光を反射して前記第2のハーフミラーに入射し、
前記第2のハーフミラーは入射された前記第2の光源からの光を透過して前記入射側端面を照明する
請求項4に記載の照射光学系。 - 入射する光を透過または反射させるとともに、ミラー面の前記所定の偏光方向に対する角度が、前記所定の偏光方向の光に対する透過率および反射率が前記第1の特性を示す角度となっている第3のハーフミラーをさらに含み、
前記第3のハーフミラーは第3の光源からの光を反射して前記第2のハーフミラーへ入射し、
前記第2のハーフミラーは入射された前記第3の光源からの光を透過して前記出射側端面を照明する
請求項5に記載の集光光学系。 - 請求項7に記載の照射光学系と、
前記第1の光源と、
前記第2の光源と、
請求項8に記載の集光光学系と、
前記第3の光源と、
前記集光光学系から出射された前記出射光の光量を測定する光量計と、
前記第1の撮像部で撮像された画像に基づいて前記入射側端面と前記照射光学系との入射側位置合わせを制御するとともに、前記第2の撮像部で撮像された画像に基づいて前記出射側端面と前記集光光学系との出射側位置合せを制御する制御部と、
を含む光導波路検査装置。 - 前記入射光を前記照射光学系に導く第1の光ファイバと、
前記出射光を前記光量計に導く第2の光ファイバと、をさらに含み、
前記第1の撮像部が撮像する画像には前記照射光学系と前記第1の光ファイバとの接続点の第1の画像が含まれ、前記第2の撮像部が撮像する画像には前記集光光学系と前記第2の光ファイバとの接続点の第2の画像が含まれる
請求項6または請求項9に記載の光導波路検査装置。 - 前記入射側位置合わせおよび前記出射側位置合せの少なくとも一方が、前記被検査物の形状、前記第1の画像、および前記第2の画像を用いた位置合せ、または、前記被検査物に設けられたアライメントマーク、前記第1の画像、および前記第2の画像を用いた位置合せである
請求項10に記載の光導波路検査装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018124157A (ja) * | 2017-01-31 | 2018-08-09 | アンリツ株式会社 | 光通信システム評価装置 |
JP2020098102A (ja) * | 2018-12-17 | 2020-06-25 | シナジーオプトシステムズ株式会社 | ビーム形状計測用光学系およびビーム形状計測装置 |
JP2020106285A (ja) * | 2018-12-26 | 2020-07-09 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 光源測定装置 |
US11029206B2 (en) | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for waveguide metrology |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0862661A (ja) * | 1994-08-22 | 1996-03-08 | Nikon Corp | カメラの測光装置 |
US20020044277A1 (en) * | 2000-10-18 | 2002-04-18 | Lasertec Corporation | Image pickup apparatus and defect inspection system for photomask |
JP2003014643A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Canon Inc | 透過率測定装置、並びに露光装置 |
JP2005150455A (ja) * | 2003-11-17 | 2005-06-09 | Nikon Corp | 光学特性計測装置及び露光装置 |
JP2011145628A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Synergy Optosystems Co Ltd | 光導波路の検査装置 |
-
2015
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0862661A (ja) * | 1994-08-22 | 1996-03-08 | Nikon Corp | カメラの測光装置 |
US20020044277A1 (en) * | 2000-10-18 | 2002-04-18 | Lasertec Corporation | Image pickup apparatus and defect inspection system for photomask |
JP2003014643A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Canon Inc | 透過率測定装置、並びに露光装置 |
JP2005150455A (ja) * | 2003-11-17 | 2005-06-09 | Nikon Corp | 光学特性計測装置及び露光装置 |
JP2011145628A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Synergy Optosystems Co Ltd | 光導波路の検査装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018124157A (ja) * | 2017-01-31 | 2018-08-09 | アンリツ株式会社 | 光通信システム評価装置 |
US11029206B2 (en) | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for waveguide metrology |
JP2020098102A (ja) * | 2018-12-17 | 2020-06-25 | シナジーオプトシステムズ株式会社 | ビーム形状計測用光学系およびビーム形状計測装置 |
JP7379765B2 (ja) | 2018-12-17 | 2023-11-15 | シナジーオプトシステムズ株式会社 | ビーム形状計測用光学系およびビーム形状計測装置 |
JP2020106285A (ja) * | 2018-12-26 | 2020-07-09 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 光源測定装置 |
US11456572B2 (en) | 2018-12-26 | 2022-09-27 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Light source measurement apparatus |
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