JP2019203926A - 接続装置 - Google Patents

Abstract

【課題】平面光波回路と光ファイバコネクタ等とを、迅速かつ高精度に接続できる接続装置を提供する。【解決手段】平面光波回路７０を固定する回路固定部１２と、光ファイバコネクタ８４を固定するコネクタ固定部２２と、平面光波回路７０の一方端７０ａを撮像する第１のカメラ２４と、光ファイバコネクタ８４の端部８４ａを撮像する第２のカメラ４４と、光ファイバコネクタ８４を平面光波回路７０の一方端７０ａと光ファイバコネクタ８４の端部８４ａがＺ軸方向に動作可能な駆動部３６と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向並びにＲｘ方向、Ｒｙ方向及びＲｚ方向に動作可能な面合わせユニット３０と、光ファイバコネクタ８４に光を伝える透過照明装置３４と、平面光波回路７０と光ファイバコネクタ８４との接続位置を介して伝えられる透過照明装置３４からの光を測定する光量測定器６４と、を有する。【選択図】図１

Description

本発明は、第１の導波路コアと第２の導波路コア、または導波路コアを含む平面光波回路と光ファイバコネクタとを接続する接続装置に関する。

光通信システムにおいては、導波路の分岐や接続を行うために平面光波回路（Ｐｌａｎａｒ Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ ＣｉｒｃｕｉｔまたはＰＬＣともいう）が用いられる。たとえば、平面光波回路は、入力側の光ファイバコネクタおよび出力側の光ファイバコネクタが接続されることにより、入力側からの単一の光信号を受けて、これを複数の光信号に分割して出力するスプリッタのような、平面光波回路モジュールを構成する。

平面光波回路と光ファイバコネクタとの接続のような導波路の接続時においては、接続状態に起因する伝達損失を可能な限り低減する必要がある。具体的には、光ファイバ及び光ファイバコネクタにおける導波路コア（以下コア）と、平面光波回路における導波路コア（以下コア）とにおける各々の光軸を精度良く一致させて、両者を接続することが必要となる。

平面光波回路と光ファイバコネクタとを接続する従来の接続工程においては、平面光波回路と光ファイバコネクタとを突き合せた（仮接続した）状態にて実際に光信号を入力し、接続位置を介して出力される信号出力が最大となった状態で入力側の光ファイバコネクタと平面光波回路との接続（本接続、固定）を行う方法が提案されている（特許文献１）。また、平面光波回路及び光ファイバコネクタにおけるそれぞれコアの位置をカメラで撮像し、撮像結果に基づき位置合わせを行う技術も提案されている（特許文献２）。

特開平９−０９０１６１号公報 特開２００５−０２４５７９号公報

しかしながら、実際に光信号を入力しながら接続する従来の技術では、最適な接続位置を決定するために時間がかかりすぎるという問題が生じている。たとえば、信号出力が最大となる位置が検出領域の端部であったような場合は、検出領域を広げるか、または検出領域を移動させて、再検出を行う必要がある。また、コアの位置をカメラで撮像して検出する従来の技術は、コアとコア周辺のクラッド層などとの屈折率の差が小さいために、実際に光信号を入力しながら接続する技術に比べて、検出した位置の誤差が大きいという問題を有している。

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、第１の導波路コアと第２の導波路コア、または導波路コアを含む平面光波回路と光ファイバコネクタとを、迅速かつ高精度に接続できる接続装置に関する。

本発明の第１の観点に係る接続装置は、
平面光波回路と光ファイバコネクタとを接続する接続装置であって、
前記平面光波回路を固定する回路固定部と、
前記光ファイバコネクタを固定するコネクタ固定部と、
前記平面光波回路の一方端を撮像する第１のカメラと、
前記光ファイバコネクタの端部を撮像する第２のカメラと、
前記平面光波回路及び前記光ファイバコネクタの少なくとも一方を、前記平面光波回路の前記一方端と前記光ファイバコネクタの前記端部が接近又は離間する方向であるＺ軸方向に動作可能な駆動部と、
前記平面光波回路及び前記光ファイバコネクタの少なくとも一方を、前記Ｚ軸方向に垂直であるＸ軸方向及びＹ軸方向並びにＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の回転方向であるＲｘ方向、Ｒｙ方向及びＲｚ方向に動作可能な面合わせユニットと、
前記光ファイバコネクタ又は前記平面光波回路に光を伝える透過照明装置と、
前記平面光波回路の前記一方端と前記光ファイバコネクタの前記端部との接続位置を介して伝えられる前記透過照明装置からの光を測定する光量測定器と、を有することを特徴とする。

本発明の第１の観点に係る接続装置は、平面光波回路と光ファイバコネクタを撮像する第１及び第２のカメラと、接続位置を介して伝えられる透過照明装置からの光を測定する光量測定器とを有している。このような接続装置によれば、第１及び第２のカメラの撮像結果に基づく位置調整（粗調整）を行ったのちに、光量測定器の測定結果に基づく位置調整（微調整）を行うことができる。このような接続装置によれば、先に行なわれる位置調整（粗調整）の結果を用いて、後に行われる位置調整（微調整）における検出領域（スキャン領域）を小さくすることが可能であるため、平面光波回路と光ファイバコネクタとを、迅速かつ高精度に接続できる。

なお、面合わせユニットと駆動部とは、第１及び第２のカメラの撮像結果や、光量測定器の測定結果に基づき、平面光波回路と光ファイバコネクタとの位置合わせを行うことができる。また、接続装置がディスペンサを有してもよく、第２段階の位置調整（微調整）は、接着剤を塗布した（後であって硬化前の）状態で行うことが可能である。このような接続装置は、平面光波回路と光ファイバコネクタとの接続精度を高めることができる。

また、たとえば、本発明に係る接続装置は、前記平面光波回路の前記一方端の角度を測定する第１のオートコリメータと、
前記光ファイバコネクタの前記端部の角度を測定する第２のオートコリメータと、をさらに有してもよい。

第１及び第２のオートコリメータを有する接続装置は、平面光波回路と光ファイバコネクタとの接続面の角度を精度よく検出して面合わせを行うことができ、後に行われる光量測定器による位置調整もスムーズに行うことができる。

また、たとえば、本発明に係る接続装置は、前記コネクタ固定部と、前記第１のカメラとを搭載するベースを有してもよく、
前記駆動部は、前記ベースを前記Ｚ軸方向に動作させることにより、前記光ファイバコネクタを前記Ｚ軸方向に動作可能であってもよく、
前記駆動部は、前記ベースを前記Ｘ軸方向にも動作可能であってもよい。

このようなベース及び駆動部を有する接続装置は、ベースを移動させることにより、光ファイバコネクタ、第１のカメラ、平面光波回路及び第２のカメラの相対位置を変化させ、各工程において、これらの部材を最適な配置とすることができる。

また、たとえば、前記面合わせユニットは、前記第１のカメラ及び前記第２のカメラによる撮像結果に基づく第１の面合わせ動作と、前記第１の面合わせ動作の後における前記光量測定器による測定結果に基づく第２の面合わせ動作と、を行ってもよい。

第１の面合わせ動作で粗調整を行い、第２の面合わせ動作で微調整を行うことにより、このような接続装置は、平面光波回路と光ファイバコネクタとを、迅速かつ高精度に接続できる。

また、たとえば、前記面合わせユニットは、前記第１のオートコリメータ及び前記第２のオートコリメータによる測定結果に基づく前記回転方向に関する回転面合わせ動作を行ってもよい。
また、たとえば、前記面合わせユニットは、前記第１のオートコリメータ及び前記第２のオートコリメータによる測定結果に基づく回転面合わせ動作と、前記回転面合わせ動作の後における前記第１のカメラ及び前記第２のカメラによる撮像結果に基づく第１の面合わせ動作と、前記第１の面合わせ動作の後における前記光量測定器による測定結果に基づく第２の面合わせ動作と、を行ってもよい。

第１及び第２オートコリメータの測定結果に基づく回転面合わせ動作を行うことにより、後に行う第２の面合わせ動作を迅速かつ精度良く行うことができる。

また、たとえば、前記駆動部が、前記第１のカメラと前記平面光波回路の前記一方端とが対向し、第２のカメラと前記光ファイバコネクタの前記端部とが対向する第１の位置に、前記コネクタ固定部と前記第１のカメラとを搭載するベースを位置させて、前記面合わせユニットが、前記第１の面合わせ動作を行ってもよく、
前記駆動部が、前記光ファイバコネクタ、前記平面光波回路の前記一方端及び前記光量測定器が前記Ｚ軸方向に整列する第２の位置に、前記ベースを位置させて、前記面合わせユニットが、前記第２の面合わせ動作を行ってもよい。

このようなベース及び駆動部を有する接続装置は、ベースを移動させることにより第１のカメラ、第２のカメラ、光ファイバコネクタ及び平面光波回路などの相対位置を迅速に変化させ、第１の面合わせ動作や第２の面合わせ動作を、効率的に行うことができる。

また、たとえば、前記コネクタ固定部は、１つの前記光ファイバコネクタである第１の光ファイバコネクタを固定する第１のコネクタ固定部と、他の１つの前記光ファイバコネクタである第２の光ファイバコネクタを固定する第２のコネクタ固定部と、を有してもよく、
前記駆動部は、前記第１の光ファイバコネクタを前記Ｚ軸方向に動作可能な第１の駆動部と、前記第２の光ファイバコネクタを前記Ｚ軸方向に動作可能な第２の駆動部と、を有してもよく、
前記面合わせユニットは、前記第１の光ファイバコネクタを前記Ｘ軸方向及び前記Ｙ軸方向並びに前記Ｒｘ方向、前記Ｒｙ方向及び前記Ｒｚ方向に動作可能な第１の面合わせユニットと、前記第２の光ファイバコネクタを前記Ｘ軸方向及び前記Ｙ軸方向並びに前記Ｒｘ方向、前記Ｒｙ方向及び前記Ｒｚ方向に動作可能な第２の面合わせユニットと、を有してもよく、
前記光量測定器は、少なくとも前記一方端と前記第１の光ファイバコネクタの端部との前記接続位置である第１の接続位置を介して伝えられる前記透過照明装置からの光を測定する第１の光量測定器と、少なくとも前記他方端と前記第２の光ファイバコネクタの端部との前記接続位置である第２の接続位置を介して伝えられる前記透過照明装置からの光を測定する第２の光量測定器と、を有してもよい。

このような接続装置は、平面光波回路の一方端に第１の光ファイバコネクタを接続し、平面光波回路の他方端に第２の光ファイバコネクタを接続し、１つの平面光波回路に２つの光ファイバコネクタを接続した平面光波回路モジュールを、迅速かつ精度よく製造することができる。

また、たとえば、前記第１のカメラは、前記平面光波回路の前記一方端及び前記第２の光ファイバコネクタの前記端部を撮像してもよく、
前記第２のカメラは前記第１の光ファイバコネクタの前記端部及び前記平面光波回路の前記他方端を撮像してもよい。

このような接続装置は、第１のカメラと第２のカメラとを、第１の光ファイバの位置調整（粗調整）の際と、第２の光ファイバの位置調整（粗調整）の際のいずれの際にも使用することにより、装置を簡略化することができる。

また、たとえば、前記コネクタ固定部は、前記第１のカメラと前記第１のコネクタ固定部とを搭載する第１のベースと、前記第２のカメラと前記第２のコネクタ固定部とを搭載する第２のベースと、を有してもよく、
前記第１の駆動部は、前記第１のベースを前記Ｚ軸方向に動作させることにより、前記第１の光ファイバコネクタを前記Ｚ軸方向に動作可能であり、前記第２の駆動部は、前記第２のベースを前記Ｚ軸方向に動作させることにより、前記第２の光ファイバコネクタを前記Ｚ軸方向に動作可能であってもよく、
前記第１の駆動部は、前記第１のベースを前記Ｘ軸方向にも動作可能であり、前記第２の駆動部は、前記第２のベースを前記Ｘ軸方向にも動作可能であってもよい。

第１及び第２のベース並びに第１及び第２の駆動部を有する接続装置は、第１及び第２のベースを移動させることにより第１のカメラ、第２のカメラ、第１の光ファイバコネクタ、第２の光ファイバコネクタ及び平面光波回路などの相対位置を迅速に変化させ、各種の面合わせ動作を効率的に行うことができる。

また、たとえば、本発明に係る接続装置は、前記平面光波回路の前記一方端及び前記第２の光ファイバコネクタの前記端部の角度を測定する第１のオートコリメータと、
前記第１の光ファイバコネクタの前記端部及び前記平面光波回路の前記他方端の角度を測定する第２のオートコリメータと、をさらに有してもよい。

第１及び第２オートコリメータの撮像結果に基づく回転面合わせ動作を行うことにより、後に行う光量測定器の測定結果に基づく面合わせ動作を、迅速かつ精度良く行うことができる。

また、たとえば、前記第２の光ファイバコネクタは複数のチャンネルを有してもよく、前記第２の光量測定器は、前記第２の光ファイバコネクタのチャンネル数と同数以上の測定部を有してもよい。

このような接続装置は、複数のチャンネルを有する光ファイバコネクタを平面光波回路に接続し、スプリッタのような平面光波回路モジュールを製造するのに適している。

また、たとえば、前記第１の面合わせユニットは、前記第１のカメラ及び前記第２のカメラによる撮像結果に基づく第１の面合わせ動作と、前記第１の面合わせ動作の後における前記光量測定器による測定結果に基づく第２の面合わせ動作と、を行ってもよく、
前記第２の面合わせユニットは、前記第２の面合わせ動作の後における前記第１のカメラ及び前記第２のカメラによる撮像結果に基づく第３の面合わせ動作と、前記第３の面合わせ動作の後における前記光量測定器による測定結果に基づく第４の面合わせ動作と、を行ってもよい。

第１及び第３の面合わせ動作で粗調整を行い、第２及び第４の面合わせ動作で微調整を行うことにより、このような接続装置は、平面光波回路と第１及び第２の光ファイバコネクタとを、迅速かつ高精度に接続できる。

また、たとえば、前記第１の面合わせユニットは、前記第１のオートコリメータ及び前記第２のオートコリメータによる測定結果に基づく前記回転方向に関する第１の回転面合わせ動作と、前記第１の回転面合わせ動作の後における前記第１のカメラ及び前記第２のカメラによる撮像結果に基づく第１の面合わせ動作と、前記第１の面合わせ動作の後における前記光量測定器による測定結果に基づく第２の面合わせ動作と、を行ってもよく、
前記第２の面合わせユニットは、前記第２の面合わせ動作の後における前記第１のオートコリメータ及び前記第２のオートコリメータによる測定結果に基づく前記回転方向に関する第２の回転面合わせ動作と、前記第２の回転面合わせ動作の後における前記第１のカメラ及び前記第２のカメラによる撮像結果に基づく第３の面合わせ動作と、前記第３の面合わせ動作の後における前記光量測定器による測定結果に基づく第４の面合わせ動作と、を行ってもよい。

このような接続装置は、第１及び第２オートコリメータの測定結果に基づく第１及び第２の回転面合わせ動作を行うことにより、後に行う第２及び第４の面合わせ動作を迅速かつ精度良く行うことができる。

また、たとえば、前記透過照明装置が伝える光は赤外線であってもよく、
前記第２のカメラは、前記光ファイバコネクタの前記端部及び前記平面光波回路の他方端の少なくとも一方から出射する赤外線を撮像してもよい。

第２のカメラは、光ファイバコネクタの端部からの反射光を用いて撮像してもよいが、透過照明装置から伝えられ光ファイバコネクタの端部から出射する赤外線を用いて撮像してもよい。

また、本発明の第２の観点に係る接続装置は、
第１の導波路コアと第２の導波路コアとを接続する接続装置であって、
前記第１の導波路コアを固定する第１の導波路コア固定部と、
前記第２の導波路コアを固定する第２の導波路コア固定部と、
前記第１の導波路コアの端部を撮像する第１のカメラと、
前記第２の導波路コアの端部を撮像する第２のカメラと、
前記第１の導波路コア及び前記第２の導波路コアの少なくとも一方を、前記第１の導波路コアの前記端部と前記第２の導波路コアの前記端部が接近又は離間する方向であるＺ軸方向に動作可能な駆動部と、
前記第１の導波路コア及び前記第２の導波路コアの少なくとも一方を、前記Ｚ軸方向に垂直であるＸ軸方向及びＹ軸方向並びにＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の回転方向であるＲｘ方向、Ｒｙ方向及びＲｚ方向に動作可能な面合わせユニットと、
前記第２の導波路コア又は前記第１の導波路コアに光を伝える透過照明装置と、
前記第１の導波路コアの前記端部と前記第２の導波路コアの前記端部との接続位置を介して伝えられる前記透過照明装置からの光を測定する光量測定器と、を有することを特徴とする。

本発明の第２の観点に係る接続装置は、平面光波回路のコアのような第１の導波路コアと光ファイバコネクタのコアのような第２の導波路コアとを接続する。第２の観点に係る接続装置によれば、第１の観点に係る接続装置と同様に、先に行なわれる位置調整（粗調整）の結果を用いて、後に行われる位置調整（微調整）における検出領域（スキャン領域）を小さくすることが可能であるため、第１の導波路コアと第２の導波路コアとを、迅速かつ高精度に接続できる。なお、接続装置が接続する第１及び第２の導波路コアは、平面光波回路のコアと光ファイバコネクタのコアの組み合わせに限定されず、本発明の第２の観点に係る接続装置は、平面光波回路のような回路同士の接続や、ファイバ同士の接続にも用いることができる。

また、例えば、本発明に係る接続装置は、前記第１の導波路コアの前記端部が露出する面の角度を測定する第１のオートコリメータと、
前記第１の導波路コアの前記端部が露出する面の角度を測定する第２のオートコリメータと、をさらに有してもよい。

第１及び第２のオートコリメータを有する接続装置は、第１の導波路コアと第２の導波路コアとの接続面の角度を精度よく検出して面合わせを行うことができ、後に行われる光量測定器による位置調整もスムーズに行うことができる。

図１は、本発明の第１実施形態に係る接続装置の概略構成を表す概念図であり、第１のベースが第３の位置にある状態を表している。 図２は、図１に示す接続装置の他の状態を表す概念図であり、第１のベースが第１の位置にある状態を表している。 図３は、図１に示す接続装置の他の状態を表す概念図であり、第１のベースが第２の位置にある状態を表している。 図４は、本発明の第２実施形態に係る接続装置の概略構成を表す概念図であり、第２のベースが第３の位置にある状態を表している。 図５は、図４に示す接続装置の他の状態を表す概念図であり、第２のベースが第１の位置にある状態を表している。 図６は、図４に示す接続装置の他の状態を表す概念図であり、第２のベースが第２の位置にある状態を表している。 図７は、接続装置による第１の予備位置検出動作を表す概念図である。 図８は、接続装置による第１の回転面合わせ動作を表す概念図である。 図９は、接続装置による第１の面合わせ動作を表す概念図である。 図１０は、接続装置による第１の接着剤塗布動作を表す概念図である。 図１１は、接続装置による第２の面合わせ動作を表す概念図である。 図１２は、接続装置による第１の接着動作を表す概念図である。 図１３は、接続装置による第２の予備検出動作を表す概念図である。 図１４は、接続装置による第２の回転面合わせ動作を表す概念図である。 図１５は、接続装置による第３の面合わせ動作を表す概念図である。 図１６は、接続装置による第２の接着剤塗布動作を表す概念図である。 図１７は、接続装置による第４の面合わせ動作を表す概念図である。 図１８は、接続装置による第２の接着動作を表す概念図である。 図１９は、接続装置による平面光波回路モジュールの製造工程の一例を表すフローチャートである。 図２０は、平面光波回路の一方端と他方端とを表す概略図である。 図２１は、第１の光ファイバコネクタの端部と第２の光ファイバコネクタの端部とを表す概略図である。

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る接続装置１０の概略構成を表す概念図であり、第１のベース２０が第３の位置にある状態を表している。接続装置１０は、回路固定部１２、第１のコネクタ固定部２２、第１のカメラ２４、第２のカメラ４４、第１の面合わせユニット３０、第１の駆動部３６、ディスペンサ６２、透過照明装置３４、第１の光量測定器６４などを有しており、これらの各部材が、基台１１に対して配置されている。

接続装置１０は、平面光波回路７０と第１の光ファイバコネクタ８０とを接続する。図２０（ａ）は、平面光波回路７０の一方端７０ａを表しており、図２０（ｂ）は平面光波回路７０の他方端７０ｂを表している。図２０（ａ）に示すように、平面光波回路７０には、光信号を伝える導波路となるコア７１が形成されており、コア７１は、アンダークラッド層７２とオーバークラッド層７３とにより、上下方向を挟まれている。アンダークラッド層７２の下部には、基板層７４が形成されている。

図２０（ａ）及び図２０（ｂ）に示すように、平面光波回路７０は、一方端７０ａに露出するコア７１が１つであり、他方端７０ｂに露出するコア７１が８つであり、コア７１は、平面光波回路７０の内部で分岐している。したがって、平面光波回路７０は、１ｃｈ（チャンネル）から８ｃｈに光信号を分岐するスプリッタを構成する。ただし、接続装置１０が接続する平面光波回路７０としてはこれに限定されず、一方端７０ａと他方端７０ｂに同数のコア７１が露出しているものであってもよく、また、一方端７０ａ及び他方端７０ｂに露出するコア７１は、単数であってもよく、複数であってもよい。

図１に示すように、第１の光ファイバコネクタ８０は、第１のファイバ部８２と、第１のコネクタ部８４とを有する。第１のコネクタ部８４は、第１のファイバ部８２の端部に接続しており、第１のコネクタ部８４の内部には、光ファイバである第１のファイバ部８２に続く導波路となるコア８１が形成されている。図２１（ａ）に示すように、第１のコネクタ部８４の端部８４ａには、第１の光ファイバコネクタ８０が接続する平面光波回路７０の一方端７０ａと同様に、１つのコア８１が露出している。コア８１は、平面光波回路７０のコア７１と同様に、クラッド層８３により覆われている。

図２１（ｂ）は、平面光波回路７０の他方端７０ｂに接続する第２の光ファイバコネクタ１８０（図４参照）における第２のコネクタ部１８４の端部１８４ａを表している。端部１８４ａには、８つのコア１８１が露出している。第１の光ファイバコネクタ８０のチャンネル数（１ｃｈ）は、平面光波回路７０の一方端７０ａのチャンネル数に対応しており、第２の光ファイバコネクタ１８０のチャンネル数（８ｃｈ）は、平面光波回路７０の他方端７０ｂのチャンネル数に対応しており、第１及び第２の光ファイバコネクタ８０、１８０のチャンネル数は、接続対象のチャンネル数に応じて適宜変更できる。

なお、後述する製造工程の具体例では、第１実施形態に係る接続装置１０を用いて平面光波回路７０と第１の光ファイバコネクタ８０との接続を説明し、第２実施形態に係る接続装置１１０を用いて、平面光波回路７０と第２の光ファイバコネクタ１８０との接続を説明する。ただし、当然のことではあるが、接続装置１０を用いて平面光波回路７０と第２の光ファイバコネクタ１８０とを接続することも可能であり、接続装置１１０を用いて、平面光波回路７０と第１の光ファイバコネクタ８０とを接続することも可能である。

図１に示すように、接続装置１０の中央付近には、平面光波回路７０を固定する回路固定部１２が配置されている。平面光波回路７０は、平面光波回路７０の一方端７０ａが、第１のコネクタ固定部が搭載される第１のベース２０側を向くように、回路固定部１２に固定されている。

第１の光ファイバコネクタ８０を固定する第１のコネクタ固定部２２は、第１の面合わせユニット３０に搭載されている。第１の面合わせユニット３０は、第１の光ファイバコネクタ８０を、Ｚ軸方向に垂直であるＸ軸方向及びＹ軸方向並びにＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の回転方向であるＲｘ方向、Ｒｙ方向及びＲｚ方向に動作可能である。なお、接続装置１０の説明では、平面光波回路７０の一方端７０ａと第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａが接近又は離間する方向をＺ軸方向とし、図２０及び図２１に示すコア７１、８１の配列方向をＸ軸方向（水平方向）、Ｘ軸及びＺ軸に垂直な方向（鉛直方向）をＹ軸方向とし、Ｘ軸を回転軸とする回転方向をＲｘ方向、Ｙ軸を回転軸とする回転方向をＲｙ方向、Ｚ軸を回転軸とする回転方向をＲｚ方向とする。

第２の面合わせユニット３０は、図示しない制御部からの制御信号によって駆動され、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａの角度（回転方向）及び位置を調整する。後述するように、第２の面合わせユニット３０は、図１９に示す第１の回転面合わせ動作（ステップＳ００２）、第１の面合わせ動作（ステップＳ００３）及び第２の面合わせ動作（ステップＳ００５）で、第１の光ファイバコネクタ８０を動作させる。

なお、接続装置１０の第１の面合わせユニット３０は、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａを、５軸方向に動作可能であるが、第１の面合わせユニット３０はこれに限定されず、上述した５軸にＺ軸方向を加えて、６軸方向に動作可能であってもよい。また、第１の面合わせユニット３０は、第１の光ファイバコネクタ８０を所定方向に動作できればよく、いくつかの動作部に分離していてもよく、一体であってもよい。第１の面合わせユニット３０の動作部としては、圧電式や電磁式のリニアモータや回転モータを用いることができるが、特に限定されない。また、第１の面合わせユニット３０は、平面光波回路７０及び第１の光ファイバコネクタ８０の少なくとも一方を所定方向に動作させるものであればよく、平面光波回路７０を動作させるものや、平面光波回路７０と第１の光ファイバコネクタ８０とを両方とも動作させるものであってもよい。

図１に示すように、第１のコネクタ固定部２２を搭載する第１の面合わせユニット３０は、さらに第１のベース２０に搭載されている。第１のベース２０は、第１の駆動部３６によって基台１１上を移動することができる。第１の駆動部３６は、第１のベース２０をＺ軸方向及びＸ軸方向に動作可能であり、第１のベース２０を動作させることにより、第１のベース２０に搭載される第１の光ファイバコネクタ８０を、Ｚ軸方向及びＸ軸方向に動作させることができる。

第１の駆動部３６は、第１の光ファイバコネクタ８０をＺ軸方向に動作させることにより、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａと、平面光波回路７０の一方端７０ａとの距離（両者の隙間）を変更することができる。また、第１の駆動部３６は、第１の光ファイバコネクタ８０をＸ軸方向に動作させることにより、第１の光ファイバコネクタ８０と第２のカメラ４４、第２のオートコリメータ４８及び平面光波回路７０のそれぞれと対向する位置に、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａを移動させることができる。

なお、第１の駆動部３６は、Ｚ軸方向のみに第１のベース２０及び第１の光ファイバコネクタ８０を動作可能であってもよく、この場合、第２のカメラ４４や第２のオートコリメータ４８が、基台１１上を移動可能であってもよい。また、第１の駆動部３６は、第１のベース２０及び第１の光ファイバコネクタ８０を、Ｙ軸方向にも動作可能であってもよい。第１の駆動部３６としては、たとえば圧電式や電磁式のリニアモータや回転モータを用いることができるが、特に限定されない。また、第１の駆動部３６は、平面光波回路７０及び第１の光ファイバコネクタ８０の少なくとも一方を所定方向に動作させるものであればよく、第１の光ファイバコネクタ８０を移動させるものに限定されない。たとえば、第１の駆動部３６は、平面光波回路７０を動作させるものや、平面光波回路７０と第１の光ファイバコネクタ８０とを両方とも動作させるものであってもよい。

図１に示すように、第１のベース２０には、第１のカメラ２４と、第１の光源２６と、第１のオートコリメータ２８とが搭載されている。第１のカメラ２４は、平面光波回路７０の一方端７０ａを撮像する。図２に示すように、第１のカメラ２４が平面光波回路７０の一方端７０ａを撮像する際、第１の駆動部３６は、第１のカメラ２４と平面光波回路７０の一方端７０ａとが対向するように、第１のベース２０をＸ軸方向に移動させる。

第１の光源２６は、第１のカメラ２４の近傍に配置されており、第１のカメラ２４は、第１の光源２６からの光を平面光波回路７０の一方端７０ａが反射した反射光により、一方端７０ａの撮像を行う。なお、第１のカメラ２４は平面光波回路７０の一方端７０ａの他端面より光を導波路に入光させて当該一方端７０ａに透過した透過光により一方端７０ａの撮像を行うようにしてもよい。第１のカメラ２４としては、たとえば、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の固体撮像素子を有するデジタルカメラを用いることができ、第１の光源２６としては単色又は白色ＬＥＤなどを用いることができるが、特に限定されない。第１のカメラ２４の撮像結果は、図示しない制御部に送られて画像解析されることにより、接続装置１０は、平面光波回路７０の一方端７０ａの角度や位置を認識することができる。

第１のオートコリメータ２８は、平面光波回路７０の一方端７０ａを撮像することにより、一方端７０ａの角度を測定する。図１に示すように、第１のオートコリメータ２８が平面光波回路７０の一方端７０ａを撮像する際、第１の駆動部３６は、第１のオートコリメータ２８と平面光波回路７０の一方端７０ａとが対向する第３の位置Ｐ３に、第１のベース２０をＸ軸方向に移動させる。第１のオートコリメータ２８による測定結果は、図示しない制御部に送られ、接続装置１０は、平面光波回路７０の一方端７０ａの角度を精度よく認識することができる。

図１及び図３に示すように、接続装置１０は、第１の光ファイバコネクタ８０のコア８１に光を伝える透過照明装置３４を有する。透過照明装置３４は、赤外線など、実際の光通信において光信号として用いる波長の光を出射して、第１の光ファイバコネクタ８０に伝える。透過照明装置３４と第１の光ファイバコネクタ８０との間には、透過照明装置３４と第１の光ファイバコネクタ８０における第１のファイバ部８２とを接続する第１の接続冶具３２が設けられている。

図３に示すように、後述する第２の面合わせ動作（ステップＳ００５）を行う際、第１の駆動部３６は、第１の光ファイバコネクタ８０、平面光波回路７０及び第１の光量測定器６４がＺ軸方向に整列する第２の位置Ｐ２に、第１のベース２０を移動させる。透過照明装置３４からの光は、第１の接続冶具３２を介して第１の光ファイバコネクタ８０のコア８１に伝えられ、さらに、第１の光ファイバコネクタ８０と平面光波回路７０との第１の接続位置ＰＣ１を介して平面光波回路７０のコア７１に伝えられる。

図３に示すように、第１の光量測定器６４は平面光波回路７０に隣接して配置されており、第１の接続位置ＰＣ１を介して伝えられる透過照明装置３４からの光を測定する。すなわち、第１の接続位置ＰＣ１を介して平面光波回路７０のコア７１に伝えられた透過照明装置３４からの光は、平面光波回路７０の他方端７０ｂから出射し、第１の光量測定器６４へ入射する。第１の光量測定器６４は、フォトダイオード等を有しており、第１の接続位置ＰＣ１を介して平面光波回路７０のコア７１に伝えられた光の強度を測定することができる。

なお、図３に示す透過照明装置３４と第１の光量測定器６４の位置関係は逆であってもよい。この場合、透過照明装置３４は、平面光波回路７０に対して光を伝え、第１の光量測定器６４は第１の接続位置ＰＣ１を介して第１の光ファイバコネクタ８０のコア８１に伝えられた光の強度を測定する。また、透過照明装置３４と第１の接続冶具３２とは、第１のベース２０に搭載されているか又は第１のベース２０と伴に移動してもよく、基台１１に固定されていてもよい。

図３に示すように、接続装置１０は、平面光波回路７０の一方端７０ａと第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａとの第１の接続位置ＰＣ１に接着剤９０を塗布するディスペンサ６２を有する。ディスペンサ６２が塗布する接着剤９０としては、特に限定されないが、たとえば紫外線硬化型の接着剤９０が挙げられる。

図１に示すように、接続装置１０の第２のカメラ４４及び第２のオートコリメータ４８は、基台１１に固定されている。図２に示すように、第２のカメラ４４は、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａを撮像する。第２のカメラ４４は、透過照明装置３４から第１の光ファイバコネクタ８０のコア８１に伝えられ、端部８４ａから出射する赤外線などの透過光によって、端部８４ａを撮像する赤外線カメラである。ただし、第２のカメラ４４としてはこれに限定されず、第１のカメラ２４と同様に、反射光により撮像を行うものであってもよい。

第２のカメラ４４の撮像結果は、図示しない制御部に送られて画像解析されることにより、接続装置１０は、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａの角度や位置を認識することができる。図２に示すように、第２のカメラ４４は、第１のカメラ２４と平面光波回路７０の一方端７０ａとが対向する第１の位置Ｐ１において、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａに対向する。すなわち、基台１１に固定される第２のカメラ４４と平面光波回路７０とのＸ軸方向の距離は、第１のベース２０に搭載される第１の光ファイバコネクタ８０と第１のカメラ２４とのＸ軸方向の距離と、等しくなっている。

第２のオートコリメータ４８は、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａを撮像し、端部８４ａの角度を測定する。図１に示すように、第２のオートコリメータ４８は、第１のオートコリメータ２８と平面光波回路７０の一方端７０ａとが対向する第３の位置Ｐ３において、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａに対向する。すなわち、基台１１に固定される第２のオートコリメータ４８と平面光波回路７０とのＸ軸方向の距離は、第１のベース２０に搭載される第１の光ファイバコネクタ８０と第１のオートコリメータ２８とのＸ軸方向の距離と、等しくなっている。

第２のオートコリメータ４８による測定結果は、図示しない制御部に送られ、接続装置１０は、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａの角度を精度よく認識することができる。なお、接続装置１０は、第１及び第２のオートコリメータ２８、４８を有せず、第１及び第２のカメラ２４、４４の撮像結果のみに基づき粗調整を行うことも可能であるが、第１及び第２のカメラ２４、４４に加えて第１及び第２のオートコリメータ２８、４８の測定結果を用いて粗調整を行うことにより、平面光波回路７０の一方端７０ａと第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａとの平行度を高め、より精度の高い接続を行うことができる。

図４は、本発明の第２実施形態に係る接続装置１１０の概略構成を表す概念図であり、第２のベース１４０が第３の位置Ｐ３にある状態を表している。接続装置１１０は、第２のベース１４０、第２の駆動部１５６及び第２の光量測定器１５８等を有しており、第２のカメラ４４、第２のオートコリメータ４８、第２の面合わせユニット１５０などが第２のベース１４０に搭載されている点で第１実施形態に係る接続装置１１０とは異なるが、その他の部分については、接続装置１０と同様である。したがって、接続装置１１０に関しては、接続装置１０との相違点のみを説明し、接続装置１０との共通点については説明を省略する。

第２のベース１４０は、Ｚ軸方向に関して、基台１１の中央付近に配置された回路固定部１２に対して、第１のベース２０とは反対側に配置されている。第２の駆動部１５６は、第２のベース１４０をＺ軸方向及びＸ軸方向に動作可能である。また、第２の駆動部１５６は、第２のベース１４０を動作させることにより、第２のベース１４０に搭載される第２の光ファイバコネクタ１８０を、Ｚ軸方向及びＸ軸方向に動作させることができる。なお、第２の駆動部１５６の駆動手段などは、第１の駆動部３６（図１参照）と同様である。

第２のベース１４０には、第２の面合わせユニット１５０が搭載されている。また、第２の面合わせユニット１５０には、第２の光ファイバコネクタ１８０を固定する第２のコネクタ固定部１４２が搭載されている。第２の面合わせユニット１５０は、第１の面合わせユニット３０と同様に、第２の光ファイバコネクタ１８０を、Ｚ軸方向に垂直であるＸ軸方向及びＹ軸方向並びにＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の回転方向であるＲｘ方向、Ｒｙ方向及びＲｚ方向に動作可能である。

図５に示すように、第２のカメラ４４は第２のベース１４０に搭載されており、第２のベース１４０が第１の位置Ｐ１にあるときに、平面光波回路７０の他方端７０ｂを撮像する。また、第１のベース２０に搭載される第１のカメラ２４は、第２のベース１４０が第１の位置Ｐ１にあるときに、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａを撮像する。したがって、第２のカメラ４４と第２の光ファイバコネクタ１８０とのＸ軸方向の間隔は、第１のカメラ２４と第１の光ファイバコネクタ８０とのＸ軸方向の間隔と等しくなっている。

図４に示すように、第２のオートコリメータ４８は、第２のカメラ４４と同様に第２のベース１４０に搭載されており、第２のベース１４０が第３の位置Ｐ３にあるときに、平面光波回路７０の他方端７０ｂを撮像する。また、第１のベース２０に搭載される第１のオートコリメータ２８は、第２のベース１４０が第３の位置Ｐ３にあるときに、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａを撮像する。したがって、第２のオートコリメータ４８と第２の光ファイバコネクタ１８０とのＸ軸方向の間隔は、第１のオートコリメータ２８と第１の光ファイバコネクタ８０とのＸ軸方向の間隔と等しくなっている。

図６に示すように、接続装置１１０は第２の光量測定器１５８を有している。第２の光量測定器１５８は、第２の光ファイバコネクタ１８０の第２のファイバ部１８２に対して、第２の接続冶具１５２を介して接続されている。透過照明装置３４から第１の光ファイバコネクタ８０のコア８１に伝えられた光は、第１の接続位置ＰＣ１を介して平面光波回路７０のコア７１に伝えられ、さらに、平面光波回路７０の他方端７０ｂと第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａとの接続位置である第２の接続位置ＰＣ２を介して第２の光ファイバコネクタ１８０のコア１８１に伝えられたのち、第２の光量測定器１５８に入射する。

第２の光量測定器１５８は、第１の光量測定器６４と同様にフォトダイオード等を有しており、少なくとも第２の接続位置ＰＣ２を介して第２の光ファイバコネクタ１８０のコア１８１に伝えられた光の強度を測定することができる。また、第２の光量測定器１５８は、第２の光ファイバコネクタ１８０のチャンネル数（８ｃｈ）と同数以上の測定部１５８ａを有することが好ましい。これにより、第２の光ファイバコネクタ１８０に含まれる一部のコア１８１のみが、位置ずれした状態で平面光波回路７０に接続される問題を好適に防止できる。なお、第２の光ファイバコネクタ１８０と平面光波回路７０とを接続する工程では、平面光波回路７０と第１の光ファイバコネクタ８０との接続で使用した第１の光量測定器６４は使用しないため、図６に示すように、基台１１における退避位置に退避する。

図６に示すように、ディスペンサ６２は、図示しない駆動部により基台１１上を移動し、平面光波回路７０の他方端７０ｂと第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａとの第２の接続位置ＰＣ２に接着剤９０を塗布する。なお、ディスペンサ６２によって塗布される接着剤９０が紫外線硬化型である場合は、接続装置１０、１１０は、接着剤９０を硬化させるための紫外線照射器を有する。

以下、図１〜図１９を用いて、平面光波回路７０と第１の光ファイバコネクタ８０及び第２の光ファイバコネクタ１８０とを接続し、平面光波回路モジュールを製造する製造方法について説明する。図１９は、接続装置１０、１１０による平面光波回路モジュールの製造工程の一例を表すフローチャートである。

図１９に示すステップＳ００１からステップＳ００６では、平面光波回路７０と第１の光ファイバコネクタ８０とを接続し、ステップＳ００７からステップＳ０１２では、第１の光ファイバコネクタ８０を接続した平面光波回路７０に対して、さらに第２の光ファイバコネクタ１８０を接続する。平面光波回路７０と第１の光ファイバコネクタ８０との接続は、図１〜図３に示す接続装置１０を用いて説明を行う。ただし、図４〜図６に示す接続装置１１０についても、たとえば、図６に示すように、第２のベース１４０を第２の位置Ｐ２に固定しておけば、図１〜図３に示す接続装置１０と同様にして、平面光波回路７０と第１の光ファイバコネクタ８０とを接続することができる。

接続装置１０が平面光波回路７０と第１の光ファイバコネクタ８０との接続を行う際、まず、図１に示すように、平面光波回路７０を回路固定部１２に固定し、第１の光ファイバコネクタ８０を、第１の面合わせユニット３０に搭載された第１のコネクタ固定部２２に固定する。次に、接続装置１０は、ステップＳ００１に示す第１の予備位置検出動作を実施する。

ステップＳ００１では、まず、接続装置１０の第１の駆動部３６が、第１のベース２０をＸ軸方向に移動させ、図２に示す第１の位置Ｐ１に第１のベース２０を位置させる。図２に示すように、第１の位置Ｐ１では、第１のカメラ２４と平面光波回路７０の一方端７０ａとが対向し、第２のカメラ４４と第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａとが対向する。

図７は、接続装置１０による第１の予備位置検出動作（ステップＳ００１）を表す概念図である。ステップＳ００１では、図７（ａ）に示すように、第１のカメラ２４が、平面光波回路７０の一方端７０ａを撮像し、一方端７０ａの位置を認識する。この際、第１のカメラ２４は、第１の光源２６の反射光を用いて撮像する。

また、ステップＳ００１では、図７（ｂ）に示すように、第２のカメラ４４が、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａを撮像し、端部８４ａの位置を認識する。この際、第２のカメラ４４は、透過照明装置３４から第１の光ファイバコネクタ８０のコア８１を伝わり、端部８４ａから出射される透過光を用いて撮像する。

ステップＳ００１では、第１のカメラ２４及び第２のカメラ４４が取得した画像情報に基づき、接続装置１０の制御部が、平面光波回路７０の一方端７０ａ及び第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａの概略位置を認識する。ステップＳ００１では、接続装置１０の制御部は、後に行う第１及び第２のオートコリメータによる角度の測定が行える程度に位置認識ができればよい。なお、第１の光ファイバコネクタ８０や平面光波回路７０の固定精度が高いなど、所定の条件を満たす場合は、第１の予備位置検出動作（ステップＳ００１）を省略できる場合がある。

ステップＳ００１に示す第１の予備位置検出動作の後、接続装置１０は、ステップＳ００２に示す第１の回転面合わせ動作を実施する。ステップＳ００２では、まず、接続装置１０の第１の駆動部３６が、第１のベース２０をＸ軸方向に移動させ、図１に示す第３の位置Ｐ３に、第１のベース２０を位置させる。図１に示すように、第３の位置Ｐ３では、第１のオートコリメータ２８と平面光波回路７０の一方端７０ａとが対向し、第２のオートコリメータ４８と第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａとが対向する。

図８は、接続装置１０による第１の回転面合わせ動作（ステップＳ００２）を表す概念図である。ステップＳ００２では、図８（ａ）に示すように、第１のオートコリメータ２８が、平面光波回路７０の一方端７０ａの角度を測定し、コア７１の露出面である一方端７０ａの角度を認識する。

また、ステップＳ００２では、図８（ｂ）に示すように、第２のオートコリメータ４８が、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａの角度を測定し、コア８１の露出面である端部８４ａの角度を認識する。なお、第１及び第２のオートコリメータ２８、４８は、レーザー光や白色ＬＥＤなどの自己光源を有する。

さらに、ステップＳ００２では、図８（ｃ）に示すようなＲｙ方向及びＲｘ方向の面合わせ動作を行う。より具体的には、図１に示す第１の面合わせユニット３０は、第１のオートコリメータ２８及び第２のオートコリメータ４８による測定結果に基づき、第１のコネクタ固定部２２を動かすことにより、回転方向に関する面合わせ動作を行う。この際、第１の面合わせユニット３０は、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａが、平面光波回路７０の一方端７０ａと平行になるように、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａの角度を調整する。

ステップＳ００２に示す第１の回転面合わせ動作の後、接続装置１０は、ステップＳ００３に示す第１の面合わせ動作を実施する。ステップＳ００３では、まず、接続装置１０の第１の駆動部３６が、第１のベース２０をＸ軸方向に移動させ、図２に示す第１の位置Ｐ１に、第１のベース２０を位置させる。図２に示すように、第１の位置Ｐ１では、第１のカメラ２４と平面光波回路７０の一方端７０ａとが対向し、第２のカメラ４４と第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａとが対向し、第１及び第２のカメラ２４、４４が、第１の面合わせ動作のための撮像を行う。

図９は、接続装置１０による第１の面合わせ動作（ステップＳ００３）を表す概念図である。ステップＳ００３では、図９（ａ）に示すように、第１のカメラ２４が、平面光波回路７０の一方端７０ａを撮像し、一方端７０ａに露出するコア７１（図２０（ａ）参照）の位置（及び必要に応じて露出面の角度）を認識する。この際、第１のカメラ２４は、第１の光源２６の反射光を用いて撮像する。

また、ステップＳ００３では、図９（ｂ）に示すように、第２のカメラ４４が、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａを撮像し、端部８４ａに露出するコア８１（図２１（ａ）参照）の位置を認識する。この際、第２のカメラ４４は、透過照明装置３４から第１の光ファイバコネクタ８０のコア８１を伝わり、端部８４ａから出射される透過光を用いて撮像する。

さらに、ステップＳ００３では、図９（ｃ）に示すＸ軸方向及びＹ軸方向（必要に応じてＲｘ方向、Ｒｙ方向及びＲｚ方向）の面合わせ動作を行う。より具体的には、図２に示す第１の面合わせユニット３０は、第１のカメラ２４及び第２のカメラ４４による撮像結果に基づき、第１のコネクタ固定部２２を動かすことにより、Ｘ軸方向及びＹ軸方向（必要に応じてＲｘ方向、Ｒｙ方向及びＲｚ方向）に関する第１の面合わせ動作を行う。

この際、第１の面合わせユニット３０は、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａに露出するコア８１（図２１（ａ）参照）の中心位置が、平面光波回路７０の一方端７０ａに露出するコア７１（図２０（ａ）参照）の中心位置に一致するように、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａの位置を調整する。

ステップＳ００３に示す第１の面合わせ動作の後、接続装置１０は、ステップＳ００４に示す第１の接着剤塗布動作を実施する。ステップＳ００４では、まず、接続装置１０の第１の駆動部３６が、第１のベース２０をＸ軸方向に移動させ、図３に示す第２の位置Ｐ２に、第１のベース２０を位置させる。図３に示すように、第２の位置Ｐ２では、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａ、平面光波回路７０の一方端７０ａ及び第１の光量測定器６４が、Ｚ軸方向に整列する。

図１０は、接続装置１０による第１の接着剤塗布動作（ステップＳ００４）を表す概念図である。ステップＳ００４では、図１０（ａ）に示すように、第１の駆動部３６が第１のベース２０をＺ軸方向に動かすことにより、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａと平面光波回路７０の一方端７０ａとを第１の間隔とする。第１の間隔は、たとえば数十マイクロメートル程度とすることができる。

次に、ステップＳ００４では、図１０（ｂ）に示すように、ディスペンサ６２が、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａと平面光波回路７０の一方端７０ａとの接続位置である第１の接続位置ＰＣ１に、接着剤９０を塗布する。未硬化の接着剤９０は、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａと平面光波回路７０の一方端７０ａの間に保持される。

さらに、ステップＳ００４では、図１０（ｃ）に示すように、第１の駆動部３６が第１のベース２０をＺ軸方向に動かすことにより、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａと平面光波回路７０の一方端７０ａとを、第１の間隔より狭い第２の間隔とする。第２の間隔は、たとえば数マイクロメートル程度とすることができる。

ステップＳ００４に示す第１の接着剤塗布動作の後、接続装置１０は、ステップＳ００５に示す第２の面合わせ動作を実施する。ステップＳ００４の図１０（ｃ）で示したように、ステップＳ００５の第２の面合わせ動作は、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａと平面光波回路７０の一方端７０ａとを第２の間隔とし、接着剤９０が未硬化の状態で行われる。また、第１のベース２０は、図３に示す第２の位置Ｐ２に位置した状態である。

図１１は、接続装置１０による第２の面合わせ動作（ステップＳ００５）を表す概念図である。ステップＳ００５の第２の面合わせ動作では、透過照明装置３４から第１の光ファイバコネクタ８０のコア８１に光（赤外線）を入射させ、第１の接続位置ＰＣ１及び平面光波回路７０のコア７１を介して伝えられる透過照明装置３４からの光を、第１の光量測定器６４で検出することにより実施される。また、ステップＳ００５において接続装置１０は、図３に示す第１の面合わせユニット３０を駆動し、第１の光ファイバコネクタ８０の位置をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させながら第１の光量測定器６４での検出を行うアクティブアライメントを実施する。

さらに、接続装置１０は、第１の光量測定器６４による測定結果に基づき、第１の光ファイバコネクタ８０を停止させ、第２の面合わせ動作を終了する。たとえば、接続装置１０は、第１の光量測定器６４による光の検出強度が最も強くなった位置に、第１の光ファイバコネクタ８０を停止させ、ステップＳ００５を終了する。なお、第２の面合わせ動作において、第１の光ファイバコネクタ８０を動かす軌道は、矩形波状軌道、ジグザグ軌道、正弦波状軌道、余弦波状軌道などとすることができる。

ステップＳ００５に示す第２の面合わせ動作の後、接続装置１０は、ステップＳ００６に示す第１の接着動作を実施する。図１２は、接続装置１０による第１の接着動作（ステップＳ００６）を表す概念図である。ステップＳ００６では、まず、図１２（ａ）に示すように、第１のベース２０をＺ軸方向に移動させ、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａと平面光波回路７０の一方端７０ａとを、第２の間隔より狭い第３の間隔とする。

次に、ステップＳ００５では、図１２（ｂ）に示すように、接着剤９０に紫外線（ＵＶ）を照射し、接着剤９０を硬化させる。これにより、図１２（ｃ）に示すように、第１の光ファイバコネクタ８０と平面光波回路７０との接続が完了する。

平面光波回路７０に第２の光ファイバコネクタ１８０を接続するステップＳ００７〜ステップＳ０１２は、第２実施形態に係る接続装置１１０を用いて説明する。図３から図６に示すように、第２実施形態に係る接続装置１１０でも、接続装置１０で行われるステップＳ００１〜ステップＳ００６と同様にして、平面光波回路７０に第１の光ファイバコネクタ８０を接続できる。ステップＳ００７〜ステップＳ０１２は、既にステップＳ００１〜ステップＳ００６によって第１の光ファイバコネクタ８０が接続された平面光波回路７０に対して、第２の光ファイバコネクタ１８０を接続する動作を説明する。

接続装置１１０が平面光波回路７０と第２の光ファイバコネクタ１８０との接続を行う際、まず、図４に示すように、第２の光ファイバコネクタ１８０の第２のコネクタ部１８４を、第２の面合わせユニット１５０に搭載された第２のコネクタ固定部１４２に固定する。次に、接続装置１１０は、ステップＳ００７に示す第２の予備位置検出動作を実施する。なお、第２の光ファイバコネクタ１８０の固定は、ステップＳ００７の前に行われるのであればどのタイミングであってもよく、ステップＳ００１の前であっても、ステップＳ００７の直前であってもかまわない。

ステップＳ００７では、まず、接続装置１１０の第２の駆動部１５６が、第２のベース１４０をＸ軸方向に移動させ、図５に示す第１の位置Ｐ１に第２のベース１４０を位置させる。図５に示すように、第１の位置Ｐ１では、第１のカメラ２４と第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａとが対向し、第２のカメラ４４と平面光波回路７０の他方端７０ｂとが対向する。なお、ステップＳ００７〜ステップＳ００８の間、第１のベース２０は、図３と同様の第２の位置Ｐ２に停止したままである。

図１３は、接続装置１１０による第２の予備位置検出動作（ステップＳ００７）を表す概念図である。ステップＳ００７では、図１３（ｂ）に示すように、第１のカメラ２４が、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａを撮像し、端部１８４ａの位置を認識する。この際、第１のカメラ２４は、第１の光源２６の反射光を用いて撮像する。

また、ステップＳ００７では、図１３（ａ）に示すように、第２のカメラ４４が、平面光波回路７０の他方端７０ｂを撮像し、他方端７０ｂの位置を認識する。この際、第２のカメラ４４は、透過照明装置３４から第１の光ファイバコネクタ８０のコア８１及び平面光波回路７０のコア７１を伝わり、他方端７０ｂから出射される透過光を用いて撮像する。

ステップＳ００７では、ステップＳ００１と同様に、第１のカメラ２４及び第２のカメラ４４の撮像結果に基づき、接続装置１０が、平面光波回路７０の他方端７０ｂ及び第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａの概略位置を認識する。ステップＳ００７に求められる位置認識の精度などは、ステップＳ００１と同様である。

ステップＳ００７に示す第２の予備位置検出動作の後、接続装置１１０は、ステップＳ００８に示す第１の回転面合わせ動作を実施する。ステップＳ００８では、まず、接続装置１１０の第１の駆動部３６が、第１のベース２０をＸ軸方向に移動させ、図４に示す第３の位置Ｐ３に、第２のベース１４０を位置させる。図４に示すように、第３の位置Ｐ３では、第１のオートコリメータ２８と第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａとが対向し、第２のオートコリメータ４８と平面光波回路７０の他方端７０ｂとが対向する。

図１４は、接続装置１１０による第１の回転面合わせ動作（ステップＳ００８）を表す概念図である。ステップＳ００８では、図１４（ｂ）に示すように、第１のオートコリメータ２８が、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａの角度を測定し、コア１８１の露出面である端部１８４ａの角度を認識する。

また、ステップＳ００８では、図１４（ａ）に示すように、第２のオートコリメータ４８が、平面光波回路７０の他方端７０ｂの角度を測定し、コア７１の露出面である他方端７０ｂの角度を認識する。

さらに、ステップＳ００８では、図１４（ｃ）に示すようなＲｙ方向及びＲｘ方向の面合わせ動作を行う。より具体的には、図４に示す第２の面合わせユニット１５０は、第１のオートコリメータ２８及び第２のオートコリメータ４８による測定結果に基づき、第２のコネクタ固定部１４２を動かすことにより、回転方向に関する面合わせ動作を行う。この際、第２の面合わせユニット１５０は、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａが、平面光波回路７０の他方端７０ｂと平行になるように、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａの角度を調整する。

ステップＳ００８に示す第２の回転面合わせ動作の後、接続装置１１０は、ステップＳ００９に示す第３の面合わせ動作を実施する。ステップＳ００９では、まず、接続装置１１０の第２の駆動部１５６が、第２のベース１４０をＸ軸方向に移動させ、図５に示す第１の位置Ｐ１に、第２のベース１４０を位置させる。図５に示すように、第１の位置Ｐ１では、第１のカメラ２４と第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａとが対向し、第２のカメラ４４と平面光波回路７０の他方端７０ｂとが対向し、第１及び第２のカメラ２４、４４が、第２の面合わせ動作のための撮像を行う。

図１５は、接続装置１０による第３の面合わせ動作（ステップＳ００９）を表す概念図である。ステップＳ００９では、図１５（ｂ）に示すように、第１のカメラ２４が、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａを撮像し、端部１８４ａに露出するコア１８１（図２１（ｂ）参照）の位置（及び必要に応じて露出面の角度）を認識する。この際、第１のカメラ２４は、第１の光源２６の反射光を用いて撮像する。
また、ステップＳ００９では、図１５（ａ）に示すように、第２のカメラ４４が、平面光波回路７０の他方端７０ｂを撮像し、他方端７０ｂに露出するコア７１（図２０（ｂ）参照）の位置を認識する。この際、第２のカメラ４４は、透過照明装置３４から第１の光ファイバコネクタ８０のコア８１及び平面光波回路７０のコア７１を伝わり、他方端７０ｂから出射される透過光を用いて撮像する。

さらに、ステップＳ００９では、図１５（ｃ）に示すＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＲｚ方向（必要に応じてＲｘ方向、Ｒｙ方向）の面合わせ動作を行う。より具体的には、図５に示す第２の面合わせユニット１５０は、第１のカメラ２４及び第２のカメラ４４による撮像結果に基づき、第２のコネクタ固定部１４２を動かすことにより、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＲｚ方向（必要に応じてＲｘ方向、Ｒｙ方向）に関する第２の面合わせ動作を行う。

この際、第２の面合わせユニット１５０は、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａに露出する各コア１８１（図２１（ｂ）参照）の中心位置が、平面光波回路７０の他方端７０ｂに露出する各コア７１（図２０（ｂ）参照）の中心位置に一致するように、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａの位置を調整する。

または、第２の面合わせユニット１５０は、端部１８４ａに露出する各コア１８１及び他方端７０ｂに露出する各コア７１のうち、Ｘ軸方向の両端部に位置するコア１８１、７１（図１５（ｄ）において網掛けで表示）同士の中心位置が一致するように、第１の光ファイバコネクタ８０の端部８４ａの位置を調整してもよい。なお、第２の面合わせユニット１５０において、Ｒｚ方向の位置合わせの必要性が高いのは、第２の光ファイバコネクタ１８０が複数チャンネル（８ｃｈ）であり、Ｚ軸に直交する方向にファイバアレイが延びているためである。

ステップＳ００９に示す第３の面合わせ動作の後、接続装置１１０は、ステップＳ０１０に示す第２の接着剤塗布動作を実施する。ステップＳ０１０では、まず、接続装置１１０の第２の駆動部１５６が、第２のベース１４０をＸ軸方向に移動させ、図６に示す第２の位置Ｐ２に、第２のベース１４０を位置させる。図６に示すように、第２の位置Ｐ２では、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａと平面光波回路７０の他方端７０ｂとが、Ｚ軸方向に整列する。

図１６は、接続装置１１０による第２の接着剤塗布動作（ステップＳ０１０）を表す概念図である。ステップＳ０１０では、図１６（ａ）に示すように、第２の駆動部１５６が第２のベース１４０をＺ軸方向に動かすことにより、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａと平面光波回路７０の他方端７０ｂとを第１の間隔とする。第１の間隔は、ステップＳ００４と同様とすることができる。

次に、ステップＳ０１０では、図１６（ｂ）に示すように、ディスペンサ６２が、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａと平面光波回路７０の他方端７０ｂとの接続位置である第２の接続位置ＰＣ２に、接着剤９０を塗布する。未硬化の接着剤９０は、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａと平面光波回路７０の他方端７０ｂの間に保持される。

さらに、ステップＳ０１０では、図１６（ｃ）に示すように、第２の駆動部１５６が第２のベース１４０をＺ軸方向に動かすことにより、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａと平面光波回路７０の他方端７０ｂとを、第１の間隔より狭い第２の間隔とする。第２の間隔は、ステップＳ００４と同様とすることができる。

ステップＳ０１０に示す第２の接着剤塗布動作の後、接続装置１１０は、ステップＳ０１１に示す第４の面合わせ動作を実施する。ステップＳ０１０の図１６（ｃ）で示したように、ステップＳ０１１の第４の面合わせ動作は、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａと平面光波回路７０の他方端７０ｂとを第２の間隔とし、第２の接続位置ＰＣに塗布された接着剤９０が未硬化の状態で行われる。また、第２のベース１４０は、図６に示す第２の位置Ｐ２に位置した状態である。

図１７は、接続装置１１０による第４の面合わせ動作（ステップＳ０１１）を表す概念図である。ステップＳ０１１の第４の面合わせ動作では、透過照明装置３４から第１の光ファイバコネクタ８０のコア８１及び第１の光ファイバコネクタ８０に既に固定されている平面光波回路７０のコア７１に光（赤外線）を入射させ、第２の接続位置ＰＣ２及び第２の光ファイバコネクタ１８０のコア１８１を介して伝えられる透過照明装置３４からの光を、第２の光量測定器１５８で検出することにより実施される。また、ステップＳ０１１において接続装置１１０は、図６に示す第２の面合わせユニット１５０を駆動し、第２の光ファイバコネクタ１８０の位置をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させながら第２の光量測定器１５８での検出を行う、アクティブアライメントを実施する。

さらに、接続装置１１０は、第２の光量測定器１５８による測定結果に基づき、第２の光ファイバコネクタ１８０を停止させ、第４の面合わせ動作を終了する。たとえば、接続装置１１０は、第２の光量測定器１５８による光の検出強度が最も強くなった位置に、第２の光ファイバコネクタ１８０を停止させ、ステップＳ０１１を終了する。なお、第４の面合わせ動作の軌道は、第２の面合わせ動作の軌道と同じであってもよく、異なっていてもよい。

ステップＳ０１１に示す第４の面合わせ動作の後、接続装置１１０は、ステップＳ０１２に示す第２の接着動作を実施する。図１８は、接続装置１１０による第２の接着動作（ステップＳ０１２）を表す概念図である。ステップＳ０１２では、まず、図１８（ａ）に示すように、第２のベース１４０をＺ軸方向に移動させ、第２の光ファイバコネクタ１８０の端部１８４ａと平面光波回路７０の他方端７０ｂとを、第２の間隔より狭い第３の間隔とする。

次に、ステップＳ０１２では、図１８（ｂ）に示すように、第２の接続位置ＰＣ２に保持される未硬化の接着剤９０に紫外線を照射し、接着剤９０を硬化させる。これにより、図１８（ｃ）に示すように、第１の光ファイバコネクタ８０及び第２の光ファイバコネクタ１８０と、平面光波回路７０との接続が完了する。

以上のように、接続装置１０、１１０によれば、第１及び第２のカメラ２４、４４の撮像結果に基づく位置調整（粗調整）を行ったのちに、第１及び第２の光量測定器６４、１５８の測定結果に基づく位置調整（微調整）を行うことができる。このような接続装置１０、１１０によれば、先に行なわれる位置調整（粗調整）の結果を用いて、後に行われる位置調整（微調整）における測定領域（スキャン領域）を小さくすることが可能であるため、平面光波回路７０と光ファイバコネクタ１８、１８０とを、迅速かつ高精度に接続できる。

また、接続装置１０、１１０は、第１及び第２のオートコリメータ２８、４８を有するため、平面光波回路７０と第１及び第２の光ファイバコネクタ８０、１８０との接続面の角度を精度よく検出して面合わせを行うことができる。また、接続装置１１０は、第１のベース２０及び第２のベース１４０の配置を変えるだけで、第１のカメラ２４と第２のカメラ４４とを、第１の光ファイバコネクタ８０の粗調整（第１の面合わせ動作）の際と、第２の光ファイバコネクタ１８０の粗調整（第３の面合わせ動作）の際のいずれにも使用できるため、構造がシンプルであり構成要素が少ない。

実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態のみに限定されるものではなく、他の実施形態や変形例を数多く含むことは言うまでもない。実施形態に示す接続装置１０、１１０に含まれるいくつかの部材は省略又は変更が可能であり、また、上述した接続装置１０、１１０による平面光波回路モジュールの製造方法は一例にすぎず、接続装置１０、１１０を用いた他の平面光波回路モジュールの製造方法が存在する。

たとえば、接続装置１０を用いて、既に第１の光ファイバコネクタ８０が固定された平面光波回路７０と、第２の光ファイバコネクタ１８０とを接続する方法としては、以下の方法が例示される。すなわち、平面光波回路７０の向きを変えて回路固定部１２に再固定し、第１のコネクタ固定部２２には第２の光ファイバコネクタ１８０を固定し、第１の光ファイバコネクタ８０の第１のファイバ部８２に、第１の光量測定器６４を接続することにより行うことができる。

また、平面光波回路７０と第１及び第２の光ファイバコネクタ８０、１８０の接続も、上述したような紫外線硬化型の接着剤を用いた接着に限定されない。たとえば、平面光波回路７０と第１及び第２の光ファイバコネクタ８０、１８０の接続は、他の接着剤による接着であってもよく、アクティブアライメント後におけるレーザー溶接や熱圧着など、他の方法で行うことも可能である。

１０、１１０…接続装置
１１…基台
１２…回路固定部
２０…第１のベース
２２…第１のコネクタ固定部
２４…第１のカメラ
２６…第１の光源
２８…第１のオートコリメータ
３０…第１の面合わせユニット
３２…第１の接続冶具
３４…透過照明装置
３６…第１の駆動部
４４…第２のカメラ
４８…第２のオートコリメータ
６２…ディスペンサ
６４…第１の光量測定器
１４０…第２のベース
１４２…第２のコネクタ固定部
１５０…第２の面合わせユニット
１５２…第２の接続冶具
１５６…第２の駆動部
１５８…第２の光量測定器
１５８ａ…測定部
７０…平面光波回路
７０ａ…一方端
７０ｂ…他方端
７１、８１、１８１…コア
７２…アンダークラッド層
７３…オーバークラッド層
７４…基板層
８０…第１の光ファイバコネクタ
８２…第１のファイバ部
８３…クラッド層
８４…第１のコネクタ部
８４ａ、１８４ａ…端部
１８０…第１の光ファイバコネクタ
１８２…第２のファイバ部
１８４…第２のコネクタ部
９０…接着剤
Ｐ１…第１の位置
Ｐ２…第２の位置
Ｐ３…第３の位置
ＰＣ１…第１の接続位置
ＰＣ２…第２の接続位置
ＵＶ…紫外線

Claims (17)

1. 平面光波回路と光ファイバコネクタとを接続する接続装置であって、
   前記平面光波回路を固定する回路固定部と、
   前記光ファイバコネクタを固定するコネクタ固定部と、
   前記平面光波回路の一方端を撮像する第１のカメラと、
   前記光ファイバコネクタの端部を撮像する第２のカメラと、
   前記平面光波回路及び前記光ファイバコネクタの少なくとも一方を、前記平面光波回路の前記一方端と前記光ファイバコネクタの前記端部が接近又は離間する方向であるＺ軸方向に動作可能な駆動部と、
   前記平面光波回路及び前記光ファイバコネクタの少なくとも一方を、前記Ｚ軸方向に垂直であるＸ軸方向及びＹ軸方向並びにＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の回転方向であるＲｘ方向、Ｒｙ方向及びＲｚ方向に動作可能な面合わせユニットと、
   前記光ファイバコネクタ又は前記平面光波回路に光を伝える透過照明装置と、
   前記平面光波回路の前記一方端と前記光ファイバコネクタの前記端部との接続位置を介して伝えられる前記透過照明装置からの光を測定する光量測定器と、を有することを特徴とする接続装置。
2. 前記平面光波回路の前記一方端の角度を測定する第１のオートコリメータと、
   前記光ファイバコネクタの前記端部の角度を測定する第２のオートコリメータと、をさらに有する請求項１に記載の接続装置。
3. 前記コネクタ固定部と、前記第１のカメラとを搭載するベースを有し、
   前記駆動部は、前記ベースを前記Ｚ軸方向に動作させることにより、前記光ファイバコネクタを前記Ｚ軸方向に動作可能であり、
   前記駆動部は、前記ベースを前記Ｘ軸方向にも動作可能であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の接続装置。
4. 前記面合わせユニットは、前記第１のカメラ及び前記第２のカメラによる撮像結果に基づく第１の面合わせ動作と、前記第１の面合わせ動作の後における前記光量測定器による測定結果に基づく第２の面合わせ動作と、を行うことを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかに記載の接続装置。
5. 前記面合わせユニットは、前記第１のオートコリメータ及び前記第２のオートコリメータによる測定結果に基づく前記回転方向に関する回転面合わせ動作を行うことを特徴とする請求項２に記載の接続装置。
6. 前記面合わせユニットは、前記第１のオートコリメータ及び前記第２のオートコリメータによる測定結果に基づく回転面合わせ動作と、前記回転面合わせ動作の後における前記第１のカメラ及び前記第２のカメラによる撮像結果に基づく第１の面合わせ動作と、前記第１の面合わせ動作の後における前記光量測定器による測定結果に基づく第２の面合わせ動作と、を行うことを特徴とする請求項２に記載の接続装置。
7. 前記駆動部が、前記第１のカメラと前記平面光波回路の前記一方端とが対向し、第２のカメラと前記光ファイバコネクタの前記端部とが対向する第１の位置に、前記コネクタ固定部と前記第１のカメラとを搭載するベースを位置させて、前記第１のカメラ及び前記第２のカメラが、前記第１の面合わせ動作のための撮像を行い、
   前記駆動部が、前記光ファイバコネクタ、前記平面光波回路の前記一方端及び前記光量測定器が前記Ｚ軸方向に整列する第２の位置に、前記ベースを位置させて、前記面合わせユニットが、前記第２の面合わせ動作を行うことを特徴とする請求項４又は請求項６に記載の接続装置。
8. 前記コネクタ固定部は、１つの前記光ファイバコネクタである第１の光ファイバコネクタを固定する第１のコネクタ固定部と、他の１つの前記光ファイバコネクタである第２の光ファイバコネクタを固定する第２のコネクタ固定部と、を有し、
   前記駆動部は、前記第１の光ファイバコネクタを前記Ｚ軸方向に動作可能な第１の駆動部と、前記第２の光ファイバコネクタを前記Ｚ軸方向に動作可能な第２の駆動部と、を有し、
   前記面合わせユニットは、前記第１の光ファイバコネクタを前記Ｘ軸方向及び前記Ｙ軸方向並びに前記Ｒｘ方向、前記Ｒｙ方向及び前記Ｒｚ方向に動作可能な第１の面合わせユニットと、前記第２の光ファイバコネクタを前記Ｘ軸方向及び前記Ｙ軸方向並びに前記Ｒｘ方向、前記Ｒｙ方向及び前記Ｒｚ方向に動作可能な第２の面合わせユニットと、を有し、
   前記光量測定器は、少なくとも前記一方端と前記第１の光ファイバコネクタの端部との前記接続位置である第１の接続位置を介して伝えられる前記透過照明装置からの光を測定する第１の光量測定器と、少なくとも前記他方端と前記第２の光ファイバコネクタの端部との前記接続位置である第２の接続位置を介して伝えられる前記透過照明装置からの光を測定する第２の光量測定器と、を有する請求項１から請求項７までのいずれかに記載の接続装置。
9. 前記第１のカメラは、前記平面光波回路の前記一方端及び前記第２の光ファイバコネクタの前記端部を撮像し、
   前記第２のカメラは前記第１の光ファイバコネクタの前記端部及び前記平面光波回路の前記他方端を撮像する、ことを特徴とする請求項８に記載の接続装置。
10. 前記コネクタ固定部は、前記第１のカメラと前記第１のコネクタ固定部とを搭載する第１のベースと、前記第２のカメラと前記第２のコネクタ固定部とを搭載する第２のベースと、を有し、
    前記第１の駆動部は、前記第１のベースを前記Ｚ軸方向に動作させることにより、前記第１の光ファイバコネクタを前記Ｚ軸方向に動作可能であり、前記第２の駆動部は、前記第２のベースを前記Ｚ軸方向に動作させることにより、前記第２の光ファイバコネクタを前記Ｚ軸方向に動作可能であり、
    前記第１の駆動部は、前記第１のベースを前記Ｘ軸方向にも動作可能であり、前記第２の駆動部は、前記第２のベースを前記Ｘ軸方向にも動作可能であることを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の接続装置。
11. 前記平面光波回路の前記一方端及び前記第２の光ファイバコネクタの前記端部の角度を測定する第１のオートコリメータと、
    前記第１の光ファイバコネクタの前記端部及び前記平面光波回路の前記他方端の角度を測定する第２のオートコリメータと、をさらに有する請求項８から請求項１０までのいずれかに記載の接続装置。
12. 前記第２の光ファイバコネクタは複数のチャンネルを有し、前記第２の光量測定器は、前記第２の光ファイバコネクタのチャンネル数と同数以上の測定部を有することを特徴とする請求項８から請求項１１までのいずれかに記載の接続装置。
13. 前記第１の面合わせユニットは、前記第１のカメラ及び前記第２のカメラによる撮像結果に基づく第１の面合わせ動作と、前記第１の面合わせ動作の後における前記光量測定器による測定結果に基づく第２の面合わせ動作と、を行い、
    前記第２の面合わせユニットは、前記第２の面合わせ動作の後における前記第１のカメラ及び前記第２のカメラによる撮像結果に基づく第３の面合わせ動作と、前記第３の面合わせ動作の後における前記光量測定器による測定結果に基づく第４の面合わせ動作と、を行うことを特徴とする請求項８から請求項１２までのいずれかに記載の接続装置。
14. 前記第１の面合わせユニットは、前記第１のオートコリメータ及び前記第２のオートコリメータによる測定結果に基づく前記回転方向に関する第１の回転面合わせ動作と、前記第１の回転面合わせ動作の後における前記第１のカメラ及び前記第２のカメラによる撮像結果に基づく第１の面合わせ動作と、前記第１の面合わせ動作の後における前記光量測定器による測定結果に基づく第２の面合わせ動作と、を行い、
    前記第２の面合わせユニットは、前記第２の面合わせ動作の後における前記第１のオートコリメータ及び前記第２のオートコリメータによる測定結果に基づく前記回転方向に関する第２の回転面合わせ動作と、前記第２の回転面合わせ動作の後における前記第１のカメラ及び前記第２のカメラによる撮像結果に基づく第３の面合わせ動作と、前記第３の面合わせ動作の後における前記光量測定器による測定結果に基づく第４の面合わせ動作と、を行うことを特徴とする請求項１１に記載の接続装置。
15. 前記透過照明装置が伝える光は赤外線であり、
    前記第２のカメラは、前記光ファイバコネクタの前記端部及び前記平面光波回路の他方端の少なくとも一方から出射する赤外線により撮像することを特徴とする請求項１から請求項１４までのいずれかに記載の接続装置。
16. 第１の導波路コアと第２の導波路コアとを接続する接続装置であって、
    前記第１の導波路コアを固定する第１の導波路コア固定部と、
    前記第２の導波路コアを固定する第２の導波路コア固定部と、
    前記第１の導波路コアの端部を撮像する第１のカメラと、
    前記第２の導波路コアの端部を撮像する第２のカメラと、
    前記第１の導波路コア及び前記第２の導波路コアの少なくとも一方を、前記第１の導波路コアの前記端部と前記第２の導波路コアの前記端部が接近又は離間する方向であるＺ軸方向に動作可能な駆動部と、
    前記第１の導波路コア及び前記第２の導波路コアの少なくとも一方を、前記Ｚ軸方向に垂直であるＸ軸方向及びＹ軸方向並びにＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の回転方向であるＲｘ方向、Ｒｙ方向及びＲｚ方向に動作可能な面合わせユニットと、
    前記第２の導波路コア又は前記第１の導波路コアに光を伝える透過照明装置と、
    前記第１の導波路コアの前記端部と前記第２の導波路コアの前記端部との接続位置を介して伝えられる前記透過照明装置からの光を測定する光量測定器と、を有することを特徴とする接続装置。
17. 前記第１の導波路コアの前記端部が露出する面の角度を測定する第１のオートコリメータと、
    前記第１の導波路コアの前記端部が露出する面の角度を測定する第２のオートコリメータと、をさらに有する請求項１６に記載の接続装置。

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