JPH06258553A - 多心光モジュール光軸調整装置及び方法 - Google Patents

多心光モジュール光軸調整装置及び方法

Info

Publication number
JPH06258553A
JPH06258553A JP4781193A JP4781193A JPH06258553A JP H06258553 A JPH06258553 A JP H06258553A JP 4781193 A JP4781193 A JP 4781193A JP 4781193 A JP4781193 A JP 4781193A JP H06258553 A JPH06258553 A JP H06258553A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
stage
xyθ
optical element
element array
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4781193A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH07113693B2 (ja
Inventor
Katsuhisa Okawa
勝久 大川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP4781193A priority Critical patent/JPH07113693B2/ja
Publication of JPH06258553A publication Critical patent/JPH06258553A/ja
Publication of JPH07113693B2 publication Critical patent/JPH07113693B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】直線上に並んだ多心光ファイバと光素子列間の
光結合を最大にする。 【構成】受光素子列11がセットされたXYθZ ステー
ジ1と、多心ファイバ7の端部を保持するフェルール3
がセットされたzステージと、受光素子列11の出力を
とり出すアンプ5と、多心ファイバ7に一定光量の光を
通す光源4と、受光素子列8と多心ファイバ7の中の1
対の光結合が最大となるようにXYθZ ステージ1のX
Y部分を動かす手段と、XYθZ ステージ1のθZ 部分
を動作させ受光素子列8の中の1個の素子とθZ の回転
中心が異なることに起因する1個の素子の移動をXY部
分を使って補正する手段とからなる。受光素子列8と多
心ファイバ7の内の一対の光結合が最大になるようにX
Yステージを動かす。次にその一対の素子を中心にして
受光素子列8を回転させ、他の素子も最大の光結合が得
られるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の光ファイバの端
面が配置されたフェルールと、これら光ファイバの端面
に対応するように複数の光素子が配置された光素子列を
これら光ファイバと光素子とが最も効率よく光結合され
るように位置合わせするための多心光モジュール調整装
置に関し、特に光通信に使われる光並列伝送用多心光モ
ジュールの光軸調整装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の多心光モジュール光軸調整装置
は、図3に示すようにzステージ(垂直方向にのみ移動
可能なステージ)10に3本の光ファイバ7の端面が列
設されたフェルール3を光ファイバ7の端面が垂直下向
きになるように取り付け、XYθZ ステージ(水平面上
のx軸方向,y軸方向への移動を行うXYステージによ
り垂直な線を中心軸とする回転を行うθZ ステージが移
動させられ、θZ ステージに取り付けられた対象物に並
行移動及び回転運動をさせる)に光ファイバ7に対応す
るように3個の受光素子8を列設した受光素子列11を
受光素子8の受光面を上に向けて取り付ける。光ファイ
バ7の他端には光源4を接続し、受光素子8には出力を
増幅するアンプ5を接続する。
【0003】この従来の多心光モジュール光軸調整装置
では、zステージ10及びXYθZステージ9を人が操
作して行う。zステージ2を操作してフェルール3の下
面を受光素子列11の上面に近づけた後にフェルール3
及び受光素子列11において両端に配置された光ファイ
バ7及び受光素子8の光結合が最も良くなるようにXY
θZ ステージ9を操作して受光素子8の位置を光ファイ
バ7に合わせる。すなわち、光源4から一定光量の光を
光ファイバ7に入射し、両端に位置する受光素子8の出
力をアンプ5より取り出してこの出力がそれぞれ最大と
なるようにXYθZ ステージ及びzステージを調整す
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この従来の多心光モジ
ュール光軸調整装置では、XYθZ ステージ,zステー
ジを用いた光軸調整を人が試行錯誤により行うため、時
間がかかり、また、調整精度が悪いという問題点があっ
た。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の多心光モジュー
ル光軸調整装置は、複数の光ファイバの端面が配列され
たフェルールと前記光ファイバの端面に対応する複数の
光素子が配列された光素子とを対向させ、前記複数の光
ファイバと対応する前記複数の光素子の光結合が最も良
くなるように前記フェルールと前記光素子列の光軸を合
わせる多心光モジュール光軸調整装置において、前記光
素子列を直交するx方向及びy方向の移動並びに前記x
方向及びy方向と垂直なz方向の直線を中心軸とする回
転をさせるXYθZ ステージと、前記光ファイバの端面
を前記光素子列へ向けた状態で前記フェルールを前記光
素子列に対して相対的に前記z方向に移動させるzステ
ージと、前記光ファイバの対応するものと光軸を合わせ
た前記光素子の一つを中心として前記光素子列を回転さ
せるように前記XYθZ ステージの回転に従って当該光
軸を合わせた光素子を座標値(x,y),前記XYθZ
ステージの回転の中心の座標値(x0 ,y0 ,),当該
光軸を合わせた光素子の位置と前記XYθZ ステージの
回転の中心を結ぶ直線と前記x方向とがなす角度θ0
び前記XYθZ ステージの回転角度△θから求められる
補正量だけ前記XYθZ ステージをx方向及びy方向に
移動させるコントローラとを備えている。
【0006】本発明の多心光モジュール光軸調整方法
は、複数の光ファイバの端面が配列されたフェルールと
前記光ファイバの端面に対応する複数の光素子が配列さ
れた光素子列とを対向させ、前記複数の光ファイバと対
応する前記複数の光素子の光結合が最も良くなるように
前記フェルールと前記光素子列の光軸を合わせる多心光
モジュール光軸調整方法において、直交するx方向及び
y方向の移動並びに前記x方向及びy方向と垂直なz方
向の直線を中心軸とする回転を行うXYθZ ステージに
前記光素子列を取り付け、前記z方向に移動するzステ
ージに前記光ファイバの端面を前記光素子列へ向けた状
態で前記フェルールを取り付ける第1の手順と、この第
1の手順の後に前記zステージを移動させて前光ファイ
バの端面を前記光素子に近ずけてから前記XYθZ ステ
ージをx方向及びy方向に移動させて前記光ファイバの
一つと対応する前記光素子の一つとの光軸を合わせる第
2の手順と、この第2の手順の後に前記XYθZ ステー
ジを回転させ、この回転角度△θ,当該光軸を合わせた
光素子の座標値(x,y),前記XYθZ ステージの回
転の中心軸の座標値(z0 , y0 )及び前記光ファイバ
の対応するものと光軸を合わせた前記光素子の一つの位
置と前記XYθZ ステージの回転の中心を結ぶ直線と前
記x方向とがなす角度θ0 から求められた補正量だけ前
記XYθZ ステージをx方向及びy方向に移動させて当
該光軸を合わせた光素子を中心として前記光素子列を回
転させて前記複数の光素子の当該光軸を合わせた光素子
以外のものについても対応する前記光ファイバとの光結
合が最大になるようにする第3の手順とを備えている。
【0007】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
【0008】図1は、本発明の一実施例の多心光モジュ
ール光軸調整装置の構成図である。本実施例のXYθZ
ステージ1及びzステージ2の機械的動作、これらへの
ファイバ7及び光素子列11の取付け、ファイバ7へ光
を入射する光源4及び受光素子8の出力を取り出すアン
プ5は、図3に示すXYθZ ステージ9,zステージ1
0等と同様である。ただし、本実施例のXYθZ ステー
ジ1及びzステージ2はコントローラ6により制御され
て自動的に受光素子列11,フェルール3を移動させる
ように動作する。
【0009】図2は、本実施例の光調整手順に従って、
フェルール3における光ファイバ7の端面と受光素子8
の受光面の位置関係を示す模式図である。図2において
Xがファイバ7の端面位置を示し、○が受光素子8の位
置を示す。
【0010】図2(a)は、フェルール3をzステージ
2に取り付け、受光素子列11をXYθZ ステージ1に
取り付けた状態で未だ光軸調整前の状態を示す図であ
る。図において矢印x,yはステージ1のXYステージ
のx軸方向,y軸方向を示し、(x0 , y0 )はθZ
テージの回転中心の座標,(x1 , y1 )は最初に光軸
調整を行う端に位置する受光素子の座標,θ0 はこの受
光素子の位置(x1 , y1 )とθZ ステージの回転中心
(x0 , y0 )とを結ぶ直線がx軸方向となす角を示
す。
【0011】光軸調整は、最初にコントローラ6により
XYθZ ステージ1およびzステージ2を駆動して端に
位置する光ファイバ7および受光素子8のそれぞれ一対
の光結合が最大になるように、すなわち受光素子の出力
が最大になるようにzステージ2を動かして概略この光
ファイバ7の端面と受光素子8を近づけ、ステージ1に
よりx,y方向をスパイラル状等にサーチしもっとも光
結合がとれるように調整して光軸を合わせる。さらにz
ステージ2でより光結合が大きくなるよう調整する。こ
れが図2の(a)から(b)への状態である。
【0012】次に、光結合がとれた受光素子8を中心に
して受光素子列11を回転させ、多の2対の光ファイバ
7と受光素子8とについても最も光結合が大きくなるよ
うに調整する。このときステージ1のθZ ステージを回
転させることになるが、光軸調整した端に位置する受光
素子8の位置(x1 , y1 )とθZ ステージの回転中心
(x0 , y0 )が異るためθZ ステージを△θ回転させ
た時にステージ1のXYステージをx,y方向に、
【0013】
【0014】だけ移動して補正する。この補正により端
の受光素子8の位置(x1 , y1 )を中心に受光素子列
11を回転させることができる。これが図2の(b)か
ら(c)への状態である。なお、ステージ1のθZ ステ
ージ上の予め決められた位置に受光素子列11を取り付
けるため、(x1 −x0 ),(y1 −y0 )及びθ0
値は予め設定されたものとなる。
【0015】次に受光素子8の素子の並ぶ方向と平行に
受光素子列11をXYθZ ステージ1のXYステージを
使って動かし、各受光素子8の光結合が平均的に最も大
きくなるよう調整する。これが図2の(c)から(d)
の状態である。
【0016】最後にzステージ2を動かして光ファイバ
ー7と受光素子8との光結合がさらに大きくなるよう調
整する。
【0017】本発明の他の実施例として、図1に示す構
成でXYθZ ステージのみが異りθZ ステージが一番下
に位置し、XYステージがθZ ステージによって回転さ
せられ対象物をXYステージに取り付けるXYθZ ステ
ージを用いる場合には、光結合のとれた素子とXYθZ
ステージの回転中心が異なることに起因するXY方向の
補正が、
【0018】
【0019】となる。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、光素子列
を取り付けるXYθZ ステージに回転運動をさせる時に
x方向,y方向にも移動させて補正することにより、光
素子列を配列した光素子の一つを中心に回転したように
できるため、多心の光ファイバーと光素子列の光軸合わ
せを簡単に行うことができる。また、一対の光ファイバ
ーと光素子の光軸を合わせた後にこの光素子を中心とし
て光素子列を回転させることにより多心光モジュールの
光軸調整の自動化を可能とし調整時間を人手作業より短
く、調整精度も良くなるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の構成図である。
【図2】図1の実施例の光ファイバ7の端面と受光素子
8の位置関係を光軸調整の手順に従って示す模式図であ
る。
【図3】従来の多心光モジュール光軸調整装置の構成図
である。
【符号の説明】
1 XYθZ ステージ 2 zステージ 3 フェルール 4 光源 5 アンプ 6 コントローラ 7 光ファイバ 8 受光素子 9 XYθZ ステージ 10 zステージ 11 受光素子列

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の光ファイバの端面が配列されたフ
    ェルールと前記光ファイバの端面に対応する複数の光素
    子が配列された光素子とを対向させ、前記複数の光ファ
    イバと対応する前記複数の光素子の光結合が最も良くな
    るように前記フェルールと前記光素子列の光軸を合わせ
    る多心光モジュール光軸調整装置において、 前記光素子列を直交するx方向及びy方向の移動並びに
    前記x方向及びy方向と垂直なz方向の直線を中心軸と
    する回転をさせるXYθZ ステージと、前記光ファイバ
    の端面を前記光素子列へ向けた状態で前記フェルールを
    前記光素子列に対して相対的に前記z方向に移動させる
    zステージと、前記光ファイバの対応するものと光軸を
    合わせた前記光素子の一つを中心として前記光素子列を
    回転させるように前記XYθZ ステージの回転に従って
    当該光軸を合わせた光素子を座標値(x,y),前記X
    YθZ ステージの回転の中心の座標値(x0
    0 ,),当該光軸を合わせた光素子の位置と前記XY
    θZ ステージの回転の中心を結ぶ直線と前記x方向とが
    なす角度θ0 及び前記XYθZ ステージの回転角度△θ
    から求められる補正量だけ前記XYθZ ステージをx方
    向及びy方向に移動させるコントローラとを含むことを
    特徴とする多心光モジュール光軸調整装置。
  2. 【請求項2】 XYθZ ステージはx方向及びy方向に
    移動するXYステージ上に載せられたz方向に平行な直
    線を中心軸として回転するθZ ステージに光素子列を取
    り付け、補正量はx方向及びy方向に対し である請求項1記載の多心光モジュール光軸調整装置。
  3. 【請求項3】 XYθZ ステージはz方向に平行な直線
    を中心軸として回転するθZ ステージ上に載せられたx
    方向及びy方向に移動するXYステージに光素子列を取
    り付け、補正量はx方向及びy方向に対し である請求項1記載の多心光モジュール光軸調整装置。
  4. 【請求項4】 複数の光ファイバの端面が配列されたフ
    ェルールと前記光ファイバの端面に対応する複数の光素
    子が配列された光素子列とを対向させ、前記複数の光フ
    ァイバと対応する前記複数の光素子の光結合が最も良く
    なるように前記フェルールと前記光素子列の光軸を合わ
    せる多心光モジュール光軸調整方法において、 直交するx方向及びy方向の移動並びに前記x方向及び
    y方向と垂直なz方向の直線を中心軸とする回転を行う
    XYθZ ステージに前記光素子列を取り付け、前記z方
    向に移動するzステージに前記光ファイバの端面を前記
    光素子列へ向けた状態で前記フェルールを取り付ける第
    1の手順と、この第1の手順の後に前記zステージを移
    動させて前光ファイバの端面を前記光素子に近ずけてか
    ら前記XYθZ ステージをx方向及びy方向に移動させ
    て前記光ファイバの一つと対応する前記光素子の一つと
    の光軸を合わせる第2の手順と、この第2の手順の後に
    前記XYθZ ステージを回転させ、この回転角度△θ,
    当該光軸を合わせた光素子の座標値(x,y),前記X
    YθZ ステージの回転の中心軸の座標値(z0 , y0
    及び前記光ファイバの対応するものと光軸を合わせた前
    記光素子の一つの位置と前記XYθZ ステージの回転の
    中心を結ぶ直線と前記x方向とがなす角度θ0 から求め
    られた補正量だけ前記XYθZ ステージをx方向及びy
    方向に移動させて当該光軸を合わせた光素子を中心とし
    て前記光素子列を回転させて前記複数の光素子の当該光
    軸を合わせた光素子以外のものについても対応する前記
    光ファイバとの光結合が最大になるようにする第3の手
    順とを含むことを特徴とする多心光モジュール光軸調整
    方法。
  5. 【請求項5】 XYθZ ステージのx方向及びy方向に
    移動するXYステージ上に載せられたz方向に平行な直
    線を中心軸として回転するθZ ステージに光素子列を取
    り付け補正量はx方向及びy方向に対し、 とする請求項4記載の多心光モジュール光軸調整方法。
  6. 【請求項6】 XYθZ ステージのz方向に平行な直線
    を中心軸として回転するθZ ステージ上に載せられたx
    方向及びy方向に移動するXYステージに光素子列を取
    り付け、補正量をx方向及びy方法に対し、 とする請求項1記載の多心光モジュール調整方法。
JP4781193A 1993-03-09 1993-03-09 多心光モジュール光軸調整装置及び方法 Expired - Lifetime JPH07113693B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4781193A JPH07113693B2 (ja) 1993-03-09 1993-03-09 多心光モジュール光軸調整装置及び方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4781193A JPH07113693B2 (ja) 1993-03-09 1993-03-09 多心光モジュール光軸調整装置及び方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06258553A true JPH06258553A (ja) 1994-09-16
JPH07113693B2 JPH07113693B2 (ja) 1995-12-06

Family

ID=12785754

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4781193A Expired - Lifetime JPH07113693B2 (ja) 1993-03-09 1993-03-09 多心光モジュール光軸調整装置及び方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07113693B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006323347A (ja) * 2005-04-19 2006-11-30 Fujikura Ltd 光部品の調心装置、光部品の製造方法
JP2011048018A (ja) * 2009-08-25 2011-03-10 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光ファイバのガイド部材を装着する方法、それが用いられる装着装置、および、光ファイバのガイド部材
JP2011048020A (ja) * 2009-08-25 2011-03-10 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光ファイバのガイド部材を装着する方法、それが用いられる装着装置、および、光ファイバのガイド部材
JP2013015678A (ja) * 2011-07-04 2013-01-24 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> テラヘルツ波発生器及びその調整方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006323347A (ja) * 2005-04-19 2006-11-30 Fujikura Ltd 光部品の調心装置、光部品の製造方法
JP2011048018A (ja) * 2009-08-25 2011-03-10 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光ファイバのガイド部材を装着する方法、それが用いられる装着装置、および、光ファイバのガイド部材
JP2011048020A (ja) * 2009-08-25 2011-03-10 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光ファイバのガイド部材を装着する方法、それが用いられる装着装置、および、光ファイバのガイド部材
JP2013015678A (ja) * 2011-07-04 2013-01-24 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> テラヘルツ波発生器及びその調整方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07113693B2 (ja) 1995-12-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20010002447A1 (en) Substrate transport apparatus and transport teaching system
US6122936A (en) Apparatus for integrating steps of a process for interconnecting optical fibers
JP2561799B2 (ja) レーザ・アレイをファイバ・アレイに整合させる方法および装置
JP3778707B2 (ja) 眼鏡レンズ加工装置
CN105204125A (zh) 一种反射式光电子器件的自动耦合系统
JPH09113759A (ja) 光結合系の整列装置及び光結合系の形成方法
CN116572077B (zh) 一种大曲率自由曲面法向测量方法
CN115113010A (zh) Mems探针的摆放料盘、自动拾取系统及方法
JPH06258553A (ja) 多心光モジュール光軸調整装置及び方法
EP0724172B1 (en) An apparatus for adjusting the parallel degree of end faces of optical substrates
WO2016195176A1 (ko) 델타 로봇 캘리브레이션 방법 및 델타 로봇 캘리브레이션 장치
WO2003003058A2 (en) Manufacturing technique for optical fiber array
CN112764172B (zh) 基于机器视觉的多通道预对准系统及多通道预对准方法
US20210333490A1 (en) Method of bonding focusing lens with fiber array and method of aligning the same
JPH10282459A (ja) 眼鏡レンズの補助マーク印刷装置および補助マーク印刷方法
JPH06281850A (ja) 光部品の光軸調整方法
JPH08114727A (ja) 部品相互の位置合わせ方法およびその装置
JP3293115B2 (ja) 光ファイバアレイ及び光導波路モジュールの結合方法
JP3081851B2 (ja) 光学部品の調芯方法
JP3952374B2 (ja) 光軸調心方法
JP3309363B2 (ja) 光導波路・光ファイバ接続方法および接続装置
JP3281923B2 (ja) 光軸アライメント装置
JPH05157928A (ja) 光ファイバの整列装置
CN116107042A (zh) 一种用于光引擎封装的阵列透镜耦合设备及方法
CN116967082A (zh) 一种fa与硅光芯片自动耦合点胶系统及方法

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071206

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 13

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081206

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091206

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 14

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091206

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101206

Year of fee payment: 15

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101206

Year of fee payment: 15

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 16

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111206

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111206

Year of fee payment: 16

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121206

Year of fee payment: 17

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121206

Year of fee payment: 17

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131206

Year of fee payment: 18

EXPY Cancellation because of completion of term