JP3081851B2 - 光学部品の調芯方法 - Google Patents

光学部品の調芯方法

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JP3081851B2 JP03286468A JP28646891A JP3081851B2 JP 3081851 B2 JP3081851 B2 JP 3081851B2 JP 03286468 A JP03286468 A JP 03286468A JP 28646891 A JP28646891 A JP 28646891A JP 3081851 B2 JP3081851 B2 JP 3081851B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は多芯の光軸を有する光学
部品を調芯する多芯光軸光学部品の調芯方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、光軸合せの調芯装置で、多芯の光
軸を有する光学部品の光軸を調芯する調芯装置はない。
【0003】しかし、単芯の調芯方法については、直交
するX、Y軸によって形成されるXY平面に対し直交す
るZ軸方向の位置を固定して、XY平面内で最適位置を
探すことは最大値点を求める問題であり、そのアルゴリ
ズムとしては従来より、二軸を独立して最大点を探す方
法、ジグザグ法、最大傾斜法などがあり、光学関係で商
品化されているものもある。
【0004】なお、光学部品ではZ軸方向の光量損失の
感度が鈍いため、Z軸方向の位置を固定し、あるいは、
XY軸方向に比較して、一桁位ラフな状態で調芯しても
実用上は十分である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】単芯用の調芯装置で
は、回転要素がなくなり、XY平面での芯合せとなる。
このときの問題点は、いかに能率良く真の出力最大点
(ピーク)を探す(ピークサーチ)かという問題に集約
され、一般的に以下の様な問題を含んでいる。 (1) XY平面を細いマス目にメッシュして、各領域での
値を測定しピークサーチを行なう場合。これは、所要時
間又はこれらのデータをストックしておくメモリサイズ
等の問題があり、余り、細いメッシングは現実的でな
い。例えば10μm平方の領域を0.05μの分解能に
調整するとすれば(10/0.05)2 =4×104
の測定と、そのメモリが必要となる。 (2) 他の方法(ジグザグ法、最大傾斜法など)の場合、
いつも問題となるのは、効率をあげることと、真のピー
クを把握できるかどうかの点である。
【0006】特に単調な分布をしていなくて、複数のピ
ークを有する場合、あるいは頂上がフラットな場合、逆
にシャープなピークの場合等、現実には個々に問題を有
している。しかし、ここでは、多芯の場合を論じている
ので、一応、単芯の方式は確立しているとの前提で、以
下の説明を続ける。前項にも述べた如く、多芯の具体的
な調芯装置は発表されていないが、試験的なものとして
は、2芯のものがあり、その概略は次のようである。即
ち、X軸、Y軸、θ軸を交互に固定し、他の2軸で2芯
がピークとなる座標をサーチする。両座標位置の平均値
を求めてこれを最終値とする。この場合の問題点には
【0007】(1) 回転軸は、直動軸より制御分解能を高
めるのが難しく、又、θ方向の変位がX、Y方向の変位
も起こす為、θ方向をピークサーチのマイナーループに
入れることは、現実問題として、非収束や悪い収束値等
になる。(何らかの方法で先にθ方向を決めると都合が
良い。) (2) 2軸芯の例であり、多芯の場合にどの程度生かせる
か、又、光量は位置に対して線形の関係でなく、両座標
の中心が最適位置とは言えない。 (3) 各点での光量測定法が不明であるが、一般にこの様
な方法では、2組の入射、出射、光量測定装置が必要と
なる。 そこで、本発明は、簡単な構成で能率良く適正位置に調
芯する多芯光軸光学部品の調芯方法を提供することにあ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため、直交するX軸、Y軸からなるXY平面に対し
直交する複数の平行な光軸を有しその光軸が略直線上に
位置する第1および第2の光学部品を前記XY平面を介
して離間対向させ、前記第1の光学部品に光入射手段に
より光を入射させるとともに、この光を前記第2の光学
部品から出射させ、この出射される光の光量を光量測定
手段により測定し、この光量測定手段により測定された
測定値に基いて上記第1および第2の光学部品の相対位
置を調整手段により調整する光学部品の調芯方法におい
て、上記光量測定手段により測定された測定値に基いて
制御手段により上記第1および第2の光学部品の対向面
での光軸の配列位置を代表する直線をそれぞれ求めその
傾きの差に応じて、上記調整手段により直線の傾きを調
整して一致させ、この一致後、上記複数の光軸組のう
ち、代表する一光軸組について上記光入射手段により光
を入射せるとともに出射させ、この出射光を測定してそ
の測定値が最大となるよう上記直線の傾きを維持しつ
つ、上記第1および第2の光学部品をXY方向に移動し
て調芯する。
【0009】
【作用】調芯動作の第1ステップで、第1および第2の
光学部品の最適傾き方向の位置を測定、算出し、X、Y
軸方向の動きとは無関係に傾き方向の位置を固定する。
このことにより、以後のアルゴリズムが容易となり、効
率良い収束が可能となる。また、多芯として一般性のあ
る方法となっており、オペレータのオプション操作で簡
便な方式から最もていねいな方法まで選べる如くなって
いる。さらに、1組の入射、出射、光量測定装置があれ
ば、一連の動作が可能となる。
【0010】
【実施例】以下、本発明を図面に示す一実施例を参照し
て説明する。図1は調芯装置の全体的構成を示すもの
で、図中、11,12は調芯すべき第1および第2の光
学部品である。上記第1の光学部品11は固定ステージ
(図示せず)に固定されている。上記第2の光学部品1
2はXYZθステージ(調整手段)1に搭載され、XY
Zθステージ1により位置制御されて調芯される。上記
XYZθステージ1の構成は本発明とは直接関係なく、
X方向,Y方向、Z方向、θ方向が調整できる構造なら
十分である。
【0011】上記第1および第2の光学部品11,12
を調芯させる自由度は他にX,Y軸回りの回転もある
が、実用上、光学部品の場合、対向面を密着させるな
ど、その方向を調整する必要性、及びその必要精度もゆ
るいので、本発明の実施例ではX,Y軸回りのない場合
で説明する。また、一般に、Z軸方向の必要精度もX軸
およびY軸方向に比してゆるい。
【0012】上記XYZθステージ1はベース13を有
し、このベース13上にはX案内部14が設けられてい
る。このX案内部14にはXステージ15が搭載され、
このXステージ15は紙面に対し垂直な方向に駆動され
る。また、上記Xステージ15上にはZステージ16が
搭載され、Zモータ17により、図中左右方向に移動さ
れるようになっている。上記Zステージ16の垂直面は
Yステージ18の案内面を構成しており、Yステージ1
8がYモータ19により、Y方向(上下方向)に駆動さ
れる。上記Yステージ18の前面には、θステージ20
が搭載されていて、Z軸回りの回転が与えられる構造と
なっている。
【0013】上記θステージ20にワーク搭載用イケー
ル21が設けられ、このワーク搭載用イケール21上に
第2の光学部品12がクランプ機構(図示せず)を用い
て固定されている。
【0014】また、図中29は電源部に設けられて全体
をXYZθ方向に制御する制御装置である。この制御装
置29には各軸の現在位置を表示する表示部29aが設
けられている。
【0015】配線27は上記制御装置29から各モータ
17,19等への制御信号及びパワーと、位置、回転セ
ンサからのフィードバック信号を示し、配線28は、本
体側からのON/OFF信号(例えば各軸の原点信号、
各部のインタロック信号等)を示す。
【0016】また、電源部には、光照射手段としての光
源部24と光量測定手段としての光パワー測定部25が
配設されている。前記光源部24は光ファイバ22を介
して上記第1の光学部品11に接続され、前記光パワー
測定部25は光ファイバ23を介して上記第2の光学部
品12に接続されている。
【0017】上記光源部24および光パワー測定部25
は、第1および第2の光学部品11,12の調芯状態を
測定する為のもので、図2の例では、光ファイバ22は
第1の光学部品11の一芯ポートA01を照らすべく固
定され、光ファイバ23は第2の光学部品12の出射側
の各ポートB11〜B18に合せて固定できるようにな
っている。
【0018】また、上記光パワー測定部25にはCPU
26が接続され、光パワー測定部25からの信号を受け
て調芯状態を判断し、次の新しい指令を上記制御装置2
9へ送出するようになっている。つぎに、上記第1およ
び第2の光学部品11,12の関係について詳細に説明
する。図2の例は、1芯から8芯に光を分割する分岐カ
プラーである。最終的には、第1および第2の光学部品
11,12と第3の光学部品10を調芯し、相対位置を
維持したまま固定することで、分岐カプラーが完成す
る。以下では、第1乃至第3の光学部品11,12,1
0のうち、第1および第2の光学部品11,12の調芯
についてのみ説明する。第1の光学部品11は導波路製
作の技術等を用いて、1芯を8芯に分ける部品であり、
出射側には8芯の光軸コアA11〜A18が出現してい
る。第2の光学部品12にも同様に8芯の入射部があ
り、これらをお互いに最適な位置に持ってくるのが調芯
動作である。
【0019】調芯後の第2の光学部品12の出射状況を
図3に示す。光パワーは個々に示す如く8芯の各ポート
でバラツキを生じる。実際のパワー分布はXY平面で2
次元的であるが、図3ではX方向分布のみ表現してい
る。
【0020】光パワーのバラツキの原因は第1および第
2の光学部品11,12における光軸の理想位置からの
づれ(図3のピッチバラツキ、位置バラツキ等)と、第
1および第2の光学部品11,12の相対位置である。
前者の製作のバラツキは、ここでは対象でなく、後者の
第1および第2の光学部品11,12の相対位置をいか
に最適とするかが本発明の目的である。お互いに理想位
置からずれている以上、8芯の全ポートについて最大値
を得ることは不可能である。最適位置の為の評価函数は
色々考えられる。例えば次のものがある。 (1) 8芯を個別に調芯したとき、出力最小のポートを最
大値位置(X,Y)とし、同時にθで他のポート全般に
最適化する。 (2) 代表の1芯(例えば中央のポート)を最大値位置と
し、後は(1) と同じ。 (3) 両端ポートの最大値位置(X、Y)を求め、X、Y
位置はその平均値とし、θは上記2点を結ぶ傾きとす
る。 (4) 両端ポートの出力を略等しくする。 どれを採用するかは、使用者の意志にもよるが、本発明
の方法では、そのどれも対応でき、且、追加設備するこ
となく迅速に調芯動作ができる。その方法を説明する前
に、本発明の内容ではないが、そのベースとなる一芯の
調芯方法について簡潔にのべておく。
【0021】一芯同志ではθ方向は、特に微小範囲では
問題となることはなく、XY平面での調芯となる。この
場合通常は、一方を固定しておいて、他方を適当な範囲
でXY平面内を走査し、各点での出力を読み取り、最大
出力となる(X、Y)位置に調芯する。これを機械的に
実行すると、時間がかかるなどの不都合の為、例えば、
ジグザグ法、最急傾斜法、単純最大点法などあるが、詳
細は省略する。次に本発明の方法について、シーケンシ
ャルに各動作を述べる。 (a) まず、第1および第2の光学部品11,12の対向
面と第2の光学部品12のX方向の移動方向との平行度
を出す。
【0022】この平行度のだし方は本発明と直接は関係
ないが、部品精度とクランプ時の位置決めの基準とで確
保しても良いし、両部品11,12の隙間に光りを当て
て、透過光を目視観察すること等で確認してもよい。
【0023】(b) つぎに、光源部24から光ファイバ2
2を介して第1の光学部品11の入射口A01に光を入
射させるように調芯固定する。これは厳密な最適点でな
くて良いが、第1の光学部品11からの出射光量ができ
るだけ強いことが望ましい。ついで、第2の光学部品1
2の特定のポート例えばポートB01を決め、その出力
端B11に光ファイバ23を調芯固定する。
【0024】(c) しかるのち、ポートB01を第1の光
学部品11の各出力ポートA11〜A18へ独立に一芯
の調芯を行い、夫々の出力最大点の位置をXY平面で求
め、CPU26へメモリする。この結果を図示すると図
4のようになる。この動作時の第1および第2の光学部
品11,12のギャップは通常0〜10μm位である。 (d) つぎに、CPU26内で8点の座標から、その回帰
直線LA を求める。(傾きθa
【0025】(e) さらに、第1の光学部品11の特定の
ポート例えばポートA11を決め、これと第2の光学部
品12の各ポートB01〜B08を独立に一芯の調芯を
行い、以下、上記(c) と同様のことを行う。この時、受
光用の光ファイバ23は、その都度ポートをつけ替える
必要がある為、出力の大きさは比較できないが、最大座
標は(c) と同じ意味を有している。 (f) 上記(d) と同様に第2の光学部品12の回帰直線L
Bの傾きθb を求める。 (g) ついで、回帰直線の傾きθa とθb の差を求め、θ
軸を制御して第2の光学部品12の傾きθb を第1の光
学部品11の傾きθa に一致させる。これにより、第1
および第2の光学部品11,12は傾きについては8芯
の平均的な最適位置に合されたこととなる。従ってこれ
から後は、θ軸は固定してXYのみで調芯を行うことと
なる。第1および第2の光学部品11,12の各芯の傾
きθを求める方法として、回帰直線を求めるというやや
複雑な方法の場合を説明して来たが、評価函数の定義次
第では、もっと簡単なもので十分である。例えば第1お
よび第2の光学部品11,12の両端の芯(1芯と8
芯)の出力最大座標のみ求めて、これから傾きを求める
ことができる。特に、本発明の1つの特長は受光側も1
チャネルできる方法を提供しており、8芯の各位置へセ
ットし直すのは、面倒である。両端2位置だけなら簡単
なON/OFFアクチュエータとの組合せで実用的にシ
ステムが作れることとなる。そのX、Yの制御法は、前
述した評価函数によって変わってくる。例えば、 評価函数(1) の場合;
【0026】上記シーケンス(c) の工程で第1の光学部
品11の各ポート(A11〜A18)に対応する出力は
メモリされており、その最小となるポート番号は分かっ
ている。これに対応する第2の光学部品12の出射口に
受光用の光ファイバ23をセットし、X、Yを制御して
一芯調芯を行う。これで評価函数(1) の目的は達成され
た。
【0027】厳密には評価函数(1) と上記調芯法は若干
異なっているが、評価函数(1) の考えの根本は、第1お
よび第2の部品11,12の個々の製作誤差によるバラ
ツキを、少しでも改善する為、最小のものを最大化する
としている。
【0028】一方、第1および第2の光学部品11,1
2の各ポートの挿入損失のバラツキは第2の光学部品1
2では殆どなく、第1の光学部品11の挿入損失の差の
みを考えれば十分である。このことから上記の調芯方法
で評価函数(1) が達成されたと考えて良い。 評価函数(2) の場合;これは(1) と全く同じ方法で可能
となる。 評価函数(3) の場合;
【0029】これも単純で、上記シーケンス(g) に続い
て、ポートA11とポートB01、ポートA18とポー
トB08の一芯調芯を独立に行い、その最大座標のX、
Yを読み取って、CPU26でその理想座標値からの差
の平均値を求めてX、Yステージをその位置に位置決め
すれば良い。 評価函数(4) の場合;
【0030】シーケンス(g) に続いてポートA11とポ
ートB01、ポートA18とポートB08の一芯調芯を
独立に行って、その最大座標(Δx1 ,y1 )(Δ
8 ,y8 )を求め、同時に最大点での出力の小さい側
を求める。ここでΔx,Δyは理想座標からのずれ量を
示す。これが仮に(Δx1 ,Δy1 )とすれば、次にy
=Δy1 に固定してx=Δx1 の近傍で最適な範囲(±
10μm程度)、適当なピッチ(例えば1μm)でずら
せてポートB11の出力及びポートB18の出力を読み
取る。これらのデータからポートB11の出力とポート
B18の出力が略等しくなるΔxを求め、そこを最終位
置とする。ここでx方向にのみ精調芯を行い、y方向は
固定したが、これはx方向に長いスパン(x1 〜x8
でのデータで回帰近似をしており、Δy1 ,Δy8 共に
すでに小さい値となっていると考えられるので、繁雑さ
を避ける為、上記の如くした。
【0031】
【発明の効果】本発明は以上説明したように、光学系の
ハード追加も必要なく、簡潔な分かりやすいアルゴリズ
ムでシステムを構成でき、多芯の全てが平均的によく調
芯され、同時に生産性も向上できるという効果を奏す
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である調芯装置を示す概略的
構成図。
【図2】図1の調芯装置によって調芯される光学部品を
示す斜視図。
【図3】図2の光学部品からの出射光量を示す説明図。
【図4】図1の調芯装置によるアルゴリズム中の1ステ
ップを説明する説明図。
【符号の説明】
1…XYZθステージ(調整手段)、11…第1の光学
部品、12…第2の光学部品、24…光源部(光入射手
段)、25…光パワー測定部(光量測定手段)、29…
制御手段、L…直線。

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 直交するX軸、Y軸からなるXY平面に
    対し直交する複数の平行な光軸を有しその光軸が略直線
    上に位置する第1および第2の光学部品を前記XY平面
    を介して離間対向させ、前記第1の光学部品に光入射手
    段により光を入射させるとともに、この光を前記第2の
    光学部品から出射させ、この出射される光の光量を光量
    測定手段により測定し、この光量測定手段により測定さ
    れた測定値に基いて上記第1および第2の光学部品の相
    対位置を調整手段により調整する光学部品の調芯方法に
    おいて、 上記光量測定手段により測定された測定値に基いて制御
    手段により上記第1および第2の光学部品の対向面での
    光軸の配列位置を代表する直線をそれぞれ求めその傾き
    の差に応じて、上記調整手段により直線の傾きを調整し
    て一致させ、この一致後、上記複数の光軸組のうち、代
    表する一光軸組について上記光入射手段により光を入射
    せるとともに出射させ、この出射光を測定してその測定
    値が最大となるよう上記直線の傾きを維持しつつ、上記
    第1および第2の光学部品をXY方向に移動して調芯す
    ることを特徴とする光学部品の調芯方法。
  2. 【請求項2】 複数の光軸組のうち代表する2軸につい
    て出射光を測定し、その出力の小さい方に注目して、こ
    れを最大とするよう、直線の傾きを維持しつつ、第1お
    よび第2の光学部品をXY方向に移動して調芯する請求
    項1記載の光学部品の調芯方法。
  3. 【請求項3】 直線の傾きに沿って、第1および第2の
    光学部品をX、Y方向に相対的に移動し、2軸の出力が
    等しいか、その差がある閾値以下にさせる請求項2記載
    の光学部品の調芯方法。
  4. 【請求項4】 対向面での直線を求める方法として、第
    1の光学部品の特定の光軸を決め、第2の光学部品の各
    光軸とを、次々に調芯するとともに、制御手段により、
    各光軸のX、Y座標を求め、これらの座標値の回帰直線
    を求めて、第2の光学部品の光軸の配列位置を代表する
    直線とし、更に、第1の光学部品と第2の光学部品とを
    逆にして上記手順を実行し第1の光学部品の光軸の配列
    位置を代表する直線を求める請求項1,2または3項記
    載の光学部品の調芯方法。
  5. 【請求項5】 各光軸の座標のうち、特定の2軸のみを
    用いて直線を求める請求項1,2,または3項記載の光
    学部品の調芯方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102014301B1 (ko) 2017-11-20 2019-08-26 황인창 칫솔대

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