JPH10221039A - 移動軸直角度測定方法 - Google Patents
移動軸直角度測定方法Info
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- JPH10221039A JPH10221039A JP2279897A JP2279897A JPH10221039A JP H10221039 A JPH10221039 A JP H10221039A JP 2279897 A JP2279897 A JP 2279897A JP 2279897 A JP2279897 A JP 2279897A JP H10221039 A JPH10221039 A JP H10221039A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 移動軸の直角度を容易に測定できる方法の実
現。 【解決手段】 第１の部分１１と第２の部分１２の間の
距離変化を測定する測長器２０を使用して２つの移動軸
の直角度を測定する移動軸直角度測定方法であって、２
つの移動軸のなす平面内で２つの移動軸以外の所定の方
向に移動した場合の移動量を測定するように、第１の部
分１１と第２の部分１２を配置する工程と、移動方向が
所定の方向になるように、２つの移動軸のそれぞれの方
向に所定量だけ移動する工程と、第１の部分１１と第２
の部分１２の相対的な移動量を検出する工程と、検出し
た相対的な移動量と２つの移動軸のそれぞれの所定の移
動量から２つの移動軸の直角からのずれを算出する工程
とを備える。
現。 【解決手段】 第１の部分１１と第２の部分１２の間の
距離変化を測定する測長器２０を使用して２つの移動軸
の直角度を測定する移動軸直角度測定方法であって、２
つの移動軸のなす平面内で２つの移動軸以外の所定の方
向に移動した場合の移動量を測定するように、第１の部
分１１と第２の部分１２を配置する工程と、移動方向が
所定の方向になるように、２つの移動軸のそれぞれの方
向に所定量だけ移動する工程と、第１の部分１１と第２
の部分１２の相対的な移動量を検出する工程と、検出し
た相対的な移動量と２つの移動軸のそれぞれの所定の移
動量から２つの移動軸の直角からのずれを算出する工程
とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の互いに直角
な移動軸を有する装置において、２つの移動軸の直角度
を測定する移動軸直角度測定方法に関し、特にレーザ干
渉測長器等の２つの部分の間の距離の変化を測定できる
測長器を使用して２つの移動軸の直角度を測定する移動
軸直角度測定方法に関する。
な移動軸を有する装置において、２つの移動軸の直角度
を測定する移動軸直角度測定方法に関し、特にレーザ干
渉測長器等の２つの部分の間の距離の変化を測定できる
測長器を使用して２つの移動軸の直角度を測定する移動
軸直角度測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＸＹの２軸方向やＸＹＺの３軸方向に移
動可能な移動機構が広く使用されている。このような移
動機構の例としては、例えば、３次元測定機や、載物台
等がある。また、工作機械ではワークを載せるテーブル
がＸＹの２軸方向に移動可能で、ツールを取り付けるＺ
軸がＸＹの２軸方向に直角な方向に移動可能であるのが
一般的である。このような移動機構では、各軸方向に移
動信号で指示された量と実際の移動量の差である位置決
め誤差や、移動に伴って移動部材が回転するヨーイング
やピッチング、各移動軸の真直度、移動軸間の直角度に
ついて仕様が定められている。そのため、製造工程でこ
れらの項目について試験を行い、仕様を満たすことを確
認している。本発明は、これらの測定項目のうちの移動
軸間の直角度の測定方法に関する。本発明は、３次元測
定機や載物台等の移動機構についても適用可能である
が、ここでは、工作機械を例として説明を行う。
動可能な移動機構が広く使用されている。このような移
動機構の例としては、例えば、３次元測定機や、載物台
等がある。また、工作機械ではワークを載せるテーブル
がＸＹの２軸方向に移動可能で、ツールを取り付けるＺ
軸がＸＹの２軸方向に直角な方向に移動可能であるのが
一般的である。このような移動機構では、各軸方向に移
動信号で指示された量と実際の移動量の差である位置決
め誤差や、移動に伴って移動部材が回転するヨーイング
やピッチング、各移動軸の真直度、移動軸間の直角度に
ついて仕様が定められている。そのため、製造工程でこ
れらの項目について試験を行い、仕様を満たすことを確
認している。本発明は、これらの測定項目のうちの移動
軸間の直角度の測定方法に関する。本発明は、３次元測
定機や載物台等の移動機構についても適用可能である
が、ここでは、工作機械を例として説明を行う。
【０００３】図１は、工作機械の移動軸の一般的な構成
例を示す図である。図１において、参照番号３はワーク
を載せる載物台であり、Ｘ軸移動機構２によりその上を
Ｘ軸方向に移動可能になっている。更に、Ｘ軸移動機構
２はＹ軸移動機構１によりその上をＹ軸方向に移動可能
になっている。従って、載物台３はＸＹの２軸方向に移
動可能である。４は取り付けられた加工ツールを回転す
るツール軸であり、Ｚ軸移動機構により先端の位置がＺ
軸方向に移動可能になっている。このようにして３軸方
向の移動機構が構成されている。このような移動機構に
おいては、ＸＹＺの３軸は相互に直角をなすように構成
されており、製造工程で各軸間の直角度を測定して誤差
が所定の範囲内であることを確認する必要がある。
例を示す図である。図１において、参照番号３はワーク
を載せる載物台であり、Ｘ軸移動機構２によりその上を
Ｘ軸方向に移動可能になっている。更に、Ｘ軸移動機構
２はＹ軸移動機構１によりその上をＹ軸方向に移動可能
になっている。従って、載物台３はＸＹの２軸方向に移
動可能である。４は取り付けられた加工ツールを回転す
るツール軸であり、Ｚ軸移動機構により先端の位置がＺ
軸方向に移動可能になっている。このようにして３軸方
向の移動機構が構成されている。このような移動機構に
おいては、ＸＹＺの３軸は相互に直角をなすように構成
されており、製造工程で各軸間の直角度を測定して誤差
が所定の範囲内であることを確認する必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】各軸間の直角度を測定
する方法としてはよい方法がなく、従来はレーザビーム
を使用する方法が用いられていた。このレーザビームを
使用する方法についての詳しい説明は省略するが、この
方法を行うには、レーザビームを正確に９０°偏向する
ペンタプリズムや、２本の平行なレーザビームが所定角
度をなすように偏向する偏向プリズムや、この所定角度
をなす２本のレーザビームをそれぞれ逆方向に反射する
反射プリズム等が必要で、それらをセッティングして調
整するのに多大の作業時間が必要であった。しかも、直
角度の測定は、ＸＹ，ＹＺ，ＺＸの３つの組みすべてに
ついて行う必要がある。従って、工作機械の直角度の測
定に多大の作業時間を要しており、コストアップの原因
にもなっていた。
する方法としてはよい方法がなく、従来はレーザビーム
を使用する方法が用いられていた。このレーザビームを
使用する方法についての詳しい説明は省略するが、この
方法を行うには、レーザビームを正確に９０°偏向する
ペンタプリズムや、２本の平行なレーザビームが所定角
度をなすように偏向する偏向プリズムや、この所定角度
をなす２本のレーザビームをそれぞれ逆方向に反射する
反射プリズム等が必要で、それらをセッティングして調
整するのに多大の作業時間が必要であった。しかも、直
角度の測定は、ＸＹ，ＹＺ，ＺＸの３つの組みすべてに
ついて行う必要がある。従って、工作機械の直角度の測
定に多大の作業時間を要しており、コストアップの原因
にもなっていた。
【０００５】本発明は、このような問題を解決するため
のもので、移動軸の直角度を容易に測定できる方法を実
現することを目的とする。
のもので、移動軸の直角度を容易に測定できる方法を実
現することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の移動軸直角度測
定方法は、直角度を測定する２つの移動軸方向に同時に
移動した場合、対角線方向の距離が直角度に応じて異な
ることに着目したもので、レーザ測長器等の独立した２
つの部分の間の距離の変化を測定できる測長器を使用
し、２軸方向に所定量移動した場合の対角線方向の移動
量を測長器で測定し、この測定値から直角度のずれを算
出する。
定方法は、直角度を測定する２つの移動軸方向に同時に
移動した場合、対角線方向の距離が直角度に応じて異な
ることに着目したもので、レーザ測長器等の独立した２
つの部分の間の距離の変化を測定できる測長器を使用
し、２軸方向に所定量移動した場合の対角線方向の移動
量を測長器で測定し、この測定値から直角度のずれを算
出する。
【０００７】すなわち、本発明の移動軸直角度測定方法
は、第１の部分と第２の部分の間の距離変化を測定する
測長器を使用して２つの移動軸の直角度を測定する移動
軸直角度測定方法であって、２つの移動軸のなす平面内
で２つの移動軸以外の所定方向に移動した場合の移動量
を測定するように、第１の部分と第２の部分を配置する
工程と、移動方向が所定の方向になるように、２つの移
動軸のそれぞれの方向に所定量だけ移動する工程と、第
１の部分と第２の部分の相対的な移動量を検出する工程
と、検出した相対的な移動量と２つの移動軸のそれぞれ
の所定の移動量から、２つの移動軸の直角からのずれを
算出する工程とを備えることを特徴とする。
は、第１の部分と第２の部分の間の距離変化を測定する
測長器を使用して２つの移動軸の直角度を測定する移動
軸直角度測定方法であって、２つの移動軸のなす平面内
で２つの移動軸以外の所定方向に移動した場合の移動量
を測定するように、第１の部分と第２の部分を配置する
工程と、移動方向が所定の方向になるように、２つの移
動軸のそれぞれの方向に所定量だけ移動する工程と、第
１の部分と第２の部分の相対的な移動量を検出する工程
と、検出した相対的な移動量と２つの移動軸のそれぞれ
の所定の移動量から、２つの移動軸の直角からのずれを
算出する工程とを備えることを特徴とする。
【０００８】図２は、本発明の移動軸直角度測定の原理
を説明する図である。図２に示すように、Ｘ移動軸とＹ
移動軸が直角の時には、Ｘ軸方向にｘだけ移動し、Ｙ軸
方向にｙだけ移動した時には、対角線方向の移動量Ｌの
２乗は、ｘの２乗とｙの２乗の和に等しくなる。図示の
ように、Ｘ移動軸とＹ移動軸が直角から角度αだけずれ
たとすると、Ｘ軸方向にｘだけ移動し、Ｙ軸方向にｙだ
け移動した時には、対角線方向の移動量Ｌ’の２乗は、
図示のように、x2+y2+2xysinαとなる。従って、角度α
はsin -1(L'2-x2-y2)/2xy で求められる。従って、対角
線方向の移動量Ｌ’が高精度に測定できれば、直角度が
測定できる。
を説明する図である。図２に示すように、Ｘ移動軸とＹ
移動軸が直角の時には、Ｘ軸方向にｘだけ移動し、Ｙ軸
方向にｙだけ移動した時には、対角線方向の移動量Ｌの
２乗は、ｘの２乗とｙの２乗の和に等しくなる。図示の
ように、Ｘ移動軸とＹ移動軸が直角から角度αだけずれ
たとすると、Ｘ軸方向にｘだけ移動し、Ｙ軸方向にｙだ
け移動した時には、対角線方向の移動量Ｌ’の２乗は、
図示のように、x2+y2+2xysinαとなる。従って、角度α
はsin -1(L'2-x2-y2)/2xy で求められる。従って、対角
線方向の移動量Ｌ’が高精度に測定できれば、直角度が
測定できる。
【０００９】対角線方向の移動量Ｌ’を高精度に測定す
るには、測長器としてはレーザ干渉測長器を使用するこ
とが望ましい。なお、直角度を高精度に測定するために
は、２つの移動軸方向に正確に所定量だけ移動させる必
要があり、直角度を測定する前に各移動軸の真直度や位
置決め精度を測定し、必要に応じて補正できるようにす
る必要がある。
るには、測長器としてはレーザ干渉測長器を使用するこ
とが望ましい。なお、直角度を高精度に測定するために
は、２つの移動軸方向に正確に所定量だけ移動させる必
要があり、直角度を測定する前に各移動軸の真直度や位
置決め精度を測定し、必要に応じて補正できるようにす
る必要がある。
【００１０】
【発明の実施の形態】図３は、図１に示した工作機械の
移動機構において、Ｘ軸とＹ軸の直角度を測定する第１
実施例における配置を示す図である。図１と同様に、参
照番号３はワークを載せる載物台であり、２は載物第３
をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構であり、１はＸ軸
移動機構２をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動機構であ
り、４はＺ軸に相当するツール軸である。この実施例で
は、測長器として光ファイバ結合レーザ干渉測長器を使
用しており、レーザ干渉ユニット１１をツール軸４に取
付け、コーナーキューブ１２を載物台３に設置する。参
照番号２０はレーザ光源を収容しており、光ファイバを
介してレーザ干渉ユニット１１にレーザを供給すると共
に、レーザ干渉ユニット１１で生成され出力されるレー
ザ干渉信号を光ファイバを介して受け、それを電気信号
に変換してレーザ干渉ユニット１１とコーナーキューブ
１２の間の距離の変化を算出するレーザ干渉測長器の本
体部である。
移動機構において、Ｘ軸とＹ軸の直角度を測定する第１
実施例における配置を示す図である。図１と同様に、参
照番号３はワークを載せる載物台であり、２は載物第３
をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構であり、１はＸ軸
移動機構２をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動機構であ
り、４はＺ軸に相当するツール軸である。この実施例で
は、測長器として光ファイバ結合レーザ干渉測長器を使
用しており、レーザ干渉ユニット１１をツール軸４に取
付け、コーナーキューブ１２を載物台３に設置する。参
照番号２０はレーザ光源を収容しており、光ファイバを
介してレーザ干渉ユニット１１にレーザを供給すると共
に、レーザ干渉ユニット１１で生成され出力されるレー
ザ干渉信号を光ファイバを介して受け、それを電気信号
に変換してレーザ干渉ユニット１１とコーナーキューブ
１２の間の距離の変化を算出するレーザ干渉測長器の本
体部である。
【００１１】測定時のＸ軸方向とＹ軸方向の移動量の比
率を一定とし、この比率で同時に移動すると、コーナー
キューブ１２はレーザ干渉ユニット１１に対して所定の
方向に移動する。従って、レーザ干渉ユニット１１から
出射されるレーザビームをこの方向に向け、コーナーキ
ューブ１２をこのレーザビームが入射する位置に配置す
る。その上で、コーナーキューブ１２をレーザ干渉ユニ
ット１１にもっとも近づけた状態から、移動量が上記の
比率になるようにＸ軸方向とＹ軸方向に所定量移動し、
その時のレーザ干渉ユニット１１とコーナーキューブ１
２間の距離の変化を測定する。そして、図２に示した式
に従って、Ｘ軸とＹ軸の直角度からのずれを測定する。
レーザ干渉測長器の検出精度は距離にかかわらず一定で
あるから、移動距離が長いほど直角度からのずれの測定
精度が高くなる。
率を一定とし、この比率で同時に移動すると、コーナー
キューブ１２はレーザ干渉ユニット１１に対して所定の
方向に移動する。従って、レーザ干渉ユニット１１から
出射されるレーザビームをこの方向に向け、コーナーキ
ューブ１２をこのレーザビームが入射する位置に配置す
る。その上で、コーナーキューブ１２をレーザ干渉ユニ
ット１１にもっとも近づけた状態から、移動量が上記の
比率になるようにＸ軸方向とＹ軸方向に所定量移動し、
その時のレーザ干渉ユニット１１とコーナーキューブ１
２間の距離の変化を測定する。そして、図２に示した式
に従って、Ｘ軸とＹ軸の直角度からのずれを測定する。
レーザ干渉測長器の検出精度は距離にかかわらず一定で
あるから、移動距離が長いほど直角度からのずれの測定
精度が高くなる。
【００１２】例えば、Ｘ軸方向とＹ軸方向にそれぞれ１
００ｍｍ移動するとすると、レーザ干渉ユニット１１か
らはＸ軸とＹ軸に対して４５°方向にレーザビームが出
射されるようにする。Ｘ軸とＹ軸が直角をなせば、レー
ザ干渉ユニット１１とコーナーキューブ１２間の距離は
１４１．４２１ｍｍ変化する。もし、このレーザ干渉ユ
ニット１１とコーナーキューブ１２間の距離の変化が１
４１．５ｍｍであれば、αは０．０６３°、すなわち
３．８′になる。
００ｍｍ移動するとすると、レーザ干渉ユニット１１か
らはＸ軸とＹ軸に対して４５°方向にレーザビームが出
射されるようにする。Ｘ軸とＹ軸が直角をなせば、レー
ザ干渉ユニット１１とコーナーキューブ１２間の距離は
１４１．４２１ｍｍ変化する。もし、このレーザ干渉ユ
ニット１１とコーナーキューブ１２間の距離の変化が１
４１．５ｍｍであれば、αは０．０６３°、すなわち
３．８′になる。
【００１３】このように、第１実施例では、レーザ干渉
ユニット１１とコーナーキューブ１２を配置し、移動量
を測定するだけで直角度が測定できるので、測定作業が
非常に簡単になる。なお、レーザ干渉測長器であればサ
ブミクロンオーダーまで測定可能であるが、Ｘ軸とＹ軸
方向の移動量に誤差があると、その分直角度の測定精度
が低下する。そのため、上記の測定を行う前に、Ｘ軸と
Ｙ軸方向の位置決め精度を測定し、誤差分を補正する必
要がある。
ユニット１１とコーナーキューブ１２を配置し、移動量
を測定するだけで直角度が測定できるので、測定作業が
非常に簡単になる。なお、レーザ干渉測長器であればサ
ブミクロンオーダーまで測定可能であるが、Ｘ軸とＹ軸
方向の移動量に誤差があると、その分直角度の測定精度
が低下する。そのため、上記の測定を行う前に、Ｘ軸と
Ｙ軸方向の位置決め精度を測定し、誤差分を補正する必
要がある。
【００１４】また、第１実施例では、光ファイバ結合レ
ーザ干渉測長器を使用したが、レーザ光源から出力され
るレーザビームを直接レーザ干渉ユニットに入射させる
方式のレーザ干渉測長器を使用することも可能であり、
更にレーザ干渉ユニット１１をツール軸４に固定せず
に、外部に固定してもよい。更に、対角線方向の移動量
が測定できるならば、レーザ干渉測長器以外の測長器を
使用することも可能である。
ーザ干渉測長器を使用したが、レーザ光源から出力され
るレーザビームを直接レーザ干渉ユニットに入射させる
方式のレーザ干渉測長器を使用することも可能であり、
更にレーザ干渉ユニット１１をツール軸４に固定せず
に、外部に固定してもよい。更に、対角線方向の移動量
が測定できるならば、レーザ干渉測長器以外の測長器を
使用することも可能である。
【００１５】第１実施例ではＸ軸とＹ軸の直角度を測定
したが、Ｘ軸とＺ軸、又はＹ軸とＺ軸の直角度も測定す
ることができる。第２実施例は、Ｘ軸とＺ軸の直角度を
測定する。図４は第２実施例におけるレーザ干渉ユニッ
ト１１とコーナーキューブ１２の配置と移動の様子を示
す図である。第２実施例では、治具１３を使用してレー
ザ干渉ユニット１１から出力されるレーザビームの方向
が、Ｚ軸に対して所定の角度になるようにしている。こ
の所定の角度は、測定時のＸ軸方向とＺ軸方向の移動量
で決定される角度であり、ここではＸ軸方向とＺ軸方向
の移動量が等しく、Ｚ軸に対して４５°方向にレーザビ
ームが出射されるようにしている。そして、コーナーキ
ューブ１２をこのレーザビームが入射するように載物台
３上に配置する。レーザ干渉ユニット１１をＺ軸方向に
降下させ、図４の上部に示すように、レーザ干渉ユニッ
ト１１とコーナーキューブ１２が近接するようにする。
この状態からレーザ干渉ユニット１１をＺ軸方向に上昇
させ、コーナーキューブ１２をＸ軸方向の右側に移動す
ると、レーザ干渉ユニット１１とコーナーキューブ１２
の相対位置は、図４の下部に示すようになる。この時の
Ｘ軸方向とＺ軸方向の移動量と、レーザ干渉ユニット１
１とコーナーキューブ１２間の距離の変化を測定する。
Ｘ軸とＺ軸の直角度からのずれは、第１実施例と同様に
測定できる。
したが、Ｘ軸とＺ軸、又はＹ軸とＺ軸の直角度も測定す
ることができる。第２実施例は、Ｘ軸とＺ軸の直角度を
測定する。図４は第２実施例におけるレーザ干渉ユニッ
ト１１とコーナーキューブ１２の配置と移動の様子を示
す図である。第２実施例では、治具１３を使用してレー
ザ干渉ユニット１１から出力されるレーザビームの方向
が、Ｚ軸に対して所定の角度になるようにしている。こ
の所定の角度は、測定時のＸ軸方向とＺ軸方向の移動量
で決定される角度であり、ここではＸ軸方向とＺ軸方向
の移動量が等しく、Ｚ軸に対して４５°方向にレーザビ
ームが出射されるようにしている。そして、コーナーキ
ューブ１２をこのレーザビームが入射するように載物台
３上に配置する。レーザ干渉ユニット１１をＺ軸方向に
降下させ、図４の上部に示すように、レーザ干渉ユニッ
ト１１とコーナーキューブ１２が近接するようにする。
この状態からレーザ干渉ユニット１１をＺ軸方向に上昇
させ、コーナーキューブ１２をＸ軸方向の右側に移動す
ると、レーザ干渉ユニット１１とコーナーキューブ１２
の相対位置は、図４の下部に示すようになる。この時の
Ｘ軸方向とＺ軸方向の移動量と、レーザ干渉ユニット１
１とコーナーキューブ１２間の距離の変化を測定する。
Ｘ軸とＺ軸の直角度からのずれは、第１実施例と同様に
測定できる。
【００１６】Ｙ軸とＺ軸の直角度を測定する場合は、レ
ーザビームの方向を変えるだけで、第２実施例と同様に
行える。また、載物台がＸＹＺの３軸方向に移動する場
合には、レーザ干渉ユニット１１をベースに対して固定
し、レーザビームの出射方向を測定する２つの軸に応じ
て変えればよい。また、レーザ干渉ユニット１１とコー
ナーキューブ１２は逆に配置することも可能である。
ーザビームの方向を変えるだけで、第２実施例と同様に
行える。また、載物台がＸＹＺの３軸方向に移動する場
合には、レーザ干渉ユニット１１をベースに対して固定
し、レーザビームの出射方向を測定する２つの軸に応じ
て変えればよい。また、レーザ干渉ユニット１１とコー
ナーキューブ１２は逆に配置することも可能である。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
移動軸の直角度が非常に容易に測定できるようになる。
移動軸の直角度が非常に容易に測定できるようになる。
【図１】工作機械の移動機構の基本構成を示す図であ
る。
る。
【図２】本発明の移動軸の直角度測定の原理を説明する
図である。
図である。
【図３】第１実施例におけるレーザ干渉ユニットとコー
ナーキョーブの配置を示す図である。
ナーキョーブの配置を示す図である。
【図４】第１実施例におけるレーザ干渉ユニットとコー
ナーキョーブの配置を示す図である。
ナーキョーブの配置を示す図である。
１…Ｙ軸移動機構 ２…Ｘ軸移動機構 ３…載物台 ４…ツール軸 １１…レーザ干渉ユニット １２…コーナーキューブ ２０…レーザ干渉測器本体
Claims (2)
- 【請求項１】 第１の部分（１１）と第２の部分（１
２）の間の距離変化を測定する測長器（２０）を使用し
て２つの移動軸の直角度を測定する移動軸直角度測定方
法であって、 前記２つの移動軸のなす平面内で前記２つの移動軸以外
の所定の方向に移動した場合の移動量を測定するよう
に、前記第１の部分（１１）と前記第２の部分（１２）
を配置する工程と、 移動方向が前記所定の方向になるように、前記２つの移
動軸のそれぞれの方向に所定量だけ移動する工程と、 前記第１の部分（１１）と前記第２の部分（１２）の相
対的な移動量を検出する工程と、 検出した前記相対的な移動量と前記２つの移動軸のそれ
ぞれの所定の移動量から、前記２つの移動軸の直角から
のずれを算出する工程とを備えることを特徴とする移動
軸直角度測定方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の移動軸直角度測定方法
であって、 前記測長器はレーザ干渉測長器であり、前記第１の部分
（１１）はレーザ干渉ユニット又はコーナーキューブの
一方であり、前記第２の部分（１２）はレーザ干渉ユニ
ット又はコーナーキューブの他方である移動軸直角度測
定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2279897A JPH10221039A (ja) | 1997-02-05 | 1997-02-05 | 移動軸直角度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2279897A JPH10221039A (ja) | 1997-02-05 | 1997-02-05 | 移動軸直角度測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10221039A true JPH10221039A (ja) | 1998-08-21 |
Family
ID=12092715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2279897A Pending JPH10221039A (ja) | 1997-02-05 | 1997-02-05 | 移動軸直角度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10221039A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012107900A (ja) * | 2010-11-15 | 2012-06-07 | Okuma Corp | 幾何誤差計測システム |
| KR101373139B1 (ko) * | 2012-05-18 | 2014-03-11 | 경북대학교 산학협력단 | 레이저 간섭계를 이용한 직각도 측정 방법 |
-
1997
- 1997-02-05 JP JP2279897A patent/JPH10221039A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012107900A (ja) * | 2010-11-15 | 2012-06-07 | Okuma Corp | 幾何誤差計測システム |
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