JPH07294380A - 光部品の光損失測定方法 - Google Patents

光部品の光損失測定方法

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JPH07294380A
JPH07294380A JP11036494A JP11036494A JPH07294380A JP H07294380 A JPH07294380 A JP H07294380A JP 11036494 A JP11036494 A JP 11036494A JP 11036494 A JP11036494 A JP 11036494A JP H07294380 A JPH07294380 A JP H07294380A
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健男 清水
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 短時間で正確に光部品の光通過損失を測定で
きる光部品の光損失測定方法を提供する。 【構成】 光源11からの入射光を光ファイバ配列具9に
内蔵したシングルモード光ファイバ6a,6bから光導
波路チップ8のコア4a,4bに入射させる。このと
き、微動ステージ10によりシングルモード光ファイバ6
を光軸Zに垂直なX−Y平面でX方向とY方向の一方向
又は両方向の異なる位置に微動させ、異なる5点位置で
の受光強度を光パワーメータ13で測定し、この受光強度
を2次関数で近似し、2次関数方程式を解いてシングル
モード光ファイバ6a,6bとコア4a,4bとの光軸
中心の軸ずれが零となるように光軸調整を行った後のそ
れぞれの受光強度を求め、この受光強度と前記入射光の
強度との差に基づいてコア4a,4bの光通過損失を求
める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信等に用いられる
光部品の光損失測定方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】光通信を行う際等に、光ファイバや光導
波路チップ等の光部品の光損失を測定することが行われ
ており、図3には、光導波路チップ8の光損失(光導波
路チップ8のコア4の光損失)を測定する装置の一例が
示されている。同図において、発光ダイオード(LE
D)等の光源11に入射光導入用光部品として機能するシ
ングルモード光ファイバ6が接続されており、シングル
モード光ファイバ6の出射側の端面20側には、光損失測
定対象となる測定対象光部品として機能する光導波路チ
ップ8のコア4の入射側端面21が間隔Lを介して対向配
置されており、コア4の出射側端面22にはコア径の大き
なマルチモード光ファイバ14がコア4と光軸がほぼ合っ
た状態で接続されており、マルチモード光ファイバ14に
は光パワーメータ13が接続されている。光導波路チップ
8は固定されており、微動ステージ10を微動することに
より、シングルモード光ファイバ6の光軸と光導波路チ
ップ8のコア4の光軸とが位置合わせされるようになっ
ている。
【0003】このような装置において、光導波路チップ
8のコア4の光損失を測定するときには、光源11からシ
ングルモード光ファイバ6に導入した入射光を光導波路
チップ8のコア4に入射させ、このとき、シングルモー
ド光ファイバ6とコア4との光軸が合うように微動ステ
ージ10を微動させながら、コア4の出射側の端面22から
出射される光の受光強度をマルチモード光ファイバ14を
介して光パワーメータ13により測定し、受光強度が最大
となる位置をシングルモード光ファイバ6と光導波路チ
ップ8のコア4との光軸が合った調心位置と判断する。
そして、この位置での受光強度と前記入射光の強度との
差に基づいて、入射光強度の値から受光強度の値を差し
引いて光導波路チップ8のコア4の光通過損失を求める
ようになっている。
【0004】なお、この測定に際し、マルチモード光フ
ァイバ14のコア径が大きく、コア4の端面22とマルチモ
ード光ファイバ14との光結合損失はほぼ無視することが
可能であり、マルチモード光ファイバ14の光通過損失も
無視できると仮定して、光パワーメータ13により測定さ
れる受光強度の値をそのままコア4の端面22から出射さ
れる光の受光強度としており、また、シングルモード光
ファイバ6とコア4とが調心位置にあるときにシングル
モード光ファイバ6とコア4との光結合損失が無視でき
ることから、前記調心位置での受光強度(最大受光強
度)の値を前記入射光の強度の値から差し引いてコア4
の光通過損失を測定していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
方法で光導波路チップ8のコア4の光通過損失の測定を
行うためには、シングルモード光ファイバ6とコア4と
の光軸のずれを例えば0.1 μm単位で調整して、シング
ルモード光ファイバ6とコア4との光軸のずれがほぼ零
となるように調心する必要があり、そのためには、微動
ステージ10によりシングルモード光ファイバ6を0.1 μ
m単位で微動することを何度も繰り返してシングルモー
ド光ファイバ6とコア4との調心を行わなければなら
ず、非常に時間がかかるといった問題があった。特に複
数のコア4を形成した光導波路チップ8や多心の光ファ
イバを配設した光ファイバアレイ等の光部品の光損失
(光通過損失)を測定する場合には、シングルモード光
ファイバ6等の入射光導入用光部品と光導波路チップ8
のそれぞれのコア4とを調心するといったように、光損
失測定対象となる測定対象光部品の複数のコアや複数の
光ファイバについて、それぞれ調心を行わなければなら
ないために、非常に時間がかかり問題であった。
【0006】本発明は上記従来の課題を解決するために
なされたものであり、その目的は、短時間で光部品の光
通過損失を測定することができる光部品の光損失測定方
法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のように構成されている。すなわち、本
発明は、入射光導入用光部品と光損失測定対象となる測
定対象光部品とを対向配置し、入射光導入用光部品から
測定対象光部品に入射光を入射させ、該測定対象光部品
の出射側から出射される光の受光強度を測定して該受光
強度と前記入射光の強度との差に基づいて測定対象光部
品の光通過損失を求める光部品の光損失測定方法であっ
て、入射光導入用光部品と測定対象光部品の光軸中心の
軸ずれによる光結合強度の分布を受光強度H(dB)の
分布で表し、光軸に垂直なX−Y平面のX方向の軸ずれ
量ξと、Y方向の軸ずれ量ηによって受光強度をH=a
ξ2 +bη2 +cの2次関数で近似し、入射光導入用光
部品と測定対象光部品とを対向配置した位置からX方向
とY方向の一方向又は両方向の異なる位置に入射光導入
用光部品と測定対象光部品の一方又は両方を微動したと
きの5点の受光強度をそれぞれH0 ,H1 ,H2
3 ,H4 としてH0 からH4 の5元の連立2次方程式
を作り、この連立2次方程式を解いて前記2次関数のξ
とηの値が零となるときのcの値を求め、このcの値を
入射光導入用光部品と測定対象光部品との光軸中心の軸
ずれが零となるように光軸調整を行ったときの光軸調整
後の受光強度としてこの受光強度と前記入射光の強度と
の差に基づいて測定対象光部品の光通過損失を求めるこ
とを特徴として構成されている。
【0008】
【作用】上記構成の本発明において、受光強度がX方向
の軸ずれ量ξとY方向の軸ずれ量ηによってH=aξ2
+bη2 +cの2次関数で近似され、入射光導入用光部
品と測定対象光部品とを対向配置した位置からX方向と
Y方向の一方向又は両方向の異なる位置に入射光導入用
光部品と測定対象光部品の一方又は両方が微動され、異
なる位置での5点の受光強度がH0 〜H4 の5元の連立
2次方程式で表され、この連立2次方程式を解くことに
より入射光導入用光部品と測定対象光部品との光軸中心
の軸ずれが零となるように光軸調整を行ったときの光軸
調整後の受光強度が求められ、この受光強度と入射光の
強度との差に基づいて測定対象光部品の光通過損失が求
められる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。なお、本実施例の説明において、従来例と同一名
称部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
図1には本発明に係る光部品の光損失測定方法により、
光損失測定を行う装置の一例が示されている。
【0010】同図において、発光ダイオード(LED)
等の光源11の光源光出射側端面23側には、光ファイバ配
列具9の入射側端面25が接続されており、光ファイバ配
列具9は微動ステージ10を備え、この微動ステージ10の
働きにより光ファイバ配列具9の光軸Zに垂直なX−Y
平面上でX方向とY方向に微動できるように構成されて
いる。光ファイバ配列具9の出射側端面20側には光部品
の光導波路チップ8が間隔Lを介して対向配置されてお
り、光導波路チップ8の出射側端面22にはコア径50μm
のマルチモード光ファイバ14が接続されており、マルチ
モード光ファイバ14の出射側端面24側には光パワーメー
タ13が接続されている。
【0011】光ファイバ配列具9はシングルモード光フ
ァイバ6を誤差範囲0.5 μm以下となるように正確に25
0 μmピッチで8本並べて内蔵したものであり、両端側
の2本のシングルモード光ファイバ6a,6bの入射側
端面25から光源11の光が入射するように構成されてい
る。光導波路チップ8はシリコンの基板上に石英ガラス
を積層し、石英ガラス上にチタンをドープした幅8μm
の矩形状のコア4を8本積層形成し、コア4の周りをク
ラッドで覆った平行導波路であり、コア4とクラッドの
屈折率差は0.3 %である。なお、本実施例では、前記光
ファイバ配列具9の両端側のシングルモード光ファイバ
6a,6bが入射光導入用光部品として機能するもので
あり、導波路チップ8の両端側のコア4a,4bが光損
失測定対象となる測定対象光部品であり、上記シングル
モード光ファイバ6a,6bから上記コア4a,4bに
入射光(光源11からの光)が入射されるようになってい
る。
【0012】また、上記光ファイバ配列具9と導波路チ
ップ8との間隔Lは5μm以内とし、シングルモード光
ファイバ6とコア4との間隔Lによる光結合損失は0.01
dB以下としてほぼ無視できるようになっており、さら
に、光ファイバ配列具9と導波路チップ8との光軸の角
度ずれは0.1 deg以内となるように光ファイバ配列具
9と導波路チップ8とが配置され、シングルモード光フ
ァイバ6とコア4との光軸の角度ずれによる光結合損失
もほぼ無視できるようになっている。したがって、本実
施例におけるシングルモード光ファイバ6とコア4との
光結合損失は殆どシングルモード光ファイバ6とコア4
との光軸Zに垂直なX−Y平面上でのX方向よびY方向
の位置ずれにより決定される。
【0013】光パワーメータ13にはパーソナルコンピュ
ータ12が接続され、パーソナルコンピュータ12は前記微
動ステージ10に接続されている。パーソナルコンピュー
タ12は光パワーメータ13により検出される受光強度と、
光ファイバ配列具9に内蔵されたシングルモードファイ
バ6の光軸Zに垂直なX−Y平面上でのX方向、Y方向
の位置を同時に記録し、演算回路で解析するとともに、
微動ステージ10の微動を制御し、光ファイバ配列具9を
X方向、Y方向に所望に移動させる機能を備えている。
【0014】以上のように、光損失測定装置は構成され
ており、次に、光ファイバ配列具9に内蔵された両端側
2本のシングルモード光ファイバ6a,6bから光導波
路チップ8のコア4a,4bに入射光を同時に入射させ
てコア4a,4bの光損失(光通過損失)を求める動作
について説明する。まず、光源11の出射側端面23側から
出射されて光ファイバ配列具9の両端側のシングルモー
ド光ファイバ6a,6bを通り、シングルモードファイ
バ6a,6bの出射側端面20から出射する各光強度を、
予め光パワーメータ13により測定し、それらの測定値を
入射光強度としてパーソナルコンピュータ12に記憶させ
る。
【0015】次に、シングルモード光ファイバ6a,6
bから出射した光を光導波路チップ8のコア4a,4b
入射側端面21から入射し、光導波路チップ8のコア4
a,4bを通して、マルチモード光ファイバ14を通し、
マルチモード光ファイバ14の出射側端面24から出射させ
る。そして、マルチモード光ファイバ14の出射側端面24
から出射した光を、光パワーメータ13で受光強度H(単
位はdB)により検出し、検出した受光強度Hをパーソ
ナルコンピュータ12に入力する。このとき、パーソナル
コンピュータ12は光ファイバ配列具9に内蔵されたシン
グルモード光ファイバ6の光軸Zに垂直なX−Y平面上
でのX方向とY方向の位置も同時に検出し、記録する。
【0016】ところで、受光強度Hは、図2に示すよう
に、例えばシングルモード光ファイバ6とコア4のよう
な光部品同士の光軸Zが調心位置にあるときに最大とな
り、光部品同士の光軸Zが調心位置からずれると小さく
なることが既に知られており、この受光強度Hの分布は
2次関数曲線と近い曲線分布となる。そこで、本実施例
では、受光強度Hの分布を光軸に垂直なX−Y平面のX
方向の軸ずれ量ξと、Y方向の軸ずれ量ηによって次式
(1)に示すξとηの2次関数で近似し、この2次方程
式をパーソナルコンピュータ12に内蔵された演算回路で
解くことにより、下記のようにして受光強度が最大とな
る光軸調心位置における受光強度を算出し、その受光強
度の値に基づいてコア4の光損失を求めることにした
(a,b,cは定数)。
【0017】H=aξ2 +bη2 +c・・・・・(1)
【0018】まず、光ファイバ配列具9と光導波路チッ
プ8とを対向配置してシングルモード光ファイバ6a,
6bとコア4a,4bとをそれぞれ対向させた位置にお
いて、それぞれの受光強度H0 を測定し、また、このと
きの光軸調心位置からのシングルモード光ファイバ6
a,6bとコア4a,4bとの光軸Zに垂直なX−Y平
面のX方向の軸ずれ量をξ、Y方向の軸ずれ量をηと仮
定して、この位置での受光強度H0 を上記式(1)に示
した2次関数の方程式により、次式(2)のように表
し、ξとηの2次関数で近似する(a,b,cは定
数)。
【0019】 H0 =aξ2 +bη2 +c・・・・・(2)
【0020】次に、この受光強度H0 を測定した位置を
基準位置とし、パーソナルコンピュータ12の制御によ
り、微動ステージ10を微動させ、シングルモードファイ
バ6をX−Y平面上でX方向とY方向の一方向又は両方
向の異なる位置に微動して、このときの受光強度を光パ
ワーメータ13で検出し、受光強度Hn をX方向の微動量
Δξn 、Y方向の微動量Δηn により次式(3)で表
し、近似する。なお、nは整数であり、Δξn ,Δηn
の値は零を含む実数である。
【0021】 Hn =a(ξ−△ξn 2 +b(η−Δηn 2 +c・・・・・(3)
【0022】したがって、例えば、前記基準位置からX
方向、Y方向の一方向又は両方向の異なる4点位置に微
動したときの受光強度は次式(4)〜(7)により近似
される。
【0023】 H1 =a(ξ−Δξ1 2 +b(η−Δη1 2 +c・・・・・(4)
【0024】 H2 =a(ξ−Δξ2 2 +b(η−Δη2 2 +c・・・・・(5)
【0025】 H3 =a(ξ−Δξ3 2 +b(η−Δη3 2 +c・・・・・(6)
【0026】 H4 =a(ξ−Δξ4 2 +b(η−Δη4 2 +c・・・・・(7)
【0027】なお、本実施例では、Δξ1 =+2μm,
Δη1 =0,Δξ2 =−2μm,Δη2 =0,Δξ3
0,Δη3 =+2μm,Δξ4 =0,Δη4 =−2μm
としてシングルモード光ファイバ6a,6bを微動し、
各微動位置での受光強度H1,H2 ,H3 ,H4 を測定
し、上記式(4)〜(7)により近似した。
【0028】次に、コア4a側とコア4b側とで測定し
た受光強度の値と受光強度の式(2)および式(4)〜
式(7)の5元連立2次方程式を解くことにより、ξお
よびηの値が零のときのc値をそれぞれ求め、このそれ
ぞれのcの値をシングルモード光ファイバ6aとコア4
a、シングルモード光ファイバ6bとコア4bを光軸中
心の軸ずれ(X方向Y方向の位置ずれ)が零となるよう
に光軸調整を行ったときの光軸調整後の受光強度の値と
する。
【0029】そして、これらの受光強度の値を、パーソ
ナルコンピュータ12に記憶されている前記入射光強度の
値からそれぞれ差し引くことにより、各コア4a,4b
の光通過損失の値を算出した。
【0030】本実施例によれば、上記動作により、光フ
ァイバ配列具9を微動してシングルモード光ファイバ6
の位置を最初にコア4と対向配置した位置からX方向と
Y方向のいずれか一方向の異なる位置に微動して、その
ときの5点の受光強度を測定するとともに、各受光強度
をH0 からH4 の5元の連立2次方程式で近似してこの
連立2次方程式を解いて2次関数のcの値を求めるだけ
で、シングルモード光ファイバ6とコア4との調心を行
わなくとも調心位置での受光強度を求めることができ
る。そのため、例えば0.1 μm単位で微動させて調心を
行ってそのときの受光強度を測定する従来の方法のよう
に時間がかかることはなく、短時間で光軸調整後の受光
強度(調心位置での受光強度)を求めることが可能とな
り、この受光強度の値と入射光の強度との差に基づいて
短時間で正確に光導波路チップ8のコア4a,4bのそ
れぞれの光通過損失を同時に求めることができる。
【0031】また、本実施例によれば、上記のように、
シングルモード光ファイバ6a,6bと光導波路チップ
8のコア4a,4bの光軸を完全に一致させる必要はな
いために、光ファイバ配列具9のシングルモード光ファ
イバ6のピッチ間隔と光導波路チップ8のコア4のピッ
チ間隔とが数μmずれていたとしても支障なく光導波路
チップ8の各コア4の光通過損失を測定することができ
る。
【0032】なお、本発明は上記実施例に限定されるこ
とはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば、上記
実施例では、光導波路チップ8の両端側のコア4a,4
bの光通過損失の測定のみを行ったが、光ファイバ配列
具9に配列されている全てのシングルモード光ファイバ
から光導波路チップ8の全てのコア4に入射光を入射
し、例えばマルチモードファイバアレイを用いて、マル
チモードファイバアレイに配列されているマルチモード
光ファイバ14を光導波路チップ8の全てのコア4の出射
側端面22に接続して各コア4の端面22側から出射される
受光強度を光パワーメータ13により検出するようにすれ
ば、光導波路チップ8の全てのコアの光通過損失を同時
に測定することができる。このように、同時に測定を行
う測定対象光部品の数等は適宜設定されるものである。
【0033】また、上記実施例では、微動ステージ10に
より光ファイバ配列具9を微動させるときに、シングル
モード光ファイバ6とコア4とを対向配置した位置(基
準位置)からX方向とY方向のいずれか一方向の異なる
位置に微動したが、基準位置からX方向とY方向の両方
向の異なる位置に微動しても構わない。さらに、上記実
施例では、基準位置での受光強度をH0 とし、この基準
位置を含む異なる5点位置での受光強度H0 からH4
基づいて光軸調整後の受光強度を求めたが、基準位置で
の受光強度を含めずに、基準位置から異なる5点位置に
微動したときの受光強度をH0 からH4 としてそのH0
からH4 の値に基づいて光軸調整後の受光強度を求める
ようにしても構わない。また、上記のように、異なる5
点位置での受光強度に基づいて光軸調整後の受光強度を
求めることはできるが、異なる5点以上の位置での受光
強度を求めて5元以上の連立2次方程式を作り、その連
立2次方程式を解いて光軸調整後の受光強度を求めても
構わない。
【0034】さらに、上記実施例では、光ファイバ配列
具9のシングルモード光ファイバ6を基準位置からX方
向又はY方向の一方向に±2μm微動したが、シングル
モード光ファイバ6の微動距離は1μmでも構わない
し、3μmでも構わないし、シングルモード光ファイバ
6の微動距離は適宜設定されるものである。
【0035】さらに、上記実施例では、光導波路チップ
8は固定してコア4の位置は固定したまま、微動ステー
ジ10により光ファイバ配列具9を微動させてシングルモ
ード光ファイバ6を微動させるようにしたが、その逆
に、シングルモード光ファイバ6の位置を固定して光導
波路チップ8を微動ステージ10により微動させてコア4
の位置を微動してもよく、また、光ファイバ配列具9と
光導波路チップ8の両方を微動させてシングルモード光
ファイバ6とコア4の位置を共に微動するようにしても
構わない。
【0036】さらに、上記実施例では、入射光の強度、
すなわち、シングルモード光ファイバ6a,6bの出射
側端面20から出射する各光強度を予め光パワーメータ13
により測定し、それらの測定値を入射光強度としてパー
ソナルコンピュータ12に記憶させておき、その入射光強
度と、シングルモード光ファイバ6a,6bとコア4
a,4bとの光軸調整後の受光強度との差に基づいてコ
ア4a,4bの光通過損失を求めるようにしたが、入射
光強度は必ずしも予め測定するとは限らず、シングルモ
ード光ファイバ6a,6bとコア4a,4bとの光軸調
整後の受光強度を測定した後に、入射光強度を測定し、
その入射光強度と前記光軸調整後の受光強度との差に基
づいてコア4a,4bの光通過損失を求めるようにして
も構わない。
【0037】さらに、上記実施例では、入射光導入用光
部品はシングルモード光ファイバ6とし、測定対象光部
品は光導波路チップ8のコア4としたが、入射光導入用
光部品はシングルモード光ファイバ6とは限らず、測定
対象光部品も光導波路チップ8のコア4とは限らず、入
射光導入用光部品や測定対象光部品は、光通信に用いら
れる他の光部品としても構わない。また、光導波路チッ
プ8のコア4等の測定対象光部品の出射側に、上記実施
例のようにマルチモード光ファイバ14を接続する代わり
に、シングルモード光ファイバを接続するようにしても
よく、光損失測定用の装置は、測定対象光部品の出射側
から出射される光の受光強度が測定できるように構成さ
れていれば構わない。
【0038】
【発明の効果】本発明によれば、入射光導入用光部品と
測定対象光部品とを対向配置した位置から入射光導入用
光部品と測定対象光部品の一方又は両方を異なる位置に
微動したときの5点の受光強度を測定し、各受光強度を
連立2次方程式で近似してその連立2次方程式を解くこ
とにより、入射光導入用光部品と測定対象光部品との光
軸中心の軸ずれが零となるように光軸調整を行ったとき
の光軸調整後の受光強度を求めることができるために、
入射光導入用部品と測定対象光部品の一方又は両方を例
えば0.1 μm単位で微動して光軸調整を行い、このとき
の受光強度を求める従来の方法のように時間がかかるこ
とはなく、短時間で光軸調整後の受光強度を正確に求め
ることができる。そのため、求めた光軸調整後の受光強
度と測定対象光部品への入射光の強度との差に基づいて
測定対象光部品の光通過損失を短時間で正確に求めるこ
とができる。
【0039】特に、従来は、多心の光導波路を形成した
光導波路チップの各光導波路の光通過損失を測定すると
きや、多心の光ファイバを配列した光ファイバアレイの
各光ファイバの光通過損失を測定するときに、各光導波
路や各光ファイバごとに光軸調整を行い、光軸調整後の
受光強度を求めることから非常に多くの時間を有したの
に比べ、本発明によれば、多心の光導波路や多心の光フ
ァイバの出射側から出射される受光強度を同時にそれぞ
れ測定し、それぞれの受光強度を連立2次方程式で近似
してそれらの連立2次方程式を解くことにより、同時に
各光導波路や各光ファイバの入射光導入用光部品との光
軸調整後の受光強度を求めることができるため、光部品
の移動の回数や1心当たりの受光強度の測定回数を増や
す必要もなく、求めた光軸調整後の受光強度の値に基づ
き、各光導波路や光ファイバの光通過損失を極めて短時
間で正確に求めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光部品の光損失測定方法に基づ
き、光導波路チップ8のコア4の光損失を測定する装置
の一例を示す構成図である。
【図2】光部品同士の光軸のずれ量による受光強度分布
を示す説明図である。
【図3】従来の光部品の光損失測定方法により光損失測
定を行う装置の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
4 コア 6 シングルモード光ファイバ 8 光導波路チップ 9 光ファイバ配列具 10 微動ステージ 12 パーソナルコンピュータ 13 光パワーメータ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入射光導入用光部品と光損失測定対象と
    なる測定対象光部品とを対向配置し、入射光導入用光部
    品から測定対象光部品に入射光を入射させ、該測定対象
    光部品の出射側から出射される光の受光強度を測定して
    該受光強度と前記入射光の強度との差に基づいて測定対
    象光部品の光通過損失を求める光部品の光損失測定方法
    であって、入射光導入用光部品と測定対象光部品の光軸
    中心の軸ずれによる光結合強度の分布を受光強度H(d
    B)の分布で表し、光軸に垂直なX−Y平面のX方向の
    軸ずれ量ξと、Y方向の軸ずれ量ηによって受光強度を
    H=aξ2 +bη2 +cの2次関数で近似し、入射光導
    入用光部品と測定対象光部品とを対向配置した位置から
    X方向とY方向の一方向又は両方向の異なる位置に入射
    光導入用光部品と測定対象光部品の一方又は両方を微動
    したときの5点の受光強度をそれぞれH0 ,H1
    2 ,H3 ,H4 としてH0 からH4 の5元の連立2次
    方程式を作り、この連立2次方程式を解いて前記2次関
    数のξとηの値が零となるときのcの値を求め、このc
    の値を入射光導入用光部品と測定対象光部品との光軸中
    心の軸ずれが零となるように光軸調整を行ったときの光
    軸調整後の受光強度としてこの受光強度と前記入射光の
    強度との差に基づいて測定対象光部品の光通過損失を求
    めることを特徴とする光部品の光損失測定方法。
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