JP2000187131A - 光導波路モジュールの製造方法 - Google Patents

光導波路モジュールの製造方法

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JP2000187131A
JP2000187131A JP36588298A JP36588298A JP2000187131A JP 2000187131 A JP2000187131 A JP 2000187131A JP 36588298 A JP36588298 A JP 36588298A JP 36588298 A JP36588298 A JP 36588298A JP 2000187131 A JP2000187131 A JP 2000187131A
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optical waveguide
optical
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waveguide device
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Tomomi Moriya
知巳 守屋
Masahide Saito
眞秀 齋藤
Tomokane Hirose
智財 広瀬
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ファイバアレイと光導波路デバイスとの調
心時間を短縮する光導波路モジュールの製造方法を提供
すること。 【解決手段】 第一の光ファイバアレイと光導波路デバ
イスとを、光源、前記第一の光ファイバに一端が固定さ
れた光ファイバ、前記光導波路デバイスに形成されてい
る光導波路、コア径が100なし200μmである光フ
ァイバ、光量測定装置をこの順に、光源から出射された
光が光量測定装置に至るように配置して、前記第一の光
ファイバアレイと前記光導波路デバイスとを、前記光量
測定装置で測定される光量が最大となるように調心し、
その後、光ファイバアレイと光導波路デバイスとを一括
接着する光導波路デバイスの製造方法を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路デバイス
と二つの光ファイバアレイとを調心した後、接着して光
導波路モジュールを製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】光導波路デバイスの両端面に光ファイバ
アレイを接着して光導波路モジュールを製造するときに
は、光ファイバアレイに一端が固定される光ファイバの
コアのピッチと光導波路のピッチとを同一にしたうえ
に、光ファイバのコアと光導波路とが同心となるように
両者を調心することが必要となる。例えば、特開平4−
161907号公報には、以下のようにして光導波路モ
ジュールを製造することが示されている。まず、光導波
路デバイスの一方の端において第一の光ファイバアレイ
と光導波路デバイスとを調心して接着固定する。その
後、光導波路デバイスの他方の端において第二の光ファ
イバアレイと光導波路デバイスとを調心して接着固定す
る。
【0003】また、特許第2814620号公報には、
コア径の小さい光ファイバと光導波路デバイスとを調心
して結合するときに、コア径の大きい光ファイバを光量
測定用の光ファイバとして使用することが示されてい
る。この方法について、図3を参照して簡単に説明す
る。コア径の小さい光ファイバ50の一端を光源51に
接続し、他端を、光導波路デバイス52に形成された光
導波路53が該光ファイバ50の延長線上にくるように
配置する。光導波路53の出射端54にはコア径の大き
い光ファイバ55の一端(これを入射端とする)を、コ
ア径の小さい光ファイバ50、光導波路53、コア径の
大きい光ファイバ55が一つの線上にあるように近接さ
せる。コア径の大きい光ファイバ55の他端は光量測定
装置56に接続されている。光源51から光を出射する
と、光は、コア径の小さい光ファイバ50、光導波路5
3、コア径の大きい光ファイバ55を通って光量測定装
置56に至る。光量測定装置56で測定される光量が最
大になるように、コア径の小さい光ファイバ50と光導
波路53の相対位置を調整して両者を接着する。次に光
導波路53の出射端側で別のコア径の小さい光ファイバ
と光導波路とを調心して接着する。
【0004】前記特許公報には、コア径の小さい光ファ
イバ、コア径の大きい光ファイバとして、それぞれコア
径が10μm、75μmであるものが示されている。さ
らに、前記特許掲載公報には、コア径の大きい光ファイ
バとしてマルチモード光ファイバが挙げられている。マ
ルチモード光ファイバのコア径は通常、50μmまたは
62.5μmである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前記した技術にも関わ
らず、光導波路モジュールの製造に当たって、光ファイ
バアレイと光導波路デバイスとの調心は時間のかかる工
程であり、さらなる時間短縮が望まれていた。本発明
は、光ファイバアレイと光導波路デバイスとの調心時間
を短縮する光導波路モジュールの製造方法を提供するこ
とを課題とする。
【0006】前記特許掲載公報に示されたようにコア径
の大きい光ファイバを光量測定用光ファイバとして使用
する場合、光量測定用光ファイバのコア径を従来(75
μm)よりも大きくすれば、光量測定用光ファイバの中
心と光導波路の中心とが多少ずれていても、光導波路か
ら出射された光が光量測定用光ファイバに入射する。つ
まり、光導波路と光量測定用光ファイバとの位置ずれに
対して寛容になり、第一の光ファイバアレイと光導波路
デバイスとの調心(以下、第一調心という)は容易にな
る。しかし、第二の光ファイバアレイと光導波路デバイ
スとの調心(以下、第二調心という)に当たっては、第
一調心時の光量測定用光ファイバの位置から第二の光フ
ァイバアレイの初期位置を決定するので、第一調心時に
光導波路と光量測定用光ファイバとの位置ずれに対して
寛容となることは、第二調心でなすべき調整を困難に
し、第二調心に要する時間が増加することになると考え
られた。また、光量測定用光ファイバのコア径を大きく
すればするほど、不要な迷光も拾うので、第一の光ファ
イバアレイと光導波路デバイスとの相対位置がいずれの
位置であるときに光量が最大となるか判然としなくな
る、すなわち、第一調心に時間を要する、あるいは第一
調心ができないというおそれもあった。特に、光量測定
用光ファイバのコア径を光導波路のピッチより大きくす
ると、迷光を拾い易くなり、前述のおそれが強まると考
えられた。
【0007】前述のことから、第一調心時に使用する光
量測定用光ファイバのコア径を従来の50ないし75μ
mよりも大きくすることは、かならずしも調心時間の短
縮になるとは限らないと考えられていて、第一調心時
に、よりコア径の大きい光ファイバを光量測定用光ファ
イバとして積極的に使用するという考えはなかった。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の状況
下、第一調心時に使用する光量測定用光ファイバのコア
径をあえて大きくして、第一および第二調心を合わせた
全調心時間の短縮を図ろうとする思想のもとになされた
ものであり、コア径が100ないし200μmである光
ファイバを光量測定用光ファイバとして使用することに
より、第一光ファイバアレイと光導波路デバイスの調心
時間を大幅に短縮し、全調心時間を短縮することを特徴
とする光導波路モジュールの製造方法を提供する。詳細
には、以下の方法を提供する。
【0009】第一の光ファイバアレイと光導波路デバイ
スとを、前記光導波路デバイスに形成されている光導波
路と、前記光導波路のピッチと同ピッチで前記第一の光
ファイバアレイに一端が固定されている光ファイバのコ
アとが同心となるように調心し、その後、光導波路デバ
イスの反対側で、第二の光ファイバアレイと前記光導波
路デバイスとを調心し、その後、前記第一の光ファイバ
アレイと前記光導波路デバイスおよび前記第二の光ファ
イバアレイと前記光導波路デバイスとを一括接着して光
導波路モジュールを製造する方法であって、前記第一の
光ファイバアレイと前記光導波路デバイスとの調心が、
光源、前記第一の光ファイバアレイに一端が固定された
光ファイバ、前記光導波路、コア径が100ないし20
0μmである光ファイバ、光量測定装置をこの順に、光
源から出射された光が光量測定装置に至るように配置し
て、前記第一の光ファイバアレイと前記光導波路デバイ
スとの相対位置を、前記光量測定装置で測定される光量
が最大となるように合わせることであることを特徴とす
る光導波路デバイスの製造方法。なお、本明細書におい
てピッチとは中心点から中心点までの距離をいう。
【0010】また、本発明は、前記の方法において、コ
ア径が100ないし200μmである光ファイバと光導
波路デバイスとを、両者の距離が1000μm以下とな
るように配置することを特徴とする光導波路モジュール
の製造方法を提供する。
【0011】
【発明の実施の形態】光ファイバアレイの構造を図4に
例示する。溝30を有するアレイ基盤31の上に、光フ
ァイバ3が前記の溝30に収められ、アレイ基盤31と
光ファイバ押さえ32とによって挟まれている。光ファ
イバ3が収められている溝の隙間部分には接着剤が充填
され、アレイ基盤31と光ファイバ押さえ32は接着さ
れているので、光ファイバ3はアレイ基盤31と光ファ
イバ押さえ32の間で固定されている。
【0012】光導波路デバイスの構造を図5に例示す
る。導波路基盤33の上に光を伝える光導波路4が形成
されていて、光導波路4を覆うようにオーバークラッド
34が形成されている。導波路基盤33とオーバークラ
ッド34とは両者が合わさって光ファイバにおけるクラ
ッドに相当する。光が伝わるのは光導波路4であり、光
導波路4は光ファイバにおけるコアに相当する。
【0013】以下、図1を参照して、第一の光ファイバ
アレイと光導波路デバイスとを調心する第一調心につい
て説明する。第一の光ファイバアレイ1aを第一光ファ
イバアレイ調心ステージ11aに置き、両者の相対位置
がずれないように固定する。光導波路デバイス2を光導
波路デバイス調心ステージ12に置き、両者の相対位置
がずれないように固定する。前記第一の光ファイバアレ
イは、該光ファイバアレイに一端が固定されている光フ
ァイバのコアのピッチが前記光導波路のピッチと同ピッ
チであるものを使用する。第一光ファイバアレイ調心ス
テージ11aは図に示すx、y、z、x軸の周りの回転
方向θx、y軸の周りの回転方向θyおよびz軸周りの
回転方向θzの6方向に移動可能である。光導波路デバ
イス調心ステージ12は固定されている。目視により、
光導波路デバイスに形成された各光導波路4が、第一の
光ファイバアレイ1aに一端が固定されている各光ファ
イバ3aのコアの延長線上にあるように、第一光ファイ
バアレイ調心ステージ11aを移動させ、第一の光ファ
イバアレイ1aと光導波路デバイス2とを近接させる。
【0014】第一の光ファイバアレイ1aに並んで固定
されている複数の光ファイバ3aのうちいずれか一方の
端縁に位置する光ファイバ3a1の入射端(光ファイバ
アレイ側でない端)を光源5に接続する。光量測定用光
ファイバとして光導波路の径または辺よりも大きいコア
径を有する大口径光ファイバ7の一端(これを入射端と
する)を、光ファイバ3a1の延長線上にある光導波路
41の出射端61に、光ファイバ3a1、光導波路41
および大口径光ファイバ7の入射端が一つの線上にある
と目視により認められるように近接させる。大口径光フ
ァイバ7の他端(出射端)は光量測定装置8に接続す
る。光源5から光を出射すると、光は光ファイバ3a1
を伝わり、光導波路41に入射し、光導波路41を伝わ
り、光導波路41の出射端61から出射され、大口径光
ファイバ7に入射し、大口径光ファイバ7を伝わって光
量測定装置8に至る。第一光ファイバアレイ調心ステー
ジ11aを前記の6方向に一方向ずつ順に移動させて光
量測定装置8で測定される光量が最大となる位置に合わ
せる。
【0015】この後、前記複数の光ファイバ3aのうち
他端縁に位置する光ファイバ3a2の入射端を光源5に
接続し、大口径光ファイバを、光ファイバ3a2の延長
線上にある光導波路42の出射端62に近接させ、前述
した方法と同様にして、光ファイバ3a2、光導波路4
2、大口径光ファイバ7を伝わって光量測定装置8に至
る光の光量が最大となる位置に第一光ファイバステージ
11aを合わせ、さらに前記の6方向のいずれにも動か
ないように固定する。第一調心後、大口径光ファイバ7
を撤去して、第二の光ファイバアレイと光導波路デバイ
スとを調心する第二調心を行う。
【0016】大口径光ファイバには、マルチモード光フ
ァイバ(グレーテッドインデックス(GI)光ファイバ
およびシングルインデックス(SI)光ファイバ)、G
Iファイバ付きシングルモード(SM)光ファイバ、G
Iレンズ付きSM光ファイバが使用可能である。
【0017】以下、図2を参照して、第二調心について
説明する。第二の光ファイバアレイ1bを第二光ファイ
バアレイ調心ステージ11bに置き、両者の相対位置が
ずれないように固定する。このとき、第二の光ファイバ
アレイ1bに並んで固定されている光ファイバ3bのう
ち両端縁に位置する光ファイバ3b1、3b2が第一調
心時の大口径光ファイバ7の位置に来るように置く。第
一の光ファイバアレイ1aに一端(出射端)が固定され
ている光ファイバ3a1の他端(入射端)を光源5に接
続する。第一の光ファイバアレイ1aに並んで固定され
ている光ファイバ3aのうち一方の端に位置する光ファ
イバ3b1の出射端(光ファイバアレイ側でない端)を
光量測定装置8に接続する。光源5から光を出射し、第
二光ファイバアレイ調心ステージ11bを前記の6方向
に一方向ずつ順に移動させ、光ファイバ3a1、光導波
路41、光ファイバ3b1を伝わって光量測定装置8に
至る光の光量が最大となる位置に合わせる。
【0018】この後、光源を光ファイバ3a2の入射端
に、光量測定装置8を光ファイバ3b2の出射端に、そ
れぞれ接続して、前述した方法として同様にして、光フ
ァイバ3a2、光導波路42、光ファイバ3b2を伝わ
って光量測定装置8に至る光の光量が最大となる位置に
第二光ファイバステージ11bを合わせ、さらに前記の
6方向のいずれにも動かないように固定する。前述した
第二調心が終了したのち、第一の光ファイバアレイ1a
と光導波路デバイス2および第二の光ファイバアレイ1
bと光導波路デバイス2とを接着し、光導波路モジュー
ルを得る。接着に当たっては、第二調心終了後に、第一
の光ファイバアレイ1aと光導波路デバイス2の間およ
び第二の光ファイバアレイ1bと光導波路デバイス2の
間に接着剤を塗布し、その状態で光ファイバ3a1、光
導波路41、光ファイバ3b1を伝わる光または光ファ
イバ3a2、光導波路42、光ファイバ3b2を伝わる
光の光量が最大になるように、第一の光ファイバアレイ
1aと光導波路デバイス2および第二の光ファイバアレ
イ1bと光導波路デバイス2との相対位置を調整した
後、前記接着剤を硬化させて、第一の光ファイバアレイ
1aと光導波路デバイス2および第二の光ファイバアレ
イ1bと光導波路デバイス2とを一括接着することが好
ましい。接着剤には紫外線硬化型接着剤が使用できる。
【0019】
【実施例】目視にて光ファイバのコアの延長線上に光導
波路が来るように配置した場合、外形公差およびコア位
置から生じるズレが150μm以上となる光ファイバア
レイと光導波路デバイスとを本発明の方法で調心して接
着し、光導波路モジュールを製造した。光ファイバには
コアの径が8μmであるものを、光ファイバアレイには
光ファイバのコアのピッチ(光ファイバアレイの溝のピ
ッチと等しい)が250μmまたは127μmのもの2
種類を使用した。光導波路デバイスには、光導波路の辺
(高さまたは幅)が8μmであり、光導波路のピッチが
250μmまたは127μmであるもの2種類を使用し
た。光ファイバアレイの溝のピッチは、光導波路のピッ
チと一致させた。すなわち、両者とも250μmとする
か、または127μmとした。第一調心時に光量測定用
光ファイバとして使用する大口径光ファイバには表1に
示す種々のコア径のマルチモードファイバ(GIファイ
バおよびSIファイバ)を用意し、5人の作業者につい
て、第一調心および第二調心に要する時間を調べた。光
ファイバアレイ調心ステージ11はx、y、z、x軸の
周りの回転方向θx、y軸の周りの回転方向θyおよび
z軸周りの回転方向θzの6方向に移動可能なものを使
用した。5人の平均調心時間を表1に示す。大口径光フ
ァイバとしてコア径が600μmのものを使用したとき
は、光量測定装置で測定される光量が少なく、第一の光
ファイバアレイがいずれの位置にあるときに光量が最大
となるか判然とせず、第一調心を行うことができず、第
二調心の段階に進むことができなかった。
【0020】
【表1】
【0021】100μmおよび200μmのコア径を有
する大口径光ファイバを使用したときに、第一調心時間
を短縮することができた。大口径光ファイバのコア径が
大きくなるにつれ、第二調心の時間が長くなったが、1
00μmおよび200μmのコア径を有する大口径光フ
ァイバを使用したときは、それ以上に第一調心時間を短
縮することができたので、第一調心と第二調心を合わせ
た全調心時間を短縮することができた。
【0022】また、第一調心時に、光導波路デバイスの
端面と大口径光ファイバの端面との距離と調心時間に関
して調べたところ、前記距離を1000μm以下とする
ことで、上記のように調心時間の短縮が可能であること
が分かった。
【0023】比較例 x、y、zおよびz軸周りの回転方向θzの4方向に移
動可能である(調心の自由度が4である)光ファイバア
レイ調心ステージを使用し、光量測定用光ファイバとし
てコア径が62.5μmののマルチモード光ファイバを
使用して、光ファイバアレイと光導波路デバイスとを調
心するのに要する時間を、実施例と同じ5人の作業者に
ついて調べた。第一調心および第二調心に要する全調心
時間は510秒であった。
【0024】
【発明の効果】本発明は、第一調心時に光量測定用光フ
ァイバとしてコア径が100ないし200μmの大口径
光ファイバを使用することによって、第二調心に要する
時間の増加分以上に第一調心に要する時間を短縮し、全
調心時間を短縮することを可能とする。大口径光ファイ
バのコア径が光導波路のピッチよりも大きくても、上記
の範囲内であれば、全調心時間を短縮することを可能と
する。また、本発明は、第一調心時にコア径が100な
いし200μmの大口径光ファイバを使用し、光導波路
デバイスと大口径光ファイバとの距離を1000μm以
下とすることで全調心時間を短縮することを可能とす
る。これらにより、光導波路モジュールの生産性が上昇
し、製造単価を下げることができる。
【0025】さらに、光量測定用光ファイバとして従来
のものを使用し、かつ光ファイバアレイ調心ステージの
自由度を4(x、y、zおよびθzの4方向)として光
ファイバアレイと光導波路デバイスとを調心する場合に
比して、大口径光ファイバのコア径を上記の範囲とす
る、すなわち従来のもの(50ないし75μm)よりも
大きくして、かつ光ファイバアレイ調心ステージの自由
度を6(x、y、z、θx、θyおよびθzの6方向)
に増やした場合は、調心時間がむしろ短縮される。第一
調心時に大口径光ファイバを光導波路デバイスから10
00μmまで離すことにより、調心時間を短縮しつつ光
ファイバアレイ調心ステージの自由度を増やすことがで
きる。また、光ファイバアレイ調心ステージの自由度を
増やすことによって、光ファイバアレイおよび光導波路
デバイスの寸法公差を従来よりも甘くできる。したがっ
て光ファイバアレイおよび光導波路デバイスの製造単価
も下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一調心の一態様を示す図面である。
【図2】本発明の第二調心の一態様を示す図面である。
【図3】従来の光量測定用ファイバを使用した光ファイ
バと光導波路との調心の態様を示す図面である。
【図4】光ファイバアレイの構造を示す図面である。
【図5】光導波路デバイスの構造を示す図面である。
【符号の説明】
1:光ファイバアレイ 1a:第一の光ファイバアレイ 1b:第二の光ファイバアレイ 2、52:光導波路デバイス 3、3a、3a1、3a2、3b、3b1、3b2:光
ファイバ 4、41、42、53:光導波路 5、51:光源 61、62、54:光導波路の出射端 7:大口径光ファイバ 8、56:光量測定装置 11a:第一光ファイバアレイ調心ステージ 11b:第二光ファイバアレイ調心ステージ 12:光導波路デバイス調心ステージ 30:溝 31:アレイ基盤 32:光ファイバ押さえ 33:導波路基盤 34:オーバークラッド 50:コア径の小さい光ファイバ 55:コア径の大きい光ファイバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 広瀬 智財 神奈川県横浜市栄区田谷町1番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 Fターム(参考) 2H037 AA01 BA24 DA12 DA17 DA18

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第一の光ファイバアレイと光導波路デバ
    イスとを、前記光導波路デバイスに形成されている光導
    波路と、前記光導波路のピッチと同ピッチで前記第一の
    光ファイバアレイに一端が固定されている光ファイバの
    コアとが同心となるように調心し、その後、光導波路デ
    バイスの反対側で、第二の光ファイバアレイと前記光導
    波路デバイスとを調心し、その後、前記第一の光ファイ
    バアレイと前記光導波路デバイスおよび前記第二の光フ
    ァイバアレイと前記光導波路デバイスとを一括接着して
    光導波路モジュールを製造する方法であって、前記第一
    の光ファイバアレイと前記光導波路デバイスとの調心
    が、光源、前記第一の光ファイバアレイに一端が固定さ
    れた光ファイバ、前記光導波路、コア径が100ないし
    200μmである光ファイバ、光量測定装置をこの順
    に、光源から出射された光が光量測定装置に至るように
    配置して、前記第一の光ファイバアレイと前記光導波路
    デバイスとの相対位置を、前記光量測定装置で測定され
    る光量が最大となるように合わせることであることを特
    徴とする光導波路デバイスの製造方法。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の方法において、コア径
    が100ないし200μmである光ファイバと光導波路
    デバイスとを、両者の距離が1000μm以下となるよ
    うに配置することを特徴とする光導波路モジュールの製
    造方法。
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