JP4215635B2

JP4215635B2 - アレー構造の光ファイバコリメータの構成部品を調整する方法

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Publication number: JP4215635B2
Application number: JP2003510998A
Authority: JP
Inventors: 寿郎菊池; 康之水嶋; 裕樹高橋; 善明竹内
Original assignee: Osaka Denki Co Ltd
Current assignee: Osaka Denki Co Ltd
Priority date: 2001-07-03
Filing date: 2002-04-29
Publication date: 2009-01-28
Anticipated expiration: 2022-04-29
Also published as: EP1405111B1; EP1405111A1; CA2448945C; ATE337569T1; CN100478721C; WO2003005078A1; CN1967303A; EP1405111A4; CA2448945A1; JP2005508015A; DE60214186T2; US6404955B1; CN1518672A; EP1596227A1; DE60214186D1

Description

本発明は、全体として、アレー構造の光ファイバコリメータに関し、特に、アレー構造の光ファイバコリメータの構成部品を調整する方法に関する。

光学装置では、アレー構造の光ファイバコリメータが益々使われている。例えば、アレー構造の光ファイバコリメータは、光アイソレータチップや光サーキュレータチップなどの種々の光学的チップに接続して使用されたり、使用するように提案されている。最近では、高密度の波長分割多重装置（ＤＷＤＭ）に使われる、アレー構造の光テバイスに対する要求が増えたので、低価格化が益々重要になってきている。しかし、グレーデッドインデックス（ＧＲＩＮ）レンズ、非球面レンズ、又はフレネルマイクロレンズを取り込んだ平行化用アレーを使用する光デバイスの有用性は、光ファイバコリメータアレーの構成に大きく左右される。したがって、光損失を低減するようにファイバコリメータアレーを構成することが重要である。

そこで、実用的で、光損失が最小なアレー構造の光ファイバコリメータの構成部品を調整するシステムと方法が必要となる。

本発明は、アレー構造の光ファイバコリメータの構成部品を調整する方法であり、
（ａ）複数の個別の光ファイバ（８０１）を受容及び保持する光ファイバアレーブロック（８０２）と、マイクロレンズ表面に沿って一体化された構造の複数のマイクロレンズ及び前記マイクロレンズ表面に対向する基板面を有し、前記光ファイバアレーブロック（８０２）とともに前記アレー構造の光ファイバコリメータを構成するマイクロレンズアレー基板（８０６）と、第１の表面及び該第１の表面の反対側にあり、光ビームを部分的に反射する第２の表面を有するダミーブロック（８２６）とを用意するステップと、
（ｂ）前記光ファイバアレーブロック（８０２）を受容及び保持する第１の固定具（８０３）を設定するステップと、
（ｃ）前記マイクロレンズアレー基板（８０６）を受容及び保持する第２の固定具（８０５）を設定するステップと、
（ｄ）電荷結合素子カメラ（８２４）であり、前記一体化された構造のマイクロレンズの少なくとも１つから出力される光ビームを受光するように位置決めされる第１の受光器と、該第１の受光器の少なくとも一部を受容及び保持する第３の固定具（８１３）とを設定するステップと、
（ｅ）光結合器と光サーキュレータ（８１６）のうちの１つを、光源（８１４）と前記光ファイバアレーブロック（８０２）との間に結合するとともに、前記複数の個別の光ファイバ（８０１）の少なくとも２つに結合するステップと、
（ｆ）フォトデテクタである第２の受光器（８１８）を、前記光サーキューレータ（８１６）と前記光結合器のうち一方の出力ポートに結合するステップと、
（ｇ）前記第２の表面で光ビームを部分的に反射する前記ダミーブロック（８２６）の前記第１の表面を、前記マイクロレンズアレー基板（８０６）と前記第１の受光器の間に位置するように前記マイクロレンズアレー基板（８０６）に装着するステップと、
（ｈ）前記光源（８１４）から少なくとも１つの光ビームを、前記複数の個別の光ファイバ（８０１）の少なくとも２つへ出力するステップと、
（ｉ）前記第１の受光器を使って前記マイクロレンズを通った照明位置を目視で検査することにより、前記マイクロレンズアレー基板（８０６）と前記光ファイバアレーブロック（８０２）のうちの少なくとも一方の位置を他方に対して調整するステップと、
（ｊ）前記ダミーブロック（８２６）の前記第２の表面で部分的に反射される光ビームが前記光ファイバ（８０１）中に再入力されるように、前記ダミーブロック（８２４）を含む前記マイクロレンズアレー基板（８０６）を前記光ファイバアレーブロック（８０２）に対して調整するステップと、
（ｋ）前記第２の受光器（８１８）に導かれた反射光のパワーが最大のとき、前記光ファイバアレーブロック（８０２）を前記マイクロレンズアレー基板（８０６）に固定するステップとを有することを特徴とする方法である。

本発明の他の特徴点や利点は、後述の詳細な説明の中で述べる。また、詳細な説明から、当業者には明らかになるか、前述の特許請求の範囲及び添付の図面に記載された本発明を実施すれば分かるであろう。

上述の説明は、本発明の一例に過ぎず、請求の範囲に規定した本発明の性質と特徴とを理解するために全体像がつかめるように意図したものである。添付の図面は、本発明の理解を更に深めるためのものであり、明細書の一部をなす。図面は、本発明の種々の特徴点と実施例とを示すものであり、図面の簡単な説明とともに本発明の原理と動作の説明に資するものである。

本発明によれば、実用的で、光損失が最小なアレー構造の光ファイバコリメータの構成部品を調整する方法を提供することができる。

本発明を実施するための最良の形態は、後述する実施例１〜３に記載の通りである。

図１は、第１のアレー構造の光ファイバコリメータ１０２と、第２のアレー構造の光ファイバコリメータ１１２とを有するアレー構造光ファイバデバイス１００を示す。第１のアレー構造の光ファイバコリメータ１０２は、複数の光ファイバ１０１を保持する第１の光ファイバアレーブロック１０４と、マイクロレンズ表面に沿って一体化した複数のマイクロレンズからなる第１のマイクロレンズアレー基板１０６とを有する。第２のアレー構造の光ファイバコリメータ１１２は、複数の光ファイバ１１１を保持する第２の光ファイバアレーブロック１１４と、マイクロレンズ表面に沿って一体化した複数のマイクロレンズからなる第２のマイクロレンズアレー基板１１６とを有する。光チップ（例えば、アイソレータチップ、サーキュレータチップ、フィルタ等）１０８は、基板１２０に形成された溝１１８の内部で保持される。第１のアレー構造の光ファイバコリメータ１０２と第２のアレー構造の光ファイバコリメータ１１４は、基板１２０に結合され（例えば、接着剤を使って）、調整後は、第１のアレー構造の光ファイバコリメータ１０２と第２のアレー構造の光ファイバコリメータ１１４が互いに位置関係を保つとともにチップ１０８に対しても、位置関係を保つ。

そして、図２には、複数の光ファイバ２０１（例えば８本の光ファイバ）を保持する光ファイバアレーブロック２０２を、マイクロレンズアレー基板２０６に対して整列させる方法を示す。ファイバ２０１は光源２１４に結合され、光源２１４はファイバ２０１の各々に光ビームを出力するのが好ましい。あるいは、光源２１４は、光ビームをファイバ２０１の各端部へ出力するだけでもよい。図２（Ａ）に示すように、第1の固定具２０３は、ブロック２０２を受容及び保持するとともに自動調整器（auto-aligner）２２０に結合されて、基板２０６及びＳＭＣ光ファイバ２１０に対して、ブロック２０２を移動しやすくする。基板２０６は、第２の固定具２０５により受容及び保持され、固定具２０５は、基板２０６を自動調整器２２０に装着し、したがって、自動調整器２２０が、基板２０６を移動しやすくする。ＳＭＣ光ファイバ２１０は、受光器２１２に結合されるとともに、固定具２０７により受容及び保持される。受光器２１２からみたとき（ＳＭＣ光ファイバ２１０を介して）、各ファイバ２０１と、各ファイバに対応するマイクロレンズから出射する光パワーが最大になるように、ブロック２０２と基板２０６との相対位置が調整される。ブロック２０２の複数の光ファイバ２０１と基板２０６のマイクロレンズとの間を最適に調整するには、自動調整器２２０により精密な割り出しが必要であることが理解されよう。所望の調整が完了すると、ブロック２０２は基板２０６に張り付けられ（例えば、光学用接着剤を使って）、これにより、図２（Ｂ）に示された調整法といっしょに使用されるアレー構造の光ファイバコリメータ２３０が完成する。

図２（Ｂ）に示すように、コリメータ２３０の複数の光ファイバ２０１は、受光器２１２に結合される。次に、コリメータ２３０は、固定具２０９により受容及び保持され、固定具２０９を介して自動調整器２２０に結合される。次に、光源２１４は、光ファイバアレーブロック２３２に保持された複数の光ファイバ２３１に結合される。光ファイバアレーブロック２３２が固定具２０３を介して自動調整器２２０に結合される。マイクロレンズアレー基板２３６は、次に、固定具２０５を介して、自動調整器２２０に結合される。ブロック２３２と基板２３６は、自動調整器２２０により移動され、それにより、ブロック２３２に保持された光ファイバ２３１と、基板２３６のマイクロレンズとを介して、受光器２１２からコリメータ２３０を通してみたとき、最適な光パワーを伝達し易くする。伝達パワーが最大になったら、ブロック２３２を、基板２３６に固定して（例えば、光学接着剤を使って）、図２（Ｃ）に示すようなもう一つのコリメータ２５０とする。

図２（Ｃ）に示すように、コリメータ２５０は、固定具２０９を使用して、自動調整器２２０に結合されるとともに、複数の光ファイバ２３１を介して、受光器２１２に結合される。光ファイバアレーブロック２６２は、光源２１４に結合された複数の光ファイバ２６１を保持するとともに、固定具２０３により受容及び保持されて固定具２０３を介して自動調整器２２０に結合される。基板２６６は、固定具２０５により受容及び保持されて、固定具２０５を介して自動調整器２２０に結合される。図２（Ｂ）に示す方法と同様だが、ブロック２６２と基板２６６は、相互に整列して、コリメータ２５０を介して受光器２１２からみたとき、基板２６６のマイクロレンズを通過する光パワーを最大にする。以上、１つのコリメータを使って、次段のマイクロレンズアレー基板を次段の光ファイバアレーブロックと整列させて、次段のコリメータを作り出す方法を説明した。

図３は、上述のＳＭＣファイバ法とステッピング法を使ってつくった、一対のコリメータの結合損失を示すグラフである。図３に示すように、ＳＭＣファイバに対して整列させた一対のコリメータの最小結合損失は、一方のコリメータを、同様に整列した他方のコリメータから５乃至６ミリの位置に配置したとき、約1.5dBである。先につくっておいたコリメータを使って、次につくったコリメータと整列させ、つくったコリメータを他のコリメータから５−６ミリに配置したとき、0.6dBの減衰が得られた。しかし、完全なマスタコリメータを使わないと、整列誤差が残ることがあり、最初の２つ又は３つのコリメータは、大抵、捨てなければならない。更に、平行化された光ビームは、通常、広がって、ミクロン又はミクロン以下の精度で整列する（この場合、ビーム径は、代表的には100から140ミクロン）ので、平行化された光ビームを検出して行う調整では、Ｘ，Ｙ及びＺ軸方向の移動に対して特に敏感というわけではない。

図４は、光ファイバアレーブロック４０２をマイクロレンズアレー基板４０６と整列させる別の装置を示す。光源（例えば、レーザダイオード）４１４は、光サーキュレータ４１６に結合され、この光サーキュレータ４１６が、受光器（例えば、フォトデテクタ）４１８に結合される。サーキュレータ４１６は、また、ブロック４０２中に保持される複数の光ファイバ４０１に結合される。ブロック４０２は、固定具４０３により受容及び保持されて、固定具４０３を介して自動調整器４２０に結合される。基板４０６は、固定具４０５により受容及び保持されて、固定具４０５を介して自動調整器４２０に結合される。ハーフミラー４２２は、固定具４１１により受容及び保持されて、固定具４１１を介して自動調整器４２０に結合される。電荷結合素子（ＣＣＤ）カメラ４２４は、固定具４１３により受容及び保持されて、固定具４１３を介して自動調整器４２０に結合される。このようにして、自動調整器４２０は、ブロック４０２、基板４０６及びミラー４２２の、カメラ４２４に対する相対位置および三次元（Ｘ，Ｙ及びＺ）における互いに対する相対位置を調整できる。

まず、初めに、自動調整器４２０により、ブロック４０２とミラー４２２とを接触させ、ブロック４０２とミラー４２２をθX及びθY方向に整列させて最大の光パワーが伝達されるようにする。これにより、ブロック４０２とミラー４２２は平行になる。次に、ミラー４２２をＺ方向に移動して、ブロック４０２から離す。それから、基板４０６をブロック４０２とミラー４２２との間に置く。光源４１４が、光ファイバ４０１の少なくとも最初の一本と、最後の一本とに光ビームを出力し、カメラ４２４を使って基板４０６のマイクロレンズを介して、照明位置を目視検査することにより、調整するようになっている。次に、ミラー４２２と基板４０６との間の距離をαに設定する。この距離は、マイクロレンズと、形成されるビームウエストポイント（beam waist point）（wave frontが曲率０であり、ビーム径が最小となるガウスビーム中の点）との間の光路長に対応する。次に、光ビームを、ファイバ４０１とブロック４０２へ入力し、基板４０６のマイクロレンズが、受光器４１８からみたときの反射光パワーを調べることにより調整される。最適調整が完了すると、ブロック４０２と基板４０６とが相互に位置関係をもって固定され（例えば、光学接着剤を使って）、アレー構造の光ファイバコリメータを形成する。

図５は、前述の各方法について、コリメータ間の距離の関数としての結合損失を示す。マイクロレンズの表面に反射防止コーティング（ＡＲ）を施さない場合、鏡法により調整された一対のコリメータの最小結合損失は0.6dBである。したがって、マイクロレンズの表面がＡＲコーティングされていると、結合損失は代表的には0.5dB未満のはずである。調整確度は、Ｘ及びＹ方向で約0.5−1ミクロンから約0.1ミクロンに改善され、またθX,θY及びθZ軸では0.1度から0.01度に改善された点に注目されたい。

図６は、光ファイバアレーブロックとマイクロレンズアレー基板について、１つのチャンネルで調整後の調整ずれを時間の関数としてプロットしたグラフを示す。時間が経つにつれて増加する損失は、主に、自動調整器上にあるホルダとブラケットの熱膨張又は熱収縮と、自動調整器の振動とによるものである。鏡を使う調整方法では、鏡と光ファイバアレーブロックとが平行に調整され、その位置にて、基板とブロックの調整中に、あるところまでは移動するかも知れない時間長にわたって鏡をそのままにする。市販されているいずれのタイプのものも、一般に、自動調整器の不安定さが見られる。

図７に示すように、構成部品の調整に影響を与えるもう１つの要因は、自動調整器の回転の中心が、ブロック４０２とミラー４２２の表面の、最初のチャンネル（CH1）と最後のチャンネル（CH6）の先端からずれることである。代表的な自動調整器では、基板４０６が固定され、ミラー４２２とブロック４０２を移動させて、調整を容易にする。しかし、ブロック４０２とミラー４２２を、例えばθY軸上で動かすと、調整点として使われる第１のチャンネルと最後のチャンネルの先端が、θY軸上だけでなく、Ｘ及びＺ軸上でも動く。ミラー４２２はブロック４０２と同様に動き、ブロック４０２はＸ軸上で自動的に調整できるが、調整誤差はＺ軸に残ることがある。

本発明のもう１つの実施例によれば、図８に示すように、図４のミラー４２２の代わりに、ダミーブロック（好ましくはSiO₂又はガラスのブロック）８２６を使用する。ダミーブロック８２６は基板８０６の表面に取り付ける。図示のとおり、光ファイバアレーブロック８０２はその表面に結合された（例えば、光学接着剤を使って）レンズスペーサ８２８を有し、このブロック８０２とスペーサ８２８が一体化したユニットを構成する。したがって、ブロック８０２とスペーサ８２８は、単独の固定具８０３を使って、自動調整器８０２に取り付けられる。同様に、ダミーブロック８２６は基板８０６に取り付けられている。この基板８０６は、単独の固定具８０５を介して自動調整器８２０に結合されている。ＣＣＤカメラ８２４も、固定具８１３を介して自動調整器８２０に結合されている。光源（例えば、レーザダイオード）８１４は、光アイソレータ８３０を介して、光ビームを光サーキュレータ８１６に出力する。このサーキュレータ８１６は複数の光ファイバ８０１に結合され、この光ファイバ８０１がブロック８０２中に保持されている。好ましくは、光を、複数の光ファイバ８０１の第1の光ファイバと最後の光ファイバとに入力し、基板８０６のマイクロレンズを介して、ＣＣＤカメラ８２４を使って、照明位置を目視で検査することにより、ブロック８０２と基板８０６とを粗調整する。基板８０６のマイクロレンズで形成された平行化光ビームは、ダミーブロック８２６の表面で部分的に反射される。ダミーブロック８２６の厚さは、レンズ表面からビームウエストポイントまでの光路長に対応しているのが好ましい。反射光は、ファイバ中に再入力され、サーキュレータ８２６により、受光器（例えば、フォトデテクタ）８１８に導かれる。ブロック８０２（スペーサ８２８を含む）と基板８０６（ダミーブロック８２６を含む）の調整は、第1のチャンネルと最後のチャンネルの光パワーをチェックすることによりできる。代替案としては、個別にチャンネルを検査してもよい。このようにして、反射光のパワーを検査することで、基板８０６とブロック８０２が6つの全ての軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ，θX，θY，θZ）上で精密に調整される。正確に調整されたら、接着剤（例えば、紫外光（ＵＶ）光学接着剤）がスペーサ８２８の表面と基板８０６の表面との間に注入され、一体化されたコリメータができあがる。前述の方法に優る本方法の第1の利点は、自動調整器上に保持されねばならない部品の数が３個から２個に減り、これにより、更に精密な調整ができることである。

図９は、結合損失を示す複数のカーブを説明するグラフであり、図８のセットアップを使って製作された多数対のコリメータについて、コリメータ間の距離の関数として結合損失を示す。ダミーブロックを使って調整した1対のコリメータの結合損失は、最小0.4dB（フレネル反射損失は、除去されるが、コネクタ損失は含まれている。）であった。調整確度が約10−20ミクロンの範囲から、Ｚ軸上で約1ミクロンに改善し、この方法が６つの軸全てに適用できる点に注目されたい。

上述の方法は種々の構成のコリメータに適用可能である。例えば、図１０は、マイクロレンズアレー基板１００６の傾斜面が、ダミーブロック１０２６の傾斜面に整合しているアレー構造の光ファイバコリメータ１０００を示す。ダミーブロック１０２６の面に傾きを持たせて基板１００６の傾きを補償し、更に精密な調整ができるようになっている。図１１に示すように、凸レンズ又は回折レンズを有するコリメータ１１００は、調整用の空所（例えば、くぼみ）を有するダミーブロック１１２６を含んでもよい。図１２に示すように、平行化された光ビームが、マイクロレンズアレー基板１２０６のマイクロレンズの光軸から数度はずれるようにつくる場合は、傾斜した背面を有するダミーブロック１２２６を使って、もっと精密な調整をするのが有利である。上述のとおり、アレー構造の光ファイバコリメータの損失を、全体として、従来構造のものよりも軽減する多数の方法を述べた。

ここで述べた本発明の好適な実施例に対する種々の変形例が、請求の範囲に定義された本発明の精神及び範囲から逸脱することなく可能であることは当業者には自明である。

本発明の一実施例によるアレー構造の光デバイスの斜視図である。本発明の一実施例による光ファイバアレーブロックとマイクロレンズアレー基板とを整列させるセットアップを示す図である。本発明の各実施例により構成部品がシングルモード平行化（ＳＭＣ）ファイバ法及びステッピング法により調整された、一対のアレー構造の光ファイバコリメータ間の距離の関数である結合損失を示す図である。本発明の他の実施例による、光ファイバアレーブロックをマイクロレンズアレー基板と整列させるためのセットアップを示すブロック図である。ＳＭＣファイバ法、ステッピング法及び鏡法を用いた場合の、コリメータ間の間隔の関数としての結合損失を示す図である。図４に示すセットアップについて、時間の関数としての結合損失の増加を示す図である。マイクロレンズアレー基板に対する、図４に示す光ファイバアレーブロックとミラーの動きを示す平面図である。本発明の別の実施例によりアレー構造の光ファイバコリメータの構成部品を調整するセットアップを示すブロック図である。図８のセットアップを用いてつくった、多数のコリメータ対について、コリメータ間の距離の関数として結合損失を示す図である。傾斜面を有する傾斜ダミーブロックを使ってマイクロレンズアレー基板の傾斜面と組み合わせるアレー構造の光ファイバコリメータを示す図である。凸型マイクロレンズ又は回折マイクロレンズを受容する凹部を有するダミーブロックを採用したアレー構造の光ファイバコリメータを示す側面図である。背面が傾斜したダミーブロックを有し、マイクロレンズの光軸から数度外れた角度で整列させた、平行化光ビームを有するコリメータとともに使用されるアレー構造の光ファイバコリメータを示す側面図である。

符号の説明

１００アレー構造光ファイバデバイス
１０１，１１１光ファイバ
１０２，１１２アレー構造の光ファイバコリメータ
１０４，１１４光ファイバアレーブロック
１０６，１１６マイクロレンズアレー基板
１０８光チップ
１１８溝
１２０基板
２０３，２０５，２０７，２０９固定具
２１０ＳＭＣ光ファイバ
２１２受光器
２１４光源
２２０自動調整器
４１６光サーキュレータ
４２２ハーフミラー
４２４ＣＣＤカメラ
８２６ダミーブロック
８２８レンズスペーサ
８３０光アイソレータ

Claims

アレー構造の光ファイバコリメータの構成部品を調整する方法であり、
（ａ）複数の個別の光ファイバ（８０１）を受容及び保持する光ファイバアレーブロック（８０２）と、マイクロレンズ表面に沿って一体化された構造の複数のマイクロレンズ及び前記マイクロレンズ表面に対向する基板面を有し、前記光ファイバアレーブロック（８０２）とともに前記アレー構造の光ファイバコリメータを構成するマイクロレンズアレー基板（８０６）と、第１の表面及び該第１の表面の反対側にあり、光ビームを部分的に反射する第２の表面を有するダミーブロック（８２６）とを用意するステップと、
（ｂ）前記光ファイバアレーブロック（８０２）を受容及び保持する第１の固定具（８０３）を設定するステップと、
（ｃ）前記マイクロレンズアレー基板（８０６）を受容及び保持する第２の固定具（８０５）を設定するステップと、
（ｄ）電荷結合素子カメラ（８２４）であり、前記一体化された構造のマイクロレンズの少なくとも１つから出力される光ビームを受光するように位置決めされる第１の受光器と、該第１の受光器の少なくとも一部を受容及び保持する第３の固定具（８１３）とを設定するステップと、
（ｅ）光結合器と光サーキュレータ（８１６）のうちの１つを、光源（８１４）と前記光ファイバアレーブロック（８０２）との間に結合するとともに、前記複数の個別の光ファイバ（８０１）の少なくとも２つに結合するステップと、
（ｆ）フォトデテクタである第２の受光器（８１８）を、前記光サーキューレータ（８１６）と前記光結合器のうち一方の出力ポートに結合するステップと、
（ｇ）前記第２の表面で光ビームを部分的に反射する前記ダミーブロック（８２６）の前記第１の表面を、前記マイクロレンズアレー基板（８０６）と前記第１の受光器の間に位置するように前記マイクロレンズアレー基板（８０６）に装着するステップと、
（ｈ）前記光源（８１４）から少なくとも１つの光ビームを、前記複数の個別の光ファイバ（８０１）の少なくとも２つへ出力するステップと、
（ｉ）前記第１の受光器を使って前記マイクロレンズを通った照明位置を目視で検査することにより、前記マイクロレンズアレー基板（８０６）と前記光ファイバアレーブロック（８０２）のうちの少なくとも一方の位置を他方に対して調整するステップと、
（ｊ）前記ダミーブロック（８２６）の前記第２の表面で部分的に反射される光ビームが前記光ファイバ（８０１）中に再入力されるように、前記ダミーブロック（８２４）を含む前記マイクロレンズアレー基板（８０６）を前記光ファイバアレーブロック（８０２）に対して調整するステップと、
（ｋ）前記第２の受光器（８１８）に導かれた反射光のパワーが最大のとき、前記光ファイバアレーブロック（８０２）を前記マイクロレンズアレー基板（８０６）に固定するステップとを有することを特徴とする方法。
前記ダミーブロック（１０２６）の前記第２の表面が、前記一体化された構造のマイクロレンズの光ビームウエストポイントに位置していることを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記ダミーブロック（１０２６）の前記第１の表面が、前記マイクロレンズアレー基板（１００６）の基板面に装着され、前記マイクロレンズアレー基板（１００６）の基板面が傾斜し、前記ダミーブロック（１０２６）の前記第１の表面が傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記ダミーブロック（１１２６）の前記第１の表面が、前記マイクロレンズアレー基板（１１０６）の基板面に装着され、前記複数のマイクロレンズが、屈折レンズと回折レンズのうちの１つであり、前記ダミーブロック（１１２６）は前記基板面と前記第１の表面との間に空隙を形成するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の方法。
前記ダミーブロック（１２２６）の前記第１の表面が、前記マイクロレンズアレー基板（１２０６）の基板面に装着され、前記複数のマイクロレンズが、グレーデッドインデックスレンズであり、前記ダミーブロック（１２２６）の前記第２の表面が傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の方法。