JPH06281850A - 光部品の光軸調整方法 - Google Patents
光部品の光軸調整方法Info
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- JPH06281850A JPH06281850A JP9205593A JP9205593A JPH06281850A JP H06281850 A JPH06281850 A JP H06281850A JP 9205593 A JP9205593 A JP 9205593A JP 9205593 A JP9205593 A JP 9205593A JP H06281850 A JPH06281850 A JP H06281850A
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- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 正確で効率的な光部品の光軸調整方法を提供
する。 【構成】 光源11からの光を光ファイバ配列具９に内蔵
されたシングルモードファイバ６に通し、次に、光導波
路チップ８のコア４を通し、マルチモードファイバ14を
通し、光パワーメータ13で受光強度を検出し、パーソナ
ルコンピュータ12で解析する。シングルモードファイバ
６と光導波路チップ８コア４の光軸調整の際、微動ステ
ージ10を微動し、シングルモードファイバ６を光軸Ｚに
垂直なＸ−Ｙ平面上で基準位置からＸ方向とＹ方向にそ
れぞれ２点微動させ、それら５点の位置で受光強度を測
定する。受光強度を２次関数で近似し、２次関数の方程
式を解いて受光強度が最も高くなる位置を求め、その位
置にシングルモードファイバ６を微動してシングルモー
ドファイバ６と光導波路チップ８のコア４の光軸Ｚを合
わせる。
する。 【構成】 光源11からの光を光ファイバ配列具９に内蔵
されたシングルモードファイバ６に通し、次に、光導波
路チップ８のコア４を通し、マルチモードファイバ14を
通し、光パワーメータ13で受光強度を検出し、パーソナ
ルコンピュータ12で解析する。シングルモードファイバ
６と光導波路チップ８コア４の光軸調整の際、微動ステ
ージ10を微動し、シングルモードファイバ６を光軸Ｚに
垂直なＸ−Ｙ平面上で基準位置からＸ方向とＹ方向にそ
れぞれ２点微動させ、それら５点の位置で受光強度を測
定する。受光強度を２次関数で近似し、２次関数の方程
式を解いて受光強度が最も高くなる位置を求め、その位
置にシングルモードファイバ６を微動してシングルモー
ドファイバ６と光導波路チップ８のコア４の光軸Ｚを合
わせる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信等に用いられる
光部品の光軸調整方法に関するものである。
光部品の光軸調整方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光通信を行う際等に、光ファイバと光フ
ァイバを結合したり、光ファイバと光導波路を結合した
りといった、光部品同士の光結合を行う。光部品同士の
光結合を行うときは、例えば、図４に示すように、ま
ず、出射側の光ファイバ１と受光側の光ファイバ２を間
隔Ｌを介して対向配置し、光ファイバ１の端面20から光
ファイバ２の入射側端面21に光を入射して光ファイバ２
に光を通し、光ファイバ２の出射側の端面22から出射さ
れる光の強度を光パワーメータ13により検出する。この
パワーメータ13で受光強度を検出しながら光の受光強度
が最大となるように、光ファイバ１，２の両方又はどち
らか一方（図では光ファイバ１）側に備えられた微動ス
テージ10を微動させて、光ファイバ１，２の調心、すな
わち、光軸Ｚの位置合わせを行い、光部品である光ファ
イバ１，２の光結合を行うのが一般的である。
ァイバを結合したり、光ファイバと光導波路を結合した
りといった、光部品同士の光結合を行う。光部品同士の
光結合を行うときは、例えば、図４に示すように、ま
ず、出射側の光ファイバ１と受光側の光ファイバ２を間
隔Ｌを介して対向配置し、光ファイバ１の端面20から光
ファイバ２の入射側端面21に光を入射して光ファイバ２
に光を通し、光ファイバ２の出射側の端面22から出射さ
れる光の強度を光パワーメータ13により検出する。この
パワーメータ13で受光強度を検出しながら光の受光強度
が最大となるように、光ファイバ１，２の両方又はどち
らか一方（図では光ファイバ１）側に備えられた微動ス
テージ10を微動させて、光ファイバ１，２の調心、すな
わち、光軸Ｚの位置合わせを行い、光部品である光ファ
イバ１，２の光結合を行うのが一般的である。
【０００３】ところで、光ファイバ１，２の光結合強度
は光ファイバ１，２の光軸Ｚが調心位置にある状態のと
きに最大となり、その状態での光結合が理想的である。
しかし、光ファイバ１や光ファイバ２の光軸Ｚがその調
心位置から少しでもずれた状態で光結合を行うと、光結
合の接続損失が生じ、光結合強度はその分だけ小さくな
る。光結合の接続損失は、光ファイバ１，２の光軸Ｚの
位置ずれや、光軸Ｚの角度ずれ、光ファイバ１，２の端
面20，21同士の開き等によって生じ、通常、それら全て
の接続損失を合わせた光結合の接続損失が0.1 ｄＢ以下
となるように光ファイバ１，２の位置ずれ等を調整し、
その状態で光ファイバ１，２の光結合を行う。
は光ファイバ１，２の光軸Ｚが調心位置にある状態のと
きに最大となり、その状態での光結合が理想的である。
しかし、光ファイバ１や光ファイバ２の光軸Ｚがその調
心位置から少しでもずれた状態で光結合を行うと、光結
合の接続損失が生じ、光結合強度はその分だけ小さくな
る。光結合の接続損失は、光ファイバ１，２の光軸Ｚの
位置ずれや、光軸Ｚの角度ずれ、光ファイバ１，２の端
面20，21同士の開き等によって生じ、通常、それら全て
の接続損失を合わせた光結合の接続損失が0.1 ｄＢ以下
となるように光ファイバ１，２の位置ずれ等を調整し、
その状態で光ファイバ１，２の光結合を行う。
【０００４】例えば、シングルモード光ファイバ１，２
を10μｍの間隔Ｌを介して光結合する場合、光結合の接
続損失を0.1 ｄＢ以下にするためには、仮に光軸Ｚの角
度ずれや光ファイバ１，２の端面20，21同士の開きによ
る損失等が無視できるとしても、光ファイバ１，２の光
軸Ｚの光軸Ｚ中心からの位置ずれは0.75μｍ以下としな
ければならない。実際には、光軸の角度ずれ等による損
失も無視できないことから、光ファイバ１，２の光軸Ｚ
の調心位置（光軸Ｚ中心）からの位置ずれは0.75μｍよ
りも小さい非常に小さな値とする必要があり、そのため
には光ファイバ１，２の調心位置を正確に判断し、光フ
ァイバ１，２を調心位置に正確に移動しなければならな
い。
を10μｍの間隔Ｌを介して光結合する場合、光結合の接
続損失を0.1 ｄＢ以下にするためには、仮に光軸Ｚの角
度ずれや光ファイバ１，２の端面20，21同士の開きによ
る損失等が無視できるとしても、光ファイバ１，２の光
軸Ｚの光軸Ｚ中心からの位置ずれは0.75μｍ以下としな
ければならない。実際には、光軸の角度ずれ等による損
失も無視できないことから、光ファイバ１，２の光軸Ｚ
の調心位置（光軸Ｚ中心）からの位置ずれは0.75μｍよ
りも小さい非常に小さな値とする必要があり、そのため
には光ファイバ１，２の調心位置を正確に判断し、光フ
ァイバ１，２を調心位置に正確に移動しなければならな
い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光ファ
イバ２の出射側22から出射される光は、光ファイバ１，
２の調心位置付近での光強度変化が緩やかであり、光パ
ワーメータ13により光ファイバ２の端面22から出射され
る光強度が最大となる位置（調心位置）を正確に判断す
ることは困難であった。
イバ２の出射側22から出射される光は、光ファイバ１，
２の調心位置付近での光強度変化が緩やかであり、光パ
ワーメータ13により光ファイバ２の端面22から出射され
る光強度が最大となる位置（調心位置）を正確に判断す
ることは困難であった。
【０００６】例えば、図５には、前記シングルモードフ
ァイバ１，２の光結合における光ファイバ２の端面22か
ら出射される光を光パワーメータ13で検出した受光強度
分布が示されているが、光ファイバ１，２の光結合強度
が最大となる光軸Ｚの調心位置Ｍ、すなわち図５の受光
強度分布のピークトップ位置から、0.3 μｍずれた位置
Ｂ，Ｂ′に光ファイバ１が移動したときの光強度変化Ｃ
は0.01ｄＢ以下と非常に小さく、この程度の値は測定誤
差に含まれてしまうことも多いため、たとえ光ファイバ
１，２の光軸Ｚが調心位置から0.3 μｍずれていたとし
ても、光パワーメータ13で検出される受光強度より光フ
ァイバ１，２の光軸Ｚのずれを判断することは困難であ
る。
ァイバ１，２の光結合における光ファイバ２の端面22か
ら出射される光を光パワーメータ13で検出した受光強度
分布が示されているが、光ファイバ１，２の光結合強度
が最大となる光軸Ｚの調心位置Ｍ、すなわち図５の受光
強度分布のピークトップ位置から、0.3 μｍずれた位置
Ｂ，Ｂ′に光ファイバ１が移動したときの光強度変化Ｃ
は0.01ｄＢ以下と非常に小さく、この程度の値は測定誤
差に含まれてしまうことも多いため、たとえ光ファイバ
１，２の光軸Ｚが調心位置から0.3 μｍずれていたとし
ても、光パワーメータ13で検出される受光強度より光フ
ァイバ１，２の光軸Ｚのずれを判断することは困難であ
る。
【０００７】ところが、光ファイバ１，２の光軸Ｚの調
心位置からの位置ずれ許容範囲値は0.75μｍよりも小さ
い値であり、光ファイバ１，２の光軸Ｚのずれが0.3 μ
ｍ内で判断できないとすると、光ファイバ１，２の光軸
合わせを的確に行うことは難しくなる。
心位置からの位置ずれ許容範囲値は0.75μｍよりも小さ
い値であり、光ファイバ１，２の光軸Ｚのずれが0.3 μ
ｍ内で判断できないとすると、光ファイバ１，２の光軸
合わせを的確に行うことは難しくなる。
【０００８】本発明は上記従来の課題を解決するために
なされたものであり、その目的は、正確で効率的な光部
品の光軸調整方法を提供することにある。
なされたものであり、その目的は、正確で効率的な光部
品の光軸調整方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために次のように構成されている。すなわち、本
発明は光結合を行う光部品同士の一方側から他方側に光
を通し、最大の光結合が得られるように光部品を微動さ
せて光軸中心を合わせる光部品の光軸調整方法におい
て、光結合を行う光部品の一方又は両方を光軸に垂直な
Ｘ−Ｙ平面上で基準位置からＸ方向とＹ方向にそれぞれ
２点以上の位置に微動させて５点以上の位置で光結合強
度を測定し、この測定データのみに基づいて、又はこの
測定データと予め与えられている、軸ずれ量−光強度変
化、の関係データに基づいてＸ方向およびＹ方向の光結
合強度のピーク位置を求め、このピーク位置に光部品の
光軸位置を合わせることを特徴として構成されている。
成するために次のように構成されている。すなわち、本
発明は光結合を行う光部品同士の一方側から他方側に光
を通し、最大の光結合が得られるように光部品を微動さ
せて光軸中心を合わせる光部品の光軸調整方法におい
て、光結合を行う光部品の一方又は両方を光軸に垂直な
Ｘ−Ｙ平面上で基準位置からＸ方向とＹ方向にそれぞれ
２点以上の位置に微動させて５点以上の位置で光結合強
度を測定し、この測定データのみに基づいて、又はこの
測定データと予め与えられている、軸ずれ量−光強度変
化、の関係データに基づいてＸ方向およびＹ方向の光結
合強度のピーク位置を求め、このピーク位置に光部品の
光軸位置を合わせることを特徴として構成されている。
【００１０】また、前記光部品の光軸調整において、光
部品同士の光軸中心の軸ずれによる光結合強度の分布を
受光強度Ｈ（ｄＢ）の分布で表し、光軸に垂直なＸ−Ｙ
平面のＸ方向の軸ずれ量ξと、Ｙ方向の軸ずれ量ηによ
って受光強度をＨ＝ａξ2 ＋ｂη2 ＋ｃの２次関数で近
似し、基準位置での受光強度をＨ0 、基準位置からＸ方
向の異なる２点位置に微動したときの受光強度をそれぞ
れＨ1 ，Ｈ2 、基準位置からＹ方向の異なる２点位置に
微動したときの受光強度をそれぞれＨ3 ，Ｈ4として、
Ｈ0 からＨ4 までの５元の連立２次方程式を作り、この
連立２次方程式を解いて基準位置からのＸ方向の値ξと
Ｙ方向の値ηを求め、基準位置からこのξ，ηだけ光部
品を移動して光結合する光部品同士の光軸を合わせるこ
とも本発明の特徴的な構成とされている。
部品同士の光軸中心の軸ずれによる光結合強度の分布を
受光強度Ｈ（ｄＢ）の分布で表し、光軸に垂直なＸ−Ｙ
平面のＸ方向の軸ずれ量ξと、Ｙ方向の軸ずれ量ηによ
って受光強度をＨ＝ａξ2 ＋ｂη2 ＋ｃの２次関数で近
似し、基準位置での受光強度をＨ0 、基準位置からＸ方
向の異なる２点位置に微動したときの受光強度をそれぞ
れＨ1 ，Ｈ2 、基準位置からＹ方向の異なる２点位置に
微動したときの受光強度をそれぞれＨ3 ，Ｈ4として、
Ｈ0 からＨ4 までの５元の連立２次方程式を作り、この
連立２次方程式を解いて基準位置からのＸ方向の値ξと
Ｙ方向の値ηを求め、基準位置からこのξ，ηだけ光部
品を移動して光結合する光部品同士の光軸を合わせるこ
とも本発明の特徴的な構成とされている。
【００１１】
【作用】上記構成の本発明において、光結合を行う光部
品の一方又は両方は、光軸に垂直なＸ−Ｙ平面上で基準
位置からＸ方向とＹ方向にそれぞれ２点以上の位置に微
動し、５点以上の位置で光結合強度を測定される。この
測定データ等に基づいて求められるＸ方向およびＹ方向
の光結合強度のピーク位置に光部品の光軸位置を合わせ
ることにより、光部品の光軸が調心位置（光部品同士の
光軸がぴったり合う位置）に調整される。
品の一方又は両方は、光軸に垂直なＸ−Ｙ平面上で基準
位置からＸ方向とＹ方向にそれぞれ２点以上の位置に微
動し、５点以上の位置で光結合強度を測定される。この
測定データ等に基づいて求められるＸ方向およびＹ方向
の光結合強度のピーク位置に光部品の光軸位置を合わせ
ることにより、光部品の光軸が調心位置（光部品同士の
光軸がぴったり合う位置）に調整される。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。なお、本実施例の説明において、従来例と同一名
称部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
図１には本発明に係る光部品の光軸調整方法により、光
結合を行う光結合装置の一例が示されている。
する。なお、本実施例の説明において、従来例と同一名
称部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
図１には本発明に係る光部品の光軸調整方法により、光
結合を行う光結合装置の一例が示されている。
【００１３】同図において発光ダイオード（ＬＥＤ）の
光源11の光源光出射側端面23側には、光ファイバ配列具
９の入射側端面25が接続されており、光ファイバ配列具
９は微動ステージ10を備え、この微動ステージ10の働き
により光ファイバ配列具９の光軸Ｚに垂直なＸ−Ｙ平面
上でＸ方向とＹ方向に微動できるように構成されてい
る。光ファイバ配列具９の出射側端面20側には光部品の
光導波路チップ８が間隔Ｌを介して対向配置されてお
り、光導波路チップ８の出射側端面22にはコア径50μｍ
のマルチモード光ファイバ14が接続されており、マルチ
モードファイバ14の出射側端面24側には光パワーメータ
13が接続されている。
光源11の光源光出射側端面23側には、光ファイバ配列具
９の入射側端面25が接続されており、光ファイバ配列具
９は微動ステージ10を備え、この微動ステージ10の働き
により光ファイバ配列具９の光軸Ｚに垂直なＸ−Ｙ平面
上でＸ方向とＹ方向に微動できるように構成されてい
る。光ファイバ配列具９の出射側端面20側には光部品の
光導波路チップ８が間隔Ｌを介して対向配置されてお
り、光導波路チップ８の出射側端面22にはコア径50μｍ
のマルチモード光ファイバ14が接続されており、マルチ
モードファイバ14の出射側端面24側には光パワーメータ
13が接続されている。
【００１４】光ファイバ配列具９は光部品であるシング
ルモードファイバ６を誤差範囲0.5μｍ以下となるよう
に正確に250 μｍピッチで８本並べて内蔵してものであ
り、両端側の２本のシングルモードファイバ６の入射側
端面25から光源11の光が入射するように構成されてい
る。光導波路チップ８はシリコンの基板上に石英ガラス
を積層し、石英ガラス上にチタンをドープした幅８μｍ
の矩形状のコア４を８本積層形成し、コア４の周りをク
ラッドで覆った平行導波路であり、コアとクラッドの屈
折率差は0.3 ％である。
ルモードファイバ６を誤差範囲0.5μｍ以下となるよう
に正確に250 μｍピッチで８本並べて内蔵してものであ
り、両端側の２本のシングルモードファイバ６の入射側
端面25から光源11の光が入射するように構成されてい
る。光導波路チップ８はシリコンの基板上に石英ガラス
を積層し、石英ガラス上にチタンをドープした幅８μｍ
の矩形状のコア４を８本積層形成し、コア４の周りをク
ラッドで覆った平行導波路であり、コアとクラッドの屈
折率差は0.3 ％である。
【００１５】光パワーメータ13にはパーソナルコンピュ
ータ12が接続され、パーソナルコンピュータ12は前記微
動ステージ10に接続されている。パーソナルコンピュー
タ12は光パワーメータ13により検出される受光強度と、
光ファイバ配列具９に内蔵されたシングルモードファイ
バ６の光軸Ｚに垂直なＸ−Ｙ平面上でのＸ方向、Ｙ方向
の位置を同時に記録し、演算回路で解析するとともに、
微動ステージ10の微動を制御し、光ファイバ配列具９を
Ｘ方向、Ｙ方向に所望に移動させる機能を備えている。
ータ12が接続され、パーソナルコンピュータ12は前記微
動ステージ10に接続されている。パーソナルコンピュー
タ12は光パワーメータ13により検出される受光強度と、
光ファイバ配列具９に内蔵されたシングルモードファイ
バ６の光軸Ｚに垂直なＸ−Ｙ平面上でのＸ方向、Ｙ方向
の位置を同時に記録し、演算回路で解析するとともに、
微動ステージ10の微動を制御し、光ファイバ配列具９を
Ｘ方向、Ｙ方向に所望に移動させる機能を備えている。
【００１６】以上のように、光結合装置は構成されてお
り、次に、光ファイバ配列具９に内蔵された両端側２本
のシングルモードファイバ６と光導波路チップ８のコア
４を２本同時に光軸調整する動作について説明する。ま
ず、光源11の出射側端面23側から出射された光は、光フ
ァイバ配列具９の両端側のシングルモードファイバ６の
入射側端面25から入射し、シングルモードファイバ６を
通り、シングルモードファイバ６の出射側端面20から出
射し、光導波路チップ８の入射側コア４端面21から入射
する。そして、光導波路チップ８のコア４を通り、マル
チモードファイバ14を通り、マルチモードファイバ14の
出射側端面24から出射する。
り、次に、光ファイバ配列具９に内蔵された両端側２本
のシングルモードファイバ６と光導波路チップ８のコア
４を２本同時に光軸調整する動作について説明する。ま
ず、光源11の出射側端面23側から出射された光は、光フ
ァイバ配列具９の両端側のシングルモードファイバ６の
入射側端面25から入射し、シングルモードファイバ６を
通り、シングルモードファイバ６の出射側端面20から出
射し、光導波路チップ８の入射側コア４端面21から入射
する。そして、光導波路チップ８のコア４を通り、マル
チモードファイバ14を通り、マルチモードファイバ14の
出射側端面24から出射する。
【００１７】マルチモードファイバ14の出射側端面24か
ら出射した光は、光パワーメータ13で受光強度Ｈ（単位
はｄＢ）が検出され、検出された受光強度Ｈはパーソナ
ルコンピュータ12に入力される。このとき、パーソナル
コンピュータ12は光ファイバ配列具９に内蔵されたシン
グルモードファイバ６の光軸Ｚに垂直なＸ−Ｙ平面上で
のＸ方向とＹ方向の位置も同時に検出し、記録する。
ら出射した光は、光パワーメータ13で受光強度Ｈ（単位
はｄＢ）が検出され、検出された受光強度Ｈはパーソナ
ルコンピュータ12に入力される。このとき、パーソナル
コンピュータ12は光ファイバ配列具９に内蔵されたシン
グルモードファイバ６の光軸Ｚに垂直なＸ−Ｙ平面上で
のＸ方向とＹ方向の位置も同時に検出し、記録する。
【００１８】受光強度Ｈは、図５に示したように、光部
品同士の光軸Ｚが調心位置にあるときに最大となり、光
部品同士の光軸Ｚが調心位置からずれると小さくなり、
この受光強度Ｈの分布は２次関数曲線と近い曲線分布と
なる。そこで、受光強度Ｈの分布を２次方程式で近似
し、２次方程式をパーソナルコンピュータ12に内蔵され
た演算回路で解くことにより、受光強度が最大となる光
軸調心位置を検出することにした。
品同士の光軸Ｚが調心位置にあるときに最大となり、光
部品同士の光軸Ｚが調心位置からずれると小さくなり、
この受光強度Ｈの分布は２次関数曲線と近い曲線分布と
なる。そこで、受光強度Ｈの分布を２次方程式で近似
し、２次方程式をパーソナルコンピュータ12に内蔵され
た演算回路で解くことにより、受光強度が最大となる光
軸調心位置を検出することにした。
【００１９】まず、最初に測定した受光強度ＨをＨ0 と
して、受光強度Ｈ0 を光軸Ｚに垂直なＸ−Ｙ平面のＸ方
向の軸ずれ量ξと、Ｙ方向の軸ずれ量ηによって次式
（１）のように表し、ξとηの２次関数で近似する
（ａ，ｂ，ｃは定数）。
して、受光強度Ｈ0 を光軸Ｚに垂直なＸ−Ｙ平面のＸ方
向の軸ずれ量ξと、Ｙ方向の軸ずれ量ηによって次式
（１）のように表し、ξとηの２次関数で近似する
（ａ，ｂ，ｃは定数）。
【００２０】 Ｈ0 ＝ａξ2 ＋ｂη2 ＋ｃ・・・・・（１）
【００２１】次に、受光強度Ｈ0 を測定した位置を基準
位置Ａとし、パーソナルコンピュータ12の制御により、
微動ステージ10を微動させ、シングルモードファイバ６
を図２のＢに示すようにＸ−Ｙ平面上でＸ方向に△ξだ
け微動する。このときの受光強度を光パワーメータ13で
検出し、Ｂの位置での受光強度ＨをＨ1 として、Ｈ1を
次式（２）で表し、近似する。
位置Ａとし、パーソナルコンピュータ12の制御により、
微動ステージ10を微動させ、シングルモードファイバ６
を図２のＢに示すようにＸ−Ｙ平面上でＸ方向に△ξだ
け微動する。このときの受光強度を光パワーメータ13で
検出し、Ｂの位置での受光強度ＨをＨ1 として、Ｈ1を
次式（２）で表し、近似する。
【００２２】 Ｈ1 ＝ａ（ξ＋△ξ）2 ＋ｂη2 ＋ｃ・・・・・（２）
【００２３】同様にして、シングルモードファイバ６を
基準位置ＡからＸ方向に−△ξだけ微動し、図２のＣの
位置とする。このときの受光強度ＨをＨ2 としてＨ2 を
次式（３）で表し、近似する。
基準位置ＡからＸ方向に−△ξだけ微動し、図２のＣの
位置とする。このときの受光強度ＨをＨ2 としてＨ2 を
次式（３）で表し、近似する。
【００２４】 Ｈ2 ＝ａ（ξ−△ξ）2 ＋ｂη2 ＋ｃ・・・・・（３）
【００２５】同様にして、シングルモードファイバ６を
Ｙ方向に△ηだけ微動した図２のＤの位置での受光強度
ＨをＨ3 とし、Ｙ方向に−△ηだけ微動した図２のＥの
位置での受光強度ＨをＨ4 とし、Ｈ3 ，Ｈ4 を各々、式
（４）、式（５）で表し、近似する。
Ｙ方向に△ηだけ微動した図２のＤの位置での受光強度
ＨをＨ3 とし、Ｙ方向に−△ηだけ微動した図２のＥの
位置での受光強度ＨをＨ4 とし、Ｈ3 ，Ｈ4 を各々、式
（４）、式（５）で表し、近似する。
【００２６】 Ｈ3 ＝ａξ2 ＋ｂ（η＋△η）2 ＋ｃ・・・・・（４）
【００２７】 Ｈ4 ＝ａξ2 ＋ｂ（η−△η）2 ＋ｃ・・・・・（５）
【００２８】次に、式（１）〜式（５）の５元連立２次
方程式を解くことにより、ξとηを求める。このとき、
ξとηの絶対値がＸ方向とＹ方向の各微動量の絶対値△
ξ，△ηよりも大きくなったときには、とりあえず、パ
ーソナルコンピュータ12の制御により微動ステージ10を
微動させ、受光強度Ｈが大きくなるＸ方向、Ｙ方向にシ
ングルモードファイバ６を微動し、その微動した位置を
基準位置として同様の操作を繰り返し、ξとηの絶対値
が△ξ，△η以下となるようにする。
方程式を解くことにより、ξとηを求める。このとき、
ξとηの絶対値がＸ方向とＹ方向の各微動量の絶対値△
ξ，△ηよりも大きくなったときには、とりあえず、パ
ーソナルコンピュータ12の制御により微動ステージ10を
微動させ、受光強度Ｈが大きくなるＸ方向、Ｙ方向にシ
ングルモードファイバ６を微動し、その微動した位置を
基準位置として同様の操作を繰り返し、ξとηの絶対値
が△ξ，△η以下となるようにする。
【００２９】そして、ξとηの絶対値が△ξ，△η以下
となったときは、図２に示すような、位置Ｂ，Ｃ，Ｄ，
Ｅを含む四辺形に囲まれた測定範囲内、すなわち、基準
位置Ａ1 を中心としてＸ方向に±△ξ、Ｙ方向に±△η
だけ微動する範囲内に受光強度Ｈが最大となる位置Ｍ1
が含まれるので、パーソナルコンピュータ12の制御によ
り、微動ステージ10を微動させて、シングルモードファ
イバ６を基準位置Ａ1からＸ方向に値ξだけ微動し、Ｙ
方向にηだけ微動し、Ｍ1 の位置にシングルモードファ
イバ６を微動する。このようにして、シングルモードフ
ァイバ６と光導波路チップ８コア４の光軸Ｚを調心位置
に近づける。
となったときは、図２に示すような、位置Ｂ，Ｃ，Ｄ，
Ｅを含む四辺形に囲まれた測定範囲内、すなわち、基準
位置Ａ1 を中心としてＸ方向に±△ξ、Ｙ方向に±△η
だけ微動する範囲内に受光強度Ｈが最大となる位置Ｍ1
が含まれるので、パーソナルコンピュータ12の制御によ
り、微動ステージ10を微動させて、シングルモードファ
イバ６を基準位置Ａ1からＸ方向に値ξだけ微動し、Ｙ
方向にηだけ微動し、Ｍ1 の位置にシングルモードファ
イバ６を微動する。このようにして、シングルモードフ
ァイバ６と光導波路チップ８コア４の光軸Ｚを調心位置
に近づける。
【００３０】次に、Ｍ1 の位置を基準位置Ａ2 とし、上
記と同様に、シングルモードファイバ６を基準位置Ａ2
からＸ方向、Ｙ方向に各２点ずつ移動し、受光強度Ｈを
測定し、その測定範囲内で受光強度が最大となる位置と
基準位置Ａ2 との間隔のＸ方向の値ξ、Ｙ方向の値ηを
連立方程式から求める。このとき、基準位置からＸ方
向、Ｙ方向に各２点ずつ微動するときのＸ方向とＹ方向
の各微動量の絶対値△ξ，△ηを、はじめは大きい値に
設定して光軸Ｚ合わせを行い、連立方程式により求めら
れるＸ方向、Ｙ方向の値ξ，ηの絶対値が△ξ，△ηよ
りも小さい値になるように操作を行い、その後、Ｘ方
向、Ｙ方向の微動量の絶対値△ξ，△ηをはじめよりも
小さい値に設定して光軸Ｚ合わせの操作を繰り返す。
記と同様に、シングルモードファイバ６を基準位置Ａ2
からＸ方向、Ｙ方向に各２点ずつ移動し、受光強度Ｈを
測定し、その測定範囲内で受光強度が最大となる位置と
基準位置Ａ2 との間隔のＸ方向の値ξ、Ｙ方向の値ηを
連立方程式から求める。このとき、基準位置からＸ方
向、Ｙ方向に各２点ずつ微動するときのＸ方向とＹ方向
の各微動量の絶対値△ξ，△ηを、はじめは大きい値に
設定して光軸Ｚ合わせを行い、連立方程式により求めら
れるＸ方向、Ｙ方向の値ξ，ηの絶対値が△ξ，△ηよ
りも小さい値になるように操作を行い、その後、Ｘ方
向、Ｙ方向の微動量の絶対値△ξ，△ηをはじめよりも
小さい値に設定して光軸Ｚ合わせの操作を繰り返す。
【００３１】このことにより、シングルモードファイバ
６と光導波路チップ８コア４の光軸Ｚは調心位置に、よ
り近づくことになり、最終的には、シングルモードファ
イバ６と光導波路チップ８コア４の光軸Ｚが極めて調心
位置に近い位置となる。
６と光導波路チップ８コア４の光軸Ｚは調心位置に、よ
り近づくことになり、最終的には、シングルモードファ
イバ６と光導波路チップ８コア４の光軸Ｚが極めて調心
位置に近い位置となる。
【００３２】実際に、図２の最初の基準位置Ａ1 から
Ｂ，Ｃに微動したときの△ξを５μｍ、Ｄ，Ｅに微動し
たときの△ηも５μｍとして光軸調整操作を行い、調心
位置からの光軸Ｚのずれ量を１μｍ以下とした後、△
ξ，△ηを共に１μｍとして光軸調整操作を行い、シン
グルモードファイバ６と光導波路チップ８コア４の一方
側の光軸Ｚｍのずれ量は0.1 μｍ以下、他方側の光軸Ｚ
ｎのずれ量は約−0.3 μｍとすることがきた。このずれ
量0.1 μｍ，−0.3 μｍの値は、損失0.1 ｄＢを十分に
達成しうる値であり、本実施例の装置を用いて光軸調整
操作を行い極めて誤差の少い光軸調整を行うことができ
た。また、このときＺｎのずれ量が0.3 μｍと大きいの
は光ファイバ配列具と光導波路のピッチが微妙にずれて
いるためであり、Ｚｍのずれ量が最小となる様、光軸調
整を行ったためである。
Ｂ，Ｃに微動したときの△ξを５μｍ、Ｄ，Ｅに微動し
たときの△ηも５μｍとして光軸調整操作を行い、調心
位置からの光軸Ｚのずれ量を１μｍ以下とした後、△
ξ，△ηを共に１μｍとして光軸調整操作を行い、シン
グルモードファイバ６と光導波路チップ８コア４の一方
側の光軸Ｚｍのずれ量は0.1 μｍ以下、他方側の光軸Ｚ
ｎのずれ量は約−0.3 μｍとすることがきた。このずれ
量0.1 μｍ，−0.3 μｍの値は、損失0.1 ｄＢを十分に
達成しうる値であり、本実施例の装置を用いて光軸調整
操作を行い極めて誤差の少い光軸調整を行うことができ
た。また、このときＺｎのずれ量が0.3 μｍと大きいの
は光ファイバ配列具と光導波路のピッチが微妙にずれて
いるためであり、Ｚｍのずれ量が最小となる様、光軸調
整を行ったためである。
【００３３】以上のように、本実施例では、まず、シン
グルモードファイバ６と光導波路チップ８コア４の光軸
Ｚ中心の軸ずれによる光結合強度の分布を受光強度Ｈの
分布で表し、光軸Ｚに垂直なＸ−Ｙ平面のＸ方向の軸ず
れ量ξとＹ方向の軸ずれ量ηによって２次関数で近似
し、基準位置Ａと、位置Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅの受光強度を表
す５元連立２次方程式を作る。次に、この方程式を解い
てξ，ηを求め、ξとηの値を基にしてシングルモード
ファイバ６と光導波路チップ８コア４の光軸Ｚを調心位
置に微動し、光軸調整を行う。
グルモードファイバ６と光導波路チップ８コア４の光軸
Ｚ中心の軸ずれによる光結合強度の分布を受光強度Ｈの
分布で表し、光軸Ｚに垂直なＸ−Ｙ平面のＸ方向の軸ず
れ量ξとＹ方向の軸ずれ量ηによって２次関数で近似
し、基準位置Ａと、位置Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅの受光強度を表
す５元連立２次方程式を作る。次に、この方程式を解い
てξ，ηを求め、ξとηの値を基にしてシングルモード
ファイバ６と光導波路チップ８コア４の光軸Ｚを調心位
置に微動し、光軸調整を行う。
【００３４】この際、基準位置Ａから、位置Ｂ，Ｃ，
Ｄ，ＥまでのＸ方向とＹ方向の各微動量の絶対値をはじ
めは５μｍ等の大きい値とし、連立方程式から求まるＸ
方向とＹ方向の各値をξ，ηの絶対値が５μｍよりも小
さくなったときに、Ｘ方向とＹ方向の各微動量の絶対値
を１μｍ等の小さい値にすることにより、シングルモー
ドファイバ６と光導波路チップ８コア４が確実に調心状
態に近づくように、シングルモードファイバ６を微動す
ることができる。
Ｄ，ＥまでのＸ方向とＹ方向の各微動量の絶対値をはじ
めは５μｍ等の大きい値とし、連立方程式から求まるＸ
方向とＹ方向の各値をξ，ηの絶対値が５μｍよりも小
さくなったときに、Ｘ方向とＹ方向の各微動量の絶対値
を１μｍ等の小さい値にすることにより、シングルモー
ドファイバ６と光導波路チップ８コア４が確実に調心状
態に近づくように、シングルモードファイバ６を微動す
ることができる。
【００３５】そのため、本実施例は、従来例のようにや
みくもに測定点を決めて受光強度を測定し、受光強度が
最大となる位置、すなわち、シングルモードファイバ６
と光導波路チップ８コア４が調心状態となる位置を求め
る方法に比べて、非常に効率よくシングルモードファイ
バ６と光導波路チップ８コア４の光軸Ｚを調整すること
ができる。
みくもに測定点を決めて受光強度を測定し、受光強度が
最大となる位置、すなわち、シングルモードファイバ６
と光導波路チップ８コア４が調心状態となる位置を求め
る方法に比べて、非常に効率よくシングルモードファイ
バ６と光導波路チップ８コア４の光軸Ｚを調整すること
ができる。
【００３６】また、受光強度Ｈは、図５で示したよう
に、光軸のずれが±１μｍとなると受光強度Ｈの変化が
大きく、その変化量を正確に検出することは可能であ
り、検出した値に基づいて、計算により受光強度Ｈのピ
ーク位置Ｍを求める本実施例によれば、受光強度Ｈのピ
ーク位置Ｍ付近での受光強度Ｈ差を正確に判断できなか
った従来例と異なり、正確に受光強度Ｈのピーク位置を
求め、シングルモードファイバ６と光導波路チップ８コ
ア４の光軸Ｚを調整することができる。
に、光軸のずれが±１μｍとなると受光強度Ｈの変化が
大きく、その変化量を正確に検出することは可能であ
り、検出した値に基づいて、計算により受光強度Ｈのピ
ーク位置Ｍを求める本実施例によれば、受光強度Ｈのピ
ーク位置Ｍ付近での受光強度Ｈ差を正確に判断できなか
った従来例と異なり、正確に受光強度Ｈのピーク位置を
求め、シングルモードファイバ６と光導波路チップ８コ
ア４の光軸Ｚを調整することができる。
【００３７】したがって、本実施例の光部品の光軸調整
方法により、シングルモードファイバ６と光導波路チッ
プ８コア４の光軸Ｚ合わせを行い、その状態でシングル
モードファイバ６を内蔵した光ファイバ配列具９と光導
波路チップ８を固定すれば、極めて接続損失の少い接続
固定を行うこともできる。
方法により、シングルモードファイバ６と光導波路チッ
プ８コア４の光軸Ｚ合わせを行い、その状態でシングル
モードファイバ６を内蔵した光ファイバ配列具９と光導
波路チップ８を固定すれば、極めて接続損失の少い接続
固定を行うこともできる。
【００３８】なお、本発明の構成は上記実施例に限定さ
れることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例え
ば、上記実施例では、基準位置ＡからＸ方向、Ｙ方向へ
の微動は、Ａを中心として正方向と負方向に１点ずつ微
動したが、この微動は正方向のみに２点微動しても負方
向のみに２点微動しても構わず、Ｘ方向、Ｙ方向の異な
る２点に微動すればよい。また、その微動量の絶対値も
上記実施例のように５μｍや１μｍに限らず、いかなる
値でも構わない。
れることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例え
ば、上記実施例では、基準位置ＡからＸ方向、Ｙ方向へ
の微動は、Ａを中心として正方向と負方向に１点ずつ微
動したが、この微動は正方向のみに２点微動しても負方
向のみに２点微動しても構わず、Ｘ方向、Ｙ方向の異な
る２点に微動すればよい。また、その微動量の絶対値も
上記実施例のように５μｍや１μｍに限らず、いかなる
値でも構わない。
【００３９】ただし、微動量の絶対値があまり大きすぎ
ると、受光強度Ｈが最大となる位置Ｍを検出する際に誤
差が大きく、あまり小さすぎると、測定位置ＡからＥで
の受光強度Ｈの差が小さすぎて受光強度Ｈの差を検出す
ることができない。シングルモードファイバ同士の光軸
調整の場合は、微動量を±１μｍとすると受光強度Ｈの
差が0.1 ｄＢから0.2 ｄＢ程度となり、受光強度Ｈの差
を検出しやすいため、基準位置からの微動量は±１μｍ
が好ましい。
ると、受光強度Ｈが最大となる位置Ｍを検出する際に誤
差が大きく、あまり小さすぎると、測定位置ＡからＥで
の受光強度Ｈの差が小さすぎて受光強度Ｈの差を検出す
ることができない。シングルモードファイバ同士の光軸
調整の場合は、微動量を±１μｍとすると受光強度Ｈの
差が0.1 ｄＢから0.2 ｄＢ程度となり、受光強度Ｈの差
を検出しやすいため、基準位置からの微動量は±１μｍ
が好ましい。
【００４０】また、図３に示すように、受光強度Ｈの分
布がピーク付近で平坦となるような場合でも、受光強度
Ｈの差の正確な測定が可能な最小の単位をｄＳとしたと
きに、受光強度分布のピーク位置ＭからｄＳだけ受光強
度Ｈが小さくなる位置Ｎとピーク位置ＭとのＸ方向の間
隔をＸ方向の微動量の絶対値△ξとし、同様にしてＹ方
向の間隔をＹ方向の微動量の絶対値△ηとすれば、上記
実施例と同様に正確な光軸Ｚの調整を行うことができ
る。
布がピーク付近で平坦となるような場合でも、受光強度
Ｈの差の正確な測定が可能な最小の単位をｄＳとしたと
きに、受光強度分布のピーク位置ＭからｄＳだけ受光強
度Ｈが小さくなる位置Ｎとピーク位置ＭとのＸ方向の間
隔をＸ方向の微動量の絶対値△ξとし、同様にしてＹ方
向の間隔をＹ方向の微動量の絶対値△ηとすれば、上記
実施例と同様に正確な光軸Ｚの調整を行うことができ
る。
【００４１】さらに、上記実施例では、シングルモード
ファイバ６と光導波路チップ８のコア４の光軸調整はシ
ングルモードファイバ６側を微動することにより行った
が、光軸調整は光導波路チップ８コア４側を微動して行
っても、シングルモードファイバ６側と光導波路チップ
８コア４側との両方を微動することにより行っても構わ
ない。
ファイバ６と光導波路チップ８のコア４の光軸調整はシ
ングルモードファイバ６側を微動することにより行った
が、光軸調整は光導波路チップ８コア４側を微動して行
っても、シングルモードファイバ６側と光導波路チップ
８コア４側との両方を微動することにより行っても構わ
ない。
【００４２】さらに、上記実施例では、シングルモード
ファイバ６と光導波路チップ８コア４の光軸Ｚ中心の軸
ずれによる光強度の分布を受光強度Ｈの分布で表し、受
光強度を２次関数で近似し、２次関数の連立方程式を解
き、シングルモードファイバ６と光導波路チップ８コア
４の光軸Ｚ中心の軸ずれ量をξ，ηを求めて光軸Ｚ合わ
せを行ったが、シングルモードファイバ６や光導波路チ
ップ８コア４の光部品の一方又は両方を光軸に垂直なＸ
−Ｙ平面上で基準位置からＸ方向とＹ方向にそれぞれ２
点以上の位置に微動させて５点以上の位置で光結合強度
を測定し、この測定データのみに基づいてＸ方向および
Ｙ方向の光結合強度のピークを求めて、ピーク位置にシ
ングルモードファイバ６と光導波路チップ８コア４の光
軸Ｚ位置を合わせてもよい。この場合も、光結合強度の
測定は光軸に垂直なＸ−Ｙ平面上のＸ方向とＹ方向で共
に行うため、少い測定点でピーク位置を求めることがで
きる。
ファイバ６と光導波路チップ８コア４の光軸Ｚ中心の軸
ずれによる光強度の分布を受光強度Ｈの分布で表し、受
光強度を２次関数で近似し、２次関数の連立方程式を解
き、シングルモードファイバ６と光導波路チップ８コア
４の光軸Ｚ中心の軸ずれ量をξ，ηを求めて光軸Ｚ合わ
せを行ったが、シングルモードファイバ６や光導波路チ
ップ８コア４の光部品の一方又は両方を光軸に垂直なＸ
−Ｙ平面上で基準位置からＸ方向とＹ方向にそれぞれ２
点以上の位置に微動させて５点以上の位置で光結合強度
を測定し、この測定データのみに基づいてＸ方向および
Ｙ方向の光結合強度のピークを求めて、ピーク位置にシ
ングルモードファイバ６と光導波路チップ８コア４の光
軸Ｚ位置を合わせてもよい。この場合も、光結合強度の
測定は光軸に垂直なＸ−Ｙ平面上のＸ方向とＹ方向で共
に行うため、少い測定点でピーク位置を求めることがで
きる。
【００４３】さらに、同様にして求めた５点以上の位置
での光強度測定データと、予め与えられている、軸ずれ
量−光強度変化、の関係データに基づいて、まず、受光
強度ＨからＸ方向、Ｙ方向の軸ずれ量を求める。次に、
求めた軸ずれ量だけ軸ずれを修正する方向に光部品を移
動することで、光部品の光軸合わせ位置、すなわち、Ｘ
方向およびＹ方向の光結合強度のピークを求め、そのピ
ーク位置に光部品の光軸位置を合わせて光軸Ｚ調整を行
ってもよい。
での光強度測定データと、予め与えられている、軸ずれ
量−光強度変化、の関係データに基づいて、まず、受光
強度ＨからＸ方向、Ｙ方向の軸ずれ量を求める。次に、
求めた軸ずれ量だけ軸ずれを修正する方向に光部品を移
動することで、光部品の光軸合わせ位置、すなわち、Ｘ
方向およびＹ方向の光結合強度のピークを求め、そのピ
ーク位置に光部品の光軸位置を合わせて光軸Ｚ調整を行
ってもよい。
【００４４】さらに、以上の様な、光部品の光軸調整方
法は、上記実施例で示したシングルモードファイバ６と
光導波路チップ８コア４の光軸調整に限らず、光ファイ
バ同士の結合等、他の様々な光部品同士の光軸調整に適
用させることができる。
法は、上記実施例で示したシングルモードファイバ６と
光導波路チップ８コア４の光軸調整に限らず、光ファイ
バ同士の結合等、他の様々な光部品同士の光軸調整に適
用させることができる。
【００４５】さらに、本発明では、非常に正確な光軸中
心の算出が可能であることから、光部品の光軸調整以外
にも、本発明を応用して、例えば、シングルモードファ
イバをあるピッチ間隔で並べて内層したファイバアレイ
（光ファイバ配列具）等のピッチ検査を行うこともでき
る。
心の算出が可能であることから、光部品の光軸調整以外
にも、本発明を応用して、例えば、シングルモードファ
イバをあるピッチ間隔で並べて内層したファイバアレイ
（光ファイバ配列具）等のピッチ検査を行うこともでき
る。
【００４６】この場合、まず基準用のファイバアレイを
用意し、ピッチ検査用のファイバアレイと対向配置し、
検査用ファイバアレイのシングルモードファイバ１本と
そのファイバに対向する基準用ファイバアレイのシング
ルモードファイバ１本の光軸合わせ、すなわち、１ポー
トの光軸合わせを完全に行った後、他のポートの光軸合
わせを行えば、最初に合わせた１ポートの光軸と他のポ
ートの光軸のずれを算出することができ、そのずれ量か
らピッチの誤差を求めることができる。
用意し、ピッチ検査用のファイバアレイと対向配置し、
検査用ファイバアレイのシングルモードファイバ１本と
そのファイバに対向する基準用ファイバアレイのシング
ルモードファイバ１本の光軸合わせ、すなわち、１ポー
トの光軸合わせを完全に行った後、他のポートの光軸合
わせを行えば、最初に合わせた１ポートの光軸と他のポ
ートの光軸のずれを算出することができ、そのずれ量か
らピッチの誤差を求めることができる。
【００４７】すなわち、最初に光軸を合わせたポートか
ら、後に光軸合わせをしたポートまでのシングルモード
ファイバの数をｎとすると、算出したずれ量を（ｎ−
１）で割った値がピッチの誤差ということになる。この
ようにして、本発明を応用して0.1 μｍ単位でのピッチ
精度が要求される光部品のピッチ検査を行うこともでき
る。
ら、後に光軸合わせをしたポートまでのシングルモード
ファイバの数をｎとすると、算出したずれ量を（ｎ−
１）で割った値がピッチの誤差ということになる。この
ようにして、本発明を応用して0.1 μｍ単位でのピッチ
精度が要求される光部品のピッチ検査を行うこともでき
る。
【００４８】
【発明の効果】本発明によれば、光結合を行う光部品の
一方又は両方を光軸に垂直なＸ−Ｙ平面上で基準位置か
らＸ方向とＹ方向にそれぞれ２点以上の位置に微動し、
５点以上の位置で光結合強度を測定し、この測定データ
に基づいて、Ｘ方向とＹ方向の光結合強度のピーク位置
を求め、その位置に光部品同士の光軸位置を合わせるた
め、光軸調整操作は容易で、非常に正確な光軸調整を行
うことができる。したがって、光軸調整後に光部品同士
を接続固定する際にも接続損失の極めて少い接続がで
き、接続した光部品の信頼性を向上させることができ
る。
一方又は両方を光軸に垂直なＸ−Ｙ平面上で基準位置か
らＸ方向とＹ方向にそれぞれ２点以上の位置に微動し、
５点以上の位置で光結合強度を測定し、この測定データ
に基づいて、Ｘ方向とＹ方向の光結合強度のピーク位置
を求め、その位置に光部品同士の光軸位置を合わせるた
め、光軸調整操作は容易で、非常に正確な光軸調整を行
うことができる。したがって、光軸調整後に光部品同士
を接続固定する際にも接続損失の極めて少い接続がで
き、接続した光部品の信頼性を向上させることができ
る。
【００４９】また、本発明は、従来例のように、光強度
のピーク位置を求めるために数十点もの多数の位置で光
強度の測定を行う必要がなく、効率的に光軸調整を行う
ことができる。
のピーク位置を求めるために数十点もの多数の位置で光
強度の測定を行う必要がなく、効率的に光軸調整を行う
ことができる。
【００５０】さらに、本発明を用いることにより、非常
に正確な光軸中心の算出も可能であることから、0.1 μ
ｍ単位でのピッチ精度が要求される光部品のピッチ検査
等にも本発明を応用することができる。
に正確な光軸中心の算出も可能であることから、0.1 μ
ｍ単位でのピッチ精度が要求される光部品のピッチ検査
等にも本発明を応用することができる。
【図１】本発明に係る光部品の光軸調整方法により光結
合する装置の一例を示す構成図である。
合する装置の一例を示す構成図である。
【図２】基準位置ＡからＸ方向とＹ方向にそれぞれ２点
ずつ微動した位置Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅを示す説明図である。
ずつ微動した位置Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅを示す説明図である。
【図３】Ｘ方向の光軸のずれ量による受光強度分布が光
軸中心付近で平坦となる受光強度分布を示す説明図であ
る。
軸中心付近で平坦となる受光強度分布を示す説明図であ
る。
【図４】従来の光部品の光軸調整方法を示す説明図であ
る。
る。
【図５】光軸のずれ量による受光強度分布を示す説明図
である。
である。
４ コア ６ シングルモードファイバ ８ 光導波路チップ ９ 光ファイバ配列具 10 微動ステージ 12 パーソナルコンピュータ 13 光パワーメータ
Claims (2)
- 【請求項１】 光結合を行う光部品同士の一方側から他
方側に光を通し、最大の光結合が得られるように光部品
を微動させて光軸中心を合わせる光部品の光軸調整方法
において、光結合を行う光部品の一方又は両方を光軸に
垂直なＸ−Ｙ平面上で基準位置からＸ方向とＹ方向にそ
れぞれ２点以上の位置に微動させて５点以上の位置で光
結合強度を測定し、この測定データのみに基づいて、又
はこの測定データと予め与えられている、軸ずれ量−光
強度変化、の関係データに基づいてＸ方向およびＹ方向
の光結合強度のピーク位置を求め、このピーク位置に光
部品の光軸位置を合わせる光部品の光軸調整方法。 - 【請求項２】 光結合を行う光部品同士の一方側から他
方側に光を通し、最大の光結合が得られるように光部品
を微動させて光軸中心を合わせる光部品の光軸調整方法
において、光部品同士の光軸中心の軸ずれによる光結合
強度の分布を受光強度Ｈ（ｄＢ）の分布で表し、光軸に
垂直なＸ−Ｙ平面のＸ方向の軸ずれ量ξと、Ｙ方向の軸
ずれ量ηによって受光強度をＨ＝ａξ2 ＋ｂη2 ＋ｃの
２次関数で近似し、基準位置での受光強度をＨ0 、基準
位置からＸ方向の異なる２点位置に微動したときの受光
強度をそれぞれＨ1 ，Ｈ2 、基準位置からＹ方向の異な
る２点位置に微動したときの受光強度をそれぞれＨ3 ，
Ｈ4 として、Ｈ0 からＨ4 までの５元の連立２次方程式
を作り、この連立２次方程式を解いて基準位置からのＸ
方向の値ξとＹ方向の値ηを求め、基準位置からこの
ξ，ηだけ光部品を移動して光結合する光部品同士の光
軸を合わせる光部品の光軸調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9205593A JPH06281850A (ja) | 1993-03-26 | 1993-03-26 | 光部品の光軸調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9205593A JPH06281850A (ja) | 1993-03-26 | 1993-03-26 | 光部品の光軸調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06281850A true JPH06281850A (ja) | 1994-10-07 |
Family
ID=14043823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9205593A Pending JPH06281850A (ja) | 1993-03-26 | 1993-03-26 | 光部品の光軸調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06281850A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100406864B1 (ko) * | 1999-01-19 | 2003-11-21 | 삼성전자주식회사 | 광섬유 블럭의 광학적 정렬도 측정 장치 및 방법 |
| US6678047B1 (en) | 1999-07-09 | 2004-01-13 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Method and apparatus for aligning optical axes of optical components |
| US6690865B2 (en) | 2000-11-29 | 2004-02-10 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Method for aligning laser diode and optical fiber |
| JP2011242204A (ja) * | 2010-05-17 | 2011-12-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 調芯装置、コア位置特定方法、コアの損失測定方法、およびコア間のクロストーク測定方法 |
| JP2012008006A (ja) * | 2010-06-24 | 2012-01-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ測定用モジュール、光ファイバ測定装置および光ファイバ測定方法 |
| CN114252957A (zh) * | 2021-11-11 | 2022-03-29 | 中山大学 | 一种非晶材料片上波导的高稳定性耦合封装方法 |
-
1993
- 1993-03-26 JP JP9205593A patent/JPH06281850A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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