JP5851794B2 - 光軸合わせ方法及び光ファイバアレイユニットの製造方法 - Google Patents
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Description
ベースに固定される固定側光ファイバアレイの端面と、移動するキャリッジに取り付けられることによって前記固定側光ファイバアレイに対して移動可能な可動側光ファイバアレイの端面とを互いに離して対向させて、前記固定側光ファイバアレイに保持された固定側光ファイバと前記可動側光ファイバアレイに保持された可動側光ファイバとの位置合わせを行う光軸合わせ方法であって、
前記キャリッジの移動方向をX方向とし、前記ベースに前記固定側光ファイバアレイが載置される方向であるとともに前記キャリッジに前記可動側光ファイバアレイが載置される方向をY方向とし、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面が対向する方向であるとともに前記端面に垂直な方向であって前記X方向及び前記Y方向に垂直な方向をZ方向としたとき、
前記固定側光ファイバアレイの端面及び前記可動側光ファイバアレイの端面は、前記X方向及び前記Y方向に平行なXY平面に平行であるとともに、
前記固定側光ファイバを伝搬する光、前記可動側光ファイバを伝搬する光、及び、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面との間を伝搬する光は、前記X方向及び前記Z方向に平行なXZ平面に平行であり、
前記固定側光ファイバアレイは、前記XZ平面に沿って形成されるとともに前記Z方向に対して所定角度で斜めに形成された固定側光ファイバ用V溝と、前記固定側光ファイバ用V溝を挟み前記固定側光ファイバ用V溝と平行な2つの固定側ピン用V溝とを有しており、
前記可動側光ファイバアレイは、前記XZ平面に沿って形成されるとともに前記Z方向に対して前記所定角度で斜めに形成された可動側光ファイバ用V溝と、前記可動側光ファイバ用V溝を挟み前記可動側光ファイバ用V溝と平行な2つの可動側ピン用V溝とを有しており、
前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面との間を伝搬する前記光の方向と平行に移動可能な光軸方向ステージの治具に前記固定側光ファイバアレイを取り付け、
2つの位置決めピンのそれぞれの一端を前記固定側ピン用V溝に固定して他端を前記可動側ピン用V溝に固定することによって、前記固定側光ファイバを伝搬する光と、前記可動側光ファイバを伝搬する光とが前記XZ平面に平行に配置されるように、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面とを対向させて、前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとを位置合わせし、
前記位置決めピンを用いて前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとを位置合わせした状態で、前記可動側光ファイバアレイを前記キャリッジに固定し、
前記可動側光ファイバアレイを前記キャリッジに固定した後、前記2つの位置決めピンを前記固定側ピン用V溝及び前記可動側ピン用V溝から外し、
前記キャリッジを前記X方向に移動させることによって、前記固定側光ファイバアレイに対する前記可動側光ファイバアレイの前記X方向の位置を合わせた後、前記光軸方向ステージを移動させることによって、前記可動側光ファイバアレイに対する前記固定側光ファイバアレイの位置を合わせることによって、前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとの前記X方向及び前記Z方向の位置合わせを行い、
前記固定側光ファイバアレイを前記ベースに固定し、前記治具から前記固定側光ファイバアレイを外すことを特徴とする光軸合わせ方法である。
このような光軸合わせ方法によれば、第1の光ファイバの光軸と第2の光ファイバの光軸とをずらす方向が、複数の光ファイバ用V溝が形成された方向に沿っているため、光軸合わせの作業が容易になる。
<光スイッチ1の全体構成>
図1は、光スイッチ1の概略構成の説明図である。
光スイッチ1は、固定側光ファイバアレイ2Aと、可動側光ファイバアレイ2Bとを有する。固定側光ファイバアレイ2Aはベース3に固定されており、可動側光ファイバアレイ2Bはキャリッジ4に取り付けられている。キャリッジ4は、ガイド5に案内されながら、ボールネジを用いた移動機構6によって移動する。なお、光スイッチ1は、2つの光ファイバアレイから構成された光ファイバアレイユニットの一例である。
図2A及び図2Bは、第1実施形態の光スイッチ1における光の伝搬経路の説明図である。図2Aは光の伝搬経路を上(Y方向)から見た図であり、図2Bは光の伝搬経路を横(X方向)から見た図である。図中には、光の伝搬経路の1つが太線で示されている。なお、説明を分かりやすくするため、寸法や角度が誇張されて図示されている。
図3Aは、第1実施形態の光ファイバアレイ2の斜視図である。図3Bは、第1実施形態の光ファイバアレイ2の分解斜視図である。上記の固定側光ファイバアレイ2A及び可動側光ファイバアレイ2Bの構成は、図3A及び図3Bの光ファイバアレイ2とほぼ同じである(但し、光ファイバ10の数が異なることはある)。
平板32は、光ファイバ10の光軸に対して斜めに配置されている。V溝基板20の光ファイバ用V溝22が前後方向に対して8度ほど傾いているため、V溝基板20の前側端面23や押さえ板31の前側端面31Aに平板32が接着されると、平板32が光ファイバ10の光軸に対して斜めになる。これにより、平板32の外側平面32Bでの反射戻り光の影響を軽減することができる。
第1実施形態の光ファイバ10は、シングルモード光ファイバ11の先にGRINレンズ12を設けたレンズドファイバである。シングルモード光ファイバ11とGRINレンズ12は融着接続されている。なお、本文中において、単に「光ファイバ」と記載した場合には、光を伝搬するコアとその周辺を覆うクラッドから構成されたものを意味するが、光を伝搬する他の部材(例えばGRINレンズ)が一体的に融着接続されている場合には、その部材も含めたものを意味する。このため、GRINレンズ12も光ファイバ10の一部である。なお、融着接続以外の方法(例えば接着剤による接着)によって接続された部材は、一体的に融着接続されていないので、「光ファイバ」には含まれない。
光は伝播すると回折現象により広がる性質がある。このため、一方の光ファイバ10の端面から平行光を出射すると、出射したときの光のスポット径よりも広がった光が他方の光ファイバ10の端面に入射することになり、光信号を損失してしまう。
そこで、図に示すように、光を僅かに絞った状態で光を出射させる。これにより、出射された光は徐々にスポット径が狭まった後に、徐々にスポット径が広がる。そして、出射したときの光のスポット径に戻る位置に光ファイバ10の端面があれば、光信号の損失を抑制できる。つまり、光の一番細くなるところ(ビームウエスト)が、2本の光ファイバ10の端面の中心位置にあれば、最も効率的である。
このように、光ファイバ10の端面から入出射する光は厳密には平行光ではない。また、GRINレンズ12の長さは、コリメータレンズとして機能する長さよりも若干長い。但し、説明を簡略化するために、光ファイバ10の端面から入出射する光を平行光として説明することがある。
本実施形態では、光ファイバ10の端面(GRINレンズ12の端面)は、光軸に対して垂直な面になっている。このため、光ファイバ10の端面を斜めに研磨する必要がないため、研磨加工の工数を減らすことができる。(なお、仮にGRINレンズ12の端面を斜め研磨すると、GRINレンズ12の光学特性が変わってしまい、GRINレンズ12がコリメータレンズとしての機能を果たすことができなくなる。)
光ファイバ10の端面を斜めに研磨する代わりに、平板32が光軸に対して斜めに配置されている。そして、光ファイバ10の端面と平板32との間には、屈折率整合剤として機能する接着剤が充填されている。このため、光ファイバ10の端面と接着剤との間や、接着剤と平板32の内側平面32Aとの間では、屈折せずに伝搬する。そして、平板32の外側平面32Bにおいて光が屈折する。
図7は、対向する光ファイバアレイの光軸合わせ方法のフロー図である。図8は、図7の各処理の様子の説明図である。
図10A及び図10Bは、参考例の光ファイバアレイを用いた場合の光の伝搬経路の説明図である。図中には、光の伝搬経路が太線で示されている。参考例においても、光が図中の右から左に向かって伝搬するものとして説明する。
また、仮に、対向する2つの光ファイバアレイの姿勢を上下反転させずに、互いの傾斜端面を平行に配置させる場合には、一方の光ファイバアレイにおける傾斜端面を下面に対して鈍角に構成し、他方の光ファイバアレイにおける傾斜端面を下面に対して鋭角に構成するなどして、2つの光ファイバアレイを異なる構造にする必要がある。この場合、2つの光ファイバアレイが異なる構造であるため、それぞれの光ファイバアレイの製造誤差などの影響により、互いの傾斜端面を平行に合わせることが製造上困難になる。(これに対し、第1実施形態では、対向する2つの光ファイバアレイがほぼ同じ構成であるため、互いの傾斜端面を平行に合わせ易い。)
また、参考例においても、図中の左右の光ファイバ10を光接続するためには、屈折した光が空気中を伝搬することを見込んで、光ファイバ10の光軸をずらして配置する必要がある。但し、参考例の場合、2本の光ファイバ10の光軸を上下方向(Y方向)にずらす必要がある。しかし、2本の光ファイバ10の光軸を上下方向にずらすためには、対向する2つの光ファイバアレイの高さを変えなければならないため、このような作業を光ファイバアレイの傾斜端面を平行にしながら行うことは手間がかかる。(これに対し、第1実施形態では、対向する2つの光ファイバアレイを、高さを変えることなく、X方向にずらして配置するだけでよい。)
===第2実施形態===
次に、第2実施形態について説明する。第2実施形態のV溝基板20は、第1実施形態と異なる形状になっている。また、第2実施形態の光軸合わせ作業は、第1実施形態と異なっている。
前述の第1実施形態では、図4Bに示すように、固定側光ファイバアレイ2A及び可動側光ファイバアレイ2BのそれぞれのV溝基板20の前側端面23同士を突き当てた状態で、光ファイバ用V溝21及びピン用V溝22をV溝加工していた。このため、第1実施形態では、2つのV溝基板20の前側端面23同士を突き当てると、突き当たる位置では、互いの光ファイバ用V溝21の位置が合致するとともに、互いのピン用V溝22の位置も合致していた。
図12は、第2実施形態における対向する光ファイバアレイの光軸合わせ方法のフロー図である。図13は、図12の各処理の様子の説明図である。
既に説明した通り、第2実施形態では、2本の位置決めピン52を用いて位置合わせを行うと、光ファイバ10の光軸が所定のずれ量g(=70μm)だけX方向にずれて位置合わせされている。そして、この所定距離gは、光ファイバ10の端面の中心位置と、ビームウエストの中心位置との左右方向(X方向)における間隔の2倍に設定されている。このため、S206の処理において光の強度が最も高くなる位置で2本の光ファイバ10の位置を合わせると、ビームウエスト(光の一番細くなるところ)は、2本の光ファイバ10の端面の中心に位置することになる。
したがって、S206の処理によって、固定側光ファイバアレイ2Aと可動側光ファイバアレイ2BとのZ方向の位置決めが完了する。つまり、この段階で、固定側光ファイバアレイ2Aと可動側光ファイバアレイ2Bとの6軸方向(X方向、Y方向、Z方向、θx方向、θy方向及びθz方向)の位置合わせが完了する。
前述の第1実施形態及び第2実施形態では、光ファイバ10の端面に、光ファイバ10の光軸に対して斜めに平板32を配置していた。これにより、簡単な構成で光ファイバ10の反射戻り光の影響を軽減することができていた。但し、平板32を用いずに、反射戻り光の影響を軽減することも可能である。
図16A及び図16Bは、第4実施形態の光スイッチ1における光の伝搬経路の説明図である。図16Aは光の伝搬経路を上(Y方向)から見た図であり、図16Bは光の伝搬経路を横(X方向)から見た図である。
上記の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、例えば以下のように変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることは言うまでもない。
前述の実施形態では、光スイッチ1について説明したが、対向する2つの光ファイバアレイを備えた光ファイバアレイユニットは光スイッチ1に限られるものではない。例えば、光ファイバアレイユニットが、対向する2つの光ファイバアレイを備え、この2つの光ファイバアレイの間に光アイソレータ素子を挿入した光アイソレータであっても良い。若しくは、光ファイバアレイユニットが、対向する2つの光ファイバアレイを備え、この2つの光ファイバアレイの間に光波長フィルタ素子を挿入した光波長フィルタであっても良い。
前述の第1実施形態及び第2実施形態では、シングルモード光ファイバ11の先にGRINレンズ12が設けられた光ファイバ10が用いられていた。また、前述の第3実施形態では、シングルモード光ファイバ11の先にGRINレンズ12及びコアレス光ファイバ13が設けられた光ファイバ10が用いられていた。但し、光ファイバの構成は、これに限られるものではない。
前述の実施形態では、8本の光ファイバ10が、光ファイバアレイ2に固定されていた。但し、光ファイバアレイ2に固定される光ファイバ10の数は、8本に限られるものではない。
2A 固定側光ファイバアレイ、2B 可動側光ファイバアレイ、
3 ベース、4 キャリッジ、5 ガイド、6 移動機構、
10 光ファイバ、11 シングルモード光ファイバ、
12 GRINレンズ、13 コアレス光ファイバ、
20 V溝基板、21 光ファイバ用V溝、
22 ピン用V溝、23 前側端面、
31 押さえ板、31A 前側端面、
32 平板、32A 内側平面、32B 外側平面、
51 治具、52 位置決めピン、
61 光軸方向ステージ、62 Z方向ステージ
Claims (6)
- ベースに固定される固定側光ファイバアレイの端面と、移動するキャリッジに取り付けられることによって前記固定側光ファイバアレイに対して移動可能な可動側光ファイバアレイの端面とを互いに離して対向させて、前記固定側光ファイバアレイに保持された固定側光ファイバと前記可動側光ファイバアレイに保持された可動側光ファイバとの位置合わせを行う光軸合わせ方法であって、
前記キャリッジの移動方向をX方向とし、前記ベースに前記固定側光ファイバアレイが載置される方向であるとともに前記キャリッジに前記可動側光ファイバアレイが載置される方向をY方向とし、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面が対向する方向であるとともに前記端面に垂直な方向であって前記X方向及び前記Y方向に垂直な方向をZ方向としたとき、
前記固定側光ファイバアレイの端面及び前記可動側光ファイバアレイの端面は、前記X方向及び前記Y方向に平行なXY平面に平行であるとともに、
前記固定側光ファイバを伝搬する光、前記可動側光ファイバを伝搬する光、及び、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面との間を伝搬する光は、前記X方向及び前記Z方向に平行なXZ平面に平行であり、
前記固定側光ファイバアレイは、前記XZ平面に沿って形成されるとともに前記Z方向に対して所定角度で斜めに形成された固定側光ファイバ用V溝と、前記固定側光ファイバ用V溝を挟み前記固定側光ファイバ用V溝と平行な2つの固定側ピン用V溝とを有しており、
前記可動側光ファイバアレイは、前記XZ平面に沿って形成されるとともに前記Z方向に対して前記所定角度で斜めに形成された可動側光ファイバ用V溝と、前記可動側光ファイバ用V溝を挟み前記可動側光ファイバ用V溝と平行な2つの可動側ピン用V溝とを有しており、
前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面との間を伝搬する前記光の方向と平行に移動可能な光軸方向ステージの治具に前記固定側光ファイバアレイを取り付け、
2つの位置決めピンのそれぞれの一端を前記固定側ピン用V溝に固定して他端を前記可動側ピン用V溝に固定することによって、前記固定側光ファイバを伝搬する光と、前記可動側光ファイバを伝搬する光とが前記XZ平面に平行に配置されるように、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面とを対向させて、前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとを位置合わせし、
前記位置決めピンを用いて前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとを位置合わせした状態で、前記可動側光ファイバアレイを前記キャリッジに固定し、
前記可動側光ファイバアレイを前記キャリッジに固定した後、前記2つの位置決めピンを前記固定側ピン用V溝及び前記可動側ピン用V溝から外し、
前記キャリッジを前記X方向に移動させることによって、前記固定側光ファイバアレイに対する前記可動側光ファイバアレイの前記X方向の位置を合わせた後、前記光軸方向ステージを移動させることによって、前記可動側光ファイバアレイに対する前記固定側光ファイバアレイの位置を合わせることによって、前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとの前記X方向及び前記Z方向の位置合わせを行い、
前記固定側光ファイバアレイを前記ベースに固定し、前記治具から前記固定側光ファイバアレイを外す
ことを特徴とする光軸合わせ方法。 - 請求項1に記載の光軸合わせ方法であって、
前記固定側光ファイバアレイのV溝基板の端面と前記可動側光ファイバアレイのV溝基板の端面とを突き当てた状態で、前記固定側光ファイバ用V溝と前記可動側光ファイバ用V溝とを一緒にV溝加工するとともに、前記固定側ピン用V溝と前記可動側ピン用V溝とを一緒にV溝加工する
ことを特徴とする光軸合わせ方法。 - ベースに固定される固定側光ファイバアレイの端面と、移動するキャリッジに取り付けられることによって前記固定側光ファイバアレイに対して移動可能な可動側光ファイバアレイの端面とを互いに離して対向させて、前記固定側光ファイバアレイに保持された固定側光ファイバと前記可動側光ファイバアレイに保持された可動側光ファイバとの位置合わせを行う光軸合わせ方法であって、
前記キャリッジの移動方向をX方向とし、前記ベースに前記固定側光ファイバアレイが載置される方向であるとともに前記キャリッジに前記可動側光ファイバアレイが載置される方向をY方向とし、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面が対向する方向であるとともに前記端面に垂直な方向であって前記X方向及び前記Y方向に垂直な方向をZ方向としたとき、
前記固定側光ファイバアレイの端面及び前記可動側光ファイバアレイの端面は、前記X方向及び前記Y方向に平行なXY平面に平行であるとともに、
前記固定側光ファイバを伝搬する光、前記可動側光ファイバを伝搬する光、及び、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面との間を伝搬する光は、前記X方向及び前記Z方向に平行なXZ平面に平行であり、
前記固定側光ファイバアレイは、前記XZ平面に沿って形成されるとともに前記Z方向に対して所定角度で斜めに形成された固定側光ファイバ用V溝と、前記固定側光ファイバ用V溝を挟み前記固定側光ファイバ用V溝と平行な2つの固定側ピン用V溝とを有しており、
前記可動側光ファイバアレイは、前記XZ平面に沿って形成されるとともに前記Z方向に対して前記所定角度で斜めに形成された可動側光ファイバ用V溝と、前記可動側光ファイバ用V溝を挟み前記可動側光ファイバ用V溝と平行な2つの可動側ピン用V溝とを有しており、
前記固定側ピン用V溝と前記可動側ピン用V溝の位置を合わせた状態で前記固定側光ファイバアレイのV溝基板の端面と前記可動側光ファイバアレイのV溝基板の端面とを突き当てると、前記固定側光ファイバ用V溝と前記可動側光ファイバ用V溝が前記X方向に所定長さずれて形成されており、
前記Z方向に移動可能なZ方向ステージの治具に前記固定側光ファイバアレイを取り付け、
2つの位置決めピンのそれぞれの一端を前記固定側ピン用V溝に固定して他端を前記可動側ピン用V溝に固定することによって、前記固定側光ファイバを伝搬する光と、前記可動側光ファイバを伝搬する光とが前記XZ平面に平行に配置されるように、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面とを対向させて、前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとを位置合わせし、
前記位置決めピンを用いて前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとを位置合わせした状態で、前記可動側光ファイバアレイを前記キャリッジに固定し、
前記可動側光ファイバアレイを前記キャリッジに固定した後、前記2つの位置決めピンを前記固定側ピン用V溝及び前記可動側ピン用V溝から外し、
前記Z方向ステージを移動させることによって、前記可動側光ファイバアレイに対する前記固定側光ファイバアレイの位置を合わせることによって、前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとの前記Z方向の位置合わせを行い、
前記固定側光ファイバアレイを前記ベースに固定し、前記治具から前記固定側光ファイバアレイを外す
ことを特徴とする光軸合わせ方法。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の光軸合わせ方法であって、
前記固定側光ファイバアレイは、前記固定側光ファイバアレイの前記端面を構成する固定側平板を有しており、
前記固定側光ファイバの端面と前記固定側平板の内側平面との間に屈折率整合剤が充填されており、
前記可動側光ファイバアレイは、前記可動側光ファイバアレイの前記端面を構成する可動側平板を有しており、
前記可動側光ファイバの端面と前記可動側平板の内側平面との間に屈折率整合剤が充填されている
ことを特徴とする光軸合わせ方法。 - ベースに固定される固定側光ファイバアレイの端面と、移動するキャリッジに取り付けられることによって前記固定側光ファイバアレイに対して移動可能な可動側光ファイバアレイの端面とを互いに離して対向させて、前記固定側光ファイバアレイに保持された固定側光ファイバと前記可動側光ファイバアレイに保持された可動側光ファイバとの位置合わせを行うことによって、前記固定側光ファイバアレイ及び前記可動側光ファイバアレイを備えた光ファイバアレイユニットを製造する方法であって、
前記キャリッジの移動方向をX方向とし、前記ベースに前記固定側光ファイバアレイが載置される方向であるとともに前記キャリッジに前記可動側光ファイバアレイが載置される方向をY方向とし、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面が対向する方向であるとともに前記端面に垂直な方向であって前記X方向及び前記Y方向に垂直な方向をZ方向としたとき、
前記固定側光ファイバアレイの端面及び前記可動側光ファイバアレイの端面は、前記X方向及び前記Y方向に平行なXY平面に平行であるとともに、
前記固定側光ファイバを伝搬する光、前記可動側光ファイバを伝搬する光、及び、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面との間を伝搬する光は、前記X方向及び前記Z方向に平行なXZ平面に平行であり、
前記固定側光ファイバアレイは、前記XZ平面に沿って形成されるとともに前記Z方向に対して所定角度で斜めに形成された固定側光ファイバ用V溝と、前記固定側光ファイバ用V溝を挟み前記固定側光ファイバ用V溝と平行な2つの固定側ピン用V溝とを有しており、
前記可動側光ファイバアレイは、前記XZ平面に沿って形成されるとともに前記Z方向に対して前記所定角度で斜めに形成された可動側光ファイバ用V溝と、前記可動側光ファイバ用V溝を挟み前記可動側光ファイバ用V溝と平行な2つの可動側ピン用V溝とを有しており、
前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面との間を伝搬する前記光の方向と平行に移動可能な光軸方向ステージの治具に前記固定側光ファイバアレイを取り付け、
2つの位置決めピンのそれぞれの一端を前記固定側ピン用V溝に固定して他端を前記可動側ピン用V溝に固定することによって、前記固定側光ファイバを伝搬する光と、前記可動側光ファイバを伝搬する光とが前記XZ平面に平行に配置されるように、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面とを対向させて、前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとを位置合わせし、
前記位置決めピンを用いて前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとを位置合わせした状態で、前記可動側光ファイバアレイを前記キャリッジに固定し、
前記可動側光ファイバアレイを前記キャリッジに固定した後、前記2つの位置決めピンを前記固定側ピン用V溝及び前記可動側ピン用V溝から外し、
前記キャリッジを前記X方向に移動させることによって、前記固定側光ファイバアレイに対する前記可動側光ファイバアレイの前記X方向の位置を合わせた後、前記光軸方向ステージを移動させることによって、前記可動側光ファイバアレイに対する前記固定側光ファイバアレイの位置を合わせることによって、前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとの前記X方向及び前記Z方向の位置合わせを行い、
前記固定側光ファイバアレイを前記ベースに固定し、前記治具から前記固定側光ファイバアレイを外す
ことを特徴とする光ファイバアレイユニットの製造方法。 - ベースに固定される固定側光ファイバアレイの端面と、移動するキャリッジに取り付けられることによって前記固定側光ファイバアレイに対して移動可能な可動側光ファイバアレイの端面とを互いに離して対向させて、前記固定側光ファイバアレイに保持された固定側光ファイバと前記可動側光ファイバアレイに保持された可動側光ファイバとの位置合わせを行うことによって、前記固定側光ファイバアレイ及び前記可動側光ファイバアレイを備えた光ファイバアレイユニットを製造する方法であって、
前記キャリッジの移動方向をX方向とし、前記ベースに前記固定側光ファイバアレイが載置される方向であるとともに前記キャリッジに前記可動側光ファイバアレイが載置される方向をY方向とし、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面が対向する方向であるとともに前記端面に垂直な方向であって前記X方向及び前記Y方向に垂直な方向をZ方向としたとき、
前記固定側光ファイバアレイの端面及び前記可動側光ファイバアレイの端面は、前記X方向及び前記Y方向に平行なXY平面に平行であるとともに、
前記固定側光ファイバを伝搬する光、前記可動側光ファイバを伝搬する光、及び、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面との間を伝搬する光は、前記X方向及び前記Z方向に平行なXZ平面に平行であり、
前記固定側光ファイバアレイは、前記XZ平面に沿って形成されるとともに前記Z方向に対して所定角度で斜めに形成された固定側光ファイバ用V溝と、前記固定側光ファイバ用V溝を挟み前記固定側光ファイバ用V溝と平行な2つの固定側ピン用V溝とを有しており、
前記可動側光ファイバアレイは、前記XZ平面に沿って形成されるとともに前記Z方向に対して前記所定角度で斜めに形成された可動側光ファイバ用V溝と、前記可動側光ファイバ用V溝を挟み前記可動側光ファイバ用V溝と平行な2つの可動側ピン用V溝とを有しており、
前記固定側ピン用V溝と前記可動側ピン用V溝の位置を合わせた状態で前記固定側光ファイバアレイのV溝基板の端面と前記可動側光ファイバアレイのV溝基板の端面とを突き当てると、前記固定側光ファイバ用V溝と前記可動側光ファイバ用V溝が前記X方向に所定長さずれて形成されており、
前記Z方向に移動可能なZ方向ステージの治具に前記固定側光ファイバアレイを取り付け、
2つの位置決めピンのそれぞれの一端を前記固定側ピン用V溝に固定して他端を前記可動側ピン用V溝に固定することによって、前記固定側光ファイバを伝搬する光と、前記可動側光ファイバを伝搬する光とが前記XZ平面に平行に配置されるように、前記固定側光ファイバアレイの端面と前記可動側光ファイバアレイの端面とを対向させて、前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとを位置合わせし、
前記位置決めピンを用いて前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとを位置合わせした状態で、前記可動側光ファイバアレイを前記キャリッジに固定し、
前記可動側光ファイバアレイを前記キャリッジに固定した後、前記2つの位置決めピンを前記固定側ピン用V溝及び前記可動側ピン用V溝から外し、
前記Z方向ステージを移動させることによって、前記可動側光ファイバアレイに対する前記固定側光ファイバアレイの位置を合わせることによって、前記固定側光ファイバアレイと前記可動側光ファイバアレイとの前記Z方向の位置合わせを行い、
前記固定側光ファイバアレイを前記ベースに固定し、前記治具から前記固定側光ファイバアレイを外す
ことを特徴とする光ファイバアレイユニットの製造方法。
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