JP2004233505A - 面合せ装置及び面合せ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一方の光学部品(2)をZ方向に直交する2方向に傾斜可能に支持するゴニオステージ(5)と、他方の光学部品(4)をZ方向に相対移動させるZステージ(6)により双方の光学部品(2、4)の面合せをする際に、各光学部品(2、4)の接合面同士を当接させて加圧した状態で、一方の光学部品(2)の接合面をゴニオステージ(5)により2方向に傾けながら他方の光学部品(4)に作用するZ方向の荷重を荷重検出器(10)で検出し、夫々の傾斜方向について検出荷重が最小となる角度にゴニオステージ(5)を傾けるようにした。
【選択図】図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、二つの光学部品の接合面同士を当接させて平行出しする面合せ装置及びそれを用いた面合せ方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
ホルダに半導体レーザを組み込んだ光通信用レーザ光源に、光ファイバ固定用のスリーブを溶接/接着して光モジュールを製造する際に、互いの光軸を傾けることなく直線上に一致させることにより調心時間を短縮したり、調心後の溶接/接着時のずれを無くすために、接合面同士の平行出しをする面合せ装置が用いられる。
そして、このような面合せ装置として、エアスイベル機構やゴニオステージを用いたものが知られている。
【0003】エアスイベル機構を用いた面合せ装置41は、図4に示すように、レーザ光源(一方の光学部品)2を固定する球面テーブル42とこれを支持する凹球面43の間にエアを供給して球面テーブル42を浮上させてフリーにしておき、この球面テーブル42に固定したレーザ光源2に光ファイバ固定用のスリーブ(他方の光学部品)4を押し当てることにより、そのスリーブ4の接合面の向きに応じて球面テーブル42を傾けて面合せを行うものであり、0.05°程度の高精度で面合せを行うことができる(特許文献1参照)。
【0004】また、ゴニオステージを用いた面合せ装置51は、図5に示すように、レーザ光源2を少なくともZ方向に直交するXY軸回りのθx方向及びθy方向に傾斜可能なX傾斜ステージ52x及びY傾斜ステージ52yを備えたゴニオステージ52に固定する(特許文献2参照)。
そして、スリーブ4をZ方向に下ろしてレーザ光源2に接合面同士を当接させ、レーザ光源2及びスリーブ4の傾きをCCDカメラ(図示せず)で撮像することによりゴニオステージ52の角度調整を行っている。
【0005】
【特許文献1】特開平8−281464号公報
【特許文献2】特開2001−108863号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、エアスイベル機構を用いた面合せ装置41による場合は、面合せ作業を行う前に球面テーブル42のバランスをとっておく必要がある。すなわち、通常は接合位置の中央に回転中心が位置されるが、バランスが崩れるとその回転中心の位置がずれてしまい上手く面合せすることができない。
特に、形状や大きさの異なるレーザ光源にスリーブを面合せする場合は、レーザ光源固定用のチャッキング治具を交換する必要があるので、そのたびにバランスを取り直さなければならないという面倒がある。
【0007】一方、ゴニオステージ52を用いた面合せ装置51において、両部品間ギャップをCCDカメラで映し出し、目視により面合せを行う場合は、熟練した技巧が必要とされ、その熟練度によって面合わせ精度、時間、再現性の差が大きいという問題があった。
【0008】また、CCDカメラで光学部品の傾きを検出して画像処理により面合せを行う場合は、高精度に面合せしようとすれば高倍率レンズが必要となるため、高輝度照明が必要になり、さらに、画像処理によりレーザ光源2やスリーブ4の傾きを自動判別させる場合にゴミと陰影とを誤って判別するなど確実性に欠けるという問題があった。
【0009】そこで本発明は、ゴニオステージを用いて面合せする場合に、熟練者の技巧やCCDカメラなどの撮像素子に頼ることなく、誰でも高精度で簡単且つ確実に面合せできるようにすることを技術的課題としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明は、一方の光学部品をZ方向に直交する2方向に傾斜可能に支持するゴニオステージと、他方の光学部品を前記一方の光学部品に対してZ方向に相対移動させるZステージにより、これら二つの光学部品の接合面同士を当接させて平行出しする面合せ装置において、前記Zステージを移動させて他方の光学部品を一方の光学部品に当接させて加圧した状態で、一方の光学部品の接合面をゴニオステージにより2方向に傾けたときに他方の光学部品に作用するZ方向の荷重を検出する荷重検出器と、夫々の傾斜方向について前記荷重検出器の検出信号に基づき検出荷重が最小となる角度にゴニオステージを傾ける制御装置を備えたことを特徴とする。
【0011】本発明によれば、他方の光学部品を一方の光学部品に当接させて加圧した状態で、ゴニオステージにより一方の光学部品をZ方向に直交する2方向に傾けると、それぞれの傾斜方向について傾斜角度に応じた荷重が検出される。
ここで、一方の光学部品の接合面が他方の光学部品の接合面に対して傾斜していると、その傾斜角度が大きくなればなるほどその接合面で他方の光学部品を押し上げることになるので、Z方向に荷重がかかり、逆に、互いの接合面同士が平行に近づけば他方の光学部品を押上る力は小さくなっていき、接合面が平行になると荷重は最小になる。
したがって、Z方向の荷重をモニタしながら、その荷重が最小になる傾斜角度にゴニオステージを固定すれば、各光学部品の接合面が夫々の傾斜方向について面合せができたことになる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて具体的に説明する。
図1は本発明に係る面合せ装置を示す概略説明図、図2は制御装置の処理手順を示すフローチャート、図3は角度と荷重の関係を示すグラフである。
【0013】図1に示す面合せ装置1は、例えば、ホルダに半導体レーザを組み込んだ光通信用レーザ光源(一方の光学部品)2と、そのレーザ光を案内する光ファイバを固定するためのスリーブ(他方の光学部品)4をYAGレーザ等で溶接して光源用光モジュールを組み立てる組立装置に装着され、レーザ光源2及びスリーブ4の接合面同士を平行に面合せするために使用されるものである。
【0014】この面合せ装置1は、レーザ光源2をZ方向に直交するXY軸回りのθx方向及びθy方向に傾斜可能に支持するゴニオステージ5と、スリーブ4をレーザ光源2に対してZ方向に相対移動させるZステージ6を備えている。
【0015】ゴニオステージ5は、レーザ光源2をθx方向に傾けるX傾斜ステージ5xと、θy方向に傾けるY傾斜ステージ5yを備え、夫々がステッピングモータ7x、7yで0.001°の精度で傾動させることができるようになっており、XY方向に移動するXYステージ8に装着されている。
【0016】また、Zステージ6は、駆動装置9で昇降駆動されると共に、Z方向の荷重を検出するロードセル(荷重検出器)10が設けられており、Zステージ6を移動させてスリーブ4をレーザ光源2に当接させて加圧した状態で、レーザ光源2をゴニオステージ5により2方向に傾けたときにスリーブ4に作用する荷重を検出できるようになっている。
【0017】ロードセル10は、各傾斜ステージ5x、5yの傾き角をコントロールする制御装置11に接続されており、この制御装置11に各モータ7x、7y及び駆動装置9が接続され、夫々の傾斜方向に対してロードセル10の検出信号に基づき検出荷重が最小となる角度に各傾斜ステージ5x、5yを傾斜させることができるようになっている。
【0018】図2は制御装置11の処理手順を示すフローチャートである。
レーザ光源2及びスリーブ4をゴニオステージ5及びZステージ6に夫々固定し、スイッチ(図示せず)をオンすると図2の処理が実行開始されて、ステップSTP1でZステージ6が降下され、ステップSTP2でロードセル10の検出荷重が予め設定された当接荷重(例えば2000mg)に達したときにスリーブ4及びレーザ光源2に当接したと判断されてSTP3へ移行し、ステップSTP3では、さらにZステージ6を降下させて加圧し、ロードセル10の検出荷重が予め設定された加圧荷重(例えば200g)に達するとステップSTP4へ移行する。
【0019】ステップSTP4では、まず、Y傾斜ステージ5yをそのままにしてX傾斜ステージ5xを所定の角度範囲(例えば±1〜±10°)で傾けながらロードセル10の検出信号に基づき角度−荷重データを記憶する。
図3(a)は得られた角度−荷重データを表わしたグラフであって、ステップSTP5でその極小点Pxminに基づき傾斜角度θxminを読み出して、ステップSTP6でその傾斜角度θxminにX傾斜ステージ5xを傾けてθx方向の動きを停止させる。
【0020】同様に、ステップSTP7では、X傾斜ステージ5xを傾斜角度θxminに固定してY傾斜ステージ5yを所定の角度範囲(例えば±1〜±10°)で傾けながらロードセル10の検出信号に基づき角度−荷重データを記憶する。
そして、ステップSTP8でその極小点Pyminに基づき傾斜角度θyminを読み出して、ステップSTP9でその傾斜角度θyminにY傾斜ステージ5yを傾けてθy方向の動きを停止させる。
次いで、ステップSTP10では、精度出しのためステップSTP4〜9の処理を繰返し、2回行った時点でステップSTP11に移行する。
【0021】ステップSTP11〜14は、極小点Pxmin、Pyminに対応する傾斜角度θxmin、θyminをより精度よく求めるための補正処理である。
すなわち、ステップSTP4及びステップSTP7で検出された角度−荷重データが、図3(b)に示すように、一の傾斜方向について検出された最小荷重が所定の角度範囲で一定となった場合は、極小点Pxmin、Pyminに対応して読み出した傾斜角度θxmin、θyminがその角度範囲の任意の角度に設定されている可能性がある。
このため、ステップSTP11では、X方向について、検出荷重が最小荷重より大きな基準荷重(例えば、最小荷重+150g)と等しくなる二つの点Pxa、Pxbの傾斜角度θxa、θxbを読み出してその中心角θxcを算出し、傾斜角度θxmin=θxcとし、ステップSTP12に移行してその傾斜角度θxminにX傾斜ステージ5xを傾けて、θx方向のセンタリングを行う。
【0022】次いで、ステップSTP13では、Y方向について同様に、検出荷重が最小荷重より大きな基準荷重(例えば、最小荷重+150g)と等しくなる二つの点Pya、Pybの傾斜角度θya、θybを読み出してその中心角θycを算出し、傾斜角度θymin=θycとし、ステップSTP14に移行してその傾斜角度θyminにY傾斜ステージ5yを傾けて、θy方向のセンタリングを行って面合せ処理を終了する。
【0023】以上の処理により、レーザ光源2の接合面がスリーブ4の接合面に対してθx、θy方向のいずれに対しても平行になるように面合せされたことになる。
そして、面合せ処理が終了した後、Zステージ6を上昇させ、レーザ光源2及びスリーブ4間に荷重がかからない位置で、XYステージ8を移動させると共に、予めスリーブ4内に挿入しておいた光ファイバ(図示せず)を昇降/回転させてレーザ光源2と光ファイバの光軸合せを行った後、周囲3方向からYAGレーザを照射して、スリーブ4とこれに挿入した光ファイバ先端のフェルール(図示せず)同士、レーザ光源2とスリーブ4同士を溶接すれば、光モジュールが完成する。
【0024】なお、上述の説明では、ロードセル10をZステージ6に設けた場合について説明したが、ゴニオステージ5側に取り付けても、スリーブ4に作用するZ方向の荷重をその反力により検出することができ、両者は技術的に等価である。
また、上述の説明では、面合せを行う場合にゴニオステージ5の各傾斜ステージ5x、5yをモータ7x、7yにより駆動させる場合について説明したが、本発明に係る面合せ方法を実施する場合は、これに限らず、ロードセル10の検出荷重をモニタしながら手動で傾斜角度を調整する場合でも良い。
さらに、レーザ光源2に限らず、フォトダイオード、アバランシェフォトダイオードなど任意の光学部品とスリーブ4を面合せしたり、レーザ光源2とレンズホルダを面合せしたり、そのレンズホルダとスリーブ4を面合せする場合など、任意の光学部品同士の面合せに使用することができる。
【0025】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、最小荷重を検出することにより面合せを行うことができるので、熟練度やCCDカメラなどの撮像素子に頼ることなく、誰でもエアスイベルよりも高精度の面合せを簡単且つ短時間で行うことができ、ひいては、後工程である調心時間の大幅な短縮と、YAG溶接時のずれを抑えることができるという大変優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る面合せ装置を示す概略説明図。
【図2】制御装置の処理手順を示すフローチャート。
【図3】角度と荷重の関係を示すグラフ。
【図4】従来装置を示す説明図。
【図5】従来装置を示す説明図。
【符号の説明】
1………面合せ装置
2………レーザ光源(一方の光学部品)
4………スリーブ(他方の光学部品)
5………ゴニオステージ
5x……X傾斜ステージ
5y……Y傾斜ステージ
6………Zステージ
10………ロードセル(荷重検出器)
11………制御装置
Claims (4)
- 一方の光学部品をZ方向に直交する2方向に傾斜可能に支持するゴニオステージと、他方の光学部品を前記一方の光学部品に対してZ方向に相対移動させるZステージにより、これら二つの光学部品の接合面同士を当接させて平行出しする面合せ装置において、
前記Zステージを移動させて他方の光学部品を一方の光学部品に当接させて加圧した状態で、一方の光学部品の接合面をゴニオステージにより2方向に傾けたときに他方の光学部品に作用するZ方向の荷重を検出する荷重検出器と、夫々の傾斜方向について前記荷重検出器の検出信号に基づき検出荷重が最小となる角度にゴニオステージを傾ける制御装置を備えたことを特徴とする面合せ装置。 - 前記制御装置は、一の傾斜方向について検出された最小荷重が所定の角度範囲で一定となる場合に、検出荷重が等しく最小荷重より大きな2点の傾き角の中心角にゴニオステージを傾ける補正手段を備えている請求項1記載の面合せ装置。
- 二つの光学部品の接合面同士を当接させて平行出しする面合せ方法において、双方の光学部品を当接させて加圧した状態で、一方の光学部品をZ方向に直交する2方向に傾けながら、夫々の傾斜方向について、他方の光学部品に作用するZ方向の荷重が最小となる角度に前記一方の光学部品の接合面を傾けることを特徴とする面合せ方法。
- 一の傾斜方向について検出された最小の荷重が所定の角度範囲で一定となる場合に、検出荷重が等しく最小荷重より大きな2点の傾き角の中心角に前記一方の光学部品の接合面を傾ける請求項3記載の面合せ方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP4713346B2 (ja) * | 2005-04-19 | 2011-06-29 | 株式会社フジクラ | 光部品の調心装置、光部品の製造方法 |
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