JPH06265759A - 自動光軸合わせ装置 - Google Patents
自動光軸合わせ装置Info
- Publication number
- JPH06265759A JPH06265759A JP5054498A JP5449893A JPH06265759A JP H06265759 A JPH06265759 A JP H06265759A JP 5054498 A JP5054498 A JP 5054498A JP 5449893 A JP5449893 A JP 5449893A JP H06265759 A JPH06265759 A JP H06265759A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chuck
- optical axis
- output
- photodetector
- phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ＸＹ方向の光軸ずれを同時に検出することによ
り、レーザダイオードモジュールと光ファイバの高速か
つ高精度な自動光軸合わせを行う。 【構成】２個のピエゾ素子３，４で光ファイバ１のフェ
ルール１ａを光軸に対して円運動させ、光検出器８でＬ
Ｄモジュール５から発光され光ファイバ１を通過する光
強度を測定し、その光検出器８の出力を２台のロックイ
ンアンプ１２，１３により互いに９０°位相のずれた参
照信号で位相検波し、ＸＹステージ７によりそのロック
インアンプ１２，１３の出力からＬＤモジュール５とフ
ェルール１ａの光軸合わせを行う。
り、レーザダイオードモジュールと光ファイバの高速か
つ高精度な自動光軸合わせを行う。 【構成】２個のピエゾ素子３，４で光ファイバ１のフェ
ルール１ａを光軸に対して円運動させ、光検出器８でＬ
Ｄモジュール５から発光され光ファイバ１を通過する光
強度を測定し、その光検出器８の出力を２台のロックイ
ンアンプ１２，１３により互いに９０°位相のずれた参
照信号で位相検波し、ＸＹステージ７によりそのロック
インアンプ１２，１３の出力からＬＤモジュール５とフ
ェルール１ａの光軸合わせを行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自動光軸合わせ装置、
特にレーザダイオードと光ファイバの自動組立に適用可
能な自動光軸合わせ装置に関する。
特にレーザダイオードと光ファイバの自動組立に適用可
能な自動光軸合わせ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術としては特開昭６３−２９６
００９に示されているような自動光軸合わせ装置の光軸
合わせ方法がある。
００９に示されているような自動光軸合わせ装置の光軸
合わせ方法がある。
【０００３】従来の自動光軸合わせ装置の光軸合わせ方
法は、発光素子を保持しかつ組立用の当接面を持った発
光ユニットと、発光素子を保持し組立用の被当接面をも
った受光ユニットとを発光素子を発光させながら当接面
を圧接し、少なくともいずれか一方のユニットを摺動さ
せ、受光ユニットの出力光量の大小により両ユニットの
光軸の一致を検出する光軸合わせ方法であり、検出はＸ
方向に摺動させて位置を固定し、この位置でＸ方向に直
角なＹ方向に摺動させてＹ方向における出力光量の最大
値を求め、順次これを繰り返して最大値が最も大となる
Ｘ方向の位置を求め、次にこの位置においてＹ方向に摺
動させて出力光量が最も大となる位置を求める方法から
なる。
法は、発光素子を保持しかつ組立用の当接面を持った発
光ユニットと、発光素子を保持し組立用の被当接面をも
った受光ユニットとを発光素子を発光させながら当接面
を圧接し、少なくともいずれか一方のユニットを摺動さ
せ、受光ユニットの出力光量の大小により両ユニットの
光軸の一致を検出する光軸合わせ方法であり、検出はＸ
方向に摺動させて位置を固定し、この位置でＸ方向に直
角なＹ方向に摺動させてＹ方向における出力光量の最大
値を求め、順次これを繰り返して最大値が最も大となる
Ｘ方向の位置を求め、次にこの位置においてＹ方向に摺
動させて出力光量が最も大となる位置を求める方法から
なる。
【０００４】次に、この従来の光軸合わせ方法について
図面を参照して詳細に説明する。
図面を参照して詳細に説明する。
【０００５】図６は従来例の光通信用ファイバモジュー
ルを組み立てる作業の断面図、図７は図６に示す投光モ
ジュールの発光の様子を示すグラフ、図８は図７に示す
発光パターンの拡大図である。
ルを組み立てる作業の断面図、図７は図６に示す投光モ
ジュールの発光の様子を示すグラフ、図８は図７に示す
発光パターンの拡大図である。
【０００６】図６において、Ｘ方向、Ｙ方向に微動送り
が可能なＸＹテーブル１８上に固定された保持台１９の
凹部２０に投光ユニット２１は適宜な手段で固定されて
いる。また、投光ユニット２１内のレーザダイオード
は、一定の電流が供給されていて一定の明るさで発光し
ており、受光ユニット２２の光ファイバの射出端は、光
量を検出する光検出器が取り付けられている（図示せ
ず）。
が可能なＸＹテーブル１８上に固定された保持台１９の
凹部２０に投光ユニット２１は適宜な手段で固定されて
いる。また、投光ユニット２１内のレーザダイオード
は、一定の電流が供給されていて一定の明るさで発光し
ており、受光ユニット２２の光ファイバの射出端は、光
量を検出する光検出器が取り付けられている（図示せ
ず）。
【０００７】次に、光軸合わせの方法について述べる。
【０００８】ＸＹテーブル１８を操作して、投光ユニッ
ト２１を摺動させた場合、投光ユニット２１内の球レン
ズの可動範囲２３はホルダにより制限されて、図７に示
すようになると考えられる。図７、図８においてレーザ
ダイオードの光を得ることができるのは、球レンズの焦
点付近の領域２４であり、領域２４は等光量の部分を線
で結んだものである。光軸合わせは以下の手順に従って
行われる。
ト２１を摺動させた場合、投光ユニット２１内の球レン
ズの可動範囲２３はホルダにより制限されて、図７に示
すようになると考えられる。図７、図８においてレーザ
ダイオードの光を得ることができるのは、球レンズの焦
点付近の領域２４であり、領域２４は等光量の部分を線
で結んだものである。光軸合わせは以下の手順に従って
行われる。
【０００９】ＸＹテーブル１８のＸ方向２５のＸ軸位置
を可動範囲の最端近くの位置ｘ1 へ移動する（ステップ
１）。
を可動範囲の最端近くの位置ｘ1 へ移動する（ステップ
１）。
【００１０】ＸＹテーブル１８のＹ方向２６のＹ軸位置
を可動範囲の端から端まで動かし、これによりＸ軸方向
の歪を除去すると同時に、その時に得られる最大光量を
Ｌｐ（ｘ1 ）とする（ステップ２）。
を可動範囲の端から端まで動かし、これによりＸ軸方向
の歪を除去すると同時に、その時に得られる最大光量を
Ｌｐ（ｘ1 ）とする（ステップ２）。
【００１１】Ｘ軸位置をｘ2 へ移動し、ステップ２と同
様にＹ軸方向に動かし、得られた最大光量値をＬｐ（ｘ
2 ）とする（ステップ３）。
様にＹ軸方向に動かし、得られた最大光量値をＬｐ（ｘ
2 ）とする（ステップ３）。
【００１２】Ｘ軸の位置をｘ3 ，ｘ4 ，ｘ5 ・・・と順
次移動しながら同様に操作してＬｐ（ｘ3 ），Ｌｐ（ｘ
4 ），Ｌｐ（ｘ5 ）・・・Ｌｐ（ｘi+1 ）を求めてい
く。この間Ｌｐ（ｘ1 ）からＬｐ（ｘi ）までほぼ光量
はゼロであるが、ｘi+1 の位置からはレーザダイオード
の光は光ファイバに入り始め、光量が検出される（ステ
ップ４）。
次移動しながら同様に操作してＬｐ（ｘ3 ），Ｌｐ（ｘ
4 ），Ｌｐ（ｘ5 ）・・・Ｌｐ（ｘi+1 ）を求めてい
く。この間Ｌｐ（ｘ1 ）からＬｐ（ｘi ）までほぼ光量
はゼロであるが、ｘi+1 の位置からはレーザダイオード
の光は光ファイバに入り始め、光量が検出される（ステ
ップ４）。
【００１３】光量が検出され始めると、拡大した図８に
示すように、 Ｌｐ（ｘi+1 ）＜Ｌｐ（ｘ1+2 ）＜Ｌｐ（ｘ1+3 ） というように、光量は増加していく（ステップ５）。
示すように、 Ｌｐ（ｘi+1 ）＜Ｌｐ（ｘ1+2 ）＜Ｌｐ（ｘ1+3 ） というように、光量は増加していく（ステップ５）。
【００１４】ｘi+4 でＬｐ（ｘi+4 ）が減少し始めた
ら、Ｘ軸方向の移動方向を逆にし、移動ステップを小さ
くして、上述と同様な操作を行い、光量が減少し始める
まで続ける（ステップ６）。
ら、Ｘ軸方向の移動方向を逆にし、移動ステップを小さ
くして、上述と同様な操作を行い、光量が減少し始める
まで続ける（ステップ６）。
【００１５】このような操作を繰り返し、最終的にはＸ
軸方向の移動ステップを最小移動単位である０．１μｍ
としてＸ軸上の位置を決定する（ステップ７）。
軸方向の移動ステップを最小移動単位である０．１μｍ
としてＸ軸上の位置を決定する（ステップ７）。
【００１６】決定されたＸ軸上位置において、Ｙ軸方向
に移動させ、最大光量が得られる位置で停止し、光軸調
整を終了する（ステップ８）。
に移動させ、最大光量が得られる位置で停止し、光軸調
整を終了する（ステップ８）。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の自動光
軸合わせ装置の光軸合わせ方法は、ＸＹステージの可動
範囲全てにおける光量を測定し、それが最大値となる位
置に合わせる方法であるので、光軸合わせに時間がかか
るという問題点があった。特に、光軸合わせを精密に行
うには、最終的には０．１μｍステップでＸＹステージ
を送らなければならないので、非常に生産性が悪いとい
う問題点があった。
軸合わせ装置の光軸合わせ方法は、ＸＹステージの可動
範囲全てにおける光量を測定し、それが最大値となる位
置に合わせる方法であるので、光軸合わせに時間がかか
るという問題点があった。特に、光軸合わせを精密に行
うには、最終的には０．１μｍステップでＸＹステージ
を送らなければならないので、非常に生産性が悪いとい
う問題点があった。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明の自動光軸合わせ
装置は、光ファイバの入射側の端部を保持する第１のチ
ャックと、光ファイバの入射側の端部に対向する位置に
発光素子を保持する第２のチャックと、第１のチャック
と第２のチャックを相対的に一定周期で円軌道を描くよ
うに駆動せしめる駆動装置と、発光素子から出射され光
ファイバに導入された光強度を測定する光検出器と、駆
動装置の円運動と同一の周期の参照信号で光検出器の出
力を位相検波する第１の位相検波器と、第１の位相検波
器に入力される参照信号と９０°位相のずれた信号を参
照信号として光検出器の出力を位相検波する第２の位相
検波器と、第１の位相検波器の出力と第２の位相検波器
の出力がゼロになる位置に第１のチャックと第２のチャ
ックの相対位置を調整する調整ステージとを含むことを
特徴としている。
装置は、光ファイバの入射側の端部を保持する第１のチ
ャックと、光ファイバの入射側の端部に対向する位置に
発光素子を保持する第２のチャックと、第１のチャック
と第２のチャックを相対的に一定周期で円軌道を描くよ
うに駆動せしめる駆動装置と、発光素子から出射され光
ファイバに導入された光強度を測定する光検出器と、駆
動装置の円運動と同一の周期の参照信号で光検出器の出
力を位相検波する第１の位相検波器と、第１の位相検波
器に入力される参照信号と９０°位相のずれた信号を参
照信号として光検出器の出力を位相検波する第２の位相
検波器と、第１の位相検波器の出力と第２の位相検波器
の出力がゼロになる位置に第１のチャックと第２のチャ
ックの相対位置を調整する調整ステージとを含むことを
特徴としている。
【００１９】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００２０】図１は本発明による自動光軸合わせ装置の
一実施例を示す構成図である。
一実施例を示す構成図である。
【００２１】この自動光軸合わせ装置は、光ファイバ１
の入射側端部にあるフェルール１ａを保持するフェルー
ルチャック２と、フェルールチャック２をＸ軸方向に微
小変位させるピエゾ素子３と、Ｘ軸方向に直交するＹ軸
方向にフェルールチャック２を微小変位させるピエゾ素
子４と、フェルール１ａに対向する位置にレーザダイオ
ード（ＬＤ）モジュール５を保持するＬＤチャック６
と、ＬＤチャック６をピエゾ素子３および４の可動方向
と同一の方向に移動させるＸＹステージ７と、ＬＤモジ
ュール５から出射されフェルール１ａから入射し光ファ
イバ１を通過して反対側の端部から出射するレーザビー
ムの強度を測定する光検出器８と、ピエゾ素子３を駆動
するピエゾドライバ９と、ピエゾ素子４を駆動するピエ
ゾドライバ１０と、ピエゾドライバ９および１０に入力
する互いに９０°位相が異なる２つの交流信号を発生す
る発振器１１と、ピエゾドライバ９に入力される交流信
号を参照信号として光検出器８の出力を位相検波するロ
ックインアンプ１２と、ピエゾドライバ１０に入力され
る交流信号を参照信号として光検出器８の出力を位相検
波するロックインアンプ１３と、ロックインアンプ１２
の出力を入力しロックインアンプ１２の出力がゼロにな
るようにピエゾ素子３の変位方向と同一な方向にＸＹス
テージ７を駆動するモータドライバ１４と、ロックイン
アンプ１３の出力を入力しロックインアンプ１３の出力
がゼロになるようにピエゾ素子４の変位方向と同一な方
向にＸＹステージ７を駆動するモータドライバ１５とか
ら構成される。
の入射側端部にあるフェルール１ａを保持するフェルー
ルチャック２と、フェルールチャック２をＸ軸方向に微
小変位させるピエゾ素子３と、Ｘ軸方向に直交するＹ軸
方向にフェルールチャック２を微小変位させるピエゾ素
子４と、フェルール１ａに対向する位置にレーザダイオ
ード（ＬＤ）モジュール５を保持するＬＤチャック６
と、ＬＤチャック６をピエゾ素子３および４の可動方向
と同一の方向に移動させるＸＹステージ７と、ＬＤモジ
ュール５から出射されフェルール１ａから入射し光ファ
イバ１を通過して反対側の端部から出射するレーザビー
ムの強度を測定する光検出器８と、ピエゾ素子３を駆動
するピエゾドライバ９と、ピエゾ素子４を駆動するピエ
ゾドライバ１０と、ピエゾドライバ９および１０に入力
する互いに９０°位相が異なる２つの交流信号を発生す
る発振器１１と、ピエゾドライバ９に入力される交流信
号を参照信号として光検出器８の出力を位相検波するロ
ックインアンプ１２と、ピエゾドライバ１０に入力され
る交流信号を参照信号として光検出器８の出力を位相検
波するロックインアンプ１３と、ロックインアンプ１２
の出力を入力しロックインアンプ１２の出力がゼロにな
るようにピエゾ素子３の変位方向と同一な方向にＸＹス
テージ７を駆動するモータドライバ１４と、ロックイン
アンプ１３の出力を入力しロックインアンプ１３の出力
がゼロになるようにピエゾ素子４の変位方向と同一な方
向にＸＹステージ７を駆動するモータドライバ１５とか
ら構成される。
【００２２】ピエゾ素子３および４には互いに位相が９
０°ずれた交流信号が印加されるので、フェルール１ａ
を保持しているフェルールチャク２は円の軌跡を描くよ
うに運動する。
０°ずれた交流信号が印加されるので、フェルール１ａ
を保持しているフェルールチャク２は円の軌跡を描くよ
うに運動する。
【００２３】次に、本実施例における自動光軸合わせの
原理を図面を用いて詳細に説明する。図２は図１に示す
ＬＤモジュールから出射されるレーザビームの強度分布
を示すグラフ、図３から図５は図１に示す光検出器で検
出される変調された光量信号を示すグラフである。
原理を図面を用いて詳細に説明する。図２は図１に示す
ＬＤモジュールから出射されるレーザビームの強度分布
を示すグラフ、図３から図５は図１に示す光検出器で検
出される変調された光量信号を示すグラフである。
【００２４】図２はＬＤモジュール５から出射されるレ
ーザビームの強度分布であり、レーザビーム強度の等し
い部分は等光量線１６で結ばれている。また、図中ＬＤ
モジュール５の光軸に対してフェルール１ａがＸ軸方向
にずれている場合、Ｙ軸方向にずれている場合および各
軸に対して４５°の方向にずれている場合のフェルール
１ａの軌跡１７ａ，１７ｂおよび１７ｃを示す。図に示
すようにフェルール１ａの軌跡１７は円を描いていて、
各軌跡１７ａ，１７ｂ，１７ｃと等光量線１６との交わ
り方から分かるように、フェルール１ａの位置によって
光検出器８で検出される変調された光量信号の位相が変
化する。
ーザビームの強度分布であり、レーザビーム強度の等し
い部分は等光量線１６で結ばれている。また、図中ＬＤ
モジュール５の光軸に対してフェルール１ａがＸ軸方向
にずれている場合、Ｙ軸方向にずれている場合および各
軸に対して４５°の方向にずれている場合のフェルール
１ａの軌跡１７ａ，１７ｂおよび１７ｃを示す。図に示
すようにフェルール１ａの軌跡１７は円を描いていて、
各軌跡１７ａ，１７ｂ，１７ｃと等光量線１６との交わ
り方から分かるように、フェルール１ａの位置によって
光検出器８で検出される変調された光量信号の位相が変
化する。
【００２５】図３から図５は図１の各フェルール１ａの
位置での光検出器８で検出される光量信号の変調の様子
を示しており、図３はフェルール１ａが軌跡１７ａを描
くときの変調信号であり、図４はフェルール１ａが軌跡
１７ｂを描くときの変調信号であり、図５はフェルール
１ａが軌跡１７ｃを描くときの変調信号である。それぞ
れ、縦軸は光量、横軸は時間である。これらのグラフは
分かりやすいように、光量信号の直流成分はカットして
示してある。
位置での光検出器８で検出される光量信号の変調の様子
を示しており、図３はフェルール１ａが軌跡１７ａを描
くときの変調信号であり、図４はフェルール１ａが軌跡
１７ｂを描くときの変調信号であり、図５はフェルール
１ａが軌跡１７ｃを描くときの変調信号である。それぞ
れ、縦軸は光量、横軸は時間である。これらのグラフは
分かりやすいように、光量信号の直流成分はカットして
示してある。
【００２６】図３（ａ）はピエゾドライバ９の駆動信号
を参照信号として位相検波した時の様子を示していて、
ロックインアンプ１２からは図中斜線で示した面積の積
分値が出力される。また、図３（ｂ）は９０°位相の異
なるピエゾドライバ１０の駆動信号を参照信号として位
相検波した時の様子を示していて、同様にロックインア
ンプ１３からは図中斜線で示した面積の積分値が出力さ
れる。したがって、ロックインアンプ１２の出力は正の
値になり、ロックインアンプ１３の出力はゼロとなり、
ＸＹステージ７はＸ軸方向の正の向きに動きフェルール
１ａはＬＤモジュール５の光軸に近づき、光軸合わせが
行われる。
を参照信号として位相検波した時の様子を示していて、
ロックインアンプ１２からは図中斜線で示した面積の積
分値が出力される。また、図３（ｂ）は９０°位相の異
なるピエゾドライバ１０の駆動信号を参照信号として位
相検波した時の様子を示していて、同様にロックインア
ンプ１３からは図中斜線で示した面積の積分値が出力さ
れる。したがって、ロックインアンプ１２の出力は正の
値になり、ロックインアンプ１３の出力はゼロとなり、
ＸＹステージ７はＸ軸方向の正の向きに動きフェルール
１ａはＬＤモジュール５の光軸に近づき、光軸合わせが
行われる。
【００２７】図４（ａ），（ｂ）も同様に互いに位相が
９０°異なる信号で位相検波した時の様子を示している
が、図３に示した変調信号に比べ位相が９０°進んでい
るため、図３の場合とは逆にロックインアンプ１２の出
力（図４（ａ）斜線部分の積分値）はゼロになり、ロッ
クインアンプ１３の出力（図４（ｂ）斜線部分の積分
値）は正の値になる。
９０°異なる信号で位相検波した時の様子を示している
が、図３に示した変調信号に比べ位相が９０°進んでい
るため、図３の場合とは逆にロックインアンプ１２の出
力（図４（ａ）斜線部分の積分値）はゼロになり、ロッ
クインアンプ１３の出力（図４（ｂ）斜線部分の積分
値）は正の値になる。
【００２８】図５（ａ），（ｂ）はフェルール１ａの位
置がＸ軸方向およびＹ軸方向ともにずれている場合の変
調信号であるため、両ロックインアンプ１２，１３の出
力はともに負の値となる。
置がＸ軸方向およびＹ軸方向ともにずれている場合の変
調信号であるため、両ロックインアンプ１２，１３の出
力はともに負の値となる。
【００２９】以上述べたように、ＬＤモジュール５に対
するフェルール１ａの位置によって、光検出器８によっ
て検出される変調された光強度信号が変化するので、ロ
ックインアンプ１２，１３により位相検波することによ
り、ＬＤモジュール５とフェルール１ａのＸ軸方向およ
びＹ軸方向に関する光軸ずれ量をそれぞれ独立に検出す
ることができる。
するフェルール１ａの位置によって、光検出器８によっ
て検出される変調された光強度信号が変化するので、ロ
ックインアンプ１２，１３により位相検波することによ
り、ＬＤモジュール５とフェルール１ａのＸ軸方向およ
びＹ軸方向に関する光軸ずれ量をそれぞれ独立に検出す
ることができる。
【００３０】本実施例によれば、ＬＤモジュール５とフ
ェルール１ａの光軸ずれが小さいときには、ピエゾ素子
３，４の振幅を小さくし、円運動の軌跡１７の径を小さ
くするほど、精密な光軸ずれ検出が可能となる。したが
って、ロックインアンプ１２，１３の出力から、光軸ず
れが大きいときは発振器１１の出力の振幅を大きくし、
光軸ずれが小さいときは発振器１１の出力の振幅が小さ
くなるように制御することにより、高速・高精度な自動
光軸合わせが実現できる。
ェルール１ａの光軸ずれが小さいときには、ピエゾ素子
３，４の振幅を小さくし、円運動の軌跡１７の径を小さ
くするほど、精密な光軸ずれ検出が可能となる。したが
って、ロックインアンプ１２，１３の出力から、光軸ず
れが大きいときは発振器１１の出力の振幅を大きくし、
光軸ずれが小さいときは発振器１１の出力の振幅が小さ
くなるように制御することにより、高速・高精度な自動
光軸合わせが実現できる。
【００３１】また、本実施例ではフェルールチャック２
を円運動させる駆動装置に、互いに直交して配置された
ピエゾ素子３，４を用いているが、これ以外にボイスコ
イルモータなどのアクチュエータも有効である。
を円運動させる駆動装置に、互いに直交して配置された
ピエゾ素子３，４を用いているが、これ以外にボイスコ
イルモータなどのアクチュエータも有効である。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の自動光軸
合わせ装置は、光ファイバの入射側端部を発光素子の光
軸に対し円運動させることにより、光ファイバを通る光
量に対しＸＹ方向に位置変調をかけることができるの
で、参照信号が互いに９０°異なる２台の位相検波器に
よりＸＹ２方向の光軸ずれを同時かつ独立に検出できる
ため、発光素子と光ファイバの光軸合わせが高速かつ高
精度に行えるという効果がある。
合わせ装置は、光ファイバの入射側端部を発光素子の光
軸に対し円運動させることにより、光ファイバを通る光
量に対しＸＹ方向に位置変調をかけることができるの
で、参照信号が互いに９０°異なる２台の位相検波器に
よりＸＹ２方向の光軸ずれを同時かつ独立に検出できる
ため、発光素子と光ファイバの光軸合わせが高速かつ高
精度に行えるという効果がある。
【図１】本発明による自動光軸合わせ装置の一実施例を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図２】図１に示すＬＤモジュールから出射されるレー
ザビームの強度分布を示すグラフである。
ザビームの強度分布を示すグラフである。
【図３】図１に示す光検出器で検出される変調された光
量信号を示すグラフである。図３（ａ）はピエゾドライ
バ９の駆動信号を参照信号として位相検波した時の様子
を示すグラフである。図３（ｂ）は９０°位相の異なる
ピエゾドライバ１０の駆動信号を参照信号として位相検
波した時の様子を示すグラフである。
量信号を示すグラフである。図３（ａ）はピエゾドライ
バ９の駆動信号を参照信号として位相検波した時の様子
を示すグラフである。図３（ｂ）は９０°位相の異なる
ピエゾドライバ１０の駆動信号を参照信号として位相検
波した時の様子を示すグラフである。
【図４】図１に示す光検出器で検出される変調された光
量信号を示すグラフである。図４（ａ），（ｂ）は図３
と同様に互いに位相が９０°異なる信号で位相検波した
時の様子を示すグラフである。
量信号を示すグラフである。図４（ａ），（ｂ）は図３
と同様に互いに位相が９０°異なる信号で位相検波した
時の様子を示すグラフである。
【図５】図１に示す光検出器で検出される変調された光
量信号を示すグラフである。図５（ａ），（ｂ）はフェ
ルール１ａの位置がＸ軸方向およびＹ軸方向ともにずれ
ている場合の変調信号を示すグラフである。
量信号を示すグラフである。図５（ａ），（ｂ）はフェ
ルール１ａの位置がＸ軸方向およびＹ軸方向ともにずれ
ている場合の変調信号を示すグラフである。
【図６】従来例の光通信用ファイバモジュールを組み立
てる作業の断面図である。
てる作業の断面図である。
【図７】図６に示す投光モジュールの発光の様子を示す
グラフである。
グラフである。
【図８】図７に示す発光パターンの拡大図である。
１ 光ファイバ ２ フェルールチャック ３ ピエゾ素子 ５ ＬＤモジュール ６ ＬＤチャック ７，１８ ＸＹステージ ８ 光検出器 ９，１０ ピエゾドライバ １１ 発振器 １２ ロックインアンプ
Claims (4)
- 【請求項１】 光ファイバの入射側の端部を保持する第
１のチャックと、前記光ファイバの入射側の端部に対向
する位置に発光素子を保持する第２のチャックと、前記
第１のチャックと前記第２のチャックを相対的に一定周
期で円軌道を描くように駆動せしめる駆動装置と、前記
発光素子から出射され前記光ファイバに導入された光強
度を測定する光検出器と、前記駆動装置の円運動と同一
の周期の参照信号で前記光検出器の出力を位相検波する
第１の位相検波器と、前記第１の位相検波器に入力され
る参照信号と９０°位相のずれた信号を参照信号として
前記光検出器の出力を位相検波する第２の位相検波器
と、前記第１の位相検波器の出力と前記第２の位相検波
器の出力がゼロになる位置に前記第１のチャックと前記
第２のチャックの相対位置を調整する調整ステージとを
含むことを特徴とする自動光軸合わせ装置。 - 【請求項２】 前記駆動装置が互いに直交する２軸上に
配置されかつ互いに９０°位相の異なる正弦波信号で駆
動される圧電素子であることを特徴とする請求項１記載
の自動光軸合わせ装置。 - 【請求項３】 前記駆動装置が前記第１のチャックを駆
動し、前記調整ステージが前記第２のチャックの位置決
めを行うことを特徴とする請求項１または請求項２記載
の自動光軸合わせ装置。 - 【請求項４】 前記発光素子がレーザダイオードである
ことを特徴とする請求項１または請求項２または請求項
３記載の自動光軸合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5054498A JPH07113694B2 (ja) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | 自動光軸合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5054498A JPH07113694B2 (ja) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | 自動光軸合わせ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06265759A true JPH06265759A (ja) | 1994-09-22 |
| JPH07113694B2 JPH07113694B2 (ja) | 1995-12-06 |
Family
ID=12972308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5054498A Expired - Fee Related JPH07113694B2 (ja) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | 自動光軸合わせ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07113694B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100385921B1 (ko) * | 2001-04-02 | 2003-06-09 | 주식회사 쎄크 | 광커넥터용 페룰 및 플랜지 결합장치 |
| KR100385919B1 (ko) * | 2001-03-22 | 2003-06-09 | 주식회사 쎄크 | 광화이버 접속용 페룰 정렬장치 |
| KR100480262B1 (ko) * | 2002-09-18 | 2005-04-07 | 삼성전자주식회사 | 광섬유 블럭 정렬 장치 |
| US6970627B2 (en) | 2002-05-14 | 2005-11-29 | Soei Patents, Trademark & Law | Method and apparatus for core alignment between optical components |
| US7936797B2 (en) | 2007-03-30 | 2011-05-03 | Konica Minolta Opto, Inc. | Laser apparatus and output control method of laser apparatus |
| US8203253B2 (en) | 2007-11-21 | 2012-06-19 | Konica Minolta Opto, Inc. | Piezoelectric actuator, driving device, positioning device and laser module |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4920473B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-04-18 | プレサイスゲージ株式会社 | 光部品実装方法及び装置 |
-
1993
- 1993-03-16 JP JP5054498A patent/JPH07113694B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100385919B1 (ko) * | 2001-03-22 | 2003-06-09 | 주식회사 쎄크 | 광화이버 접속용 페룰 정렬장치 |
| KR100385921B1 (ko) * | 2001-04-02 | 2003-06-09 | 주식회사 쎄크 | 광커넥터용 페룰 및 플랜지 결합장치 |
| US6970627B2 (en) | 2002-05-14 | 2005-11-29 | Soei Patents, Trademark & Law | Method and apparatus for core alignment between optical components |
| CN100367060C (zh) * | 2002-05-14 | 2008-02-06 | 精密量具株式会社 | 光学元件的调心方法及其装置 |
| KR100480262B1 (ko) * | 2002-09-18 | 2005-04-07 | 삼성전자주식회사 | 광섬유 블럭 정렬 장치 |
| US7936797B2 (en) | 2007-03-30 | 2011-05-03 | Konica Minolta Opto, Inc. | Laser apparatus and output control method of laser apparatus |
| US8203253B2 (en) | 2007-11-21 | 2012-06-19 | Konica Minolta Opto, Inc. | Piezoelectric actuator, driving device, positioning device and laser module |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07113694B2 (ja) | 1995-12-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6970627B2 (en) | Method and apparatus for core alignment between optical components | |
| JP2002258172A (ja) | 走査方法及びその装置，光強度検査方法及びその装置、並びに、調芯方法及びその装置 | |
| JP2005205429A (ja) | レーザ加工機 | |
| US7068891B1 (en) | System and method for positioning optical fibers | |
| JPH06265759A (ja) | 自動光軸合わせ装置 | |
| JPH0961683A (ja) | 光デバイス組立方法およびその装置 | |
| JP2008102014A (ja) | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 | |
| JP2005077436A (ja) | 調芯方法及びその装置、並びに、これを用いた光学モジュールの製造方法及びその装置 | |
| JP3116481B2 (ja) | 光素子モジュールの組立装置 | |
| JP2004233505A (ja) | 面合せ装置及び面合せ方法 | |
| JP2002228411A (ja) | 二次元測定装置 | |
| CN114812534B (zh) | 一种高精度调节分离激光光束平行性的装置和方法 | |
| JP3129854B2 (ja) | 光スイッチ装置およびその調芯方法 | |
| JP4327223B2 (ja) | 光学部品の調芯装置 | |
| JP3010769B2 (ja) | 光素子モジュールの組立方法および装置 | |
| JP4066853B2 (ja) | 光モジュールの調芯方法 | |
| JP2516577Y2 (ja) | 調芯装置 | |
| JP4327225B2 (ja) | 調芯位置に近づける方法、光学部品の調芯装置、並びに光学部品の組立体の製造方法 | |
| JP3096583B2 (ja) | 半導体レーザモジュールの製造方法 | |
| JP2513075B2 (ja) | 光学機器のレ―ザ溶接方法 | |
| JP2936777B2 (ja) | 光素子モジュールの組立装置 | |
| JP5092455B2 (ja) | 位置決め装置および位置決め方法 | |
| JP4327224B2 (ja) | 光学部品に関する直線を平行に近づける方法、光学部品の調芯装置、並びに光学部品の組立体の製造方法 | |
| JPH0769499B2 (ja) | 光素子モジュールの組立方法 | |
| CN117029677A (zh) | 一种基于激光传感器的vr凸面镜片的中心点的寻找方法及装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960528 |