JP2006319164A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パターニングしたレジスト8及びトレンチマスクTM1をマスクとして、内壁酸化膜7及びSOI層3に対するエッチングを行い、SOI層3を貫通して埋込絶縁膜2に到達する完全分離用トレンチ22を形成する。このとき、上部にレジスト8が形成されていないCVD酸化膜6の一部が除去されるが、CVD酸化膜6によってシリコン窒化膜5は保護されるため、シリコン窒化膜5の膜厚は一定に保たれる。その後、レジスト8を除去し、全面に分離酸化膜を堆積した後、シリコン窒化膜5を研磨ストッパとしたCMP処理を施すことにより、シリコン窒化膜5の膜厚で規定される高さで分離酸化膜9を膜厚精度良く平坦化する。
【選択図】図4
Description
(製造方法の内容)
図1〜図6はこの発明の実施の形態1である、部分・完全分離併用の絶縁分離構造を有する半導体装置の製造方法を示す断面図である。以下、これらの図を参照して実施の形態1の製造方法について説明する。
図43〜図45は実施の形態1との比較用の従来の部分・完全分離併用の絶縁分離構造を有する半導体装置の製造方法の一部を示す断面図である。図43〜図45は実施の形態1の図4〜図6で示す工程に対応する。
(製造方法の内容)
図7〜図12はこの発明の実施の形態2である、部分・完全分離併用の絶縁分離構造を有する半導体装置の製造方法を示す断面図である。以下、これらの図を参照して実施の形態2の製造方法について説明する。
実施の形態2の半導体装置の製造方法によれば、完全分離用トレンチ22の形成後もシリコン窒化膜5の膜厚は均一であるため、オーバー研磨領域44(図44参照)が生じることはなく、最終的に形成される分離酸化膜9の膜厚及び形状を均一に形成することができる。その結果、実施の形態1と同様に、SOI層3に例えばトランジスタを形成した場合におけるトランジスタ特性のバラツキを大幅に減少させることができる効果を奏する。
(製造方法の内容)
図13〜図18はこの発明の実施の形態3である、部分・完全分離併用の絶縁分離構造を有する半導体装置の製造方法を示す断面図である。以下、これらの図を参照して実施の形態3の製造方法について説明する。
実施の形態3の半導体装置の製造方法によれば、完全分離用トレンチ22の形成後もシリコン窒化膜5の膜厚はほぼ均一であるため、実施の形態1及び実施の形態2と同様、SOI層3に例えばトランジスタを形成した場合におけるトランジスタ特性のバラツキを大幅に減少させることができる効果を奏する。
(製造方法の内容)
図19〜図24はこの発明の実施の形態4である、部分・完全分離併用の絶縁分離構造を有する半導体装置の製造方法を示す断面図である。以下、これらの図を参照して実施の形態4の製造方法について説明する。
実施の形態4の半導体装置の製造方法によれば、完全分離用トレンチ22の形成後もシリコン窒化膜5の膜厚は均一であるため、実施の形態1〜実施の形態3と同様、SOI層3に例えばトランジスタを形成した場合におけるトランジスタ特性のバラツキを大幅に減少させることができる効果を奏する。
(製造方法の内容)
図25〜図27はこの発明の実施の形態5である、部分・完全分離併用の絶縁分離構造を有する半導体装置の製造方法を示す断面図である。以下、これらの図を参照して実施の形態5の製造方法について説明する。
実施の形態5の半導体装置の製造方法によれば、完全分離用トレンチ22の形成後もシリコン窒化膜5の膜厚は均一であるため、実施の形態1〜実施の形態4と同様、SOI層3に例えばトランジスタを形成した場合におけるトランジスタ特性のバラツキを大幅に減少させることができる。
(製造方法の内容)
図28〜図30はこの発明の実施の形態6である、部分・完全分離併用の絶縁分離構造を有する半導体装置の製造方法を示す断面図である。以下、これらの図を参照して実施の形態6の製造方法について説明する。
実施の形態6の半導体装置の製造方法によれば、完全分離用トレンチ22の形成後もシリコン窒化膜5の膜厚は均一であるため、実施の形態5と同様、SOI層3に例えばトランジスタを形成した場合におけるトランジスタ特性のバラツキを大幅に減少させるという効果を奏する。
(製造方法の内容)
図31〜図36はこの発明の実施の形態7である、部分・完全分離併用の絶縁分離構造を有する半導体装置の製造方法を示す断面図である。以下、これらの図を参照して実施の形態7の製造方法について説明する。
実施の形態7の半導体装置の製造方法によれば、実施の形態1〜実施の形態6と同様、完全分離用トレンチ22の形成後もシリコン窒化膜5の膜厚は均一であるため、SOI層3に例えばトランジスタを形成した場合におけるトランジスタ特性のバラツキを大幅に減少させることができる。
(製造方法の内容)
図37〜図42はこの発明の実施の形態8である、部分・完全分離併用の絶縁分離構造を有する半導体装置の製造方法を示す断面図である。以下、これらの図を参照して実施の形態8の製造方法について説明する。
実施の形態8の半導体装置の製造方法によれば、実施の形態1〜実施の形態7と同様、完全分離用トレンチ22の形成後もシリコン窒化膜5の膜厚は均一であるため、SOI層3に例えばトランジスタを形成した場合におけるトランジスタ特性のバラツキを大幅に減少させることができる。
Claims (8)
- (a) 半導体基板、埋込絶縁膜及びSOI層の積層構造からなるSOI基板の前記SOI層上に下敷き絶縁膜を形成し、前記下敷き絶縁膜上にトレンチマスクを形成するステップを備え、前記トレンチマスクは第1のマスク層と前記第1のマスク層上に形成された第2のマスク層とを含み、
(b) 前記トレンチマスクをマスクとして、前記下敷き絶縁膜と前記SOI層の上層部の一部とを除去し、所定数の第1のトレンチを形成するステップと、
(c) 前記トレンチマスク及びパターニングされたレジストをマスクとして、前記所定数の第1のトレンチのうちの少なくとも一つの下方の前記SOI層を貫通させることにより、前記埋込絶縁膜に到達する少なくとも一つの第2のトレンチを形成するステップと、
(d) 前記レジストを除去後、前記第1及び第2のトレンチ内に分離用絶縁膜を埋め込んだ後、前記第1のマスク層を研磨ストッパとしてCMP処理を施し、前記第1のマスク層の膜厚で規定される膜厚で前記分離用絶縁膜を平坦化するとともに、前記第2のマスク層を除去するステップと、
(e) 前記分離用絶縁膜の形成高さが前記SOI層の高さと同程度になるように前記分離用絶縁膜を一部除去した後、前記第1のマスク層を除去するステップと、
を備える半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、
前記トレンチマスクは前記第1のマスク層下に形成される酸化用マスク層をさらに含み、
前記ステップ(c) は、
(c-1) 熱酸化処理により、前記第1のトレンチの底面及び側面並びに前記酸化用マスク層の側面に内壁絶縁膜を形成するステップと、
(c-2) 前記トレンチマスク及び前記レジストをマスクとして、前記内壁絶縁膜及び前記SOI層を貫通して前記第2のトレンチを形成するステップとを含み、
前記ステップ(e) は、前記第2のマスク層の除去時に前記酸化用マスク層を併せて除去するステップを含む、
半導体装置の製造方法。 - 請求項2記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ステップ(b) は、
(b-1) 前記トレンチマスクをマスクとして前記下敷き絶縁膜を選択的にウェットエッチングするステップと、
(b-2) 前記トレンチマスク及び前記下敷き絶縁膜をマスクとして前記SOI層の上層部を除去して前記第1のトレンチを形成するステップとを含む、
半導体装置の製造方法。 - 請求項3記載の半導体装置の製造方法であって、
前記第2のマスク層は前記ステップ(b-1)のウェットエッチング対する耐性が強い材質からなる層を含む、
半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ステップ(b) は、平面視して前記トレンチマスクからSOI層のエッジ部が突き出し、かつ丸められるようにSOI層を選択的に除去するステップを含み、
前記ステップ(c) は、
(c-1) 熱酸化処理により、前記第1のトレンチの底面及び側面に内壁絶縁膜を形成し、前記SOIの前記エッジ部を後退させ、平面視して前記トレンチマスクより内側に前記エッジ部が位置するように調整するステップと、
(c-2) 前記トレンチマスク及び前記レジストをマスクとして、前記内壁絶縁膜及び前記SOI層を貫通して前記第2のトレンチを形成するステップとを含む、
半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ステップ(b) は、
(b-1) 前記トレンチマスクをマスクとして前記下敷き絶縁膜を選択的にエッチングするステップを含み、前記ステップ(b-1)によって 、前記トレンチマスクの端部から所定幅分内側の前記下敷き絶縁膜をも除去されることにより、前記トレンチマスクの端部と前記SOI層との間に前記下敷き絶縁膜が形成されない空隙部が形成され、
(b-2) 前記トレンチマスク及び前記下敷き絶縁膜をマスクとして前記SOI層の上層部を除去して前記第1のトレンチを形成するステップをさらに含み、前記ステップ(b-2)の実行によって、前記空隙部の存在により前記SOI層のエッジ部が丸められる、
半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ステップ(b) は、
(b-1) 全面に絶縁膜を形成しエッチバックすることにより、前記トレンチマスクの側面にサイドウォールを形成するとともに、前記下敷き絶縁膜を選択的に除去するステップと、
(b-2) 前記トレンチマスク及び前記サイドウォールをマスクとして前記SOI層の上層部を除去して前記第1のトレンチを形成するステップとを含み、
前記ステップ(c) は、
(c-1) 熱酸化処理により、前記第1のトレンチの底面及び側面に内壁絶縁膜を形成するステップを含み、前記ステップ(c-1)の実行により、前記内壁絶縁膜の形状は前記サイドウォール下の膜厚が他の領域より厚く形成され、
(c-2) 前記トレンチマスク及び前記レジストをマスクとして、前記内壁絶縁膜及び前記SOI層を貫通して前記第2のトレンチを形成するステップをさらに含む、
半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ステップ(a) は、
(a-1) 前記トレンチマスクが形成されない前記SOI基板上の前記下敷き酸化膜を除去し、前記SOI層の表面を選択的に露出させるステップと、
(a-2) 前記SOI層の露出領域に露出面絶縁領域を形成するステップとを含み、
前記ステップ(b) は、
(b-1) 全面に絶縁膜を形成しエッチバックすることにより、前記トレンチマスクの側面にサイドウォールを形成するとともに、前記サイドウォール下以外の前記露出面絶縁領域を選択的に除去するステップと、
(b-2) 前記トレンチマスク及び前記サイドウォールをマスクとして前記SOI層の上層部を除去して前記第1のトレンチを形成するステップとを含み、
前記ステップ(c) は、
(c-1) 熱酸化処理により、前記第1のトレンチの底面及び側面に内壁絶縁膜を形成するステップを含み、前記ステップ(c-1)の実行により、前記内壁絶縁膜の形状は前記サイドウォール下の膜厚が他の領域より厚く形成され、
(c-2) 前記トレンチマスク及び前記レジストをマスクとして、前記内壁絶縁膜及び前記SOI層を貫通して前記第2のトレンチを形成するステップをさらに含む、
半導体装置の製造方法。
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