JP2006310334A - フリップチップ実装方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明になるフリップチップ実装方法は次の各工程を具備するも
のである。
a)配線基板に電極を形成する工程。
b)半導体チップの電極上に金バンプを形成する工程。
c)転写プレート上に予め決められた膜厚の錫膜を形成する工程。
d)工程cで形成された錫膜を工程bで形成された金バンプの位置に合わせて
、予め決められた大きさに加工する工程。
e)工程dで得られた加工された錫膜を工程bで得られた半導体チップの電極
上に形成された金バンプ上に転写する工程。
f)工程eで得られた錫膜が転写された半導体チップの金バンプを工程aで形
成された配線基板の電極に接合する工程。
【選択図】 図4
Description
に係り、特に錫膜の形成と形成された錫膜の半導体チップの金バンプへの転写技
術に関するものである。
形成された金バンプとこの半導体チップを実装する配線基板の電極に錫めっきを
施し、共晶接合させる技術が公知である。(特許文献1、特許文献2参照)。
1に記載のものを例にとって、図8を用いて説明する。
図8の(a)、(b)、(c)及び(d)は、従来の半導体チップのフリップ
チップ実装方法の一実施例について工程順に模式的に示した図である。
図8において、61は半導体チップを実装する電極パッド62が形成されたガ
ラス含浸エポキシ樹脂基板やセラミック基板等の配線基板、63は電極パッド上
に形成された錫めっき層である。71は半導体チップで電極パッド上に金バンプ
72が形成されている。
ついて図8に基づいて、工程順に説明する。
最初に、配線基板を用意し、所定の回路パターン(図示せず。)と半導体チッ
プ71を実装する位置に対応する位置に電極パッド62を形成し、配線基板61
を製造する(図8(a))。
次に、配線基板61の電極パッド62が形成された面に錫めっきを施し、電極
パッド62上に錫めっき層63を形成する(図8(b))。なお、このとき、錫
めっきを施さない部分にはめっきレジスト処理をしておき、めっき処理が終了し
た後このめっきレジストを除去する。
c))。
そして、半導体チップ71を配線基板61に搭載し、この状態で半導体チップ
71を配線基板61に押し付けながら、配線基板61と半導体チップ71を加熱
する。こうすることによって、配線基板61の電極パッド62上に形成された錫
めっき層63と半導体チップ71の電極パッド上に形成された金バンプ72とが
合金化して両者の接触部に金錫合金層67が形成され、配線基板61上に半導体
チップ71が接合される(図8(d))。こうして、半導体チップのフリップチ
ップ実装が完了する。
の電極パッド上に形成される錫めっき層の厚さは約1μmとされている。
しかしながら、厚さ約1μmの錫めっき層では、形成される金錫合金量が少な
く、十分な接合信頼性の確保が困難である。
したがって、十分な接合信頼性が確保できる金錫合金量を得るためには何らか
の方法で錫を供給する必要がある。
(例えば、SnAgやSnCuなどのはんだ)を公知の印刷、蒸着、インプラン
ト法等で予め供給する方法が提案されている。
しかし、これらの方法では印刷性などの技術的課題や複雑なマスキング治具、
金型治具の製作などコストアップが避けられないという問題点があった。
ート上に錫を真空蒸着等により蒸着させて所定の厚さで錫膜を形成し、半導体チ
ップのバンプの配置に合わせた位置と大きさにエッチング加工し、この所定の形
状に成形された錫膜を金バンプ上に接合させて転写プレートから剥離することで
金バンプ側に転写することにより、容易に接合信頼性を確保できる金錫共晶量の
錫を供給することが可能な半導体チップのフリップチップ実装方法を提供するこ
とを目的とする。
るものである。
a)配線基板に電極を形成する工程。
b)半導体チップの電極上に金バンプを形成する工程。
c)転写プレート上に予め決められた膜厚の錫膜を形成する工程。
d)工程cで形成された錫膜を工程bで形成された金バンプの位置に合わせて
、予め決められた大きさに加工する工程。
e)工程dで得られた加工された錫膜を工程bで得られた半導体チップの電極
上に形成された金バンプ上に転写する工程。
f)工程eで得られた錫膜が転写された半導体チップの金バンプを工程aで形
成された配線基板の電極に接合する工程。
張率が15ppm/°C以上の転写プレートに真空蒸着法またはスパッタリング
法により形成されるものであって、その膜厚が1〜5μmであることを特徴とす
るものである。
成された金バンプの位置に合わせて予め決められた大きさへの加工は、エッチン
グ法により行うことを特徴とするものである。
は以下の条件で接合させる熱超音波接合法を用いることを特徴とするものである
。
a)この金バンプを錫膜に当接し、この金バンプの先端が直径20〜30μm
の範囲で潰れて錫膜と接触し、この金バンプの高さも40〜50μmに圧縮変形
させる1バンプ当たり0.1〜0.2Nの力で押圧すること。
b)転写プレートを150〜230°Cに加熱すること。
c)2μm〜5μmの超音波振幅を超音波ヘッドの全振幅量として加えること
。
を配線基板への接合は、接合部分が280〜350°Cに保持するように、この
半導体チップと配線基板を加熱し熱圧着して金錫共晶接合とすることを特徴とす
るものである。
音波振動を併用することを特徴とするものである。
上に錫を真空蒸着等により蒸着させて所定の厚さで錫膜を形成し、半導体チップ
のバンプの配置に合わせた位置と大きさにエッチング加工し、この所定の形状に
成形された錫膜を金バンプ上に接合させて転写プレートから剥離することで金バ
ンプ側に転写することとしたので、フリップチップ実装時に形成される金錫合金
量が必要十分となるから、接合信頼性の高い半導体チップのフリップチップ実装
方法を提供することが可能となる。
使用ができるので製造コストが低いフリップチップ実装方法を提供できる。
明する。
図1〜図7は、本発明になるフリップチップ実装方法の一実施の形態を模式的
に示す図である。
図1は半導体チップの電極上に金バンプを形成する過程を模式的に示す図、図
2はガラス板上に錫膜が形成されている状態を模式的に示す図、図3は図2の錫
膜を実装する半導体チップの電極パッド上に形成された金バンプに対応する位置
に所定の大きさで成形された加工後の錫膜を模式的に示す図である。
転写する過程の一過程を示す図、図5は図3で成形された錫膜を半導体チップの
電極上に形成された金バンプに転写された状態を模式的に示す図、図6は配線基
板に半導体チップを位置合わせして搭載しようとしているところを模式的に示す
図、図7は半導体チップを配線基板にフリップチップ実装後の接合部の様子を模
式的に拡大して示す図である。
て説明する。本実施の形態においては、直径25μmの金線を用いて金バンプを
形成した半導体チップを金メッキされたアルミナセラミック基板上に熱圧着共晶
接合法によってフリップチップ実装する場合を例として説明する。
図1(a)に示すように、金バンプ18の素材となる金線10が熱圧着または
超音波熱圧着式のワイヤボンディング装置(図示せず)におけるキャピラリー1
1に挿通され、その先端部がキャピラリー11の先端から突出される。この突出
部の長さは予め決められた長さとする。
金線30の突出端部に付勢されると、金線30の突出端部は加熱溶融し、表面張
力によってボール13を形成する。そして、図1(b)に示すようにボール13
は加熱溶融量の増大に伴って肥大化すると共に、次第にキャピラリー11の先端
面11aの方向に上昇していく。
に示されるように、ボール13が電極パッド上17に接触し、ボール13の球状
が若干上限に歪んだ球状となる。
ここで、ボール13をキャピラリー11の先端面11aによって押圧する。こ
の押圧によって、図8(d)に示されるように、ボール13は電極17の上でキ
ャピラリー17の先端面11aの形状にならった略半球状に形成される。また、
電極パッド17が加熱されたり、キャピラリー11に超音波エネルギーが付勢さ
れることにより、ボール13は電極パッド17に圧着されて固定された状態とな
る。
ピラリー11は金線10をフリーにした状態で電極パッド17から離れる方向に
上昇し、ボール13が電極パッド17に固定された金線10はキャピラリー11
から相対的に繰り出される。このときの金線10のキャピラリー11からの突出
部の長さは電極パッド13の表面から所定の長さになるように制御される。
ンパ(図示せず)が金線10を把持した状態で、キャピラリー11が上昇される
。このキャピラリ−11の上昇に伴って、金線10は図8(f)に示すように引
き千切られる。そして、電極パッド17上に固定されて残ったボール13によっ
て金バンプ18が形成される。以上の金バンプ形成方法が繰り返され、所定の数
の電極パッド13の上に金バンプ18が順次形成されて行く。この金バンプ18
はバンプ径が80〜90μmでバンプ高さが80〜90μmの鋲形状のものとな
る。
まず、錫膜を形成する転写プレート21を用意する。この転写プレートはその
上に形成される錫膜が後述する半導体チップの電極に形成された金バンプに転写
されるときに剥離しやすいような熱膨張率が15ppm/°C以上のガラス、無
機材料、金属または有機樹脂のベースプレートを用いる。例えば、鏡面研磨可能
なガラス(熱膨張率15ppm/°C以上)、ステンレススチール(SUS30
4、熱膨張率17ppm/°C)や銅系合金(熱膨張率15ppm/°C以上)
等の金属、そして150°C以上で接着性が低下する有機樹脂または接着剤に銅
箔を貼り付けたものである。ここで、熱膨張率を15ppm/°C以上とするの
は、後述する半導体チップを上昇させて転写プレートから離したときに、この転
写プレート上に形成された錫膜の小片が常温冷却時の熱応力によってこの転写プ
レートから容易に剥離することを可能とするためである。
レート上には錫膜形成の下地となる金属膜を形成しない。形成される錫膜が後述
する半導体チップの電極に形成された金バンプに転写されるときの剥離を容易に
するためである。
この転写プレート21上に公知の真空蒸着法またはスパッタリング法により錫
膜22を形成する(図2)。この錫膜の膜厚は1〜5μmとする。後述するフリ
ップチップ実装において半導体チップと配線基板を金錫共晶接合させるときに十
分な量であって、錫の供給量や錫膜を形成する時間が長くなりすぎないように配
慮するためである。
定の位置、大きさの小片への加工について説明する。なお、この錫膜の小片は直
径50〜80μmの円形状とする。半導体チップの電極上に形成された金バンプ
の大きさに合わせるためと所要量の錫を供給可能とするためである。
ずに完成した様子を模式的に図3に示す。図3において、22a,22aが加工
後の半導体チップの電極上の金バンプへの転写対象である錫膜の小片である。
まず、転写プレート21上に形成された錫膜22上にフォトレジストを塗布す
る。そしてこの塗布されたフォトレジストを乾燥させる。次に錫膜22から錫膜
の小片22a,22aとして残す部分を除いて遮光するように形成されたポジま
たはネガフィルムを通して乾燥させたフォトレジストを紫外線露光し、小片22
a,22aの上部にあたる部分のフォトレジストを硬化させる。そして、未硬化
のフォトレジストを除去する。
残存し、当該部分にマスキングが施される。ここで、エッチングを施すことによ
って、マスキングされていない部分の錫膜を除去する。最後にマスキングに使用
したフォトレジストを除去することで、錫膜の小片22a,22aができ上がる
(図3)。
上に形成された金バンプ18,18の接合について説明する。
この接合は、図示しない熱超音波接合装置を用いて実行する。すなわち、転写
プレート21上に形成された錫膜の小片22a,22aに位置合わせして半導体
チップ16を下降して搭載し、加圧、加熱し、かつ超音波振動を印加することで
接合する(図4)。接合が完了した段階で加熱、超音波振動を停止する。
まず、転写プレート21への半導体チップ16の押圧力について説明する。こ
の押圧力は金バンプ18,18の鋲形状の先端部が直径25〜30μmに潰れ、
かつ金バンプ18,18の高さも40〜50μmに圧縮変形させる程度であるバ
ンプ当たり0.1〜0.2Nとする。金バンプ18,18と錫膜の小片22a,
22aの接触が良好に行えるからである。
2aは転写プレート21を形成するガラスに弱く密着しているだけであるから、
水平方向の僅かな超音波振動で錫膜の小片22a,22aは転写プレート21か
ら剥離するからである。
錫膜の小片22a,22aを溶融させるほどの高温を加えるとこの小片22a
,22aは転写プレート21から剥離するが、高温加熱では酸化が進み、表面に
酸化膜ができてしまうので、この酸化膜が後述する最終目的である半導体チップ
16を配線基板31にフリップチップ実装するときの障害となるからである。
また、この加熱は半導体チップ17と転写プレート21の両方について温度上
昇をもたらすが、この場合でも両方が同じ温度になるか、あるいは熱膨張率の大
きな転写プレート21側をより高温になるようにするのがよい。錫膜の小片22
a,22aの剥離を容易にするためである。
,22aを接合させた後、加熱と超音波振動を停止させる。
そして所定の時間経過後半導体チップ16を上昇させる。このとき錫膜の小片
22a,22aは半導体チップ16の金バンプ18,18と一緒になって転写プ
レート21から剥離される(図5)。熱膨張率が15ppm/°C以上である転
写プレートを用いているので、加熱を停止することで常温に戻るときの熱応力が
大きいので剥離しやすいからである。
対応する電極パッド32,32が形成された配線基板31へのフリップチップ実
装について説明する。
このフリップチップ実装についても、図示しない熱圧着装置または熱超音波接
合装置を用いて実行する。すなわち、配線基板31上に形成された電極パッド3
2,32に位置合わせして(図6)、半導体チップ16を下降して搭載し、加圧
、加熱するか、超音波振動の印加を併用するかして接合する。接合が完了した段
階で加熱、超音波振動を停止する。
まず、配線基板31への半導体チップ16の押圧力について説明する。押圧力
は金バンプ18,18の高さが元の高さであった40〜50μmから少なくとも
さらに10μm圧縮変形させ30〜40μmに圧縮変形させるに足りるものが必
要である。配線基板31は転写プレート21と比べて表面の平面度が劣るからで
ある。そこで配線基板31に最大で10μmの凹凸が存在した場合でも金バンプ
18,18の全てが配線基板31の電極パッド32,32と確実に接触させる必
要があるからである。
温度が高すぎるとフリップチップ実装後の常温への冷却過程における在留スト
レスにより、接合信頼性が低下するので、この影響をできる限り少なくしつつ、
フリップチップ実装において金錫共晶を生成させるためである。
熱を停止する。
そして所定の時間経過後半導体チップ16への加圧を解除する。こうして半導
体チップ16が配線基板31にフリップチップ実装される(図7)。図7におい
て23,23が金錫共晶層である。
金錫共晶層が生成できる。
17 半導体チップの電極パッド
18 電極17上の金バンプ
21 転写プレート
22 錫膜
22a 加工後の錫膜の小片
31 配線基板
32 配線基板上の電極パッド
Claims (6)
- 次の各工程を具備することを特徴とするフリップチップ実装方法。
a)配線基板に電極を形成する工程。
b)半導体チップの電極上に金バンプを形成する工程。
c)転写プレート上に予め決められた膜厚の錫膜を形成する工程。
d)工程cで形成された錫膜を工程bで形成された金バンプの位置に合わせて
、予め決められた大きさに加工する工程。
e)工程dで得られた加工された錫膜を工程bで得られた半導体チップの電極
上に形成された金バンプ上に転写する工程。
f)工程eで得られた錫膜が転写された半導体チップの金バンプを工程aで形
成された配線基板の電極に接合する工程。 - 前記工程cで形成される錫膜は
熱膨張率が15ppm/°C以上の転写プレートに真空蒸着法またはスパッタ
リング法により形成されるものであって、その膜厚が1〜5μmであることを特
徴とする請求項1記載のフリップチップ実装方法。 - 前記工程dで錫膜を半導体チップに形成された金バンプの位置に合わせて予め
決められた大きさへの加工は、エッチング法により行うことを特徴とする請求項
1記載のフリップチップ実装方法。 - 前記工程eで錫膜の金バンプへの転写は以下の条件で接合させる熱超音波接合
法を用いることを特徴とする請求項1記載のフリップチップ実装方法。
a)この金バンプを錫膜に当接し、この金バンプの先端が直径20〜30μm
の範囲で潰れて錫膜と接触し、この金バンプの高さも40〜50μmに圧縮変形
させる1バンプ当たり0.1〜0.2Nの力で押圧すること。
b)転写プレートを150〜230°Cに加熱すること。
c)2μm〜5μmの超音波振幅を超音波ヘッドの全振幅量として加えること
。 - 前記工程fで半導体チップの金バンプを配線基板への接合は、
接合部分が280〜350°Cに保持するように、この半導体チップと配線基
板を加熱し熱圧着して金錫共晶接合とすることを特徴とする請求項1記載のフリ
ップチップ実装方法。 - 請求項5において、
熱圧着に超音波振動を併用することを特徴とする請求項1記載のフリップチッ
プ実装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005127261A JP4214127B2 (ja) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | フリップチップ実装方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015050250A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 富士通株式会社 | 半導体装置、電子装置、及び半導体装置の製造方法 |
-
2005
- 2005-04-26 JP JP2005127261A patent/JP4214127B2/ja active Active
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JP2015050250A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 富士通株式会社 | 半導体装置、電子装置、及び半導体装置の製造方法 |
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