JP2006303474A - ヘテロ接合バイポーラトランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 Al、Ga、In、As、P及びSbからなる群より選ばれた元素からなるIII−V族化合物半導体材料が、GaAs基板1上にメタモルフィック成長して少なくともエミッタ層6、ベース層5及びコレクタ層4を形成してなるヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、
ベース層5がGaAs1-xSbxからなり
(但し、xは、前記GaAs基板に格子整合する組成(x=0)とInP基板に格 子整合する組成(x=0.52)を含まない0<x<0.52である。)、
エミッタ層6及び前記コレクタ層4がそれぞれ、(AlGa)1-yInyPからなる
(但し、0.5<y<1である。)
ことを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBT)10。
【選択図】 図1
Description
IEEE Transactions on Electron Devices, vol.48,No.11 (2001) ,pp.2631-2639 2004年 秋季 第65回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 3a-ZS-9小田ら
前記ベース層がGaAs1-xSbxからなり
(但し、xは、前記GaAs基板に格子整合する組成(x=0)とInP基板に格 子整合する組成(x=0.52)を含まない0<x<0.52である。)、
前記エミッタ層及び前記コレクタ層がそれぞれ、(AlGa)1-yInyPからなる
(但し、0.5<y<1である。)
ことを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBT)(以下、本発明の第1のHBTと称する。)に係るものである。
前記ベース層がGaAs1-xSbxからなり
〔但し、xは、前記GaAs基板に格子整合する組成(x=0)とInyGa1-yP (但し、0<y<1)に格子整合する組成x0に対し、0<x≦x0である。〕、
前記エミッタ層及び前記コレクタ層がそれぞれ、InyGa1-yPzAs1-zからなる
(但し、0.5<y≦y0、0≦z≦1であり、y0は、z=1においてGaAsS bに格子整合するIn組成である。)
ことを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBT)(以下、本発明の第2のHBTと称する。)も提供するものである。
(1)特殊な構造を採用しないで、各層間での伝導帯に不連続(オフセット)のない構 造を実現することが可能であり、キャリア注入効率を高め、高特性で再現性良く作製可 能な素子を提供できる。
(1)特殊な構造を採用しないで、各層間での伝導帯に不連続(オフセット)のない構 造を実現することが可能であり、キャリア注入効率を高め、高特性で再現性良く作製可 能な素子を提供できる。
<メタモルフィックHBTの構造例>
図1は、本発明の第1のHBTに基づく本実施の形態によるメタモルフィックHBTの構造例10を概略的に示すものである。
n+InGaAs系サブコレクタ層3→nAlGaInP系コレクタ層4→p+GaAsSb系ベース層5→
nAlGaInP系エミッタ層6→nInGaAs系エミッタキャップ層7
図2について、本実施の形態によるメタモルフィックHBT10のエネルギーバンドを説明する。
また、ベース層5とコレクタ層4との界面に熱抵抗の高い4元系構造を有しないため、発熱による素子特性悪化が小さい。また、ベース層5自体も、Sb組成がx<0.52、更にはx≦0.5であるため、熱抵抗が小さくなる。
図3には、図1に概略的に示したメタモルフィックHBT10の具体的な構造例(これは、後記の図4に示す例も同様)を示す。
<メタモルフィックHBTの構造例>
図4は、本発明の第2のHBTに基づく本実施の形態によるメタモルフィックHBTの構造例20を概略的に示すものである。
n+InGaAs系サブコレクタ層13→nInGaP系コレクタ層14→p+GaAsSb系ベース層15 →nInGaP系エミッタ層16→nInGaAs系エミッタキャップ層17
本実施の形態によるメタモルフィックHBT20のエネルギーバンドは、図2で説明したものと同様である。
本実施の形態では、InGaP(As)系エミッタ層16/GaAsSb系ベース層15/InGaP(As)系コレクタ層14構造の組み合せであるため、全層に亘ってGaが存在することにより、図6(B)に示すように、各層を成長させる際の成長シーケンスが簡便になる(Gaを常に供給できる)とともに、Gaの拡散が起こりにくくなる。特に、Gaを含むIII族原料がInのみであり、その供給時のシャッターシーケンスが一層簡単となる。
ベース層15自体のSb組成が0<x≦x0であるため、熱抵抗が小さくなる。
2、12…InAlAs系メタモルフィックバッファ層、
3、13…n+InGaAs系サブコレクタ層、
4…nAlGaInP系((AlGa)1-yInyP,0.5<y<1)コレクタ層、
5…p+GaAsSb系(GaAs1-xSbx,0<x<0.52)ベース層、
6…nAlGaInP系((AlGa)1-yInyP,0.5<y<1)エミッタ層、
7、17…n+InGaAs系エミッタキャップ層、8…エミッタ電極、
9…ベース電極、10、20…ヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBT)、
11…コレクタ電極、
14…nInGaP系(InyGa1-yPzAs1-z,0.5<y≦y0,0≦z≦1)コレクタ層、
15…p+GaAsSb系(GaAs1-xSbx,0<x≦x0)ベース層、
16…nInGaP系(InyGa1-yPzAs1-z,0.5<y≦y0,0≦z≦1)エミッタ層
Claims (6)
- Al、Ga、In、As、P及びSbからなる群より選ばれた元素からなるIII−V族化合物半導体材料が、GaAs基板上にメタモルフィック成長して少なくともエミッタ層、ベース層及びコレクタ層を形成してなるヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、
前記ベース層がGaAs1-xSbxからなり
(但し、0<x<0.52)、
前記エミッタ層及び前記コレクタ層がそれぞれ、(AlGa)1-yInyPからなる
(但し、0.5<y<1)
ことを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - Al、Ga、In、As、P及びSbからなる群より選ばれた元素からなるIII−V族化合物半導体材料が、GaAs基板上にメタモルフィック成長して少なくともエミッタ層、ベース層及びコレクタ層を形成してなるヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、
前記ベース層がGaAs1-xSbxからなり
〔但し、xは、InyGa1-yP(但し、0<y<1)に格子整合する組成x0に対 し、0<x≦x0〕、
前記エミッタ層及び前記コレクタ層がそれぞれ、InyGa1-yPzAs1-zからなる
(但し、0.5<y≦y0、0≦z≦1であり、y0は、z=1においてGaAsS bに格子整合するIn組成である。)
ことを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - 前記エミッタ層と前記ベース層との接合域における各伝導帯間、及び前記ベース層と前記コレクタ層との接合域における各伝導帯間にそれぞれ、エネルギー障壁が存在しない、請求項1又は2に記載したヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記エミッタ層と前記ベース層との接合域における各伝導帯のエネルギーレベル、及び前記ベース層と前記コレクタ層との接合域における各伝導帯のエネルギーレベルがそれぞれ、互いに一致している(或いは、各伝導帯のエネルギーレベル間にオフセットがない)、請求項3に記載したヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記GaAs基板上に成長したメタモルフィックバッファ層上に、InGaAs系のサブコレクタ層、前記コレクタ層、前記ベース層、前記エミッタ層及びInGaAs系のエミッタキャップ層がこの順に成長してなる、請求項1又は2に記載したヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記メタモルフィックバッファ層がInAlAs系、InGaP系、AlGaAsSb系又はInP系からなる、請求項5に記載したヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
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