JP5739357B2 - ヘテロ接合バイポーラトランジスタ - Google Patents
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Description
このようなSbが混入したInP層は、再結合中心密度の増大や、バンド構造の変化などが起こりやすい。また、ヘテロ接合バイポーラトランジスタに限定されない素子構造を作製する際、InP中に存在するSbが原因で所望のエッチング特性が得られない場合がある。
例えば、ウェットエッチングにより所望の素子構造を作製する際、Sbを含む層はエッチングされずInPを含む層のみをエッチングするエッチング溶液を用いて選択的にエッチングすることでデバイス構造を作製する手法が、すでに公知の事実として広く用いられているが、Pを含む層にSbが混入していると、Pを含む層に対する所望のエッチング特性が得られず、場合によってはエッチング残存物がSbを含む層上に残ってしまい、所望の特性が得られないことがある。
例えば、ヘテロ接合バイポーラトランジスタの場合、エミッタ層としてPを含む層、ベース層としてSbを含む層を例えば用いたとき、上記のような現象により、ベース層の見かけの高抵抗化、エミッタ層・ベース層の再結合中心密度増大に伴う電流利得特性の悪化などが起こりうる。このような現象は、材料固有の特性に起因する部分が大きいため、結晶成長方法をほとんど限定することなく、例えばMOVPE法であってもMBE法であっても、同様に起こりうる。(非特許文献4参照)
Claims (5)
- InPからなる基板と、
前記基板の上に形成されたコレクタ層と、
前記コレクタ層の上に形成されてGa,As,およびSbから構成された化合物半導体からなるベース層と、
前記ベース層の上に接して形成されてGaAs,InGaAs,AlGaAsのなかより選択された化合物半導体から構成されたスペーサ層と、
前記スペーサ層の上に接して形成されてInおよびPから構成された化合物半導体からなるエミッタ層と
を少なくとも備え、
前記スペーサ層は、前記ベース層の伝導帯端のエネルギー準位よりも低く、前記エミッタ層の伝導帯端よりも高い伝導帯端のエネルギー準位を有し、前記ベース層の価電子帯端のエネルギー準位よりも低く、前記エミッタ層の価電子帯端よりも高い価電子帯端のエネルギー準位を有した状態で、前記ベース層および前記エミッタ層に接して形成されているとともに前記ベース層に擬似格子整合して形成されている
ことを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - 請求項1記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、
前記スペーサ層の層厚は、0.25〜10nmの範囲とされていることを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - 請求項1または2記載のバイポーラトランジスタにおいて、
前記ベース層は、GaAsSb,InGaAsSb,AlGaAsSb,InAlGaAsSbのなかより選択された化合物半導体から構成されていることを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のバイポーラトランジスタにおいて、
前記エミッタ層は、InP,InAlP,InGaP,InAlGaP,InAlAs,InGaAlAs,InAlAsPのなかより選択された化合物半導体から構成されていることを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - 請求項1または2記載のバイポーラトランジスタにおいて、
前記ベース層は、InPからなる前記基板に擬似格子整合しており、InxGa1-x-zAlzAs1-ySby=[(In0.53Ga0.47As)a(GaAs0.51Sb0.49)1-a]m[(AlAs0.55Sb0.45)b(GaAs0.51Sb0.49)1-b]1-m、(0≦a、b、m≦1)の式であらわされるInxGa1-x-zAlzAs1-ySby(0≦x、y、z≦1)に対してIn、Ga、Al、As、およびSbの組成が各々±10%の範囲とされ、
前記スペーサ層がGaAs、InGaAs、およびAlGaAsのいずれかによって構成され、
前記スペーサ層の層厚が1〜3nmの範囲に形成されている
ことを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
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