JP2006289523A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 円環状のパッド貼着面と、該貼着面に貼着された円環状の研磨パッドとを有し、キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤、
   上記キャリヤを駆動するためのサンギヤ及びインターナルギヤ、
   円柱形をしたローラ本体と、該ローラ本体を回転自在に支持するローラ軸とからなっていて、アクチュエータで駆動される支持機構を介して装置本体に取り付けられ、該支持機構を上記アクチュエータで駆動することにより、上記ローラ本体が上下の定盤間に半径方向に介在した状態でこれら両定盤の回転に追随して従動回転しながら研磨パッドを加圧するパッド貼着位置と、上下の定盤から離れた収納位置との間を変位する加圧ローラ、
   を有することを特徴とする研磨パッド用加圧ローラを備えた両面研磨装置。
2. 上記ローラ軸の基端部が、上記支持機構によって昇降自在かつ旋回自在なるように支持され、該ローラ軸の先端部に、上記パッド貼着位置において装置本体の係止受部に係止する係止部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の両面研磨装置。
3. 上記加圧ローラのローラ本体が、上記パッド貼着面の幅と同等以上の長さを有していて、該パッド貼着面上の研磨パッドに全幅にわたり当接するように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の両面研磨装置。
4. 上記加圧ローラのローラ本体が、上記パッド貼着面の幅より短い長さを有していて、該パッド貼着面上の研磨パッドに部分的に当接し、上下の定盤の回転に追随して従動回転しながら該定盤の半径方向に移動するように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の両面研磨装置。