JP4307411B2 - 研磨パッド貼り付け方法及びワークの製造方法 - Google Patents
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Description
このように、両面テープに複数の貫通穴を開けた後に、上下の研磨定盤に研磨パッドを貼り付ければ、圧着の際にエアーが貫通穴から効率的に抜けるので、より好適にエアーだまりの残留を防止できる。
このように、互いに等角度に配置した複数のローラーを用いれば、研磨定盤全面に均等に荷重をかけることができ、偏荷重による定盤変形を確実に抑制することができる。
このように、上研磨定盤と下研磨定盤とを反対方向に回転させれば、効率的に、ムラなくエアーを抜きながら研磨パッドを圧着できる。
このように、両面研磨機にローラーを保持する溝を設けたキャリアを取り付け、該キャリアの保持溝にローラーを保持して回転させれば、ローラーが常に適切な位置を保ったまま回転するので、より確実にエアーが抜け、エアーだまりの残留を防止できる。
このように、上記のいずれかの方法により上下の研磨定盤に研磨パッドを貼り付け、従来と同様にワークを研磨すれば、平坦度が高く、外周ダレのないワークを製造できる。
そして、本発明に従う方法でワークを研磨すれば、平坦度が高く、外周ダレのないワークを製造できる。
前述のように、従来の研磨パッドの貼り付け方法では、研磨パッドの圧着に作業時間がかかるうえに、研磨定盤と研磨パッドの間にエアーだまりが残留し、このような研磨パッドでウエーハの両面研磨を行った場合にはウエーハの平坦度が劣化し、また外周ダレが発生していた。
図1は、本発明に従う研磨パッド貼り付け方法を説明するための概略説明図である。
まず、両面研磨装置の上下の研磨定盤1,2に研磨パッド3を両面テープ4を介して貼り付ける(図1(a))。この両面研磨装置は特に限定されないが、例えば特許第3613345号公報に開示されたものを用いることもできる。
また、複数のローラーを用い、これらを互いに等角度に配置してもよい。例えばローラーを3本用い、これらを120°の等角度で配置することができる。
また、前述のように互いに等角度に配置した複数のローラーを用いれば、定盤全面に均等に荷重をかけることができ、偏荷重による定盤変形等の問題を確実に抑制することができる。
キャリアを使用する際には、例えば上下の定盤に研磨パッドを貼り付けた後、キャリアを下研磨定盤の上方に取り付ける。そして、取り付けたキャリアの保持溝の中にローラーをセットする。キャリアの取り付けは、例えば従来のワーク保持用キャリアを取り付けるためのキャリアホルダ9を利用して行うことができる。図3はキャリアを使用した状態の一例を示す概略図である。
(実施例1〜9、比較例1〜2)
まず、両面テープ付き研磨パッドを用意し、前述の方法で穴あけ冶具により両面テープに多数の貫通穴を開けた。次に、従来の両面研磨機の上下の研磨定盤に研磨パッドを両面テープを介して貼り付けた。次に、図2のようなキャリアを両面研磨機に取り付け、その保持溝に直径15mm、長さ465mmのローラーを3本セットした。次に、上研磨定盤を降下してローラーを上下の研磨定盤の間に挟み、上下の研磨定盤を1rpmの回転速度で反対方向に回転させてローラーを回転させ、研磨パッドを同時に圧着した。この作業は20分間で終了した。このようにして研磨パッドを貼り付けた両面研磨機を用いて直径300mmのシリコンウエーハを8バッチ(40枚)両面研磨した(実施例1〜8)。
また、両面テープに貫通穴を開けない以外は実施例1〜8と同様の方法で研磨パッドの貼り付け、圧着を行い、このようにして研磨パッドを貼り付けた両面研磨機を用いて直径300mmのシリコンウエーハを1バッチ(5枚)両面研磨した(実施例9)。
5…貫通穴、 6…ローラー、 7…キャリア、 8…保持溝、
9…キャリアホルダ。
Claims (5)
- 上研磨定盤と下研磨定盤の各々に研磨パッドを貼り付け、前記上下の研磨定盤でワークを挟み、研磨剤を供給しつつ前記研磨パッドに摺接して研磨する両面研磨機の研磨パッド貼り付け方法において、前記上下の研磨定盤に前記研磨パッドを両面テープを介して貼り付けた後に、ローラーを前記上下の研磨定盤の間に挟み、前記上研磨定盤と下研磨定盤とを反対方向に回転させて前記ローラーを回転させることにより、前記上下の定盤に貼り付けた研磨パッドを同時に圧着することを特徴とする研磨パッド貼り付け方法。
- 請求項1に記載の研磨パッド貼り付け方法において、前記両面テープに複数の貫通穴を開けた後に、前記上下の研磨定盤に前記研磨パッドを貼り付けることを特徴とする研磨パッド貼り付け方法。
- 請求項1又は請求項2に記載の研磨パッド貼り付け方法において、互いに等角度に配置した複数のローラーを用いることを特徴とする研磨パッド貼り付け方法。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の研磨パッド貼り付け方法において、前記両面研磨機に前記ローラーを保持する溝を設けたキャリアを取り付け、該キャリアの保持溝に前記ローラーを保持して回転させることを特徴とする研磨パッド貼り付け方法。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の方法により上下の研磨定盤に研磨パッドを貼り付け、前記上下の研磨定盤でワークを挟み、研磨剤を供給しつつ前記研磨パッドに摺接して研磨することを特徴とするワークの製造方法。
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