JP2011524820A5 - - Google Patents
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- ボウル、回転する駆動板及び駆動板駆動部を有する基部であって、前記駆動板がプラテンを支持するようになっている前記基部と、
試料ホルダを支持するように構成されると共に前記試料ホルダを回転駆動する第１の駆動部を有するヘッドであって、前記プラテンに対して前記ヘッドと前記試料ホルダを接近・離反移動させる第２の駆動部を有すると共に、前記第１の駆動部に作動連結されたロードセルと、前記プラテンに接近・離反する前記ヘッドの移動とその移動範囲を決定するように構成されたカウンタとを有するヘッドと、
制御システムとを具備する、改良された研削／研磨装置。 - ボウル、回転する駆動板及び駆動板駆動部を有する基部であって、前記駆動板がプラテンを支持するようになっている前記基部と、
試料ホルダを支持するように構成されると共に前記試料ホルダを回転駆動する第１の駆動部を有するヘッドであって、前記プラテンに対して前記試料ホルダを接近・離反移動させる第２の駆動部を有すると共に、その一部分が前記試料ホルダと共に回転可能なヘッドと、
前記試料ホルダと共に回転可能な前記ヘッド部分の中から伸びたり、同ヘッド部分に格納可能なフィンガであって、前記試料ホルダ内に位置する試料と接触して、該試料に圧力を付与し、以て前記試料と前記プラテンを係合させるように構成された前記フィンガとを具備する、改良された研削／研磨装置。 - ボウル、回転する駆動板及び駆動板駆動部を有する基部であって、外周が円形に形成され前記ボウル内に存在するプラテンを前記駆動板が支持する基部と、
試料ホルダを支持するように構成されると共に、前記試料ホルダを回転駆動する第１の駆動部と、前記プラテンに対して前記試料ホルダを接近・離反移動させる第２の駆動部とを有するヘッドと、
前記ボウル内に適合するための交換可能なボウルライナであって、前記ボウルと共に略Ｄ字形状を有する前記ボウルライナとを具備し、
前記プラテンの外周と前記ボウルライナとの間には、前記プラテンに対するハンド・アクセスのための空間が形成される、改良された研削／研磨装置。 - ボウル、回転する駆動板及び駆動板駆動部を有する基部であって、前記駆動板がプラテンを支持するようになっている基部と、
試料ホルダを支持するように構成されると共に前記試料ホルダを回転駆動する第１の駆動部を有するヘッドであって、前記プラテンに対して前記試料ホルダを接近・離反移動させる第２の駆動部を有するヘッドと、
前記ヘッド内に配置される照明とを具備する、改良された研削／研磨装置。
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