JP2006287166A - 半導体素子保持装置、半導体素子の剥離方法および表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】粉塵の発生が少ない半導体素子保持装置、半導体素子の剥離方法および表示装置を提供すること。
【解決手段】透光性を有する基板(10)上に剥離層(12)を介して積層された薄膜半導体素子(14)を剥離層から剥離する方法に関し、基板を通して薄膜素子下の剥離層の一部にレーザ光(20)を照射して剥離層(12)の一部を溶融液化し、次いでレーザ光の照射を停止し、その後、剥離層(12)の他の一部へのレーザ光の照射による剥離層の他の一部の液化及びレーザ光の照射の停止を繰り返す。
【選択図】図1
【解決手段】透光性を有する基板(10)上に剥離層(12)を介して積層された薄膜半導体素子(14)を剥離層から剥離する方法に関し、基板を通して薄膜素子下の剥離層の一部にレーザ光(20)を照射して剥離層(12)の一部を溶融液化し、次いでレーザ光の照射を停止し、その後、剥離層(12)の他の一部へのレーザ光の照射による剥離層の他の一部の液化及びレーザ光の照射の停止を繰り返す。
【選択図】図1
Description
本発明は、着脱可能に保持された半導体素子保持装置、基板上に剥離層を介して設けられた半導体素子を前記剥離層から剥離する方法および表示装置に関する。
MOSトランジスタ、FETトランジスタ、薄膜トランジスタなどの半導体素子を一次保管したり、回路基板や画像表示装置の回路にマウントしたりするために、上記半導体素子は基板上に設けられた剥離層に取着されて保持される。多数の半導体素子は、剥離層の予め定められた位置に各々位置決めされて保持される。
液晶表示装置の表示パネルには、支持基板に薄膜半導体素子、半導体素子、これらを電気的に接続する配線等が設けられている。このような表示パネルの製造は、複雑な製造工程を経て完成される前記薄膜半導体素子を前記配線等とは別個に製造した後、前記薄膜半導体素子を前記支持基板上に配置(転写)して配線し表示パネルを製造する行程が行われている。
液晶表示装置の表示パネルには、支持基板に薄膜半導体素子、半導体素子、これらを電気的に接続する配線等が設けられている。このような表示パネルの製造は、複雑な製造工程を経て完成される前記薄膜半導体素子を前記配線等とは別個に製造した後、前記薄膜半導体素子を前記支持基板上に配置(転写)して配線し表示パネルを製造する行程が行われている。
前記薄膜半導体素子の転写は、透光性を有する基板上に剥離層を介して積層された多数の薄膜素子を前記剥離層から個々に分離(剥離)した後、これを被転写対象である表示パネルの前記支持基板上に接合することにより行われる。
従来、前記剥離層からの薄膜半導体素子の剥離は、前記薄膜半導体素子下の剥離層の一部に前記基板を通してレーザ光を照射し、これにより前記剥離層内、又は前記剥離層と前記薄膜素子との間の界面にレーザアブレーションを生じさせて剥離することが行われている(特許文献1参照)。
特開2003−298029号公報
しかし、前記レーザアブレーションを利用した薄膜半導体素子の剥離工程は、前記剥離層からのアブレーションによる粉塵の発生を余儀なくされる。また、前記剥離層をレーザアブレーションさせるためのレーザ照射量の制御が比較的困難であるという問題がある。
本発明の目的は、剥離工程時の粉塵の発生が少ない半導体素子保持装置、半導体素子の剥離方法および表示装置を提供することにある。また、本発明の他の目的は比較的剥離制御が容易である半導体素子の剥離方法を提供することにある。
本発明は半導体素子保持装置に係り、基板上に剥離層を介して複数の半導体素子が保持された半導体素子保持装置であって、前記剥離層は熱エネルギーが付与されたとき体積が変化する材料からなることを特徴とする。前記剥離層は例えばアモルファスシリコン、不純物を含むアモルファスシリコン、ポリシリコンおよび不純物を含むポリシリコンの少なくとも一つの層からなる。
本発明は、また、基板上に剥離層を介して設けられた半導体素子を前記剥離層から剥離する方法であって、前記剥離層に熱エネルギーを付与することにより前記剥離層の体積を変化させて前記半導体素子を剥離することを特徴とする。前記熱エネルギーの付与は、レーザ光の照射により行うことができる。
本発明は、さらに、透光性を有する基板上に剥離層を介して積層された半導体素子を前記剥離層から剥離する方法であって、前記基板を通して前記半導体素子下の剥離層の少なくとも一部にレーザ光を照射することにより前記剥離層の一部を液化する工程と、前記レーザ光の照射を停止後液化された領域に接する前記半導体素子を剥離する工程とを具備してなることを特徴とする。前記半導体素子は例えば薄膜トランジスタ又はMOSトタンジスタからなる。また、前記剥離層は、例えばアモルファスシリコン、不純物を含むアモルファスシリコン、ポリシリコンおよび不純物を含むポリシリコンの少なくとも一つの層からなる。
本発明は、さらに、表示パネルに表示部と、表示駆動するスイッチング回路及び周辺の信号処理回路、画像メモリ回路、駆動電力回路などが一体に構成された表示装置であって、前記表示部のスイッチング回路及び周辺の信号処理回路、画像メモリ回路、駆動電力回路の少なくとも一部の回路は、ガラス基板上に直接形成されたTFTトランジスタにより構成された回路であり、他の回路は熱エネルギーが付与されたとき体積が変化する材料により形成された剥離層に取着された半導体素子から前記剥離層の体積を変化させて取り出した半導体素子が集積化された回路であることを特徴とする。
本発明によれば、剥離工程時の粉塵の発生を少なくすることができる。
次に、本発明の実施形態を図1を参照して説明する。図1には、基板に1個の薄膜半導体素子例えば薄膜トランジスタが保持された状態を説明するための実施例が示されている。
基板例えば石英基板のような透光性を有する基板10と、この基板10上に積層された、図示の例ではシリコンからなる剥離層12とが設けられて半導体素子保持装置15が構成されている。剥離層12上には、薄膜トランジスタのような薄膜半導体素子14等が形成されている。
図示の例では、剥離層12と薄膜半導体素子14とが、それぞれ、二酸化シリコンからなるアンダーコート16,17を介して基板10及び剥離層12上に積層されている。換言すれば、剥離層12の表裏面には、二酸化シリコンからなるアンダーコート16,17が成膜されている。
基板10上に形成されるアンダーコート層17例えば二酸化シリコン層は、例えばプラズマCVDにより成膜される。二酸化シリコン層上に形成される剥離層12は、例えばアモルファスシリコン層が例えばプラズマCVDにより成膜される。アモルファスシリコン層上に形成されるアンダーコート層16例えば二酸化シリコン層は、例えばプラズマCVDにより成膜される。
次に、アンダーコート層16上に形成される薄膜半導体素子例えば薄膜トランジスタ14の製造方法および構成を説明する。アンダーコート層16である二酸化シリコン層上には、非単結晶半導体膜例えばアモルファスシリコン層が例えばプラズマCVDにより膜厚30〜500μm例えば100μmに成膜される。このアモルファスシリコン層は、位相シフタを用いたレーザ結晶化法により1又は数個の薄膜トランジスタが形成できる大きさに結晶化工程が行なわれる。
結晶化されたアモルファスシリコン層30上には、ゲート絶縁膜31が例えばプラズマCVD法により成膜される。ゲート絶縁膜31は、例えば2層構造からなり、アモルファスシリコン層30の結晶化された表面上には、熱酸化膜が形成され、この熱酸化膜上には二酸化シリコン層が成膜された2層構造である。
ゲート絶縁膜31上には、ゲート電極32が形成されている。このゲート電極32をマスクとしてアモルファスシリコン層30には、ソース・ドレイン領域33、34を形成するための不純物がイオン注入される。ソース・ドレイン領域33、34には、ソース・ドレイン電極35、36が形成されて、剥離層12上に薄膜トランジスタ14が製造される。
剥離層12は、熱エネルギーが付与されたとき体積が変化する材料により構成されている。熱エネルギー付与手段としては、例えばレーザ光の照射がある。熱エネルギーが付与されたとき体積が変化する材料としては、シリコン、不純物が混入されたシリコンなどがある。熱エネルギーが付与されたとき体積が変化するとは、例えば剥離層12の被照射領域が溶融して液体になることである。したがって、熱エネルギーの強度は、被照射領域が溶融して液状に変化する強度であり、それ以上の強度になるとアブレーションが発生する。このアブレーションの発生する強度は、除く強度である。
次に、図1乃至図3を参照して薄膜トランジスタの剥離方法の実施形態を説明する。図1と同一部分には、同一符号を付与し詳細な説明は、重複するので省略する。本発明の適用により、剥離層12から薄膜半導体素子14を剥離することができる。
薄膜半導体素子14を剥離するために、先ず、基板10を通して薄膜半導体素子14下の剥離層12の一部18に熱エネルギー例えばレーザ光である、エキシマレーザ光源からレーザ光20を照射する。レーザ光20の照射時間は、例えば20〜30ナノ秒である。図1〜3には、レーザ光20のビーム幅が、剥離層12の一部18であり2つの一点鎖線間に示されている。
レーザ光20に照射された剥離層の一部18は溶融し、液化する(図2)。
剥離層の一部18が液化した一部22になると、その一部22の体積が減少し、空隙37が発生する。この体積変化は、剥離層12の融点近傍において最も大きいことが、図4に示されている。
図4から明らかなように、シリコンの融点近傍(約1400℃)における体積変化は非常に大きく、約0.1cm3/gである。特に、ラインビームによる場合のように、照射面積が全体の面積(薄膜素子14下の面積)と比較して小さいときには、前記体積変化が特に顕著にあらわれる。
ところで、前記シリコンからなる剥離層12の一部18の溶融のためには、該一部の温度を前記シリコンの融点にまで上げ、これを固相から液相に変化させるための潜熱を加える必要があるところ、前記シリコンの溶融のために投入すべきレーザフルエンスは薄膜半導体素子(例えばポリシリコン薄膜トランジスタpoly-SiTFT)14の製造工程における最高プロセス温度の値、したがって前記製造工程中にこの最高プロセス温度下に置かれる剥離層12の結晶化率によって異なる。前記結晶化率が低いと前記潜熱は低く、逆に前記結晶化率が高いと前記潜熱は高い。このため、前記投入すべきレーザフルエンスは、前記最高プロセス温度における剥離層例えばシリコンの結晶化率によって定まる。
前記結晶化率と前記シリコンからなる剥離層12の溶融に必要な熱量との関係の一例は、図5に示す通りである。この関係は、前記シリコンの比熱を0.7J/℃・g、潜熱を1200J/g(結晶)及び0J/g(アモルファス)を前提とした計算値である。
また、前記最高プロセス温度と前記結晶化率との関係を図6に示す。図6に示す結晶化率の値は、本発明の前記適用対象を各最高プロセス温度にてアニール処理を行った後、ラマン分光測定により見積もったものである。
その後、レーザ光20の照射を停止する。この結果、剥離層12の液化された一部22は再び固化する(図3)。再固化した一部24は、その結晶性の高まりのため、はじめの一部18と比べてその体積が増大する。体積増大分は、一部24が、薄膜素子14と一体をなすアンダーコート16中に盛り上がることにより吸収される。
このとき、剥離層12の体積が増大して変化した一部24と薄膜素子14の一部との間、より詳細には剥離層12の一部24とアンダーコート16の一部との間で、分子レベル又は原子レベルでの剥離が生じる。その結果、これらの一部分相互間の密着性が低下する。
図7に、本発明の適用対象(基板0.5mm、各アンダーコート300nm及び剥離層100nmの厚さ寸法を有する。)にXeClエキシマレーザ光を20〜30ナノ秒間照射したときの前記最高プロセス温度と前記投入フルエンスとの関係を示す。
前記レーザフルエンスは、剥離層12にフッ素や塩素のようなハロゲンのような不純物を添加することにより、低下させることができ、また、シリコンプロセスで通常用いられるボロンなどの不純物を添加することでも、低下させることができる。
前記した剥離層12へのレーザ光20の照射による剥離層12の一部18の溶融又は液化、及びレーザ光20の照射停止の一連の操作を、剥離層12の他の部分について適用する。これにより、薄膜素子14下の全面にわたって該薄膜素子と剥離層12との間にミクロ的な剥離を生じさせることができる。その結果、薄膜素子14をそのアンダーコート16と共に、剥離層12から、容易に、物理的に引きはがし、分離することができる。
分離された後の薄膜半導体素子は、表示装置例えばアクティブマトリックス型液晶表示装置のような半導体装置の表示パネルの支持基板への転写に供することができる。
本発明によれば、前記基板を通してのレーザ光の照射による前記薄膜素子下の剥離層の一部の一時的な液化に伴い、該一部の体積が一旦減少し、これが再び固化するとき、結晶性の高まりのために増大する。この体積増大のため、前記薄膜素子と前記剥離層との間の密着性が弱められる。したがって、前記剥離層の他の一部についての前記レーザ光照射による一時的液化及び再固化を繰り返すことにより、前記薄膜素子下のほぼ全面にわたる前記密着性の弱化を図ることができ、これにより前記薄膜素子の剥離又分離を可能とすることができる。本発明にあっては、前記剥離層の液化には従来のレーザアブレーションにおけるような粉塵の発生はない。また、前記液化のためのレーザの制御は比較的容易である。
本発明における前記薄膜素子の一例として薄膜トランジスタがあり、また前記剥離層を構成するシリコンの一例としてアモルファスシリコンやポリシリコンがある。前記剥離層が不純物を含むものであるときは、前記剥離層の融点が低下するため、前記剥離層の溶融のために投入すべきフルエンスをより低くすることができる。
次に、この実施形態を、図8を参照して説明する。図8は、液晶表示装置の表示パネル41のガラス基板42上に直接形成したTFTと、剥離層12から剥離してマウンティングされたTFTと、剥離層12から剥離してマウンティングされたMOSトランジスタとが設けられている。
ガラス基板42上に直接形成されるTFTとしては、例えば各画素位置に設けられるスイッチング回路43がある。ガラス基板42上にマウンティングされるTFT15としては、例えば表示位置をX方向に切り替える駆動回路44、表示位置をY方向に切り替える駆動回路45などがある。ガラス基板42上にマウンティングされる半導体素子としては、例えば周辺回路の信号処理回路46、画像メモリ回路47、制御回路48などがある。
ガラス基板42上にマウンティングされる素子は、剥離層12から各素子を剥離してガラス基板42上の予め定められた位置に位置合せして取着される。マウンティングされる半導体素子44〜48は、ガラス基板42上に直接形成された半導体素子よりオフ時のリーク電流が少なく、特性のバラツキや閾値電圧の変動が小さいためマウンティングにより形成される。
10 基板
12 剥離層
14 薄膜素子
16,17 アンダーコート
18 剥離層の一部
22 剥離層の液化された一部
24 剥離層の液化後に固化した一部
12 剥離層
14 薄膜素子
16,17 アンダーコート
18 剥離層の一部
22 剥離層の液化された一部
24 剥離層の液化後に固化した一部
Claims (8)
- 基板上に剥離層を介して複数の半導体素子が保持された半導体素子保持装置であって、
前記剥離層は熱エネルギーが付与されたとき体積が変化する材料からなること
を特徴とする半導体素子保持装置。 - 前記剥離層はアモルファスシリコン、不純物を含むアモルファスシリコン、ポリシリコンおよび不純物を含むポリシリコンの少なくとも一つの層からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子保持装置。
- 基板上に剥離層を介して設けられた半導体素子を前記剥離層から剥離する方法であって、
前記剥離層に熱エネルギーを付与することにより前記剥離層の体積を変化させて前記半導体素子を剥離することを特徴とする半導体素子の剥離方法。 - 前記熱エネルギーの付与は、レーザ光の照射であることを特徴とする請求項3記載の半導体素子の剥離方法。
- 透光性を有する基板上に剥離層を介して積層された半導体素子を前記剥離層から剥離する方法であって、
前記基板を通して前記半導体素子下の剥離層の少なくとも一部にレーザ光を照射することにより前記剥離層の一部を液化する工程と、
前記レーザ光の照射を停止後液化された領域に接する前記半導体素子を剥離する工程とを
具備してなることを特徴とする半導体素子の剥離方法。 - 前記半導体素子は薄膜トランジスタ又はMOSトタンジスタであることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記剥離層はアモルファスシリコン、不純物を含むアモルファスシリコン、ポリシリコンおよび不純物を含むポリシリコンの少なくとも一つの層からなることを特徴とする請求項5又は6に記載の方法。
- 表示パネルに表示部と、表示駆動するスイッチング回路及び周辺の信号処理回路、画像メモリ回路、駆動電力回路などが一体に構成された表示装置であって、
前記表示部のスイッチング回路及び周辺の信号処理回路、画像メモリ回路、駆動電力回路の少なくとも一部の回路は、ガラス基板上に直接形成されたTFTトランジスタにより構成された回路であり、他の回路は熱エネルギーが付与されたとき体積が変化する材料により形成された剥離層に取着された半導体素子から前記剥離層の体積を変化させて取り出した半導体素子が集積化された回路であることを特徴とする表示装置。
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JP2005108808A JP2006287166A (ja) | 2005-04-05 | 2005-04-05 | 半導体素子保持装置、半導体素子の剥離方法および表示装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2915625A1 (fr) * | 2007-04-27 | 2008-10-31 | Soitec Silicon On Insulator | Procede de transfert d'une couche epitaxiale |
JP2013236093A (ja) * | 2007-05-31 | 2013-11-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置、表示モジュール及び電子機器。 |
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2005
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