JP2006286736A - 電気部品、電気装置、及び電気部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の電気部品2は、底面電極膜12と、底面電極膜12上に形成された接続部20とを有しており、接続部20は中間電極膜17と、上部電極膜25とで構成されている。上部電極膜25は、導電性粒子を有する接続用樹脂で構成されており、従って、中間電極膜17上には予め導電性粒子が配置されたことになるので、この電気部品2を他の電気部品3と接続する際に、異方導電性接着剤を用いなくても、中間電極膜17と受側電極膜32との間に導電性粒子が配置されたことになり、中間電極膜17と受側電極膜32とが導電性粒子を介して確実に接続される。
【選択図】図3
Description
しかしながら、この方法は接続工程が煩雑であり、また、加熱時の異方導電性接着剤の粘度コントロールが困難という問題がある。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の電気部品であって、前記接続用樹脂は、前記中間電極膜を構成する金属膜をエッチングするエッチング液に溶解しない電気部品である。
請求項3記載の発明は、請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の電気部品の前記接続部が、他の電気部品の受側電極膜に当接され、前記上部電極膜中の前記導電性粒子が、前記中間電極膜と、前記受側電極膜とで挟まれた電気装置である。
請求項4記載の発明は、基板と、前記基板上に配置された底面電極膜とを有する処理対象物の、前記底面電極膜と接触する接続部を形成し、電気部品を製造する電気部品の製造方法であって、前記処理対象物の前記底面電極膜が配置された側の面に金属膜を形成し、前記底面電極膜と少なくとも一部が重なり合う位置に開口を有するレジスト層を前記金属膜表面に形成し、前記金属膜表面の、前記レジスト層の開口底面に露出する部分を、導電性粒子を含有する接続用樹脂で覆って上部電極膜を形成し、前記レジスト層を除去した後、前記金属膜の前記上部電極膜から露出する部分を除去し、残った金属膜からなる中間電極膜と、該中間電極膜の表面に残った上部電極膜とで接続部を構成する電気部品の製造方法である。
請求項5記載の発明は、請求項4記載の電気部品の製造方法であって、前記レジスト層の除去は、前記レジスト層に第一のエッチング液を接触させ、前記上部電極膜を残すように前記レジスト層をエッチングし、前記金属膜の除去は、前記金属膜の前記上部電極膜から露出する部分に第二のエッチング液を接触させ、前記上部電極膜と、前記金属膜の前記上部電極膜が形成された部分を残すように前記金属膜をエッチングする電気部品の製造方法である。
請求項6記載の発明は、請求項5記載の電気部品の製造方法であって、前記レジスト層に対する溶解速度が、前記上部電極膜に対する溶解速度よりも早い第一のエッチング液を用いる電気部品の製造方法である。
請求項7記載の発明は、請求項5又は請求項6のいずれか1項記載の電気部品の製造方法であって、前記金属膜に対する溶解速度が、前記上部電極膜に対する溶解速度よりも早い第二のエッチング液を用いる電気部品の製造方法である。
請求項8記載の発明は、請求項4乃至請求項7のいずれか1項記載の電気部品の製造方法であって、前記上部電極膜の形成は、溶媒中で導電性粒子の表面に帯電性樹脂を結合させて泳動液を作製し、前記金属膜表面の前記レジスト層の開口底面に露出する露出部分に前記泳動液を接触させた状態で前記金属膜に電圧を印加し、前記帯電性樹脂が結合した前記導電性粒子を前記露出部分に引き付け、前記露出部分を、前記帯電性樹脂と、前記導電性粒子とを含有する前記接続用樹脂で覆う電気部品の製造方法である。
泳動液は、有機溶媒と、有機溶媒中に分散された導電性粒子と、有機溶媒中に溶解された帯電性樹脂とを有している。
導電性粒子は少なくとも表面部分に金属を有しており、導電性粒子の表面部分では、その金属に結合補助剤が結合している。
上部電極膜25が形成された状態の処理対象物10を泳動液から引き上げ、全体を乾燥させて余分な有機溶媒を除去する。
レジスト層21が除去された処理対象物10を第一のエッチング液から引き上げ、洗浄、乾燥させた後、金属膜15に対する溶解速度が、接続用樹脂に対する溶解速度よりも非常に早い第二のエッチング液に浸漬すると、上部電極膜25は残り、金属膜15の露出する部分だけがエッチングされる。
この電気部品2では、中間電極膜17と、その表面に残った上部電極膜25とで接続部20が構成されている。
図3(a)の符号3は上述した電気部品2に接続される他の電気部品を示しており、上述した工程で作製された本発明の電気部品2を第一の電気部品2、他の電気部品3を第二の電気部品3とすると、第二の電気部品3はガラス基板からなる基板31と、基板31の表面に形成された受側電極膜32とを有している。
アクリルモノマーであるメチルメタクリレートと、グリシジルアクリレートとを混合し、これらのアクリルモノマーをランダム共重合させると、アクリル樹脂が得られる。
例えば、結合補助剤としてシランカップリング剤を用いる場合には、シランカップリング剤の無機官能基(アルコキシ基)が導電性粒子の表面で金属と結合しており、シランカップリング剤の有機官能基がその表面に露出している。
レジスト層21の開口22底面には金属膜55の表面が露出しており、上述した泳動液を用い、図4(d)に示すように、金属膜55表面の露出部分に電気泳動によって上部電極膜25を形成する。
Claims (8)
- 基板と、前記基板上に配置された底面電極膜と、前記底面電極膜上に配置された接続部とを有する電気部品であって、
前記接続部は、所定形状にパターニングされた金属膜からなり、前記底面電極膜表面の少なくとも一部に接触して配置された中間電極膜と、
前記金属膜の平面形状と略同一の平面形状であって、前記中間電極膜の表面に接触して配置された上部電極膜とを有し、前記上部電極膜は導電性粒子を含有する接続用樹脂で構成された電気部品。 - 前記接続用樹脂は、前記中間電極膜を構成する金属膜をエッチングするエッチング液に溶解しない請求項1記載の電気部品。
- 請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の電気部品の前記接続部が、他の電気部品の受側電極膜に当接され、前記上部電極膜中の前記導電性粒子が、前記中間電極膜と、前記受側電極膜とで挟まれた電気装置。
- 基板と、前記基板上に配置された底面電極膜とを有する処理対象物の、前記底面電極膜と接触する接続部を形成し、電気部品を製造する電気部品の製造方法であって、
前記処理対象物の前記底面電極膜が配置された側の面に金属膜を形成し、
前記底面電極膜と少なくとも一部が重なり合う位置に開口を有するレジスト層を前記金属膜表面に形成し、
前記金属膜表面の、前記レジスト層の開口底面に露出する部分を、導電性粒子を含有する接続用樹脂で覆って上部電極膜を形成し、
前記レジスト層を除去した後、前記金属膜の前記上部電極膜から露出する部分を除去し、残った金属膜からなる中間電極膜と、該中間電極膜の表面に残った上部電極膜とで接続部を構成する電気部品の製造方法。 - 前記レジスト層の除去は、前記レジスト層に第一のエッチング液を接触させ、前記上部電極膜を残すように前記レジスト層をエッチングし、
前記金属膜の除去は、前記金属膜の前記上部電極膜から露出する部分に第二のエッチング液を接触させ、前記上部電極膜と、前記金属膜の前記上部電極膜が形成された部分を残すように前記金属膜をエッチングする請求項4記載の電気部品の製造方法。 - 前記レジスト層に対する溶解速度が、前記上部電極膜に対する溶解速度よりも早い第一のエッチング液を用いる請求項5記載の電気部品の製造方法。
- 前記金属膜に対する溶解速度が、前記上部電極膜に対する溶解速度よりも早い第二のエッチング液を用いる請求項5又は請求項6のいずれか1項記載の電気部品の製造方法。
- 前記上部電極膜の形成は、溶媒中で導電性粒子の表面に帯電性樹脂を結合させて泳動液を作製し、
前記金属膜表面の前記レジスト層の開口底面に露出する露出部分に前記泳動液を接触させた状態で前記金属膜に電圧を印加し、
前記帯電性樹脂が結合した前記導電性粒子を前記露出部分に引き付け、前記露出部分を、前記帯電性樹脂と、前記導電性粒子とを含有する前記接続用樹脂で覆う請求項4乃至請求項7のいずれか1項記載の電気部品の製造方法。
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2005
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