JP2006278509A - レジスト除去装置およびレジスト除去方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の表面に形成されているレジストを速やかに除去することができるレジスト除去装置およびレジスト除去方法を提供する。
【解決手段】レジスト除去装置は、ウエハWをほぼ水平に保持して回転させるためのスピンチャック1と、このスピンチャック1に保持されたウエハWの表面にSPMを供給するためのノズル2とを備えている。ノズル2には、ミキシングバルブ7から延びるSPM供給配管8の先端が接続されている。ミキシングバルブ7には、100℃以上に温度調節された硫酸と、温度調節されていない過酸化水素水とが供給される。これらの硫酸および過酸化水素水は、ミキシングバルブ7で混合されてSPMとなり、ミキシングバルブ7からSPM供給配管8を通してノズル2に供給される。
【選択図】 図1
【解決手段】レジスト除去装置は、ウエハWをほぼ水平に保持して回転させるためのスピンチャック1と、このスピンチャック1に保持されたウエハWの表面にSPMを供給するためのノズル2とを備えている。ノズル2には、ミキシングバルブ7から延びるSPM供給配管8の先端が接続されている。ミキシングバルブ7には、100℃以上に温度調節された硫酸と、温度調節されていない過酸化水素水とが供給される。これらの硫酸および過酸化水素水は、ミキシングバルブ7で混合されてSPMとなり、ミキシングバルブ7からSPM供給配管8を通してノズル2に供給される。
【選択図】 図1
Description
この発明は、基板の表面から不要なレジストを除去するためのレジスト除去装置およびレジスト除去方法に関する。
半導体装置の製造工程には、半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という。)の表面に形成された酸化膜などを選択的にエッチングする工程や、ウエハの表面にリン、砒素、硼素などの不純物(イオン)を局所的に注入する工程が含まれる。これらの工程では、不所望な部分に対するエッチングまたはイオン注入を防止するため、ウエハの最表面に感光性樹脂などの有機物からなるレジストのパターンが形成されて、エッチングまたはイオン注入を所望しない部分がレジストによってマスクされる。ウエハ上に形成されたレジストは、エッチングまたはイオン注入の後は不要になるから、エッチングまたはイオン注入の後には、そのウエハ上の不要となったレジストやエッチング残渣などを除去するための処理が行われる。
レジスト除去処理の方式としては、複数枚の基板を一括して処理するバッチ式と、基板を1枚ずつ処理する枚葉式とがある。従来は、バッチ式が主流であったが、バッチ式は複数の基板を収容することのできる大きな処理槽を必要とするため、最近では、処理対象の基板が大型化してきていることもあって、そのような大きな処理槽を必要としない枚葉式が注目されている。
枚葉式のレジスト除去処理を実施する装置は、たとえば、基板をほぼ水平に保持して回転させるスピンチャックと、このスピンチャックに保持された基板の表面にレジスト剥離液を供給するためのノズルとを備えている。レジスト除去処理の際には、スピンチャックによって基板が回転されつつ、その回転している基板の表面の中央部にノズルからレジスト剥離液が供給される。基板の表面の中央部に供給されるレジスト剥離液は、基板の回転による遠心力を受け、基板の表面上を中央部から周縁に向けて流れる。これによって、基板の表面全域にレジスト剥離液が行き渡り、基板の表面に形成されているレジストがレジスト剥離液のレジスト剥離能力によって剥離されて除去される。
特開昭61−129829号公報
レジスト剥離液としては、たとえば、硫酸と過酸化水素水との混合液であるSPM(sulfuric acid/hydrogen peroxide mixture:硫酸過酸化水素水)を用いることができる。このSPMをレジスト剥離液として用いる場合、レジストの分解反応が促進される80℃以上に昇温されたSPMを基板の表面に供給しなければならない。そのためには、たとえば、硫酸の液温を80℃に調節しておき、ノズルに接続された配管中で、その80℃の硫酸と室温(常温)の過酸化水素水とを混合させて、硫酸と過酸化水素水との反応生成熱により、SPMを80℃以上に昇温させればよい。
ところが、本願発明者等の実験の結果、80℃の硫酸と常温の過酸化水素水とを混合さして作成されるSPMを用いたのでは、基板の表面に形成されているレジストがすべて除去されるまでに長い時間を要することが判った。さらにまた、高ドーズのイオン注入がなされたレジスト等、レジストの状態によっては、完全に除去することが困難な場合もある。
そこで、この発明の目的は、基板の表面に形成され、より硬化したレジストを速やかに除去することができるレジスト除去装置およびレジスト除去方法を提供することである。
上記の目的を達成するための請求項1記載の発明は、硫酸と過酸化水素水とを混合して作成されるレジスト剥離液を基板(W)の表面に供給して、その基板の表面から不要なレジストを除去するための装置であって、硫酸と過酸化水素水とを混合させるための混合手段(7)と、前記混合手段に硫酸を供給するための硫酸供給手段(9)と、前記混合手段に過酸化水素水を供給するための過酸化水素水供給手段(10)と、前記硫酸供給手段によって前記混合手段に供給される硫酸の液温を100℃以上に温度調節するための温度調節手段(13)とを含むことを特徴とするレジスト除去装置である。
なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。
この構成によれば、100℃以上に温度調節された硫酸と過酸化水素水とが混合され、これにより得られるレジスト剥離液(SPM:sulfuric acid/hydrogen peroxide mixture)が基板の表面に供給される。
この構成によれば、100℃以上に温度調節された硫酸と過酸化水素水とが混合され、これにより得られるレジスト剥離液(SPM:sulfuric acid/hydrogen peroxide mixture)が基板の表面に供給される。
100℃以上の硫酸と過酸化水素水とを混合して得られるレジスト剥離液は、80℃の硫酸と過酸化水素水とを混合して得られるレジスト剥離液と比べて、液温が高いので、高いレジスト剥離能力を発揮することができる。そのため、100℃以上の硫酸と過酸化水素水とを混合して得られるレジスト剥離液が基板の表面に供給されることにより、80℃の硫酸と過酸化水素水とを混合して得られるレジスト剥離液が基板の表面に供給される構成と比較して、基板の表面からより硬化したレジストを速やかに除去することができる。
請求項2記載の発明は、前記硫酸供給手段は、前記混合手段に供給される硫酸が流通する硫酸供給配管(9)と、前記硫酸供給配管を流通する硫酸の流量を調節するための硫酸流量調節手段(14)とを備え、前記過酸化水素水供給手段は、前記混合手段に供給される過酸化水素水が流通する過酸化水素水供給配管(10)と、前記過酸化水素水供給配管を流通する過酸化水素水の流量を調節するための過酸化水素水流量調節手段(18)とを備え、前記硫酸流量調節手段および前記過酸化水素水流量調節手段は、硫酸に対する過酸化水素水の比率が0.3以上0.6以下の範囲内に含まれるように、それぞれ硫酸および過酸化水素水の流量を調節することを特徴とする請求項1記載のレジスト除去装置である。
100℃以上に温度調節された硫酸と過酸化水素水とが、硫酸に対する過酸化水素水の混合比が0.3以上0.6以下の範囲内となるように混合されることにより、その混合によって得られるレジスト剥離液のレジスト剥離能力を、80℃の硫酸と過酸化水素水とを混合して得られるレジスト剥離液のレジスト剥離能力よりも確実に向上させることができる。よって、基板の表面からレジストを除去するのに要する時間を確実に短縮することができ、かつ、より剥離し難い硬化したレジストまでも剥離することができる。
請求項3記載の発明は、前記混合手段によって混合された硫酸と過酸化水素水とを撹拌して、硫酸と過酸化水素水との反応を促進させるための撹拌手段(19)をさらに含むことを特徴とする請求項1または2記載のレジスト除去装置である。
この構成によれば、硫酸と過酸化水素水とが混合後に撹拌されることにより、硫酸と過酸化水素水とを十分に反応させることができる。そのため、より多量のペルオキソ一硫酸(H2SO5)を生成させることができ、また、より大きな反応熱を発生させることができる。その結果、レジスト剥離液のレジスト剥離能力をさらに高めることができ、基板の表面からレジストを剥離するのに要する時間をさらに短縮することができ、かつ、硬化したレジストまで剥離可能となる。
この構成によれば、硫酸と過酸化水素水とが混合後に撹拌されることにより、硫酸と過酸化水素水とを十分に反応させることができる。そのため、より多量のペルオキソ一硫酸(H2SO5)を生成させることができ、また、より大きな反応熱を発生させることができる。その結果、レジスト剥離液のレジスト剥離能力をさらに高めることができ、基板の表面からレジストを剥離するのに要する時間をさらに短縮することができ、かつ、硬化したレジストまで剥離可能となる。
請求項4記載の発明は、硫酸と過酸化水素水とを混合して作成されるレジスト剥離液を基板(W)の表面に供給して、その基板の表面から不要なレジストを除去する方法であって、硫酸と過酸化水素水とを混合手段(7)に供給して、その混合手段において硫酸と過酸化水素水とを混合する混合工程と、前記混合手段に供給される硫酸の液温を100℃以上に温度調節する温度調節工程とを含むことを特徴とするレジスト除去方法である。
この方法によれば、請求項1に関連して述べた効果と同様な効果を達成することができる。
請求項5記載の発明は、前記混合工程では、硫酸に対する過酸化水素水の比率が0.3以上0.6以下の範囲内に含まれるように、硫酸と過酸化水素水とがそれぞれ所定の流量で前記混合手段に供給されることを特徴とする請求項4記載のレジスト除去方法である。
請求項5記載の発明は、前記混合工程では、硫酸に対する過酸化水素水の比率が0.3以上0.6以下の範囲内に含まれるように、硫酸と過酸化水素水とがそれぞれ所定の流量で前記混合手段に供給されることを特徴とする請求項4記載のレジスト除去方法である。
100℃以上に温度調節された硫酸と過酸化水素水とが、硫酸に対する過酸化水素水の混合比が0.3以上0.6以下の範囲内となるように混合されることにより、その混合によって得られるレジスト剥離液のレジスト剥離能力を、80℃の硫酸と過酸化水素水とを混合して得られるレジスト剥離液のレジスト剥離能力よりも確実に向上させることができる。よって、基板の表面からレジストを除去するのに要する時間を確実に短縮することができ、かつ、硬化したレジストまでも剥離可能となる。
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、この発明の一実施形態に係るレジスト除去装置の構成を図解的に示す図である。このレジスト除去装置は、基板の一例であるシリコン半導体ウエハW(以下、単に「ウエハW」という。)の表面から不要なレジスト膜を除去するレジスト除去処理を行うための枚葉式の装置であり、ウエハWをほぼ水平に保持して回転させるためのスピンチャック1と、このスピンチャック1に保持されたウエハWの表面にレジスト剥離液としてのSPM(sulfuric acid/hydrogen peroxide mixture:硫酸過酸化水素水)を供給するためのノズル2と、ウエハWから流下または飛散するSPMなどを受け取るためのカップ3とを備えている。
図1は、この発明の一実施形態に係るレジスト除去装置の構成を図解的に示す図である。このレジスト除去装置は、基板の一例であるシリコン半導体ウエハW(以下、単に「ウエハW」という。)の表面から不要なレジスト膜を除去するレジスト除去処理を行うための枚葉式の装置であり、ウエハWをほぼ水平に保持して回転させるためのスピンチャック1と、このスピンチャック1に保持されたウエハWの表面にレジスト剥離液としてのSPM(sulfuric acid/hydrogen peroxide mixture:硫酸過酸化水素水)を供給するためのノズル2と、ウエハWから流下または飛散するSPMなどを受け取るためのカップ3とを備えている。
スピンチャック1は、たとえば、複数個の挟持部材4でウエハWを挟持することにより、ウエハWをほぼ水平な姿勢で保持することができ、さらにその状態でほぼ鉛直な軸線まわりに回転することによって、その保持したウエハWをほぼ水平な姿勢を保ったまま回転させることができる。
なお、スピンチャック1としては、このような構成のものに限らず、たとえば、ウエハWの下面を真空吸着することにより、ウエハWをほぼ水平な姿勢で保持し、さらにその状態でほぼ鉛直な軸線まわりに回転することにより、その保持したウエハWを回転させることができる真空吸着式のもの(バキュームチャック)が採用されてもよい。
なお、スピンチャック1としては、このような構成のものに限らず、たとえば、ウエハWの下面を真空吸着することにより、ウエハWをほぼ水平な姿勢で保持し、さらにその状態でほぼ鉛直な軸線まわりに回転することにより、その保持したウエハWを回転させることができる真空吸着式のもの(バキュームチャック)が採用されてもよい。
ノズル2は、スピンチャック1の上方に設けられたアーム5の先端に取り付けられている。アーム5は、カップ3の側方でほぼ鉛直に延びた支持軸6に支持されており、この支持軸6の上端部からほぼ水平に延びている。支持軸6は、その中心軸線まわりに回転可能に設けられていて、支持軸6を回転させることにより、ノズル2をスピンチャック1に保持されたウエハWの上方に配置したり、カップ3の外側に設定された待機位置に配置したりすることができる。また、支持軸6を所定の角度範囲内で往復回転させることにより、スピンチャック1に保持されたウエハWの上方でアーム5を揺動させることができ、これに伴って、スピンチャック1に保持されたウエハWの表面上で、ノズル2からのSPMの供給位置をスキャン(移動)させることができる。
ノズル2には、ミキシングバルブ7から延びるSPM供給配管8の先端が接続されている。
ミキシングバルブ7には、硫酸供給配管9および過酸化水素水供給配管10が接続されており、硫酸供給配管9から硫酸が供給されるとともに、過酸化水素水供給配管10から過酸化水素水が供給されるようになっている。
ミキシングバルブ7には、硫酸供給配管9および過酸化水素水供給配管10が接続されており、硫酸供給配管9から硫酸が供給されるとともに、過酸化水素水供給配管10から過酸化水素水が供給されるようになっている。
硫酸供給配管9は、硫酸を貯留しておくための硫酸タンク11から延びている。この硫酸供給配管9の途中部には、硫酸の流通方向に関して、硫酸タンク11側から順に、硫酸タンク11から硫酸を汲み出すためのポンプ12と、硫酸の液温を100℃以上に温度調節するための温度調節ヒータ13と、硫酸供給配管9を流通する硫酸の流量を調節するための流量調節バルブ14と、ミキシングバルブ7への硫酸の供給/停止を切り換えるための開閉バルブ15とが介装されている。
また、硫酸供給配管9には、流量調節バルブ14と開閉バルブ15との間の分岐点において、硫酸帰還管16が分岐接続されている。硫酸帰還管16の先端は、硫酸タンク11に接続されていて、ミキシングバルブ7に硫酸が供給されない期間は、開閉バルブ15が閉じられた状態でポンプ12および温度調節ヒータ13が駆動されて、硫酸タンク11、硫酸供給配管9および硫酸帰還管16からなる硫酸循環路を、温度調節ヒータ13によって100℃以上に温度調節された硫酸が循環するようになっている。
過酸化水素水供給配管10の途中部には、ミキシングバルブ7への過酸化水素水の供給/停止を切り換えるための開閉バルブ17と、過酸化水素水供給配管10を流れる過酸化水素水の流量を調節するための流量調節バルブ18とが、過酸化水素水の流通方向上流側からこの順に介装されている。なお、過酸化水素水供給配管10を流通する過酸化水素水の温度調節はなされておらず、過酸化水素水供給配管10には、室温(約25℃)程度の過酸化水素水が流通する。
硫酸供給配管9に介装されている流量調節バルブ14の開度は、たとえば、硫酸が550ml/minの流量で硫酸供給配管9を流通するように調節されている。一方、過酸化水素水供給配管10に介装されている流量調節バルブ18の開度は、硫酸供給配管9を流通する硫酸の流量に対する過酸化水素水供給配管10を流通する過酸化水素水の流量の比率が0.3以上0.6以下の範囲内に含まれるように調節されている。すなわち、流量調節バルブ18の開度は、過酸化水素水が165ml/min以上330ml/min以下の範囲内の所定の流量で過酸化水素水供給配管10を流通するように調節されている。これにより、開閉バルブ15,17が開かれると、100℃以上に温度調節された硫酸と室温程度の過酸化水素水とが、硫酸:過酸化水素水=1:0.3〜0.6の混合比(流量比)でミキシングバルブ7に流入して混合される。硫酸と過酸化水素水とが混合されると、硫酸と過酸化水素水との化学反応(H2SO4+H2O2→H2SO5+H2O)が生じ、このときに発生する反応熱によって、硫酸および過酸化水素水の混合液(SPM)の温度が硫酸の液温以上に上昇する。
SPM供給配管8の途中部には、ミキシングバルブ7から流出する硫酸および過酸化水素水の混合液を撹拌するための撹拌流通管19が介装されている。
撹拌流通管19は、管部材内に、それぞれ液体流通方向を軸にほぼ180度のねじれを加えた長方形板状体からなる複数の撹拌フィンを、液体流通方向に沿う管中心軸まわりの回転角度を90度ずつ交互に異ならせて配置した構成のものであり、たとえば、株式会社ノリタケカンパニーリミテド・アドバンス電気工業株式会社製の商品名「MXシリーズ:インラインミキサー」を用いることができる。
撹拌流通管19は、管部材内に、それぞれ液体流通方向を軸にほぼ180度のねじれを加えた長方形板状体からなる複数の撹拌フィンを、液体流通方向に沿う管中心軸まわりの回転角度を90度ずつ交互に異ならせて配置した構成のものであり、たとえば、株式会社ノリタケカンパニーリミテド・アドバンス電気工業株式会社製の商品名「MXシリーズ:インラインミキサー」を用いることができる。
撹拌流通管19では、硫酸および過酸化水素水の混合液が撹拌されることにより、硫酸と過酸化水素水との化学反応が促進される。これにより、硫酸と過酸化水素水とが十分に反応し、硫酸および過酸化水素水の混合液は、より多量のペルオキソ一硫酸(H2SO5)を含み、かつ、より高温に昇温されたSPMとなる。こうして作成されたSPMは、撹拌流通管19からSPM供給配管8を通してノズル2に供給され、ノズル2からスピンチャック1に保持されたウエハWの表面(上面)に供給される。
ウエハWに対するSPMの供給時には、スピンチャック1によってウエハWが所定の回転速度で回転される。また、アーム5が所定の角度範囲内で繰り返し揺動される。このアーム5の揺動によって、ウエハWの表面上におけるSPMの供給位置が、ウエハWの回転中心からウエハWの周縁部に至る範囲内を円弧状の軌跡を描きつつ繰り返しスキャンされる。また、ウエハWの表面に供給されたSPMは、ウエハWの回転による遠心力を受けて、その供給位置からウエハWの周縁に向けて、ウエハWの表面上を拡がりつつ流れる。これによって、ウエハWの表面全域にSPMがむらなく行き渡り、ウエハWの表面に形成されているレジストがSPMに含まれるペルオキソ一硫酸の強い酸化力によって剥離されて除去されていく。
図2は、硫酸(濃度96%)に対する過酸化水素水(濃度30%)の混合比と、ウエハW上のレジストを剥離(除去)するのに要する時間と、硫酸の温度との関係を示すグラフである。
曲線L1は、120℃の硫酸に対する室温(約25℃)の過酸化水素水の混合比が0.2〜0.8の範囲内で互いに異なる、複数のSPMを作成し、各SPMをウエハWの表面に供給してからその表面のレジストが剥離されるまでに要する時間を求めた結果を表している。
曲線L1は、120℃の硫酸に対する室温(約25℃)の過酸化水素水の混合比が0.2〜0.8の範囲内で互いに異なる、複数のSPMを作成し、各SPMをウエハWの表面に供給してからその表面のレジストが剥離されるまでに要する時間を求めた結果を表している。
曲線L2は、100℃の硫酸に対する室温(約25℃)の過酸化水素水の混合比が0.3〜0.8の範囲内で互いに異なる、複数のSPMを作成し、各SPMをウエハWの表面に供給してからその表面のレジストが剥離されるまでに要する時間を求めた結果を表している。
曲線L3は、80℃の硫酸に対する室温(約25℃)の過酸化水素水の混合比が0.3〜0.8の範囲内で互いに異なる、複数のSPMを作成し、各SPMをウエハWの表面に供給してからその表面のレジストが剥離されるまでに要する時間を求めた結果を表している。
曲線L3は、80℃の硫酸に対する室温(約25℃)の過酸化水素水の混合比が0.3〜0.8の範囲内で互いに異なる、複数のSPMを作成し、各SPMをウエハWの表面に供給してからその表面のレジストが剥離されるまでに要する時間を求めた結果を表している。
曲線L4は、75℃の硫酸に対する室温(約25℃)の過酸化水素水の混合比が0.3〜0.8の範囲内で互いに異なる、複数のSPMを作成し、各SPMをウエハWの表面に供給してからその表面のレジストが剥離されるまでに要する時間を求めた結果を表している。
曲線L2と曲線L3とを比較すると、100℃の硫酸に対して過酸化水素水を0.3以上0.6以下の範囲内の比率で混合して作成されるSPMをウエハWの表面に供給した場合には、80℃の硫酸に過酸化水素水を混合して作成されるSPMをウエハWの表面に供給した場合よりも、ウエハWの表面のレジストが短時間で剥離されることが理解される。また、曲線L1と曲線L3とを比較すると、120℃の硫酸に対して過酸化水素水を0.3以上0.6以下の範囲内の比率で混合して作成されるSPMをウエハWの表面に供給した場合には、80℃の硫酸に過酸化水素水を混合して作成されるSPMをウエハWの表面に供給した場合よりも、さらには、100℃の硫酸に過酸化水素水を混合して作成されるSPMをウエハWの表面に供給した場合よりも、ウエハWの表面のレジストが短時間で剥離されることが理解される。
曲線L2と曲線L3とを比較すると、100℃の硫酸に対して過酸化水素水を0.3以上0.6以下の範囲内の比率で混合して作成されるSPMをウエハWの表面に供給した場合には、80℃の硫酸に過酸化水素水を混合して作成されるSPMをウエハWの表面に供給した場合よりも、ウエハWの表面のレジストが短時間で剥離されることが理解される。また、曲線L1と曲線L3とを比較すると、120℃の硫酸に対して過酸化水素水を0.3以上0.6以下の範囲内の比率で混合して作成されるSPMをウエハWの表面に供給した場合には、80℃の硫酸に過酸化水素水を混合して作成されるSPMをウエハWの表面に供給した場合よりも、さらには、100℃の硫酸に過酸化水素水を混合して作成されるSPMをウエハWの表面に供給した場合よりも、ウエハWの表面のレジストが短時間で剥離されることが理解される。
以上のように、この実施形態によれば、100℃以上に温度調節された硫酸と過酸化水素水とが混合され、これにより得られるSPMがウエハWの表面に供給される。100℃以上の硫酸と過酸化水素水とを混合して得られるSPMは、80℃の硫酸と過酸化水素水とを混合して得られるSPMと比べて、液温が高いので、高いレジスト剥離能力を発揮することができる。そのため、100℃以上の硫酸と過酸化水素水とを混合して得られるSPMがウエハWの表面に供給されることにより、80℃の硫酸と過酸化水素水とを混合して得られるSPMがウエハWの表面に供給される構成と比較して、ウエハWの表面から不要なレジストを速やかに除去することができる。
また、硫酸と過酸化水素水とがミキシングバルブ7で混合された後、その混合液が撹拌流通管19において撹拌されることにより、硫酸と過酸化水素水とを十分に反応させることができる。そのため、より多量のペルオキソ一硫酸を生成させることができ、また、より大きな反応熱を発生させることができる。その結果、SPMのレジスト剥離能力をさらに高めることができ、ウエハWの表面からレジストを剥離するのに要する時間をさらに短縮することができる。
以上、この発明の一実施形態について説明したが、この発明は他の形態で実施することもできる。たとえば、処理対象となる基板の一例としてウエハWを取り上げたが、ウエハWに限らず、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディプレイパネル用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板および磁気/光ディスク用基板などの他の種類の基板が処理の対象とされてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
7 ミキシングバルブ
9 硫酸供給配管
10 過酸化水素水供給配管
13 温度調節ヒータ
14 流量調節バルブ
18 流量調節バルブ
19 撹拌流通管
W ウエハ
9 硫酸供給配管
10 過酸化水素水供給配管
13 温度調節ヒータ
14 流量調節バルブ
18 流量調節バルブ
19 撹拌流通管
W ウエハ
Claims (5)
- 硫酸と過酸化水素水とを混合して作成されるレジスト剥離液を基板の表面に供給して、その基板の表面から不要なレジストを除去するための装置であって、
硫酸と過酸化水素水とを混合させるための混合手段と、
前記混合手段に硫酸を供給するための硫酸供給手段と、
前記混合手段に過酸化水素水を供給するための過酸化水素水供給手段と、
前記硫酸供給手段によって前記混合手段に供給される硫酸の液温を100℃以上に温度調節するための温度調節手段とを含むことを特徴とするレジスト除去装置。 - 前記硫酸供給手段は、前記混合手段に供給される硫酸が流通する硫酸供給配管と、前記硫酸供給配管を流通する硫酸の流量を調節するための硫酸流量調節手段とを備え、
前記過酸化水素水供給手段は、前記混合手段に供給される過酸化水素水が流通する過酸化水素水供給配管と、前記過酸化水素水供給配管を流通する過酸化水素水の流量を調節するための過酸化水素水流量調節手段とを備え、
前記硫酸流量調節手段および前記過酸化水素水流量調節手段は、硫酸に対する過酸化水素水の比率が0.3以上0.6以下の範囲内に含まれるように、それぞれ硫酸および過酸化水素水の流量を調節することを特徴とする請求項1記載のレジスト除去装置。 - 前記混合手段によって混合された硫酸と過酸化水素水とを撹拌して、硫酸と過酸化水素水との反応を促進させるための撹拌手段をさらに含むことを特徴とする請求項1または2記載のレジスト除去装置。
- 硫酸と過酸化水素水とを混合して作成されるレジスト剥離液を基板の表面に供給して、その基板の表面から不要なレジストを除去する方法であって、
硫酸と過酸化水素水とを混合手段に供給して、その混合手段において硫酸と過酸化水素水とを混合する混合工程と、
前記混合手段に供給される硫酸の液温を100℃以上に温度調節する温度調節工程とを含むことを特徴とするレジスト除去方法。 - 前記混合工程では、硫酸に対する過酸化水素水の比率が0.3以上0.6以下の範囲内に含まれるように、硫酸と過酸化水素水とがそれぞれ所定の流量で前記混合手段に供給されることを特徴とする請求項4記載のレジスト除去方法。
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