JP2010021335A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理装置1は、基板Wの表面にレジスト剥離液を供給して基板Wからレジストを剥離する基板処理装置であり、レジスト剥離液内に酸化性ガスの微小気泡を混入して微小気泡を含むレジスト剥離液を生成する微小気泡生成ユニット30と、微小気泡生成ユニット30からレジスト剥離液を基板Wの表面に供給する供給部15と、
を備える。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の基板処理装置の好ましい第1実施形態を示している。
CXHYOX(レジスト)+H2SO5→CO2+H2O+H2SO4
これに対して、過酸化水素水を用いないで硫酸とオゾンガスを用いたレジスト剥離の場合には、次の化学反応式になる。
CXHYOX(レジスト)+H2SO5→CO2+H2O+H2SO4
すなわち、従来の硫酸と過酸化水素水を用いた場合に比べて、本発明の実施形態のように硫酸とオゾンガスを用いることにより、同等もしくは同等以上のレジストの効果を発揮することができる。
硫酸のようなレジスト剥離液を酸化種として用いることはなく、レジスト剥離処理が効率的に実施でき、硫酸のようなレジスト剥離液の再利用が可能である。これにより、環境負荷が低減できる。
次に、本発明の第2実施形態を、図4を参照して説明する。
本発明の基板処理装置は、基板の表面にレジスト剥離液を供給して基板からレジストを剥離する基板処理装置であって、レジスト剥離液内に酸化性ガスの微小気泡を混入して微小気泡を含むレジスト剥離液を生成する微小気泡生成ユニットと、微小気泡生成ユニットから微小気泡を含むレジスト剥離液を基板の表面に供給する供給部と、を備える。これにより、硫酸のようなレジスト剥離液が希釈されることを防止してレジスト剥離液を再利用でき、レジスト剥離を効率良く行うことができる。
4 処理ユニット
10 レジスト剥離装置
15 供給部の一例である供給ノズル
30 微小気泡生成ユニット
32 オゾンガス供給部(酸化性ガス供給部)
32,53 オゾンガス供給部(酸化性ガス供給部)
51 第1ヒータ
52 第2ヒータ
34 硫酸供給部(レジスト剥離液供給部)
40 微小気泡を含む硫酸(微小気泡を含むレジスト剥離液)
W 基板
Claims (8)
- 基板の表面にレジスト剥離液を供給して前記基板からレジストを剥離する基板処理装置であって、
前記レジスト剥離液内に酸化性ガスの微小気泡を混入して前記微小気泡を含むレジスト剥離液を生成する微小気泡生成ユニットと、
前記微小気泡生成ユニットから前記微小気泡を含むレジスト剥離液を前記基板の表面に供給する供給部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 前記供給部は、前記基板の上に配置された供給ノズルであることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記微小気泡を含むレジスト剥離液は、前記供給ノズルから前記基板の表面に液滴状にして供給されることを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記微小気泡を含むレジスト剥離液を液滴状にする際に、さらに酸化性ガスを前記微小気泡を含むレジスト剥離液に供給する酸化性ガス供給部を有することを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記酸化性ガスを多孔質フィルムに通過させて前記微小気泡を生成して前記微小気泡を前記レジスト剥離液中に放出することにより、前記微小気泡を含むレジスト剥離液を生成することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1つの項に記載の基板処理装置。
- 加熱された前記レジスト剥離液または加熱された前記微小気泡を含むレジスト剥離液が用いられることを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記酸化性ガスはオゾンガスであり、前記レジスト剥離液は硫酸であることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1つの項に記載の基板処理装置。
- 基板の表面にレジスト剥離液を供給して前記基板の表面からレジストを剥離する基板処理方法であって、
微小気泡生成ユニットは、前記レジスト剥離液内に酸化性ガスの微小気泡を混入して前記微小気泡を含むレジスト剥離液を生成して、
供給部は、前記微小気泡生成ユニットから前記微小気泡を含むレジスト剥離液を前記基板の表面に供給することを特徴とする基板処理方法。
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