JP2014082252A - 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液処理装置100は、被処理体Wを保持する保持部70と、保持部70で保持されている被処理体Wに硫酸及び過酸化水素水の混合液を供給する薬液供給ユニット10と、を備える。薬液供給ユニット10は、硫酸を案内する硫酸供給路25と、過酸化水素水を案内する過酸化水素水供給路35と、混合液を保持部70で保持されている被処理体Wに供給する混合液供給路45と、過酸化水素水供給路35内で過酸化水素水に駆動力を付与するポンプ32と、過酸化水素水供給路35に設けられ、混合液供給路45に流れ込む前の過酸化水素水を冷却する過酸化水素水冷却部11と、硫酸供給路25に設けられ、混合液供給路45に流れ込む前の硫酸を加熱する硫酸加熱部15と、を有する。
【選択図】図2
Description
被処理体を保持する保持部と、
前記保持部で保持されている前記被処理体に硫酸及び過酸化水素水の混合液を供給する薬液供給ユニットと、
を備え、
前記薬液供給ユニットが、
硫酸を案内する硫酸供給路と、
過酸化水素水を案内する過酸化水素水供給路と、
前記硫酸供給路及び前記過酸化水素水供給路に連結され、前記混合液を前記保持部で保持されている前記被処理体に供給する混合液供給路と、
前記過酸化水素水供給路内で前記過酸化水素水に駆動力を付与するポンプと、
前記過酸化水素水供給路に設けられ、前記混合液供給路に流れ込む前の前記過酸化水素水を冷却する過酸化水素水冷却部と、
前記硫酸供給路に設けられ、前記混合液供給路に流れ込む前の前記硫酸を加熱する硫酸加熱部と、
を有する。
前記過酸化水素水冷却部は、前記過酸化水素水が25℃以下15℃以上になるように当該過酸化水素水を冷却してもよい。
前記過酸化水素水供給部は、前記過酸化水素水を貯留する過酸化水素水貯留槽を有し、
前記過酸化水素水供給路は、前記過酸化水素水貯留槽で貯留された前記過酸化水素水を循環させるための過酸化水素水循環路を有し、
前記ポンプは、前記過酸化水素水循環路に設けられ、当該過酸化水素水循環路で前記過酸化水素水が循環するように駆動力を付与してもよい。
前記混合液供給路の長さは、50mm以上140mm以下であってもよい。
前記硫酸加熱部は、前記硫酸が80℃以上150℃以下になるように当該硫酸を加熱してもよい。
前記保持部で保持された前記被処理体を囲むように設けられたカップをさらに備えてもよい。
硫酸供給路に硫酸を供給する工程と、
過酸化水素水供給路に過酸化水素水を供給する工程と、
前記過酸化水素水供給路内においてポンプで前記過酸化水素水に駆動力を付与する工程と、
前記過酸化水素水供給路内を流れる前記過酸化水素水を冷却する工程と、
前記硫酸供給路内を流れる前記硫酸を加熱する工程と、
前記硫酸供給路及び前記過酸化水素水供給路に連結された混合液供給路で、前記加熱された硫酸及び前記冷却された過酸化水素水の混合液を生成する工程と、
被処理体に前記混合液を供給する工程と、
を備える。
前記過酸化水素水を冷却する工程で、前記過酸化水素水は25℃以下15℃以上になるように冷却されてもよい。
前記過酸化水素水供給路は、過酸化水素水貯留槽で貯留された前記過酸化水素水を循環させるための過酸化水素水循環路を有し、
前記ポンプは、前記過酸化水素水循環路に設けられ、当該過酸化水素水循環路で前記過酸化水素水が循環するように駆動力を付与してもよい。
前記硫酸を加熱する工程で、前記硫酸は80℃以上150℃以下になるように加熱されてもよい。
液処理装置に液処理方法を実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記液処理方法は、
硫酸供給路に硫酸を供給する工程と、
過酸化水素水供給路に過酸化水素水を供給する工程と、
前記過酸化水素水供給路内においてポンプで前記過酸化水素水に駆動力を付与する工程と、
前記過酸化水素水供給路内を流れる前記過酸化水素水を冷却する工程と、
前記硫酸供給路内を流れる前記硫酸を加熱する工程と、
前記硫酸供給路及び前記過酸化水素水供給路に連結された混合液供給路で、前記加熱された硫酸及び前記冷却された過酸化水素水の混合液を生成する工程と、
被処理体に前記混合液を供給する工程と、
を有する液処理方法である。
《構成》
以下、本発明に係る基板処理装置(特許請求の範囲の「液処理装置」に相当する。)の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図1乃至図4は本発明の実施の形態を説明するための図である。
次に、上述した構成からなる本実施の形態による作用・効果について説明する。
次に、本件発明者らが行った実験の結果について説明する。以下の表1において、二重丸「◎」は3回行った実験でカップ71の上端側面71aやカップ71の上面71bへの混合液の飛散が1回も見られなかったことを意味し、丸「○」は3回行った実験で少なくとも1回はカップ71の上端側面71aに混合液が飛散する場合があったことを意味し、三角「△」は3回行った実験の全てでカップ71の上端側面に混合液が飛散してまったことを意味し、バツ「×」はカップ71の上面71bを超えて混合液が飛散してまったことを意味する。
11 過酸化水素水冷却部
15 硫酸加熱部
20 硫酸供給部
22 ポンプ
25 硫酸供給路
30 過酸化水素水供給部
32 ポンプ
35 過酸化水素水供給路
35a 過酸化水素水循環路
35b 過酸化水素水分岐路
36 開閉バルブ
45 混合液供給路
50 リンス液供給ユニット
52 ポンプ
70 保持部
71 カップ
71a カップの上端側面
71b カップの上面
75 回転部
90 コントローラ
91 プロセッサ
95 記憶媒体
100 液処理装置
Claims (11)
- 被処理体を保持する保持部と、
前記保持部で保持されている前記被処理体に硫酸及び過酸化水素水の混合液を供給する薬液供給ユニットと、
を備え、
前記薬液供給ユニットは、
硫酸を案内する硫酸供給路と、
過酸化水素水を案内する過酸化水素水供給路と、
前記硫酸供給路及び前記過酸化水素水供給路に連結され、前記混合液を前記保持部で保持されている前記被処理体に供給する混合液供給路と、
前記過酸化水素水供給路内で前記過酸化水素水に駆動力を付与するポンプと、
前記過酸化水素水供給路に設けられ、前記混合液供給路に流れ込む前の前記過酸化水素水を冷却する過酸化水素水冷却部と、
前記硫酸供給路に設けられ、前記混合液供給路に流れ込む前の前記硫酸を加熱する硫酸加熱部と、
を有することを特徴とする液処理装置。 - 前記過酸化水素水冷却部は、前記過酸化水素水が25℃以下15℃以上になるように当該過酸化水素水を冷却することを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
- 前記過酸化水素水供給部は、前記過酸化水素水を貯留する過酸化水素水貯留槽を有し、
前記過酸化水素水供給路は、前記過酸化水素水貯留槽で貯留された前記過酸化水素水を循環させるための過酸化水素水循環路を有し、
前記ポンプは、前記過酸化水素水循環路に設けられ、当該過酸化水素水循環路で前記過酸化水素水が循環するように駆動力を付与することを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の液処理装置。 - 前記混合液供給路の長さは、50mm以上140mm以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記硫酸加熱部は、前記硫酸が80℃以上150℃以下になるように当該硫酸を加熱することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記保持部で保持された前記被処理体を囲むように設けられたカップをさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 硫酸供給路に硫酸を供給する工程と、
過酸化水素水供給路に過酸化水素水を供給する工程と、
前記過酸化水素水供給路内においてポンプで前記過酸化水素水に駆動力を付与する工程と、
前記過酸化水素水供給路内を流れる前記過酸化水素水を冷却する工程と、
前記硫酸供給路内を流れる前記硫酸を加熱する工程と、
前記硫酸供給路及び前記過酸化水素水供給路に連結された混合液供給路で、前記加熱された硫酸及び前記冷却された過酸化水素水の混合液を生成する工程と、
被処理体に前記混合液を供給する工程と、
を備えたことを特徴とする液処理方法。 - 前記過酸化水素水を冷却する工程において、前記過酸化水素水は25℃以下15℃以上になるように冷却されることを特徴とする請求項7に記載の液処理方法。
- 前記過酸化水素水供給路は、過酸化水素水貯留槽で貯留された前記過酸化水素水を循環させるための過酸化水素水循環路を有し、
前記ポンプは、前記過酸化水素水循環路に設けられ、当該過酸化水素水循環路で前記過酸化水素水が循環するように駆動力を付与することを特徴とする請求項7又は8のいずれかに記載の液処理方法。 - 前記硫酸を加熱する工程において、前記硫酸は80℃以上150℃以下になるように加熱されることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の液処理方法。
- 液処理装置に液処理方法を実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体において、
前記液処理方法は、
硫酸供給路に硫酸を供給する工程と、
過酸化水素水供給路に過酸化水素水を供給する工程と、
前記過酸化水素水供給路内においてポンプで前記過酸化水素水に駆動力を付与する工程と、
前記過酸化水素水供給路内を流れる前記過酸化水素水を冷却する工程と、
前記硫酸供給路内を流れる前記硫酸を加熱する工程と、
前記硫酸供給路及び前記過酸化水素水供給路に連結された混合液供給路で、前記加熱された硫酸及び前記冷却された過酸化水素水の混合液を生成する工程と、
被処理体に前記混合液を供給する工程と、
を有する液処理方法であることを特徴とする記憶媒体。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012227831A JP2014082252A (ja) | 2012-10-15 | 2012-10-15 | 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012227831A Pending JP2014082252A (ja) | 2012-10-15 | 2012-10-15 | 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2012
- 2012-10-15 JP JP2012227831A patent/JP2014082252A/ja active Pending
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