JP2006269690A5 - - Google Patents

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  1. FeCoがFexCo1-x(60≦x≦75wt%)で示される組成を有し、結晶構造がbcc構造で、(110)面に結晶配向している電解めっき膜から成ることを特徴とする軟磁性薄膜。
  2. 非磁性導電性材料を下地層として、該下地層上にめっき膜が形成されていることを特徴とする請求項1記載の軟磁性薄膜。
  3. Fe、Co、Niのうち2元素以上を含む合金から成る磁性導電性薄膜を下地層として、該下
    地層上にめっき膜が形成されていることを特徴とする請求項1項記載の軟磁性薄膜。
  4. 下地層がシート抵抗5.3Ω/cm2以下となるような膜厚で形成されていることを特徴とす
    る請求項2または3記載の軟磁性薄膜。
  5. 下地層の下層への密着層としてTa、Ti、Cr、Nbのうちの1元素からなる単層膜が形成さ
    れていることを特徴とする請求項2または3項記載の軟磁性薄膜。
  6. 下部磁極と上部磁極が絶縁層を介して積層され、媒体面に対向する先端に磁気ギャップが形成された薄膜磁気ヘッドにおいて、
    前記上部磁極の磁気ギャップに近接した層に、FeCoがFexCo1-x(60≦x≦75wt%)で示される組成を有し、結晶構造がbcc構造で、(110)面に結晶配向している電解めっき膜からなる軟磁性薄膜が形成されていることを特徴とする磁気記録ヘッド。
  7. 前記磁気ギャップが非磁性導電性材料層により形成され、該非磁性導電性材料層を下地層として、該下地層上に軟磁性薄膜が形成されていることを特徴とする請求項６記載の磁気記録ヘッド。
  8. 主磁極とリターンヨークが絶縁層を介して積層され、媒体面に対向する先端側の主磁極の両側に非磁性導電性材料層が形成され、媒体面に対向するリターンヨークの先端側にトレーリングシールドが形成された垂直磁気記録単磁極ヘッドにおいて、
    前記主磁極およびトレーリングシールドの少なくとも一方が、前記非磁性導電性材料層を下地層として形成された、FeCoがFexCo1-x(60≦x≦75wt%)で示される組成を有し、結晶構造がbcc構造で、(110)面に結晶配向している電解めっき膜から成る軟磁性薄膜であることを特徴とする垂直磁気記録単磁極ヘッド。
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