JP2006266873A - 加速度センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 支持基板14上にシリコン半導体層12を積層してなる半導体基板10を備え、シリコン半導体層12に対して第1の方向Zにトレンチエッチングを行うことにより、可動電極20と、可動電極20に対して第2の方向Xにて検出間隔40を有して対向する固定電極30とがパターニングされており、可動電極20の第1の方向Zへの変位による両電極20、30間の容量変化に基づいて加速度検出するようになっており、トレンチ15を介して、両電極20、30の底部をサイドエッチングすることによって可動電極20が支持基板14からリリースされており、可動電極20の第2の方向Xに沿った幅が固定電極30のそれよりも小さく、可動電極20の第1の方向Zに沿った厚さが固定電極30のそれよりも小さい。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る加速度センサ100の概略構成を示す図であり、(a)は加速度センサ100の概略平面図、(b)は(a)中のA−A一点鎖線に沿った概略断面図である。
図1(b)に示されるように、本加速度センサ100は、支持基板14上にシリコン半導体層12を積層してなる半導体基板10を備えている。
次に、上記加速度センサ100の作動について述べる。
次に、本実施形態の加速度センサ100の製造方法について、図4(a)〜(e)、図5(a)〜(c)を参照して述べる。図4は、本製造方法におけるトレンチ形成工程を示す断面図であり、図5はリリース工程を示す断面図である。
以上述べてきたように、本実施形態における加速度センサ100は、支持基板14上にシリコン半導体層12を積層してなる半導体基板10を備え、シリコン半導体層12に対して半導体基板10の基板面と垂直な第1の方向Zにトレンチエッチングを行うことにより、シリコン半導体層12には、可動電極20と、可動電極20に対して半導体基板10の基板面と平行な第2の方向Xにて検出間隔40を有して対向する固定電極30とがパターニングされており、第1の方向Zに沿った加速度が印加されたときに可動電極20が第1の方向Zに変位し、この変位に伴う可動電極20と固定電極30との間の容量変化に基づいて加速度を検出するようにした垂直変位型の加速度センサであることを基本構成としている。
図8は、本発明の第2実施形態に係る加速度センサ200の概略構成を示す図であり、(a)は加速度センサ200の概略平面図、(b)は(a)中のB−B一点鎖線に沿った概略断面図である。
なお、上記実施形態においては、可動電極20における支持基板14側の底部は、支持基板14へ向かって狭くなるようなテーパ形状もしくはラウンド形状となっていたが、当該底部は、そのようなテーパもしくはラウンド形状でなくてもよく、たとえば、図9に示されるように、ストレート形状であってもよい。
11…第1のシリコン半導体層、12…第2のシリコン半導体層、13…絶縁層、
14…支持基板、15…トレンチ、20…可動電極、20a…第1の可動電極、
20b…第2の可動電極、21…連結部、22…梁部、23…錘部、
30…固定電極、40…検出間隔、50…容量補償部、
X…第2の方向、Z…第1の方向。
Claims (13)
- 支持基板(14)上にシリコン半導体層(12)を積層してなる半導体基板(10)を備え、
前記シリコン半導体層(12)に対して前記半導体基板(10)の基板面と垂直な第1の方向(Z)にトレンチエッチングを行うことにより、前記シリコン半導体層(12)には、可動電極(20)と、前記可動電極(20)に対して前記半導体基板(10)の基板面と平行な第2の方向(X)にて検出間隔(40)を有して対向する固定電極(30)とがパターニングされており、
前記第1の方向(Z)に沿った加速度が印加されたときに前記可動電極(20)が前記第1の方向(Z)に変位し、この変位に伴う前記可動電極(20)と前記固定電極(30)との間の容量変化に基づいて前記加速度を検出するようにした加速度センサにおいて、
前記トレンチエッチングにより形成されたトレンチ(15)を介して、前記可動電極(20)および前記固定電極(30)における前記支持基板(14)側の底部をサイドエッチングすることによって、少なくとも前記可動電極(20)が前記支持基板(14)からリリースされており、
前記可動電極(20)における前記第2の方向(X)に沿った幅が、前記固定電極(30)における前記第2の方向(X)に沿った幅よりも小さく、
前記可動電極(20)における前記第1の方向(Z)に沿った厚さが、前記固定電極(30)における前記第1の方向(Z)に沿った厚さよりも小さいことを特徴とする加速度センサ。 - 前記検出間隔(40)では、前記可動電極(20)は前記支持基板(14)から離間しており、
前記固定電極(30)は前記支持基板(14)に接して支持されていることを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。 - 前記半導体基板は、第1のシリコン半導体層(11)の上に絶縁層(13)を介して第2のシリコン半導体層(12)が積層されてなるSOI基板(10)として構成されており、
前記第1のシリコン半導体層(11)および前記絶縁層(13)が前記支持基板(14)として構成され、前記第2のシリコン半導体層(12)が前記シリコン半導体層として構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の加速度センサ。 - 前記可動電極(20)と前記固定電極(30)とは、互いにかみ合うように形成された櫛歯形状をなしており、この櫛歯における隙間が前記検出間隔(40)として構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の加速度センサ。
- 前記可動電極(20)における前記支持基板(14)側の底部は、前記支持基板(14)へ向かって狭くなるようなテーパ形状もしくはラウンド形状となっていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の加速度センサ。
- 前記可動電極(20)は複数個のものからなり、
前記複数個の可動電極(20)を連結する連結部(21)が設けられており、
前記連結部(21)は、前記支持基板(14)に対してバネ性を有する梁部(22)を介して支持されており、
前記複数個の可動電極(20)のうち前記梁部(22)を中心にして前記梁部(22)の一方側に位置するものを第1の可動電極(20a)、他方側に位置するものを第2の可動電極(20b)としたとき、前記複数個の可動電極(20)は、前記梁部(22)のバネ性により前記第1の方向(Z)に沿って前記第1の可動電極(20a)と前記第2の可動電極(20b)とが互いに反対向きに変位するシーソー状の変位を行うものであり、
この変位に伴う前記第1の可動電極(20a)と前記固定電極(30)との間の容量と、前記第2の可動電極(20b)と前記固定電極(30)との容量との容量差の変化に基づいて前記加速度の検出を行うことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の加速度センサ。 - 前記連結部(21)のうち前記梁部(22)を中心としてどちらか一方側の部位には、前記シーソー状の変位を行うための錘部(23)が設けられていることを特徴とする請求項6に記載の加速度センサ。
- 前記連結部(21)のうち前記梁部(22)を中心として前記錘部(23)が設けられている方の部位とは反対側の部位には、前記錘部(23)により形成された静電容量分を補償するための容量補償部(50)が形成されていることを特徴とする請求項7に記載の加速度センサ。
- 前記シリコン半導体層(12)は、単結晶シリコンまたはエピタキシャル成長ポリシリコンからなることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1つに記載の加速度センサ。
- 前記支持基板(14)は、単結晶シリコンまたはエピタキシャル成長ポリシリコンからなることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1つに記載の加速度センサ。
- 支持基板(14)上にシリコン半導体層(12)を積層してなる半導体基板(10)を用意し、
前記シリコン半導体層(12)に対して前記半導体基板(10)の基板面と垂直な第1の方向(Z)にトレンチエッチングを行うことにより、前記シリコン半導体層(12)に、可動電極(20)と、前記可動電極(20)に対して前記半導体基板(10)の基板面と平行な第2の方向(X)にて検出間隔(40)を有して対向する固定電極(30)とのパターンを形成するトレンチ形成工程と、
前記トレンチエッチングにより形成されたトレンチ(15)を介して、前記可動電極(20)および前記固定電極(30)における前記支持基板(14)側の底部をサイドエッチングすることによって、少なくとも前記可動電極(20)を前記支持基板(14)からリリースするリリース工程と、を備え、
前記トレンチ形成工程では、前記可動電極(20)における前記第2の方向(X)に沿った幅が前記固定電極(30)における前記第2の方向(X)に沿った幅よりも小さくなるように、前記可動電極(20)と前記固定電極(30)とのパターンを形成することを特徴とする加速度センサの製造方法。 - 前記リリース工程では、前記検出間隔(40)において、前記可動電極(20)は前記支持基板(14)からリリースさせるとともに、前記固定電極(30)は前記支持基板(14)からリリースさせないように、前記サイドエッチングを完了させることを特徴とする請求項11に記載の加速度センサの製造方法。
- 前記半導体基板として、第1のシリコン半導体層(11)の上に絶縁層(13)を介して第2のシリコン半導体層(12)が積層されてなり、前記第1のシリコン半導体層(11)および前記絶縁層(13)が前記支持基板(14)として構成され、前記第2のシリコン半導体層(12)が前記シリコン半導体層として構成されているSOI基板(10)を用いることを特徴とする請求項11または12に記載の加速度センサの製造方法。
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