JP2006222379A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板上の第1導電型の半導体領域の所定位置に形成されたトレンチに素子分離領域を形成することにより、前記半導体領域を複数の素子領域に分離してなる半導体装置であって、前記トレンチ内壁に、拡散制限層を介して第2導電型の不純物を含む充填膜が充填されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
一方STI分離の場合は、図8(a)に示すように、トレンチT内壁に熱酸化により酸化シリコン膜21を形成した後CVD法により酸化シリコン膜23を充填して素子分離領域が形成されるが、拡散長の伸びこそないものの、この場合は基板のシリコン1とトレンチ内壁の酸化シリコン膜23との界面にキャリアeが発生し、図8(b)に示すように、このキャリアが広がることにより、素子間の絶縁性が低下するという問題があった。
また、本発明の他の目的は、微細で信頼性の高い素子分離を実現することにより、固体撮像素子の素子間絶縁性の向上および暗電流の増大抑制と白キズ不良の抑制をはかることを目的とする。
この構成により、トレンチ内壁の拡散制限層を介して第2導電型の不純物が半導体領域に染み出すことにより、極めて低濃度のキャリア発生抑制層を形成することができるため、素子分離領域の広がりを抑制し、微細で信頼性の高い素子分離領域を形成することができる。
この構成によりキャリアの発生を抑制することができ、微細で信頼性の高い素子分離が可能となる。
この構成により、薄く緻密な熱酸化膜を介して減速させながら不純物をこの熱酸化膜との界面近傍のシリコンに拡散させる。
この構成により、適切な減速状態で拡散を行うことができる。望ましくは膜厚は20〜40nm、さらに望ましくは30nm程度である。
この構成により、容易に、膜厚制御を行うことができる。
この固体撮像素子は、図1(a)および(b)に、概要説明断面図を示すように、n型半導体層(図示せず)が形成されたシリコン基板1表面の所定位置に形成されたトレンチTの内壁に、拡散制限層25としての熱酸化膜を介して第2導電型の不純物であるボロンを含む多結晶シリコン膜からなる充填膜26が充填されており、このトレンチ外壁に染み出したボロンによってキャリア発生を抑制するキャリア発生抑制層27を生成することにより、狭い素子分離領域であるSTIを形成し、この素子分離領域20によって分離された表面に撮像領域を形成している。ここで30はフォトダイオード形成領域、40は電荷転送部である。図1(a)は熱処理前の状態を説明する図であり、図1(b)は熱工程を経て完成した状態を示す説明図である。これらの図では素子分離領域を中心に示し、図1(b)では、表面の平坦化膜やレンズ系などを形成した後の素子分離領域を示すが、要部以外は省略している。素子分離領域を除いては、通例の固体撮像素子と同様に形成される。
ここでは素子分離領域を中心に説明する。
まず図4(a)に示すように、n型半導体層(図示せず)が形成されたシリコン基板1表面の所定位置に、フォトリソグラフィを用いてトレンチTを形成する。このとき、シリコン基板1上に熱酸化法で酸化シリコン膜25と窒化シリコン膜28を形成し、フォトリソグラフィによりトレンチ形成領域でこれら2層膜を選択的に除去し、トレンチ形成用のマスクを形成する。すなわちこの2層膜をハードマスクとして用いて異方性エッチングによりトレンチTを形成する。
なお、前記実施の形態では、充填膜をボロンドープの多結晶シリコン膜すなわち、導電性材料で構成したが、ボロンドープの酸化シリコン膜でもよい。図5にこの素子分離構造を用いた固体撮像素子の要部概略図を示す。充填膜36がボロンドープの酸化シリコン膜で構成されているのみで素子領域については図1に示した前記実施の形態1と同様に形成される。
この場合、トレンチ内は絶縁膜であるため、より信頼性の高い素子分離領域を形成することができる。
なお、前記実施の形態1,2では、いずれも固体撮像素子について説明したが、DRAMなど他のデバイスにも適用可能であることはいうまでもない。図6に本発明の素子分離構造をDRAMに適用した例について説明する。図6にこの素子分離構造を用いたDRAMの要部概略図を示す。充填膜46がボロンドープのアモルファスシリコン膜で構成されており、素子分離領域については図1に示した前記実施の形態1と同様に形成される。そしてこの素子分離領域で分離された素子領域内にMOSFET80とキャパシタ90が積層される。
ここで素子領域については通常のMOSプロセスで形成され、80はMOSFETからなるスイッチングトランジスタ、90はキャパシタである。
2 ゲート酸化膜
3 電荷転送電極
3a 第1層アモルファスシリコン膜
3b 第2層アモルファスシリコン膜
4 電極間絶縁膜
5 反射防止膜
6 窒化シリコン膜
7 遮光膜
10 透光性膜(高屈折率膜)
20 素子分離領域
25 拡散制限層
26 充填層
27 キャリア発生抑制層
30 フォトダイオード
36 充填層
40 電荷転送部
46 充填層
50 カラーフィルタ
60 マイクロレンズ
70 平坦化膜
e キャリア
80 MOSFET
90 キャパシタ
Claims (18)
- 半導体基板上の第1導電型の半導体領域の所定位置に形成されたトレンチに素子分離領域を形成することにより、前記半導体領域を複数の素子領域に分離してなる半導体装置であって、
前記トレンチ内壁に、拡散制限層を介して第2導電型の不純物を含む充填膜が充填されている半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記トレンチ外壁に第2導電型の不純物を含む低濃度の拡散層からなるキャリア発生抑制層を具備した半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置であって、
前記拡散制限層は、熱酸化膜である半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置であって、
前記熱酸化膜の膜厚は20nm〜40nmである半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置であって、
前記拡散制限層は、CVD酸化膜である半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置であって、
前記拡散制限層は、熱酸化膜とCVD酸化膜の積層膜である半導体装置。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の半導体装置であって、
前記充填層は、不純物ドープされた絶縁膜である半導体装置。 - 請求項7に記載の半導体装置であって、
前記第1導電型の半導体領域はn型シリコン層であり、前記充填層は、ボロンドープされた酸化シリコン膜である半導体装置。 - 請求項7に記載の半導体装置であって、
前記第1導電型の半導体領域はn型シリコン層であり、前記充填層は、ボロンドープされた多結晶シリコン膜である半導体装置。 - 請求項7に記載の半導体装置であって、
前記第1導電型の半導体領域はn型シリコン層であり、前記充填層は、ボロンドープされたアモルファスシリコン膜である半導体装置。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載の半導体装置であって、
前記拡散抑制層の外側では内側よりも不純物濃度が一桁以上小さい半導体装置。 - 請求項1乃至11のいずれかに記載の半導体装置であって、
前記素子領域に固体撮像素子を形成してなる半導体装置。 - 請求項1乃至11のいずれかに記載の半導体装置であって、
前記素子領域にメモリセルを形成してなる半導体装置。 - 第1導電型の半導体領域を有する半導体基板上にトレンチを形成する工程と、
前記トレンチ内壁を絶縁膜で被覆する絶縁膜形成工程と、
前記絶縁膜の形成されたトレンチ内壁に第2導電型の不純物を含む充填膜を形成する工程とを含み、
前記トレンチから所定距離だけ離間した位置にPN接合を形成するように、前記絶縁膜を介して前記第2導電型の不純物を前記半導体領域に染み出させる工程とを含む半導体装置の製造方法。 - 請求項14に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記トレンチ外壁に第2導電型の不純物を含む低濃度の拡散層からなるキャリア発生抑制層を形成するようにした半導体装置の製造方法。 - 請求項14または15に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記絶縁膜を形成する工程は、前記トレンチ内壁を熱酸化し、熱酸化膜を形成する工程である半導体装置の製造方法。 - 請求項14乃至16のいずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記絶縁膜を形成する工程は、前記トレンチ内壁に酸化シリコン膜を形成するCVD工程とを含む半導体装置の製造方法。 - 請求項14乃至17のいずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記キャリア発生抑制層の濃度および厚さが所望の値となるように、後続工程における総熱量に基づいて、前記絶縁膜の不純物透過性と、前記充填膜の不純物濃度とを制御するようにした半導体装置の製造方法。
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