JP2006177453A - ロータリージョイントおよびロータリージョイントの筐体分割体 - Google Patents
ロータリージョイントおよびロータリージョイントの筐体分割体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006177453A JP2006177453A JP2004371713A JP2004371713A JP2006177453A JP 2006177453 A JP2006177453 A JP 2006177453A JP 2004371713 A JP2004371713 A JP 2004371713A JP 2004371713 A JP2004371713 A JP 2004371713A JP 2006177453 A JP2006177453 A JP 2006177453A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- shaft
- rotary joint
- shaft body
- divided body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 52
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 52
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 16
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 5
- 239000003814 drug Substances 0.000 abstract 1
- 229940079593 drug Drugs 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 48
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 23
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 8
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000008155 medical solution Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L27/00—Adjustable joints, Joints allowing movement
- F16L27/08—Adjustable joints, Joints allowing movement allowing adjustment or movement only about the axis of one pipe
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L39/00—Joints or fittings for double-walled or multi-channel pipes or pipe assemblies
- F16L39/06—Joints or fittings for double-walled or multi-channel pipes or pipe assemblies of the multiline swivel type, e.g. comprising a plurality of axially mounted modules
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/18—Sealings between relatively-moving surfaces with stuffing-boxes for elastic or plastic packings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Joints Allowing Movement (AREA)
- Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
Abstract
【解決手段】 略円柱状の軸体3と、軸体3内に形成されるとともに、その側面に開口部を有する軸体流通孔15a,15b,15c,15dと、軸体3を相対回転可能に挿通させる挿通孔5が形成された筐体7と、軸体3の中心軸C方向に並ぶように筐体7を複数に分割して形成された筐体分割体25,25,27a,27b,27c,27dと、軸体流通孔15a,15b,15c,15dと筐体7の外部とを連通させる筐体流通孔51と、軸体流通孔15a,15b,15c,15dと筐体流通孔51とを連通させる円環溝49と、軸体3と筐体7との間における中心軸C方向への流体の移動を遮断する円環状の漏洩防止部材43と、を有することを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
このように半導体ウエハのポリッシングを行う場合に、ターンテーブル又はトップリングからポリッシングに用いる各種の薬液の供給が行われる。また、半導体ウエハ等の真空吸着や、エアスパウト、水スパウトなどに用いる空気や水の供給等もターンテーブル又はトップリングから行われている。
そのため、固定配置されたCMP装置本体と、これに回転自在に支持されたターンテーブル又はトップリングとの間には、上記各種薬液や、空気、水などを漏れなく流動させるロータリージョイントが設けられている。
また、CMP装置などで用いられる薬液などの種類は、例えば、1種類の場合から4種類,5種類の場合まであり、これら全パターンに対応するロータリージョイントをそれぞれ必要数製造し、在庫として保有することは、製造者の負担となっていた。
本発明のロータリージョイントは、略円柱状の軸体と、該軸体内に形成されるとともに、その側面に開口部を有する軸体流通孔と、前記軸体を相対回転可能に挿通させる挿通孔が形成された筐体と、前記軸体の中心軸方向に並ぶように前記筐体を複数に分割して形成された筐体分割体と、該筐体分割体に形成され、前記軸体流通孔と前記筐体の外部とを連通させる筐体流通孔と、前記軸体の側面または前記挿通孔の内周面の少なくとも一方に形成され、前記軸体流通孔と前記筐体流通孔とを連通させる円環溝と、前記軸体と前記筐体との間における前記中心軸方向への流体の移動を遮断する円環状の漏洩防止部材と、を有することを特徴とする。
例えば、流体の種類数を減らす場合には、減らした流体の種類数に対応した軸体のみを新たに製作、あるいは、製造元に発注し、余分な筐体分割体はロータリージョイントから取り外せばよい。また、流体の種類数を増やす場合には、増やした流体の種類数に対応した軸体と、不足する筐体分割体を新たに製作、あるいは、製造元に発注すればよい。
そのため、ロータリージョイント全体を交換する方法と比較して、軸体のみ、あるいは軸体と不足する筐体分割体のみを新たに準備だけなので、安価に対応できる。
その結果、軸体と漏洩防止部材との接触部における面圧のばらつきを抑えることができ、軸体や漏洩防止部材の磨耗促進を防止でき、ひいては軸体流通孔と筐体流通孔との間を流通する流体の漏洩を防止できる。
具体的には、凸部や凹部は挿通孔の加工と同工程で、筐体分割体を保持冶具(チャック)から取り外すことなく加工できるため、高い相対位置精度を確保できる。
本発明によれば、例えば、締結部材の締結を解除した後においても、上記複数の筐体分割体の分離が困難な場合でも、容易に上記複数の筐体分割体を分離できる。具体的には、まず、隣接する筐体分割体の相対位相をずらすことにより、締結部材用孔をずらし、その後、孔部雌ねじ部と螺合する所定のボルトを孔部雌ねじ部に螺合させることにより、所定のボルトが隣接する筐体分割体を押圧し、分離させることができる。
例えば、回転支持体がベアリングの場合、その内輪と軸体とを分離可能に配置する方法と比較して、ベアリングの外輪と筐体とを分離可能に配置する方が、軸体の中心軸と挿通孔の中心軸との相対位置精度を確保しやすい。その結果、軸体と挿通孔との間隔の不均一を防止でき、軸体や漏洩防止部材の磨耗促進を防止でき、ひいては軸体流通孔と筐体流通孔との間を流通する流体の漏洩を防止することができるようにした。
一般的に、ベアリング内輪と軸体とのをきつくする必要が知られており、メンテナンスなどの際に軸体からベアリングを取り出したり、軸体にベアリングを再組み立てしたりする時に、それぞれ専用の治具が必要とされ、現場でのメンテナンスが難しくなる問題を防止できる。
軸体からベアリングを取り出す際にベアリングに傷をつける恐れがあり、この傷により、軸体の中心軸と挿通孔の中心軸との相対位置精度が悪化する問題。これによる薬液などの漏れや、ロータリージョイントの寿命が短くなる問題を防止できる。
また、メンテナンスなどの再組み立ての際にも回転支持体の内輪を抑えて嵌め込む治具を必要とせず、回転支持体に対して再組み立てなどの行為を必要としないため、簡単に現場でメンテナンスを行うことができる。
その結果、回転支持体の取り付け・取り外し用治具を用いず、かつ、回転支持体を傷つけることなくロータリージョイントのメンテナンス等を行うことができる。
また、耐磨耗材を軸体の側面にコーティングしているため、例えば、耐磨耗材から形成された円筒を軸体に被せる方法と比較して、軸体の寸法制度を確保しやすく、その製造が容易となるため製造コストの低減を図ることができる。
例えば、上記一対のシール部材同士が接触して支持しあう場合では、シール部材が移動する可能性がある。すると、シール部材と軸体との接触部がずれて流体が漏れる場合がある。
また、筐体分割体は、上記流通させる流体の種類数の変動に対して、その数を変更して対応するため、その形状を変更させる必要がない。そのため、上記流通させる流体の種類数に対応した専用筐体を用いる方法と比較して、同一形状の筐体分割体のみを製造すればよいことから、製造工程の簡略化、時間短縮、コスト低減を図りやすくできる。さらに、在庫を保管するスペースを削減できる。
筐体分割体は上記流通させる流体の種類数の変動に対して、その形状を変更させる必要がないため、筐体分割体も含めたロータリージョイントの製造コスト等の削減や製造に要する期間を短縮できるという効果を奏する。
まず、本発明のロータリージョイントを備えたCMP装置について説明する。
図1は、本発明に係るロータリージョイントを備えたCMP装置における、当該ロータリージョイントに係る部分を説明する概略図である。
CMP装置101は、図1に示すように、略鉛直方向の回転軸P回りに駆動回転される回転テーブル部103と、水平進退移動(往復動)するパッド支持部105と、から概略構成され、回転テーブル部103とパッド支持部105との間に研磨されるシリコンなどのウエハ107が配置されている。
給排装置111から研磨パッド109までの間には、研磨用の薬液が流通する給排経路115が形成され、空気供給装置113から研磨パッド109までの間には、加圧空気が流通する空気経路117が形成されている。
なお、研磨用の薬液としては、アルカリ成分としてKOH(水酸化カリウム)を含むシリカスラリにイソプロピルアルコールを添加したものを例示することができる。
次に、空気供給装置113により加圧された空気とともに、給排装置111から供給された研磨用の薬液をパッド部119とウエハ107との間に噴出させる。この時同時に、研磨パッド109を回転させながら水平進退移動(往復動)または研磨パッド109を公転させることにより、ウエハ107の表面107aを研磨する。
また、研磨の終了後は、給排装置111により給排経路115内に残留する研磨用の薬液を吸引して廃棄し、ウエハ107の表面107aへの滴下を防止する。
図2は、本発明に係るロータリージョイントの構成を説明する断面図である。
ロータリージョイント1は、図2に示すように、略円柱形のシャフト(軸体)3と、シャフト3が挿通される挿通孔5が形成された略円筒形のハウジング(筐体)7と、から概略構成され、シャフト3とハウジング7とがシャフト3の中心軸回りに相対回転可能に構成されている。
なお、シャフト3は、耐薬液性を有する材料が好ましく、例えばステンレスなどの金属から形成され、SUS316などを例示できるが、これに限定されるものではない。
軸部9内には、図2および図3に示すように、4本の軸流通路(軸体流通孔)15a,15b,15c,15dが形成されている。各軸流通路15a,15b,15c,15dは、図3に示すように、フランジ部11の端面にフランジ側の開口部を有し、各フランジ側の開口部はシャフト3の中心軸Cを中心とした同一円周上に等間隔に配置されている。軸流通路15a,15b,15c,15dは、図2に示すように、フランジ側の開口部からシャフト中心軸Cに沿って、小径部13側へ延びている。
そして、各軸流通路15a,15b,15c,15dは、それぞれ異なる所定の位置で略直角に折れ曲がるように形成され、軸部9の側面の軸部の開口部にて外部と連通される。具体的には、各軸流通路15a,15b,15c,15dは、後述する各ハウジング流通路と対応する位置で折れ曲がるように形成されている。
フランジ部11には、上述の研磨パッド109(図1参照)と接続される接続用ねじ孔21が形成されている。この接続用ねじ孔21を介して、フランジ部11と研磨パッド109とが接続されている。
また、フロント分割体23、ハウジング分割体27a,27b,27c,27d、および、リア分割体25を一体に固定する第1貫通ボルト(締結部材)33と、フロントカバー29、フロント分割体23、ハウジング分割体27a,27b,27c,27d、リア分割体25、および、リアカバー31を一体に固定する第2貫通ボルト(締結部材)35と、が備えられている。
また、ハウジング7には、ハウジング分割体27a,27b,27c,27dと、フロント分割体23と、リア分割体25と、リアカバー31と、を貫通して挿通孔5が形成され、挿通孔5にはシャフト3が挿通されている。
また、ハウジング分割体27a,27b,27c,27dおよびリア分割体25におけるフロント分割体23側のフロント接触面(対向面)41の外縁近傍領域には、挿通孔5と中心軸Cを共有する円環状の凹部であるインロー(中心軸決め手段,凹部)39bとが形成されている。
なお、上述のように、インロー39a,39bを用いることにより、挿通孔5の中心軸の位置合わせを行ってもよいし、例えば位置決めピンなどを用いて挿通孔5の中心軸の位置合わせを行ってもよい。
また、段差部42の半径方向外方に隣接して、後述する補強部材を保持する保持部が形成されている。
シール部材43の間には、円環形状上に形成された補強部材45が配置されている。補強部材45は、両側に配置されたシール部材43のジャケットと接触して配置され、シール部材43が移動するのを防止している。
なお、溝部に配置されるものは、上述のようにOリング47であってもよいが、漏洩防止の作用を奏する部材であれば他のものであってもよく、特に限定されない。
また、リア分割体25には、前述した軸部ベアリング17の外輪を支持するリア支持部55が形成されている。リア支持部55は、挿通孔5の内周面にたいして凹状に凹んだ円環溝として形成されている。
これらフロント支持部53およびリア支持部55は、その中心軸が挿通孔5の中心軸Cと一致するように形成されている。また、フロント支持部53およびリア支持部55は、それぞれ小径部ベアリング19および軸部ベアリング17と接触、離間可能に配置され、固定されていない。
第1貫通ボルト孔57の内周面には、雄ねじ部59の外径より内径の大きな孔部雌ねじ部67が形成されている。例えば、雄ねじ部59がM6の雄ねじとすると、孔部雌ねじ部67はM8の雌ねじとすることで上記の関係となる。
ロータリージョイント1は、図1および図2に示すように、シャフト3がパッド支持部105と接続されて回転駆動され、ハウジング7が上述の回転規制部材により固定配置されている。なお、シャフト3の回転速度はCMP装置101の使用条件により異なるが、例えば、毎分100回転から200回転程度の回転速度を例示できる。
シール部材43は、各薬液または空気の圧力により押し込まれるが、補強部材45により支持されるため、その移動が防止されている。
負圧となった円環溝に隣接するシール部材43は、その両側の圧力差によりジャケットの開口が閉じる方向の力が働き、シール性が低下する。逆に、補強部材を挟んで隣接するシール部材43には、ジャケットの開口が開く方向の力が働きシール性が向上する。
まず、第2貫通ボルト35を外すことにより、フロントカバー29をハウジング7から取り外し、第1貫通ボルト33をハウジング7から取り外す。
その後、ハウジング7を構成するフロント分割体23、ハウジング分割体27a,27b,27c,27d、リア分割体25を、順にシャフト3の小径部13側から取り外す。これにより、シャフト3が取り出される。
対応する薬液等の数を変更する際に、シャフト3のみは、その内部に形成された軸流通路数やシャフト3の長さを変更できないため、取り替えられる。ここでは、図4および図5に示すように、対応する薬液等の数が1種類の場合について説明する。そのため、取り替えられた新たなシャフト(軸体)3´には、1本の軸流通路15aが形成されている。
そして、リア分割体25、ハウジング分割体27a、フロント分割体23をこの順にシャフト3´の小径部13側から挿通させる。
そして、フロント分割体23、ハウジング分割体27a、リア分割体25は第1貫通ボルト(締結部材)33´により一体に締結される。このように、各分割体を第1貫通ボルト33´により一体に締結するため、各挿通孔5の中心軸の一致度を損なうことなく締結できる。
そして、孔部雌ねじ部67と螺合するボルト(M8ボルト)をハウジング分割体27aから螺合させる。上記ボルトの先端をハウジング分割体27bに当接させ、押圧することでハウジング分割体27a,27bを分離できる。
例えば、薬液等の種類数を減らす場合には、シャフト3を減らした薬液等の種類数に対応したシャフトに変更し、余分なハウジング分割体はロータリージョイント1から取り外巣ことで対応できる。また、薬液等の種類数を増やす場合には、増やした後の薬液等の種類数に対応したシャフトに変更し、不足するハウジング分割体追加することで対応できる。
そのため、ロータリージョイント1全体を交換する方法と比較して、シャフトのみ、あるいはシャフトと不足するハウジング分割体のみを新たに準備だけで対応できるため、安価に対応できる。
その結果、シャフト3とシール部材43との接触部における面圧のばらつきを抑えることができ、シャフト3やシール部材43の磨耗促進を防止でき、ひいては軸流通路15a,15b,15c,15dとハウジング流路51との間を流通する薬液等の漏洩を防止できる。
具体的には、インロー39a,39bは挿通孔5の加工と同工程で、ハウジング分割体を保持冶具(チャック)から取り外すことなく加工できるため、高い相対位置精度を確保できる。
つまり、ベアリングの内輪とシャフト3とを分離可能に配置する方法と比較して、ベアリングの外輪とハウジング7とを分離可能に配置する方が、シャフト3の中心軸と挿通孔5の中心軸との相対位置精度を確保しやすい。
また、メンテナンス時における、小径部ベアリング19取り出し用の治具が不要となるとともに、再組み立て時に用いる小径部ベアリング19の内輪を抑える嵌め込み用の治具が不要となり、現場でのメンテナンス作業を容易にすることができる。
また、セラミックをシャフト3の側面に溶射によりコーティングしているため、例えば、セラミックから形成された円筒部材をシャフト3に被せる方法と比較して、その製造が容易となるため製造コストの低減を図ることができる。
例えば、上記の実施の形態においては、この発明をCMP装置に適用されたロータリージョイントとして説明したが、この発明はCMP装置に適用されたものに限られることなく、その他各種の回転部を有する装置等に適応できるものである。
3,3´ シャフト(軸体)
5 挿通孔
7 ハウジング(筐体)
15a,15b,15c,15d 軸流通路(軸体流通孔)
17 軸部ベアリング(回転支持体)
19 小径部ベアリング(回転支持体)
23 フロント分割体(筐体分割体)
25 リア分割体(筐体分割体)
27a,27b,27c,27d ハウジング分割体(筐体分割体)
33,33´ 第1貫通ボルト(締結部材)
35 第2貫通ボルト(締結部材)
37 リア接触面(対向面)
39a,39b インロー(中心軸決め手段,凸部)
41 フロント接触面(対向面)
43 シール部材(漏洩防止部材)
45 補強部材
49 円環溝
51 ハウジング流路(筐体流通孔)
57 第1貫通ボルト孔(締結部材用孔)
59 雄ねじ部
61 係止用雌ねじ部(係止部)
65 座面(係止部)
67 孔部雌ねじ部
C 中心軸
Claims (10)
- 略円柱状の軸体と、
該軸体内に形成されるとともに、その側面に開口部を有する軸体流通孔と、
前記軸体を相対回転可能に挿通させる挿通孔が形成された筐体と、
前記軸体の中心軸方向に並ぶように前記筐体を複数に分割して形成された筐体分割体と、
該筐体分割体に形成され、前記軸体流通孔と前記筐体の外部とを連通させる筐体流通孔と、
前記軸体の側面または前記挿通孔の内周面の少なくとも一方に形成され、前記軸体流通孔と前記筐体流通孔とを連通させる円環溝と、
前記軸体と前記筐体との間における前記中心軸方向への流体の移動を遮断する円環状の漏洩防止部材と、
を有することを特徴とするロータリージョイント。 - 一の筐体分割体と他の筐体分割体とが互いに対向する対向面に、前記一の筐体分割体および前記他の筐体分割体に形成された前記挿通孔の中心軸を一致させる中心軸決め手段が設けられていることを特徴とする請求項1記載のロータリージョイント。
- 前記中心軸決め手段が、
前記一の筐体分割体の対向面に形成された前記中心軸を中心とする円環状の凸部と、
前記他の筐体分割体の対向面に形成された前記凸部と嵌合する前記中心軸を中心とした円環状の凹部と、
であることを特徴とする請求項2記載のロータリージョイント。 - 前記筐体が一列に配列された前記複数の筐体分割体と、前記複数の筐体分割体を一体に固定する締結部材とを有し、
前記筐体の両端に配置された一対の筐体分割体には、前記締結部材が係止される係止部が形成され、
前記一対の筐体分割体間に挟まれた筐体分割体には、前記締結部材が挿通される締結部材用孔が形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のロータリージョイント。 - 前記締結部材が、一方の端部の少なくとも先端領域に雄ねじ部が形成されるとともに、他方の端部に頭部が形成されたボルトであり、
前記一対の筐体分割体の一方に形成された係止部が、前記雄ねじ部と螺合する係止用雌ねじ部であり、
他方の筐体分割体に形成された係止部が、前記頭部と接触する座面であることを特徴とする請求項4記載のロータリージョイント。 - 前記締結部材用孔の内周面に、前記雄ねじ部の外径より内径の大きな孔部雌ねじ部が形成されていることを特徴とする請求項5記載のロータリージョイント。
- 前記軸体と前記筐体とを前記中心軸周りに相対回転可能に支持する回転支持体が、前記軸体に少なくとも一対備えられ、
前記軸体の一方の端部に備えられた前記回転支持体の外径が、前記軸体の外径よりも小さいことを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のロータリージョイント。 - 前記漏洩防止部材が前記筐体側に固定され、
前記軸体の側面であって、少なくとも前記漏洩防止部材との摺動領域に耐磨耗材がコーティングされていることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のロータリージョイント。 - 前記漏洩防止部材が、断面が略U字型のシール部材であり、
前記筐体分割体同士の接合面を挟んで、一対の前記シール部材を前記中心軸方向に並べて配置するとともに、略U字型の開口が前記中心軸方向に沿って反対方向を向くように配置され、
前記シール部材の間に円環状の補強部材が配置されていることを特徴とする請求項1記載のロータリージョイント。 - 略円柱状の軸体と、
該軸体内に形成されるとともに、その側面に開口部を有する軸体流通孔と、
前記軸体を相対回転可能に挿通させる挿通孔が形成された筐体と、
該筐体を複数に分割した筐体分割体と、
該筐体分割体に形成され、前記軸体流通孔と前記筐体の外部とを連通させる筐体流通孔と、
前記軸体の側面または前記挿通孔の内周面の少なくとも一方に形成され、前記軸体流通孔と前記筐体流通孔とを連通させる円環溝と、
前記軸体と前記筐体との間における前記中心軸方向への流体の移動を遮断する円環状の漏洩防止部材と、を有するロータリージョイントの筐体分割体であって、
前記筐体分割体が、前記軸体の中心軸方向に並ぶように分割されていることを特徴とするロータリージョイントの筐体分割体。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004371713A JP4681872B2 (ja) | 2004-12-22 | 2004-12-22 | ロータリージョイントおよびロータリージョイントの筐体分割体 |
PCT/JP2005/023340 WO2006068126A1 (ja) | 2004-12-22 | 2005-12-20 | ロータリージョイントおよびロータリージョイントの筐体分割体 |
EP05820358A EP1832795B1 (en) | 2004-12-22 | 2005-12-20 | Rotary joint and housing segments of rotary joint |
US11/793,610 US7976069B2 (en) | 2004-12-22 | 2005-12-20 | Rotary joint and housing segments of rotary joint |
KR1020077013997A KR101127180B1 (ko) | 2004-12-22 | 2005-12-20 | 로터리 조인트 및 로터리 조인트의 하우징 분할체 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004371713A JP4681872B2 (ja) | 2004-12-22 | 2004-12-22 | ロータリージョイントおよびロータリージョイントの筐体分割体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006177453A true JP2006177453A (ja) | 2006-07-06 |
JP4681872B2 JP4681872B2 (ja) | 2011-05-11 |
Family
ID=36601726
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004371713A Expired - Fee Related JP4681872B2 (ja) | 2004-12-22 | 2004-12-22 | ロータリージョイントおよびロータリージョイントの筐体分割体 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7976069B2 (ja) |
EP (1) | EP1832795B1 (ja) |
JP (1) | JP4681872B2 (ja) |
KR (1) | KR101127180B1 (ja) |
WO (1) | WO2006068126A1 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012225359A (ja) * | 2011-04-15 | 2012-11-15 | Tsudakoma Corp | ロータリージョイント装置およびロータリージョイント装置の加工方法ならびにロータリージョイント装置を備えた工作機械用の主軸駆動装置 |
JP2013520616A (ja) * | 2010-02-23 | 2013-06-06 | シングル・ブイ・ムアリングス・インコーポレイテッド | 回転界面を横切って流体を移送し得る流体スイベル |
KR101440022B1 (ko) * | 2012-12-03 | 2014-09-17 | 주식회사 화승알앤에이 | 분할형 스턴튜브 실링장치 |
JP2014202245A (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-27 | 住友ゴム工業株式会社 | ロータリーシールおよびシェーピングフォーマー |
JP2015200395A (ja) * | 2014-04-10 | 2015-11-12 | 株式会社荏原製作所 | ロータリージョイント、及び、研磨装置 |
JP2018194112A (ja) * | 2017-05-18 | 2018-12-06 | 野村ユニソン株式会社 | ロータリージョイント内蔵タイプのロータリーアクチュエータ |
JP7514355B1 (ja) | 2023-04-13 | 2024-07-10 | 辛耘企業股▲ふん▼有限公司 | 半導体製造工程のウエハー移載装置及びウエハー移載方法 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATE500033T1 (de) * | 2008-06-27 | 2011-03-15 | Festo Ag & Co Kg | Drehvorrichtung |
CN102322148B (zh) * | 2011-06-20 | 2012-08-29 | 三一重工股份有限公司 | 一种中心回转装置及工程机械 |
EP2735655A4 (en) * | 2011-07-19 | 2015-03-18 | Volvo Constr Equip Ab | OSCILLATING JOINT FOR CONSTRUCTION EQUIPMENT |
CN102606828A (zh) * | 2012-03-09 | 2012-07-25 | 河北钢铁股份有限公司唐山分公司 | 一种改进的热轧卷取机芯轴旋转接头 |
CN102927393A (zh) * | 2012-11-01 | 2013-02-13 | 无锡百纳容器有限公司 | 旋转供油装置 |
CN103292102A (zh) * | 2013-06-25 | 2013-09-11 | 徐州重型机械有限公司 | 一种轮式起重机及其中心回转接头 |
EP3049707B1 (de) * | 2013-09-25 | 2018-01-17 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Vorrichtung zum übertragen von flüssigkeiten |
KR101414497B1 (ko) | 2013-12-03 | 2014-07-07 | (재)대구기계부품연구원 | 수평 분배 방식의 로터리 조인트를 이용한 터렛 헤드 장치와 절삭유 공급 방법 |
KR101414498B1 (ko) | 2013-12-03 | 2014-07-07 | (재)대구기계부품연구원 | 수평 분배 방식의 로터리 조인트와 이를 구비한 터렛 헤드 장치 |
CN103759088A (zh) * | 2013-12-23 | 2014-04-30 | 上海打捞局芜湖潜水装备厂 | 一种气液传动滑环 |
CN105570580B (zh) * | 2016-01-19 | 2017-11-03 | 江苏省无锡探矿机械总厂有限公司 | 一种双介质高压旋转接头 |
DE102016008398A1 (de) * | 2016-07-09 | 2018-01-11 | Eisele Pneumatics Gmbh & Co. Kg | Kupplungsvorrichtung |
CN107933855A (zh) * | 2017-12-06 | 2018-04-20 | 上海打捞局芜湖潜水装备厂 | 一种多路流体滑环 |
KR102060400B1 (ko) * | 2018-02-13 | 2020-02-11 | 씰링크 주식회사 | 직선운동 로터리 유니온 |
IT201800002682A1 (it) * | 2018-02-14 | 2019-08-14 | Giunto rotante per alta velocita' | |
JP7022620B2 (ja) * | 2018-03-06 | 2022-02-18 | 日本ピラー工業株式会社 | ロータリジョイント |
KR101937313B1 (ko) * | 2018-12-03 | 2019-04-09 | 반태행 | 래버린스 실링형 로터리 조인트 |
CN113217737B (zh) * | 2021-05-12 | 2022-06-17 | 贵州詹阳动力重工有限公司 | 一种全地形车回转接头的装配方法及回转接头 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3853328A (en) * | 1973-08-27 | 1974-12-10 | Nrn Corp | Rotary seal |
JPS5959572U (ja) * | 1982-10-14 | 1984-04-18 | リズム自動車部品製造株式会社 | 軸受け装置 |
JPS59147187A (ja) * | 1983-02-10 | 1984-08-23 | 新日本製鐵株式会社 | 流体コンバ−タ |
JPS6194687U (ja) * | 1984-11-29 | 1986-06-18 | ||
JPS61286694A (ja) * | 1985-06-10 | 1986-12-17 | 株式会社 大成金属工業所 | ロ−タリ−ジヨイント |
JP2003042306A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Eagle Ind Co Ltd | ロータリージョイント |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1760224A (en) * | 1928-12-22 | 1930-05-27 | James A Wray | Swivel |
US2557498A (en) * | 1945-05-01 | 1951-06-19 | Six Wheels Inc | Swing joint |
US2877026A (en) * | 1954-02-09 | 1959-03-10 | Crane Packing Co | Sealing device for a swivel joint having plural fluid passages |
US3077252A (en) * | 1959-10-22 | 1963-02-12 | Alexander C Smith | Clutch-brake unit |
US3381704A (en) * | 1965-04-22 | 1968-05-07 | Howard M. Richardson | Hose reel |
US3411526A (en) * | 1967-03-09 | 1968-11-19 | Smith Harvestore Products | Hydraulic coupling |
US3477746A (en) * | 1967-10-03 | 1969-11-11 | Watson Mfg Co | Multiline swivel and mounting system |
JPS5959572A (ja) | 1982-09-29 | 1984-04-05 | Toyoda Mach Works Ltd | 車両用動力舵取装置 |
JPS6194687A (ja) | 1984-10-17 | 1986-05-13 | シャープ株式会社 | 洗濯機の水流制御装置 |
US4836305A (en) * | 1985-05-06 | 1989-06-06 | Pangaea Enterprises, Inc. | Drill pipes and casings utilizing multi-conduit tubulars |
US4683912A (en) * | 1986-03-06 | 1987-08-04 | General Motors Corporation | Rotary coupler for a robot |
JPS6342762A (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-23 | Tokiwa Denki:Kk | 多段分解型ロ−タリ−ジヨイント |
US5143483A (en) * | 1991-05-06 | 1992-09-01 | Shell Offshore Inc. | Hydraulic stab subassembly for remotely operated vehicle vertical interface tool |
DE9400767U1 (de) * | 1994-01-18 | 1994-04-28 | Ec Engineering + Consulting Spezialmaschinen Gmbh, 89079 Ulm | Drehdurchführung |
US5713609A (en) * | 1996-11-27 | 1998-02-03 | Vektek, Inc. | Rotary union apparatus |
JP3555936B2 (ja) * | 2000-07-03 | 2004-08-18 | 日本ピラー工業株式会社 | 多流路形ロータリジョイント |
-
2004
- 2004-12-22 JP JP2004371713A patent/JP4681872B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-12-20 WO PCT/JP2005/023340 patent/WO2006068126A1/ja active Application Filing
- 2005-12-20 KR KR1020077013997A patent/KR101127180B1/ko active IP Right Grant
- 2005-12-20 US US11/793,610 patent/US7976069B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-20 EP EP05820358A patent/EP1832795B1/en not_active Ceased
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3853328A (en) * | 1973-08-27 | 1974-12-10 | Nrn Corp | Rotary seal |
JPS5959572U (ja) * | 1982-10-14 | 1984-04-18 | リズム自動車部品製造株式会社 | 軸受け装置 |
JPS59147187A (ja) * | 1983-02-10 | 1984-08-23 | 新日本製鐵株式会社 | 流体コンバ−タ |
JPS6194687U (ja) * | 1984-11-29 | 1986-06-18 | ||
JPS61286694A (ja) * | 1985-06-10 | 1986-12-17 | 株式会社 大成金属工業所 | ロ−タリ−ジヨイント |
JP2003042306A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Eagle Ind Co Ltd | ロータリージョイント |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013520616A (ja) * | 2010-02-23 | 2013-06-06 | シングル・ブイ・ムアリングス・インコーポレイテッド | 回転界面を横切って流体を移送し得る流体スイベル |
JP2012225359A (ja) * | 2011-04-15 | 2012-11-15 | Tsudakoma Corp | ロータリージョイント装置およびロータリージョイント装置の加工方法ならびにロータリージョイント装置を備えた工作機械用の主軸駆動装置 |
KR101552535B1 (ko) | 2011-04-15 | 2015-09-11 | 츠다코마 고교 가부시키가이샤 | 로터리 조인트 장치 및 로터리 조인트 장치의 가공 방법 및 로터리 조인트 장치를 구비한 공작 기계용의 주축 구동 장치 |
KR101440022B1 (ko) * | 2012-12-03 | 2014-09-17 | 주식회사 화승알앤에이 | 분할형 스턴튜브 실링장치 |
JP2014202245A (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-27 | 住友ゴム工業株式会社 | ロータリーシールおよびシェーピングフォーマー |
JP2015200395A (ja) * | 2014-04-10 | 2015-11-12 | 株式会社荏原製作所 | ロータリージョイント、及び、研磨装置 |
JP2018194112A (ja) * | 2017-05-18 | 2018-12-06 | 野村ユニソン株式会社 | ロータリージョイント内蔵タイプのロータリーアクチュエータ |
JP7514355B1 (ja) | 2023-04-13 | 2024-07-10 | 辛耘企業股▲ふん▼有限公司 | 半導体製造工程のウエハー移載装置及びウエハー移載方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006068126A1 (ja) | 2006-06-29 |
JP4681872B2 (ja) | 2011-05-11 |
US7976069B2 (en) | 2011-07-12 |
KR20070101853A (ko) | 2007-10-17 |
EP1832795A1 (en) | 2007-09-12 |
EP1832795B1 (en) | 2013-02-20 |
KR101127180B1 (ko) | 2012-03-20 |
EP1832795A4 (en) | 2009-01-21 |
US20080113537A1 (en) | 2008-05-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4681872B2 (ja) | ロータリージョイントおよびロータリージョイントの筐体分割体 | |
KR101301763B1 (ko) | 로타리 조인트 | |
JP3580774B2 (ja) | 多流路形ロータリジョイント | |
US8464644B2 (en) | Rotary table assembly | |
US11662022B2 (en) | Sealing apparatus capable of rotational motion | |
KR20220168807A (ko) | 로터리 유니온 조립체 | |
JP4447237B2 (ja) | ロータリージョイント | |
KR20020005394A (ko) | 인덱스테이블 | |
JP4234821B2 (ja) | ベローズ型メカニカルシール | |
JP5701683B2 (ja) | 軸封装置 | |
KR200462850Y1 (ko) | 로터리 조인트 | |
JP5368352B2 (ja) | 弾性シール装置の組み立て方法及びこれに使用する組み立て用治具 | |
CN112975571A (zh) | 旋转分度装置 | |
JP4903991B2 (ja) | ロータリージョイント | |
EP1637782A1 (en) | Seal housing for a mechanical seal | |
JP4053788B2 (ja) | 軸封装置 | |
JP2003042373A (ja) | ロータリージョイント | |
JP2007211891A (ja) | 軸流型非接触シール | |
KR20230174423A (ko) | 로터리 유니온 조립체 | |
JP4030307B2 (ja) | メカニカルシール装置 | |
CN110762309A (zh) | 一种cph油路旋转分配器装置 | |
JP2003097728A (ja) | メカニカルシール装置 | |
JP2018017251A (ja) | メカニカルシールの取り付け方法 | |
JPH10277876A (ja) | 工具ホルダ | |
JP2009275921A (ja) | 軸流型非接触シール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070903 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100720 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100910 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110125 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110207 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4681872 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140210 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |