JP2007211891A - 軸流型非接触シール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転軸1の外周面1Aに微小間隙Hをもって外嵌されるシールリング6と、シールリング6をシール状態で径方向移動可能に、かつ、回転不能に収容する固定側体5とを有し、シールリング内周面6Aには、供給されてくる高圧のシールガスGを外周面1Aに向けて放出する開口部7が形成され、開口部7からシールガスGを放出することで微小隙間Hを維持しながらシールするように構成された軸流型非接触シールにおいて、シールリング6をその径方向で内径側に向けて押圧すべくシールリング6と固定側体5との間に配される弾性機構21の複数が、シールリング6の周方向に等間隔毎に設けられる。
【選択図】図4
Description
前記回転側体Kが、回転部材1との間がシールされ、かつ、一体回転状態で前記回転部材1に外嵌されるとともに前記回転部材1よりも小なる熱膨張係数を持つ材料で成る環状のスリーブ2から構成されており、前記外周面2Aが前記スリーブ2の外周面であることを特徴とするものである。
前記シールリング6をその径方向で内径側に向けて押圧すべく前記シールリング6と前記固定側体5との間に配される弾性機構21の複数が、前記シールリング6の周方向に等間隔毎に設けられていることを特徴とするものである。
実施例1による軸流型非接触シールAを図1〜図3に示す。図1において、1は軸心Pを有する回転軸(回転部材の一例)、2は水平な回転軸1に一体回転状態で外嵌される筒状のスリーブ(回転側体の一例)、3はスリーブ2を回転軸1に係止するためのストッパリング、4は本機ケーシング、5は本機ケーシングにボルト止めされるシールケーシング(固定側体の一例)、6はシールケーシング5に収容されるシールリングである。つまり、軸流型非接触シールAは、シールケーシング5、シールリング6、及びスリーブ2を最小構成部品として構成されている。
実施例2による軸流型非接触シールAを図4〜図6に示す。これは、シールリング6の構成、及びスリーブ(回転側体の一例)2が無く、シールリング6を直接回転軸1に外嵌させている構造である以外は、実施例1の軸流型非接触シールAと基本的に同じであり、違いの部分のみを説明するものとして、同じ部品や同じ機能を有する箇所には実施例1のものと同じ符号を付すものとする。
各実施例において、回転側体としては、例えば筒軸やドラム状のもの等、回転軸1以外の形態のものでも良い。圧力溝15は、軸方向に3列以上に設定されるものでも良い。実施例1におけるスリーブ2の材質は、回転軸1の材質よりも熱膨張係数の小さいものであれば良く、SiC、アルミナ、チタン以外のものでも良い。実施例2におけるコイルばね21は軸方向に複数列並ぶ構造8のものでも良い。また、複数の弾性機構21を外周側に有するシールリング6と回転軸1との間にスリーブ2を介装するという、実施例1のものと実施例2のものとが融合された構造のものでも良い。
1A 外周面
2 スリーブ
2A 外周面
2C 内周溝
5 固定側体
6 シールリング
6A 内周面
6B 外周面
6a,6b 側周面
7 開口部
8 Oリング
10 シールリング収容凹部
11 Oリング
14 供給孔
21 弾性機構(コイルばね)
22 ばね装着用穴
G シール用流体
H 微小な間隙
K 回転側体
Claims (6)
- 回転側体の外周面に微小な間隙をもって外嵌自在な寸法の内周面を有するシールリングと、このシールリングをシール状態で径方向移動可能に、かつ、回転不能に収容する固定側体とを有し、前記内周面には、供給されてくる高圧のシール用流体を前記外周面に向けて放出するための開口部が形成され、前記開口部から前記シール用流体を放出することで前記内周面と前記回転側体の外周面との微小な隙間を維持しながらシールするように構成されている軸流型非接触シールであって、
前記回転側体が、回転部材との間がシールされ、かつ、一体回転状態で前記回転部材に外嵌されるとともに前記回転部材よりも小なる熱膨張係数を持つ材料で成る環状のスリーブから構成されており、前記外周面が前記スリーブの外周面である軸流型非接触シール。 - 前記スリーブには、これと前記回転部材との間をシールするOリングを収容するための内周溝が形成されている請求項1に記載の軸流型非接触シール。
- 回転側体の外周面に微小な間隙をもって外嵌自在な寸法の内周面を有するシールリングと、このシールリングをシール状態で径方向移動可能に、かつ、回転不能に収容する固定側体とを有し、前記内周面には、供給されてくる高圧のシール用流体を前記外周面に向けて放出するための開口部が形成され、前記開口部から前記シール用流体を放出することで前記内周面と前記回転側体との外周面との微小な隙間を維持しながらシールするように構成されている軸流型非接触シールであって、
前記シールリングをその径方向で内径側に向けて押圧すべく前記シールリングと前記固定側体との間に配される弾性機構の複数が、前記シールリングの周方向に等間隔毎に設けられている軸流型非接触シール。 - 前記弾性機構がコイルばねであり、前記シールリングの外周面には、前記コイルばねを収容配置するために内径側に向って凹入したばね装着用穴が形成されている請求項3に記載の軸流型非接触シール。
- 前記シールリングの両側周面と前記固定側体との間の夫々がOリングでシールされるとともに、前記シールリングの外周面と前記固定側体におけるシールリング収容凹部とで囲まれるリング状の空間部に供給される前記シール用流体を、前記開口部に導くために前記シールリングを径方向に貫く供給孔が形成されている請求項1〜4の何れか一項に記載の軸流型非接触シール。
- 前記回転部材が水平向きの回転軸である請求項1〜5の何れか一項に記載の軸流型非接触シール。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105705843A (zh) * | 2013-09-30 | 2016-06-22 | 益保密封有限公司 | 轴封总成 |
CN111349960A (zh) * | 2018-12-21 | 2020-06-30 | 株式会社荏原制作所 | 用于将液体从基板保持件的密封件除去的方法 |
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EP3052838A4 (en) * | 2013-09-30 | 2017-06-21 | Inpro/Seal LLC | Shaft seal assembly |
CN111349960A (zh) * | 2018-12-21 | 2020-06-30 | 株式会社荏原制作所 | 用于将液体从基板保持件的密封件除去的方法 |
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