JP2006174601A - サージ吸収回路 - Google Patents

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Abstract

【課題】
ICやLSI等の半導体デバイスは高圧の静電気によって破壊されたり、特性が劣化したりするため、静電気対策としてバリスタ等のサージ吸収素子が使用されている。バリスタを始めとするサージ吸収素子は浮遊容量成分や浮遊誘導成分を持つため、高速信号を扱う回路に適用すると信号を劣化させてしまう。浮遊容量と制御電圧・エネルギー耐量はトレードオフの関係にあるため、高速信号用途に対して特性のよいサージ吸収素子を適用できないという課題があった。
【解決手段】
上記目的を達成するために、本願発明に係るサージ吸収回路は、誘導素子等を利用してサージ吸収素子の浮遊容量成分の影響をキャンセルする。
【選択図】図7

Description

本発明は、高周波特性を改善したサージ吸収回路に関するものである。
ICやLSI等の半導体デバイスは高圧の静電気によって破壊されたり、特性が劣化したりするため、静電気対策としてバリスタ等のサージ吸収素子が使用されている。バリスタを始めとするサージ吸収素子は浮遊容量成分を持つため、高速信号を扱う回路に適用すると信号を劣化させてしまう。
バリスタをサージ吸収回路に適用した例を図1に示す。図1において、101は入出力端子、102は共通端子、103はバリスタである。小振幅の入力信号が入出力端子101に入力しても、バリスタ103は高抵抗のままで、入力信号に影響を与えない。一方、
高圧サージが入出力端子101に入力すると、バリスタ103によって共通端子102に逃がされる。この結果、図1に示すサージ吸収回路を半導体デバイスの入出力端子に接続しておくと、半導体デバイスは高圧サージから保護されることになる。
バリスタの等価回路を図2に示す。図2において、104は可変抵抗、105は浮遊容量である。通常は、可変抵抗104の抵抗値が大きく、高圧サージが印加されると抵抗値が小さくなり、半導体デバイスを高圧サージから保護する。しかし、浮遊容量105が存在するために、高速信号を扱う半導体デバイスの入出力側にバリスタを付加すると、高速信号の劣化の原因となる。
浮遊容量の容量Cz=1、3、5pFのときの、図2に示す等価回路で表されるサージ吸収回路のSパラメータS11とS21の計算結果を図3に示す。浮遊容量が5pFのときは、数100MHzを超えるとS21が劣化し始め、信号伝達ができなくなる。また、S11も大きくなり、反射特性が劣化する。浮遊容量が1pFでも1GHzを超えると同様である。浮遊容量と制御電圧・エネルギー耐量はトレードオフの関係にあるため、高速信号用途に対して特性のよいサージ吸収素子を適用できないという課題があった。
浮遊容量の容量Cz=1、3、5pFのときの、サージ吸収回路のTDR(Time Domain Reflectometry)試験結果を図4に示す。立ち上がり立下り時間が200psで信号振幅が1V0−pのパルス信号に対する入力インピーダンスは、浮遊容量が5pFのときは、定常状態である100Ωに対して、40Ω程度にまで劣化する。浮遊容量が1pFであっても、80Ωまで劣化する。
このように、高速信号を扱う回路にサージ吸収回路を適用するためには、浮遊容量成分を小さくしなければ、高速信号の立ち上がり特性や遅延特性の劣化を避けられない。その一方で、サージ吸収素子の浮遊容量成分を小さくすると、サージ吸収素子の制御電圧の上昇やエネルギー耐量を減少させてしまう。
浮遊容量成分の影響を軽減するサージ吸収回路がすでに提案されている。例えば、誘導素子をサージ吸収素子に組み合わせることで、サージ吸収回路のインピーダンス整合を図ることができる。図5に2つのバリスタを誘導素子に組み合わせたサージ吸収回路の例を示す。入力端子111と共通端子113との間にバリスタ115を接続し、出力端子112と共通端子113との間にバリスタ116を接続し、入力端子111と出力端子112との間に誘導素子114を接続したものである。
図6に誘導素子を2つのバリスタに組み合わせた他のサージ吸収回路の例を示す(例えば、特許文献1参照。)。入出力端子121と共通端子122との間にバリスタ124と誘導素子125の並列回路にバリスタ123を直列に接続したものである。
特開2001−60838号公報
しかし、図5に示す回路であっても十分な特性を実現することはできない。図5に示す回路の入力インピーダンスZinは下記の(1)式で表される。バリスタ115及び116は、図2に示す等価回路で表され、小振幅の高速信号に対しては図2の浮遊容量105のみで近似した。バリスタ115及び116の浮遊容量の容量をCz/2、誘導素子114の誘導係数(インダクタンス)をLzとした。
Figure 2006174601
ここで、
Figure 2006174601


のとき、(1)式の入力インピーダンスZinは、
Figure 2006174601

となる。
よって、
Figure 2006174601

となる誘導素子を用いれば、入力インピーダンスを信号ラインの特性インピーダンスに整合させることができる。なお、Zはサージ吸収回路を挿入する信号ラインの特性インピーダンスである。ただし、(2)式の条件があるため、高周波ではやはり特性インピーダンスに整合させることができなくなり、バリスタの浮遊容量を小さくする必要があることに変わりはない。
受動回路であるサージ吸収回路の周波数特性は、入力インピーダンスで評価すれば足りる。以下、入力インピーダンスで評価することとする。
図6に示す回路であっても、バリスタ123の浮遊容量と誘導素子125でバンドパスフィルタを構成することになるため、広帯域にわたってインピーダンス整合をとることは困難である。従って、高速信号に対しては十分な特性を実現することができない。
本願発明は、高速信号に対してもインピーダンス整合に優れたサージ吸収回路を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本願第一の発明に係るサージ吸収回路は、誘導素子を利用してサージ吸収素子の浮遊容量成分の影響をキャンセルする。
具体的には、本願第一の発明は、外部との接続に入力端子、出力端子及び共通端子を備えるサージ吸収回路であって、前記入力端子と前記出力端子との間に直列に接続された第一のサージ吸収素子及び第二のサージ吸収素子と、前記入力端子と前記出力端子との間に接続された第一の誘導素子と、前記直列に接続された第一のサージ吸収素子及び第二のサージ吸収素子の接続点と共通端子との間に接続された第二の誘導素子と、を備えるサージ吸収回路である。
入力端子と出力端子との間に直列に接続された第一のサージ吸収素子及び第二のサージ吸収素子に対して、第一の誘導素子が入力端子と出力端子との間に接続され、第二の誘導素子が2つのサージ吸収素子と共通端子との間に接続されているため、サージ吸収素子の浮遊容量成分に対して第一の誘導素子及び第二の誘導素子の値を適切に設定すると、浮遊容量成分の影響をキャンセルして広帯域にわたって周波数特性の平坦な入力インピーダンスを実現することができる。
従って、本願第一の発明は、半導体デバイス等を高圧の静電気から保護しつつ、高速信号に対してもインピーダンス整合に優れたサージ吸収回路を提供することができる。
上記目的を達成するために、本願第二の発明に係るサージ吸収回路は、本願第一の発明のサージ吸収回路にさらに容量素子を追加してサージ吸収素子の持つ浮遊容量成分の影響をキャンセルする。
具体的には、本願第二の発明は、本願第一の発明のサージ吸収回路に対して前記入力端子と前記出力端子との間に接続された容量素子をさらに備えることを特徴とするサージ吸収回路である。
入力端子と出力端子との間に直列に接続された第一のサージ吸収素子及び第二のサージ吸収素子に対して、第一の誘導素子及び容量素子が入力端子と出力端子との間に接続され、第二の誘導素子が2つのサージ吸収素子と共通端子との間に接続されているため、サージ吸収素子の浮遊容量成分に対して容量素子、第一の誘導素子及び第二の誘導素子の値を適切に設定すると、浮遊容量成分の影響をキャンセルして広帯域にわたって周波数特性の平坦な入力インピーダンスを実現することができる。
また、第一の誘導素子が浮遊容量成分を持つ場合に、その浮遊容量成分と並列になるように新たな容量素子を追加して、これに加算された容量及び2つのサージ吸収素子の浮遊容量成分を第一の誘導素子及び第二の誘導素子でキャンセルして広帯域にわたって周波数特性の平坦な入力インピーダンスを実現することもできる。
本願第二の発明を別の側面から説明すると、容量素子が第一の誘導素子に備わる浮遊容量成分であると考えることもできる。即ち、新たに容量素子を備えることなく、第一の誘導素子に並列に備わる浮遊容量成分及び2つのサージ吸収素子の浮遊容量成分の影響を、第一の誘導素子及び第二の誘導素子でキャンセルして広帯域にわたって周波数特性の平坦な入力インピーダンスを実現すると考えることもできる。この場合は、第一の誘導素子の浮遊容量成分を考慮して、第一の誘導素子の値及び第二の誘導素子の値を設定することになる。
従って、本願第二の発明は、半導体デバイス等を高圧の静電気から保護しつつ、高速信号に対してもインピーダンス整合に優れたサージ吸収回路を提供することができる。
本願発明によれば、半導体デバイス等を高圧の静電気から保護しつつ広帯域にわたってインピーダンス整合に優れたサージ吸収回路を提供することができる。
添付の図面を参照して本願発明の実施の形態を説明する。以下に説明する実施の形態は本願発明の構成の例であり、本願発明は、以下の実施の形態に制限されるものではない。
以下の実施の形態では、サージ吸収素子としてバリスタを代表例として説明しても、当然にバリスタを他のサージ吸収素子に置き換えても同様の動作、作用を奏する。
(実施の形態1)
本願発明の実施形態に係るサージ吸収回路の回路構成を図7に示す。図7において、11は入力端子、12は出力端子、13は共通端子、14は第一のサージ吸収素子、15は第二のサージ吸収素子、16は第二の誘導素子、17は第一の誘導素子である。
図7では、サージ吸収回路は、外部との接続に入力端子11、出力端子12及び共通端子13を備える。第一のサージ吸収素子14及び第二のサージ吸収素子15は、入力端子11と出力端子12との間に直列に接続されている。第一の誘導素子は、入力端子11と出力端子12との間に接続されている。第二の誘導素子は、第一のサージ吸収素子14及び第二のサージ吸収素子15の接続点と共通端子との間に接続されている。
サージ吸収素子15には、ZnO等の金属酸化物を利用したバリスタ、Si等の半導体を利用したPN接合素子、モリブデンを利用したサージ吸収素子、電極間の放電を利用するギャップ式放電素子等が適用できる。
ここでは、入力端子11と出力端子12を区別しているが、入力側と出力側とが入れ替わってもよい。共通端子13はグランドに接地されることが好ましい。第一のサージ吸収素子14及び第二のサージ吸収素子15の浮遊容量の容量はCz/2、第一の誘導素子の誘導係数(インダクタンス)はLz、第二の誘導素子の誘導係数はLgである。
図7のサージ吸収回路の入力インピーダンスは、下記の(5)式で表される。ここで、サージ吸収素子14及び15は、図2に示す等価回路で表され、小振幅の高速信号に対しては図2の容量Cz/2の浮遊容量105のみで近似した。
Figure 2006174601
ここで、(5)式において、下記(6)式を満たせば、入力インピーダンスZinは周波数に依存せず、特性インピーダンスZoに整合させることができる。
Figure 2006174601
従って、本実施の形態のサージ吸収回路は、半導体デバイス等を高圧の静電気から保護しつつ、高速信号に対してもインピーダンス整合に優れたサージ吸収回路とすることができる。
次に、図7で説明したサージ吸収回路を、積層サージ吸収部品として実現する例を説明する。
図8は、図7で説明したサージ吸収回路を積層型の部品として実現した積層サージ吸収部品を層ごとに展開した例である。図8において、21、23a、23b、24及び25は平面状の絶縁層、26a及び26bは第一の誘導素子を形成する誘導素子パターン、27a及び27bはそれぞれ第一のサージ吸収素子又は第二のサージ吸収素子を形成するサージ吸収素子パターン、28は第一のサージ吸収素子及び第二のサージ吸収素子を形成するサージ吸収素子パターン、29は第二の誘導素子を形成する誘導素子パターン、30は入力電極に接続される誘導素子パターン26aの端子、31は絶縁層に設けられたビアホール、33は出力電極に接続される誘導素子パターン26bの端子、34は共通電極に接続される誘導素子パターン29の端子である。
図9は、図8で説明した積層サージ吸収部品の外形である。図9において、35は入力電極、36は出力電極、37は共通電極である。入力電極35には、図8で説明した誘導素子パターンの端子30及びサージ吸収素子パターン27aが接続され、出力電極36には、図8で説明した誘導素子パターンの端子33及びサージ吸収素子パターン27bが接続され、共通電極37には、図8で説明した誘導素子パターンの端子34が接続される。ここでは、入力電極35と出力電極36を区別しているが、入力側と出力側とが入れ替わってもよい。共通電極37はグランドに接地されることが好ましい。
積層サージ吸収部品を構成する各絶縁層の構造及び材料について説明する。図8において、絶縁層21、23a、23b、24及び25は表面の回路との間で絶縁性を高めた材料、例えば、ガラスエポキシ樹脂、フッ素樹脂、セラミック等の誘電体材料が使用できる。絶縁層の表面に形成される各素子パターンは金、白金、銀、銅、鉛、これらの合金等の導体を利用でき、印刷技術やエッチング技術で作製される。
絶縁層21は内部の素子パターンが外部と接触することを防止する。絶縁層23aの表面には、第一の誘導素子の一部を形成する誘導素子パターン26aが形成され、誘導素子パターン26aの端子30が図9で説明した積層サージ吸収部品の表面に設けられた入力電極35に接続され、誘導素子パターン26aの端がビアホール31を介して誘導素子パターン26bの端に接続される。絶縁層23bの表面には、誘導素子パターン26bが形成され、誘導素子パターン26bの端子33が図9で説明した積層サージ吸収部品の表面に設けられた出力電極36に接続される。この例では、誘導素子パターンは2層に分けて形成しているが、1層で形成してもよい。複数の層で形成すると大きな誘導係数を実現することができる。また、この例では、ヘリカルパターンで形成しているが、スパイラルパターンでもミアンダパターンでもよい。
絶縁層24の表面には、サージ吸収素子パターン27a及び27bが形成されている。サージ吸収素子パターン27aの端は、図9で説明した積層サージ吸収部品の表面に設けられた入力電極35に接続され、サージ吸収素子パターン27bの端は、図9で説明した積層サージ吸収部品の表面に設けられた出力電極36に接続される。絶縁層25の表面には、サージ吸収素子パターン28が形成される。絶縁層24には、ビアホールを設けて、バリスタ特性を示す材料、例えばZnOを主成分とする半導体セラミック材料でビアホール内を充填する。あるいは、絶縁層24をバリスタ特性を示す材料、例えばZnOを主成分とする半導体セラミック材料で形成してもよい。図8の例では、サージ吸収素子パターンは対向する片面をそれぞれ単層で形成しているが、複数の層で形成してもよい。絶縁層25には、さらに誘導素子パターン29が形成され、誘導素子パターン29の端子34は、図9で説明した積層サージ吸収部品の表面に設けられた共通電極37に接続される。
図8に示す複数の層を順に積層して圧着した後に、一体焼成することにより、図9に示すような積層体を作製する。積層体の表面には、入力電極35、出力電極36及び共通電極37を形成する。電極材料としては、金、白金、銀、銅、鉛、これらの合金等の導体が適用できる。
このようにして完成した積層サージ吸収部品は、誘導素子やサージ吸収素子が一体になって形成されているため、小型でかつ浮遊容量を小さくすることができる。また、前述したサージ吸収回路の回路構成であるため、半導体デバイス等を高圧の静電気から保護しつつ、高速信号に対してもインピーダンス整合に優れた積層サージ吸収部品とすることができる。
前述した積層サージ吸収部品のサージ試験を行った。このときのサージ試験器の回路を図10に示す。図10において、41は直流電圧源、42はスイッチ、43は容量素子、44は抵抗、45はスイッチ、46及び47は出力端子である。
図9で示す積層サージ吸収部品と負荷抵抗(例えば50Ω)とを並列接続した負荷回路を出力端子46、47の間に接続する。具体的には、図9で示す積層サージ吸収部品の入力電極35を出力端子46に接続すると共に、積層サージ吸収部品の共通電極37を出力端子47に接続する。さらに負荷抵抗の一方の端子を積層サージ吸収部品の出力電極36に接続すると共に、負荷抵抗の他方の端子を積層サージ吸収部品の共通電極37に接続する。直流電圧源41は2kVの電圧を供給し、容量素子43の容量は150pF、抵抗44の抵抗値は330Ωである。
まず、スイッチ45を開放状態にしたままで、スイッチ42を閉じて直流電圧源41から容量素子43をチャージする。次に、スイッチ42を開放し、スイッチ45を閉じると容量素子43にチャージされた電荷が抵抗44を介して積層サージ吸収部品及び負荷抵抗からなる負荷回路に印加される。このときに負荷回路にかかる電圧を測定した。測定結果を図11に示す。図11は横軸を時間(ns)、縦軸を放電電圧(V)としたもので、積層サージ吸収部品の有無によって放電電圧を比較している。図11から、本実施形態の積層サージ吸収部品を付加することによって、サージが十分に吸収されていることが分かる。
従って、本実施形態のサージ吸収回路の構成を有する積層サージ吸収部品は、高性能なサージ吸収特性を持ちつつ、小型かつ高速信号に対してもインピーダンス整合に優れたものとすることができる。
(実施形態2)
本願発明の実施形態に係るサージ吸収回路の回路構成を図12に示す。図12において、11は入力端子、12は出力端子、13は共通端子、14は第一のサージ吸収素子、15は第二のサージ吸収素子、16は第二の誘導素子、17は第一の誘導素子、18は容量素子である。
図12に示すサージ吸収回路は、実施形態1の図7に示すサージ吸収回路に、入力端子11と出力端子12との間に接続される容量素子18を追加した構成である。
ここでは、入力端子11と出力端子12を区別しているが、入力側と出力側とが入れ替わってもよい。共通端子13はグランドに接地されることが好ましい。第一のサージ吸収素子14及び第二のサージ吸収素子15の浮遊容量の容量はCz/2、第一の誘導素子の誘導係数(インダクタンス)はLz、第二の誘導素子の誘導係数はLg、容量素子18の容量はCsである。
図12のサージ吸収回路の入力インピーダンスは、下記の(7)式で表される。ここで、サージ吸収素子14及び15は、図2に示す等価回路で表され、小振幅の高速信号に対しては図2の容量Cz/2の浮遊容量105のみで近似した。
Figure 2006174601
ここで、(7)式において、下記(8)式を満たすようにLz及びLgを設定すれば、入力インピーダンスZinは周波数特性に依存せず、特性インピーダンスZoに整合させることができる。
Figure 2006174601

上記(8)式からも分かるように、サージ吸収素子の浮遊容量に対して、容量素子の容量Csを任意に選べるため、実施形態1で説明したサージ吸収回路よりも柔軟性の高い回路設計が可能となる。
従って、本実施の形態のサージ吸収回路は、半導体デバイス等を高圧の静電気から保護しつつ、高速信号に対してもインピーダンス整合に優れたサージ吸収回路とすることができる。
次に、図12で説明したサージ吸収回路を、積層サージ吸収部品として実現する例を説明する。
図13は、図12で説明したサージ吸収回路を積層型の部品として実現した積層サージ吸収部品を層ごとに展開した例である。図13において、21、22a、22b、23a、23b、24及び25は平面状の絶縁層、26a及び26bは第一の誘導素子を形成する誘導素子パターン、27a及び27bはそれぞれ第一のサージ吸収素子又は第二のサージ吸収素子を形成するサージ吸収素子パターン、28は第一のサージ吸収素子及び第二のサージ吸収素子を形成するサージ吸収素子パターン、29は第二の誘導素子を形成する誘導素子パターン、30は入力電極に接続される誘導素子パターン26aの端子、31は絶縁層に設けられたビアホール、33は出力電極に接続される誘導素子パターン26bの端子、34は共通電極に接続される誘導素子パターン29の端子、61は一方の容量素子パターン、62は他方の容量素子パターンである。
図13に示す積層サージ吸収部品は、実施形態1の図8で説明した積層サージ吸収部品に容量素子パターン61及び62を追加したものである。図13の積層サージ吸収部品を構成する各絶縁層の構造及び材料は、実施形態1で説明した図8の積層サージ吸収部品と同様である。図13では、誘導素子パターン26a及び26b並びに容量素子パターン61及び62を別の絶縁層に形成しているが、それぞれ同じ絶縁層に形成してもよい。また、誘導素子パターン26aと誘導素子パターン26bの線幅を太くして、容量素子パターンとしても利用することでもよい。
図13で説明した積層サージ吸収部品の外形は図9で説明したものと同様である。図9で示す入力電極35には、図13で説明した容量素子パターン61の端子及び誘導素子パターン26aの端子30が接続され、出力電極36には、図13で説明した容量素子パターン62の端子及び誘導素子パターン26bの端子33が接続され、共通電極37には、図13で説明した誘導素子パターン29の端子34が接続される。ここでは、入力電極35と出力電極36とを区別しているが、入力側と出力側とが入れ替わってもよい。共通電極37はグランドに接地されることが好ましい。
このようにして完成した積層サージ吸収部品は、誘導素子やサージ吸収素子が一体になって形成されているため、小型でかつ浮遊容量を小さくすることができる。また、前述したサージ吸収回路の回路構成であるため、半導体デバイス等を高圧の静電気から保護しつつ、高速信号に対しても一層インピーダンス整合に優れた積層サージ吸収部品とすることができる。また、サージ試験結果も実施形態1の積層サージ吸収部品と同様に良好であった。
ここで、図12に示す誘導素子17は、浮遊容量成分を持つことがある。誘導素子17に浮遊容量成分があるときの等価回路を図14に示す。図14において、17は誘導素子、19は誘導素子17に付随する浮遊容量成分である。浮遊容量成分19の容量はCxである。
図12に示す誘導素子17が、図14に示すような浮遊容量成分を持つ場合、図12のサージ吸収回路の入力インピーダンスは、下記の(9)式で表される。ここで、サージ吸収素子15は、図2に示す等価回路で表され、小振幅の高速信号に対しては図2の容量Cz/2の浮遊容量105のみで近似した。
Figure 2006174601
ここで、(9)式において、下記(10)式を満たすようにLz及びLgを設定すれば、入力インピーダンスZinは周波数特性に依存せず、特性インピーダンスZoに整合させることができる。
Figure 2006174601

上記(10)式からも分かるように、第一の誘導素子17が浮遊容量成分を持つ場合であっても、サージ吸収素子14及び14の浮遊容量成分と同時に第一の誘導素子17の浮遊容量成分の影響をキャンセルすることができる。
また、図12において、容量素子18を付加しない場合、つまり、実施形態1で説明した図7のサージ吸収回路の場合に、誘導素子17に浮遊容量成分があるとき、上記(9)、(10)式でCs=0として計算されるようにLz及びLgの値を設定すれば、サージ吸収素子14及び14の浮遊容量成分と同時に第一の誘導素子17の浮遊容量成分の影響をキャンセルすることができる。
従って、本実施の形態のサージ吸収回路は、半導体デバイス等を高圧の静電気から保護しつつ、高速信号に対してもインピーダンス整合に優れたサージ吸収回路とすることができる。
本願発明に係るサージ吸収回路及び積層サージ吸収部品は、半導体を搭載した高周波回路基板に適用することができる。
バリスタをサージ吸収回路に適用した従来例を示す図である。 バリスタの等価回路を示す図である。 従来のサージ吸収回路のSパラメータを説明する図である。 従来のサージ吸収回路のTDR試験結果を示す図である。 2つのバリスタを誘導素子に組み合わせた従来のサージ吸収回路の例を示す図である。 誘導素子を2つのバリスタに組み合わせた従来のサージ吸収回路の例を示す図である。 本願発明の実施形態に係るサージ吸収回路の回路構成を示す図である。 サージ吸収回路を積層型の部品として実現した積層サージ吸収部品を層ごとに展開した例を示す図である。 積層サージ吸収部品の外形を示す図である。 サージ試験器の回路を示す図である。 積層サージ吸収部品及び負荷抵抗からなる負荷回路にかかる電圧を測定した結果を示す図である。 本願発明の実施形態に係るサージ吸収回路の回路構成を示す図である。 サージ吸収回路を積層型の部品として実現した積層サージ吸収部品を層ごとに展開した例を示す図である。 第一の誘導素子の等価回路を示す図である。
符号の説明
11:入力端子、12:出力端子、13:共通端子、14:第一のサージ吸収素子、15:第二のサージ吸収素子、16:第二の誘導素子、17:第一の誘導素子、18:容量素子、21、22a、22b、23a、23b、24、25:平面状の絶縁層、26a、26b:第一の誘導素子を形成する誘導素子パターン、27a、27b:第一のサージ吸収素子又は第二のサージ吸収素子を形成するサージ吸収素子パターン、28:第一のサージ吸収素子及び第二のサージ吸収素子を形成するサージ吸収素子パターン、29:第二の誘導素子を形成する誘導素子パターン、30:入力電極に接続される誘導素子パターン26aの端子、31:絶縁層に設けられたビアホール、33:出力電極に接続される誘導素子パターン26bの端子、34:共通電極に接続される誘導素子パターン29の端子、35:入力電極、36:出力電極、37:共通電極、41:直流電圧源、42:スイッチ、43:容量素子、44:抵抗、45:スイッチ、46、47:出力端子、61:一方の容量素子パターン、62:他方の容量素子パターン、101:入出力端子、102:共通端子、103:バリスタ、104:可変抵抗、105:浮遊容量、111:入力端子、112:出力端子、113:共通端子、114:誘導素子、115、116:バリスタ、121:入出力端子、122:共通端子、123、124:バリスタ、125:誘導素子

Claims (2)

  1. 外部との接続に入力端子、出力端子及び共通端子を備えるサージ吸収回路であって、
    前記入力端子と前記出力端子との間に直列に接続された第一のサージ吸収素子及び第二のサージ吸収素子と、
    前記入力端子と前記出力端子との間に接続された第一の誘導素子と、
    前記直列に接続された第一のサージ吸収素子及び第二のサージ吸収素子の接続点と共通端子との間に接続された第二の誘導素子と、
    を備えるサージ吸収回路。
  2. 前記入力端子と前記出力端子との間に接続された容量素子をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のサージ吸収回路。


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