JP2006156953A - 窒化物半導体素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 窒化物半導体素子は、窒化物半導体基板の表面に形成された又は窒化物半導体基板以外の基板上に成長した窒化物半導体層の表面に形成された凹状の掘り込み領域102を含む加工基板100と、加工基板100上に最初に成膜される窒化物半導体下地層103を含む、窒化物半導体の多層膜からなる窒化物半導体多層膜101とを備え、窒化物半導体下地層103が、GaNを組成に含む化合物である構成とする。
【選択図】 図2
Description
図1(a)は窒化物半導体多層膜が積層された加工基板の掘り込み領域周辺の概略斜視図であり、図1(b)は図1(a)のA−A線断面図である。100が加工基板、101が窒化物半導体多層膜、102が掘り込み領域である。
図2(a)は窒化物半導体素子の正面図であり、図2(b)は図2(a)の上面図である。図3は、図2のB部分の断面図である。図3を参照して、半導体レーザ素子の作製方法について解説する。
本実施形態で作製した窒化物半導体多層膜101には、クラックは見られなかった。更に面内の表面平坦性を触針型の段差計を用いて測定した。図4に、窒化物半導体多層膜101の[1−100]方向の表面平坦性を測定した結果を示す。その結果、測定した600μmの範囲で表面粗さ(Ra)が100Å以下であり、凹凸が極めて小さい平坦な表面が得られた。また、基板全面においても詳細にRaを測定した結果、同様に平坦な表面であった。
続いて、加工基板100上に窒化物半導体多層膜101が積層されたウェハーをMOCVD装置から取り出して、窒化物半導体素子チップに加工するプロセス工程を説明する。
この窒化物半導体素子は、実験により、発振波長405±2nm、レーザ出力60mW、雰囲気温度70℃の条件の下、レーザ発振寿命5000時間以上が達成された。また、凹凸の小さな平坦な表面が得られること、および、窒化物半導体多層膜101の各層厚の基板面内均一性が高いことにより、素子毎の特性のばらつきが少なく、高い信頼性を持つことが分かった。その結果、良品規格外の特性の素子が減少し、歩留まりが改善された。
掘り込み領域102の深さDと幅Wに対し、下地GaN層103の層厚を変化させた場合の表面平坦性とクラック発生との関係について説明する。図5に、下地GaN層103の厚みのみを0〜2.0μmまで変化させた場合の窒化物半導体多層膜101の表面粗さについての結果を示す。
以上の結果より、掘り込み領域102を形成した加工基板100を用いた成長モードのモデルを説明する。原料ガスを流して成長を始めると、Ga原料が表面に到達する。その後、表面をマイグレーション(表面拡散)して、エネルギー的に安定なサイトにくると、膜に取り込まれる。これを繰り返すことにより膜が形成されていく。この時、下地GaN層103が0.5μm以上の厚さになると、図6(b)の様に、Ga原子がマイグレーションして表面117から、掘り込み領域102に向かってGa原料が流れ込む。この流れ込みに関しては、掘り込みプロセスの不均一性等の様々な理由により、[11−20]方向のGa原子の流れ込みが非常に不均一となる。このため、流れ込みが起こる領域と、流れ込みが起きにくい領域が混在することになる。
101 窒化物半導体多層膜
102 掘り込み領域
102a 掘り込み領域の上端の側壁面
103 下地GaN層(窒化物半導体下地層)
117 掘り込み領域以外の表面
D 掘り込み領域の深さ
W 掘り込み領域の幅
T 掘り込み領域の周期
Claims (11)
- 窒化物半導体基板の表面に形成された又は窒化物半導体基板以外の基板上に成長した窒化物半導体層の表面に形成された凹状の掘り込み領域を含む加工基板と、該加工基板上に最初に成膜される窒化物半導体下地層を含む、窒化物半導体の多層膜からなる窒化物半導体多層膜とを備えた窒化物半導体素子において、
前記窒化物半導体下地層が、GaNを組成に含む化合物であることを特徴とする窒化物半導体素子。 - 前記窒化物半導体下地層の層厚が0.5μm以下であることを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体素子。
- 前記窒化物半導体多層膜の層厚の総和に対する前記窒化物半導体下地層の層厚の割合が15%以下であることを特徴とする請求項1又は2記載の窒化物半導体素子。
- 前記掘り込み領域の上端の側壁面に対する法線と、前記掘り込み領域以外の表面に対する法線とのなす角が60°よりも大きいことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の窒化物半導体素子。
- 前記掘り込み領域の深さが、2μm以上20μm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の窒化物半導体素子。
- 前記掘り込み領域の幅が、1μm以上であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の窒化物半導体素子。
- 前記掘り込み領域の周期が、0.1mm以上4mm以下であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の窒化物半導体素子。
- 窒化物半導体基板の表面に又は窒化物半導体基板以外の基板上に成長した窒化物半導体層の表面に形成された凹状の掘り込み領域を含む加工基板を準備し、
該加工基板上に、GaNを組成に含む化合物である窒化物半導体下地層を最初に成膜することを特徴とする窒化物半導体素子の製造方法。 - 窒化物半導体基板の表面に形成された又は窒化物半導体基板以外の基板上に成長した窒化物半導体層の表面に形成された凹状の掘り込み領域を含む加工基板と、該加工基板上に最初に成膜される窒化物半導体下地層を含む、窒化物半導体の多層膜からなる窒化物半導体多層膜とを備えた窒化物半導体素子において、
前記窒化物半導体下地層が、GaNを組成に含む化合物であり、前記窒化物半導体多層膜の層厚の総和が4μm以下であることを特徴とする窒化物半導体素子。 - 前記掘り込み領域の深さが、1μm以上20μm以下であることを特徴とする請求項9記載の窒化物半導体素子。
- 前記掘り込み領域の幅が、1μm以上であることを特徴とする請求項9又は10記載の窒化物半導体素子。
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