JP4408802B2 - 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 - Google Patents
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[比較例]
102 n型GaN基板
103 溝
103a 溝側面
103b 溝底面
104 溝間領域
105 低温バッファ層
106 窒化物半導体膜
107 レーザ導波路
108 素子分割される位置
201 n型GaN層
202 n型Al0.062Ga0.938N第1クラッド層
203 n型Al0.1Ga0.9N第2クラッド層
204 n型Al0.062Ga0.938N第3クラッド層
205 n型GaNガイド層
206 InGaN量子井戸活性層
207 p型Al0.3Ga0.7N蒸発防止層
208 p型GaNガイド層
209 p型Al0.062Ga0.938Nクラッド層
210 p型GaNコンタクト層
211 n電極
212 p電極
213 絶縁膜
301 SiO2
302 基板露出部
303 溝
304 低温バッファ層
501 半導体レーザウエハ
502 n型GaN基板
503 溝
504 溝間領域
506 窒化物半導体膜
Claims (7)
- ストライプ状の溝が形成された窒化物半導体基板の上に、複数の窒化物半導体層からなる窒化物半導体膜が形成された窒化物半導体発光素子において、
前記溝の少なくとも一部に、GaN、AlN又は窒化物半導体混晶からなる、アモルファス又は多結晶の状態であるバッファ層が設けられており、
さらに、溝間領域の幅が50μm以上1000μm以下になるように形成されていることを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 前記バッファ層は、前記溝の側面に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記バッファ層は、前記溝の底面に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- ストライプ状の溝と、該溝以外の溝間領域とを有し、かつ該溝間領域の幅が50μm以上1000μm以下にされた窒化物半導体基板を準備する工程と、
前記窒化物半導体基板の上に第1の温度で、複数の窒化物半導体層からなる窒化物半導体膜を形成する工程とを備えた窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記窒化物半導体膜を形成する工程に先立ち、前記溝の少なくとも一部にGaN、AlN又は窒化物半導体混晶からなる、アモルファス又は多結晶の状態であるバッファ層を前記第1の温度よりも低い第2の温度で形成することを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 前記第2の温度は、450℃以上700℃以下の温度である、請求項4に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記バッファ層を、前記溝の側面に形成することを特徴とする請求項4又は5に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記バッファ層を、前記溝の底面に形成することを特徴とする請求項4又は5に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
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