JP4318501B2 - 窒化物半導体発光素子 - Google Patents
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また、欠陥集中領域のストライプの方向に対して平行方向のオフ角が欠陥集中領域のストライプの方向に対して垂直方向のオフ角より小さいことが望ましい。
なぜなら、垂直方向のオフ角が急な場合、均一発光領域は狭くなる傾向にあり、さらに平行方向のオフ角が垂直方向のオフ角より大きいと、均一発光領域の得られる範囲がより狭くなってしまうからである。
また本発明は上記の窒化物半導体発光素子において、リッジストライプ部を前記欠陥集中領域から少なくとも40μm以上離れた位置に形成することを特徴とする。
これは、均一発光領域表面でも欠陥集中領域付近では、エピウェハー表面が凸状になっているため、欠陥集中領域よりも少なくとも40μm以上離した位置でリッジストライプ部を形成することが望ましい。
ここで、欠陥集中領域より30μm程度の範囲は、窒化物半導体層の上面が凸状になっており、また、幅が一定でないため、リッジストライプ部を作製するのが困難であるため、この領域は避ける必要がある。
また本発明は上記の窒化物半導体発光素子において、前記リッジストライプ部が<1−100>方向に形成されることを特徴とする。
n型GaN基板10の製造方法について図4を参照して説明する。図4(a)は、n型GaN層32を積層した支持基体31の要部断面図である。HVPE法(Hydride Vapor Phase Epitaxy)により、支持基体31上にn型GaN層32を、ファセット面{11−22}面33が成長中の表面に主として表出するように成長させる。その結果、表面の断面図形は鋸歯状の凹凸形状となる。ただし、凸部の頂点付近には、わずかに、ファセット面{0001}面34が表出した部分がストライプ状に見られる。
(窒化物半導体層のエピタキシャル成長)
次に、n型GaN基板10上に窒化物半導体層等を積層して半導体レーザ素子を作製する方法について、図3を参照して解説する。
のTMGa(トリメチルガリウム)またはTEGa(トリエチルガリウム)と、ドーパント原料としてのSiH4を使用し、水素あるいは窒素を原料キャリアガスとして用い、基板温度1050℃で、膜厚3μmのn型GaN層11を形成した。次に、800℃の基板温度で、上記原料にIII族原料としてのTMIn(トリメチルインジウム)を加え、n型I
n0.07Ga0.93Nクラック防止層12を40nm形成した。次に、基板温度を1050℃に昇温させ、TMAl(トリメチルアルミニウム)またはTEAl(トリエチルアルミニウム)のIII族原料を用い、1.2μm厚のn型Al0.1Ga0.9Nクラッド層13を形成
した。上記n型不純物としてSiが5×1017/cm3〜1×1019/cm3になるようにドーパント原料を調整した。続いてn型GaN光ガイド層14(Si不純物濃度1×1016〜1×1018/cm3)を0.1μmの厚さになるように形成した。
基板に対して水平方向に光を閉じ込めるためのリッジストライプ部が、上記エピウェハーの均一発光領域36上に欠陥集中領域35より70μm離れた位置に形成された。但し、上記の高ルミネッセンス領域を有する基板を使用する場合には、この領域を除いた位置に形成することが望ましい。これは、高ルミネッセンス領域が他の領域よりも、ドーパントの含有量または活性化度が小さく、抵抗率が高くなっているために、レーザ素子に注入される電流に分布が生じるためである。また、均一発光領域36表面でも欠陥集中領域35付近では、エピウェハー表面が凸状になっているため、欠陥集中領域35よりも少なくとも40μm以上離した位置でリッジストライプ部39を形成することが望ましい。
上記の窒化物半導体レーザ素子の特性を測定した結果、レーザ出力60mW、雰囲気温度70℃の条件の下、レーザ発振寿命5000時間以上が達成された。
35 欠陥集中領域
36 均一発光領域
37 低欠陥領域
39 リッジストライプ部
Claims (4)
- 窒化物半導体基板上に複数の窒化物半導体層が積層された窒化物半導体発光素子において、
前記窒化物半導体基板は、結晶欠陥が集中するストライプ状の欠陥集中領域と該欠陥集中領域を除く欠陥密度の低い低欠陥領域とを有し、
前記窒化物半導体基板の主面はC面から前記欠陥集中領域のストライプの方向に対して垂直方向に0.2°以上2.0°以下のオフ角を有し、
さらに、前記欠陥集中領域のストライプの方向に対して平行方向に2°以下のオフ角を有し、
前記欠陥集中領域のストライプの方向に対して平行方向のオフ角が前記欠陥集中領域のストライプの方向に対して垂直方向のオフ角より小さいことを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 前記欠陥集中領域のストライプは<1−100>方向に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- リッジストライプ部を前記欠陥集中領域から少なくとも40μm以上離れた位置に形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記リッジストライプ部が<1−100>方向に形成されることを特徴とする請求項3に記載の窒化物半導体発光素子。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003284745A JP4318501B2 (ja) | 2003-08-01 | 2003-08-01 | 窒化物半導体発光素子 |
US10/831,659 US7462882B2 (en) | 2003-04-24 | 2004-04-26 | Nitride semiconductor light-emitting device, method of fabricating it, and semiconductor optical apparatus |
US11/435,932 US7579627B2 (en) | 2003-04-24 | 2006-05-18 | Nitride semiconductor light-emitting device, method of fabricating it, and semiconductor optical apparatus |
US12/366,480 US7858992B2 (en) | 2003-04-24 | 2009-02-05 | Nitride semiconductor light-emitting device, method of fabricating it, and semiconductor optical apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003284745A JP4318501B2 (ja) | 2003-08-01 | 2003-08-01 | 窒化物半導体発光素子 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009039897A Division JP2009117875A (ja) | 2009-02-23 | 2009-02-23 | 窒化物半導体発光素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005056974A JP2005056974A (ja) | 2005-03-03 |
JP4318501B2 true JP4318501B2 (ja) | 2009-08-26 |
Family
ID=34364583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003284745A Expired - Fee Related JP4318501B2 (ja) | 2003-04-24 | 2003-08-01 | 窒化物半導体発光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4318501B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009117875A (ja) * | 2009-02-23 | 2009-05-28 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子の製造方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7462882B2 (en) | 2003-04-24 | 2008-12-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Nitride semiconductor light-emitting device, method of fabricating it, and semiconductor optical apparatus |
US8368183B2 (en) | 2004-11-02 | 2013-02-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Nitride semiconductor device |
JP5252061B2 (ja) * | 2008-10-07 | 2013-07-31 | 住友電気工業株式会社 | 窒化ガリウム系レーザダイオード |
JP2011198849A (ja) * | 2010-03-17 | 2011-10-06 | Nec Corp | 半導体ウェハの製造方法、半導体素子の製造方法、半導体ウェハ、半導体素子および電子装置 |
JP2019186262A (ja) * | 2018-04-02 | 2019-10-24 | ウシオオプトセミコンダクター株式会社 | 窒化物半導体発光素子 |
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2003
- 2003-08-01 JP JP2003284745A patent/JP4318501B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009117875A (ja) * | 2009-02-23 | 2009-05-28 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005056974A (ja) | 2005-03-03 |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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